真空泵用零件以及真空泵的製作方法
2023-06-22 02:47:11
真空泵用零件以及真空泵的製作方法
【專利摘要】提供一種能夠恰當地進行纖維強化複合材料的表面的覆膜的形成處理的真空泵用零件以及真空泵。在由纖維強化複合材料構成的圓筒形的第2圓筒部件（62）的表面上形成有作為塗層層的覆膜、即鍍層（626）的真空泵用零件中，鍍層（626）是經過從圓筒形的第2圓筒部件（62）的表面除去含有脫模劑層（622）的表面部分的除去加工工序，和使除去了含有脫模劑層（622）的表面部分後的第2圓筒部件（62）的表面（63）粗面化的粗面化工序形成的。
【專利說明】真空泵用零件以及真空泵
【技術領域】
[0001]本發明涉及半導體製造裝置、平板顯示器製造裝置、太陽能電池板製造裝置中作為工藝室或其它密閉室的氣體排氣機構加以利用的真空泵中使用的真空泵用零件以及真空泵，特別是涉及能夠恰當地進行纖維強化複合材料的表面的覆膜的形成處理的真空泵用零件以及真空泵。
【背景技術】
[0002]以往，作為在渦輪分子泵的鋁合金制的旋轉翼的下部固定作為纖維強化複合材料的FRP (纖維增強塑料)制的圓筒而構成螺紋槽泵部的真空泵，公知有專利文獻I及專利文獻2。
[0003]在此，由於這種真空泵需要對腐蝕性氣體進行排氣，所以為了防止各種零件的腐蝕，一般是在其表面實施由鎳合金等構成的耐腐蝕性塗層。
[0004]但是，雖然關於上述鋁合金制的旋轉翼的塗層，公知有若干個發明，但關於相對於FRP制的圓筒的塗層的發明則不為人知。
[0005]FRP制的圓筒在其成型時使用的脫模劑大多附著在其表面上或熔入其中，因此，為了對其表面進行塗層，使作為其塗層材料的鍍層等的覆膜密接在FRP制的圓筒的表面上，事先必須要除去脫模劑。
[0006]尤其是在作為本發明的對象