磁性金屬異物的捕捉裝置的製作方法

2023-06-22 02:00:16

專利名稱：磁性金屬異物的捕捉裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種磁性金屬異物的捕捉裝置。
背景技術：
例如，熱固化性樹脂組成物在IC或LSI等半導體元件的密封中被廣泛使用。像這樣，通過在半導體元件的密封中使用熱固化性樹脂組成物，從而可以進行傳遞模塑法，提高信賴性、生產率。作為半導體密封用熱固化性樹脂組成物的最一般的環氧樹脂組成物通常是，通過混合裝置對稱量規定量的各原料而成的原料進行預備混合，接著採用單軸攪拌機、雙軸攪拌機、加熱輥、連續葉片混合機等加熱攪拌機進行溶融攪拌。然後,經過通過粉碎機進行粉碎、通過壓片機壓製成片這一製造工序進行製造。這些製造工序中，由於混合裝置、加熱攪拌機、粉碎機等製造裝置發生磨損等，會在樹脂組成物中混入少量作為異物的鐵粉等磁性金屬。但是，這樣的鐵粉等導電性的異物存在於樹脂組成物中時，可能會使半導體封裝內的管腳、配線之間短路而成為電路不良的原因。特別，近年來，通過樹脂組成物密封半導體而成的半導體封裝有極端地小型化、薄型化的傾向，其結果，由於半導體封裝內的管腳、配線的間隔變窄，因此，僅僅是包含相當程度的微細的鐵粉等導電性異物也可能會成為產生電路不良的原因。因此，依據上述說明，有必要除去微細級別的鐵粉等導電性異物，以至於在產品的出貨檢查、工序檢查中要求適當地控制這些磁性金屬異物的大小及個數、組成等來進行管理。

實用新型內容本實用新型要解決的課題在於，鑑於上述問題而提供一種磁性金屬異物的捕捉裝置，該磁性金屬異物的捕捉裝置極其簡便且迅速地捕捉樹脂組成物等被處理物中所包含的磁性金屬異物。本實用新型提供一種磁性金屬異物的捕捉裝置，其包含:流路部件，該流路部件具有傾斜的流路並通過所述流路使含有半導體密封組成物的被處理物流下；以及磁鐵，該磁鐵設置在所述流路部件的下方、吸引所述被處理物中的磁性金屬異物，所述流路被樹脂膜覆蓋。實用新型效果:根據本實用新型，可以提供一種極其簡便且迅速地捕捉樹脂組成物等被處理物中所包含的磁性金屬異物的磁性金屬異物的捕捉裝置。

圖1是表示本實施方式所涉及的磁性金屬異物的捕捉裝置的立體圖。圖2是表示本實施方式所涉及的磁性金屬異物的捕捉裝置的排水流路部件的主視圖。[0010]符號說明:10…捕捉裝置12…磁鐵14…流路部件20a…底面20b…側壁21…流路22...樹脂膜
具體實施方式
下面，採用附圖說明本實施方式。另外，在全部的附圖中，同樣的構件加了同樣的符號，適當省略說明。圖1是表示本實施方式的磁性金屬異物的捕捉裝置10的立體圖。如圖1所示，本實施方式的磁性金屬異物的捕捉裝置10包含:流路部件14該流路部件14具有傾斜的流路21 並通過流路21使含有半導體密封組成物的被處理物流下；以及磁鐵12，該磁鐵12設置在流路部件14的下方並吸引被處理物中的磁性金屬異物。通過這樣，可以極簡便並且迅速地捕捉包含在被處理物中的磁性金屬異物。在該捕捉裝置10中，流路21被樹脂膜22覆蓋。此外，根據本實施方式，通過使用樹脂膜22可以有效地捕捉磁性金屬異物。另外，根據本實施方式的磁性金屬異物的捕捉裝置10，和磁性金屬異物相對於由金屬等構成的流路21的摩擦係數相比，磁性金屬異物相對於樹脂膜22的摩擦係數較大，因而能夠在樹脂膜上容易地捕捉磁性金屬異物。另外，根據本實施方式的磁性金屬異物的捕捉裝置10，即使磁性金屬異物因磁鐵12的吸引作用而陷入樹脂膜22中，也能在樹脂膜22上容易地捕捉磁性金屬異物。另外，根據本實施方式的磁性金屬異物的捕捉裝置10，為了防止磁鐵12的磁力的損失，流路21由金屬磁性物構成。由於上述背景技術部分說明的半導體密封用熱固化性樹脂組成物及其原料中包含無機添加劑，故使被處理物流下時，流路21被無機填充劑切削會產生磁性金屬異物。因此，如上述，通過由樹脂膜22覆蓋流路21，從而能夠防止流路21被無機填充劑切削而在使用該捕捉裝置10時產生磁性金屬異物的情況。根據本實施方式的磁性金屬異物的捕捉裝置10，被處理物構成為包含半導體密封組成物和有機溶劑，優選地，樹脂膜22相對於有機溶劑為化學性地非活性。通過這樣，可以抑制樹脂膜22被有機溶劑溶解等情況。〈被處理物〉作為本實施方式的被處理物，有例如環氧樹脂、固化劑、無機質填充劑等半導體密封用樹脂組成物的原材料、加工所述原材料而成的半導體密封用樹脂組成物等。在這樣的原材料、半導體密封用樹脂組成物等中可能會包含原材料中最初包含的磁性金屬異物、製造樹脂組成物時混入的鐵粉等磁性金屬異物。另外，優選地，本實施方式的被處理物分散在丙酮、甲基乙基酮、甲苯、甲醇等有機溶劑中形成泥漿狀來進行使用。通過這樣，可以更加高效、簡便並且迅速地捕捉包含在被處理物中的磁性金屬異物。〈樹脂膜〉本實施方式的樹脂膜22優選為可裝拆地相對流路貼附。通過這樣，可以剝掉樹脂膜22、將所捕捉的磁性金屬異物連同樹脂膜22 —起廢棄。另外，本實施方式的樹脂膜22沒有特別限制，優選為由包含聚醯亞胺的材料形成。通過這樣，能夠將包含在被處理物中的磁性金屬異物和其他成分適當地分離。〈流路部件〉本實施方式的流路部件14如上所述具有傾斜的流路21。通過該流路21使包含半導體密封組成物的被處理物流下。並且，如上所述，流路21被樹脂膜22覆蓋。另外，根據本實施方式的捕捉裝置10，由於流路部件14傾斜地配置，因此，無須對流路部件14施加振動就可以使被處理物通過磁鐵12的上方。圖2是表示本實施方式的磁性金屬異物的捕捉裝置10中的流路部件14的主視圖。如圖2所示，本實施方式的流路部件14優選為具有沿磁鐵12的表面形狀的形狀。通過這樣，在流路部件14中的流路21的表面上，可以使磁鐵12的磁力更加有效地對在流路部件14流下的被處理物施加影響。因此，可以可靠地捕捉磁性金屬異物。另外，本實施方式的流路部件14的厚度只要是通過磁力能可靠地捕捉磁性金屬異物的即可，沒有特別限制，優選為Iym以上、300 μ 以下，更為優選10 μ m以上、100 μ m以下，此外，尤為優選為70μπι。通過這樣，可以更加簡便並且迅速地捕捉磁性金屬異物。其原因在於，考慮到:通過將流路部件14的厚度設定成上述的範圍能夠將磁鐵12的磁力有效地傳遞給流路部件14的表面。另外，本實施方式的流路部件14可以由非磁性材料形成。所述非磁性材料沒有特別限制，例如可以列舉銅。通過這樣，可以使磁鐵12的磁力更加有效地對在流路部件14流下的被處理物施加影響。另外，本實施方式的捕捉裝置10中，流路部件14以及磁鐵12的傾斜角度沒有特別限制，例如優選為5°以上、80°以下，更為優選為10°以上、70°以下。通過這樣，可以將所流入的被處理物的流速控制在可以有效率地回收被處理物中的磁性金屬異物的程度。由此，可以更加簡便並且迅速地捕捉磁性金屬異物。另外，本實施方式的流路部件14中，流路21優選形成為沿著被處理物的前進方向延伸的直線狀。通過這樣，由於被處理物在直線狀的流路21流下去，因此能夠將被處理物的流量保持一定。由此，可以高精度且可靠地將被處理物中的磁性金屬異物捕捉到捕捉流路21上。另外，如圖2所示，本實施方式的流路部件14中的流路21由流下被處理物的底面20a和為了阻止被處理物溢出到裝置外而設置的2個側壁20b構成。如圖2所示，該流路部件14形成為:側壁20b從底面20a的寬度方向上的兩端立起、並使2個側壁20b的上端位於比底面20a的頂面靠上的上方。另外，如圖2所示， 在本實施方式的流路部件14的流路21的下方還可以具有保持磁鐵12的磁鐵收納部。該磁鐵收納部具體是形成為中空的圓筒形狀且和流路部件14設置為一體。[0041]本實施方式的磁鐵12的形狀沒有特別限制，只要能使被處理物在槽部21可靠地流動即可，例如可列舉出圓筒形狀。並且，磁鐵12的形狀優選為具有和所述磁鐵收納部同樣的形狀。通過這樣，能夠使磁鐵收納部成為和磁鐵12貼緊的形狀，能夠使磁鐵12充分發揮磁力以捕捉磁性金屬異物。另外，本實施方式的磁鐵12沿著流路部件14傾斜地配置，通過裝拆自如地設置在磁鐵收納部內而被保持。通過這樣，可以使磁鐵12的磁力更加有效地對在流路部件14流下的被處理物施加影響。另外，本實施方式的捕捉裝置10中，磁鐵12可以採用I個，也可以採用多個。使用多個磁鐵12時，該磁鐵12通過使異極之間相互對向來進行連接，並配置在磁鐵收納部內。通過這樣，可以提高使異極間相互對向的部分的磁通量密度，即可以產生較強的磁場。因此，可以在瞬間吸引、捕捉在流路21流下去的被處理物中所存在的磁性金屬異物。根據本實施方式，通過採用流路部件14以及磁鐵12傾斜配置、並且由相對於有機溶劑化學性地非活性的樹脂膜22覆蓋流路21的結構，由此，能夠使被處理物在流路21自然落下並能夠簡便並且迅速地捕捉磁性金屬異物。另外，通過所述構成，無須給予振動就可以使全部被處理物可靠地通過磁鐵12的表面上部，並且使被處理物在槽部21這一流路流下，因此，可以將被處理物的流動控制成一定速度。由此，可以高精度地可靠、簡便且迅速地捕捉磁性金屬異物。實施例:實施例1:對於鄰甲酚酚醛清漆型環氧樹脂(軟化點60°C )，準備事先混入有0.05重量％的平均粒徑為30 μ m的鐵粉的樹脂樣本。將用丙酮將該樹脂樣本稀釋10倍而成的溶液作為被處理物。使用圖1所示的裝置。在該裝置中，使用圓筒形狀的磁鐵。並且，排水部件採用沿著磁鐵的形狀加工而成的鐵製的厚度為70 μ m的部件。該排水部件由具有平滑的表面的聚醯亞胺膜覆蓋。另外，排水部件以及磁鐵的傾斜角度是30°。上述捕捉裝置的排水部件上，一邊攪拌上述被處理物，一邊使該被處理物流出成為最深部為ΙΟΟμπι。然後，用丙酮清洗排水部件上。這樣，被處理物流到捕捉裝置後，將聚醯亞胺膜從裝置卸下，測定膜上殘存的鐵粉的量。被處理物中包含的鐵粉的回收率為99.9重量％。
權利要求1.一種磁性金屬異物的捕捉裝置，其特徵在於， 包含: 流路部件，該流路部件具有傾斜的流路並通過所述流路使含有半導體密封組成物的被處理物流下；以及 磁鐵，該磁鐵設置在所述流路部件的下方、吸引所述被處理物中的磁性金屬異物， 所述流路被樹脂膜覆蓋。
2.根據權利要求1所述的磁性金屬異物的捕捉裝置，其特徵在於，所述被處理物包含所述半導體密封組成物和有機溶劑。
3.根據權利要求1所述的磁性金屬異物的捕捉裝置，其特徵在於，所述樹脂膜相對於所述流路可裝拆地貼附。
4.根據權利要求2所述的磁性金屬異物的捕捉裝置，其特徵在於，所述樹脂膜相對於所述流路可裝拆地貼附。
5.根據權利要求1-4中任一項所述的磁性金屬異物的捕捉裝置，其特徵在於，所述流路部件的厚度為I μ m以上、300 μ m以下。
6.根據權利要求1-4中任一項所述的磁性金屬異物的捕捉裝置，其特徵在於， 所述磁鐵沿著所述流路部件傾斜配置， 所述流路部件和所述磁鐵的傾斜角度為5°以上、80°以下。
專利摘要一種磁性金屬異物的捕捉裝置，包含流路部件(14)和磁鐵(12)，所述流路部件(14)具有傾斜的流路(21)並通過所述流路(21)使包含半導體密封組成物的被處理物流下，所述磁鐵(12)設置在所述流路部件(14)的下方並吸引所述被處理物中的磁性金屬異物，所述流路(21)被樹脂膜(22)覆蓋。根據本實用新型的磁性金屬異物的捕捉裝置，能夠極其簡便且迅速地捕捉樹脂組成物等被處理物中所包含的磁性金屬異物。
文檔編號B03C1/32GK203044161SQ201320023160
公開日2013年7月10日 申請日期2013年1月16日 優先權日2013年1月16日
發明者前田將克 申請人:蘇州住友電木有限公司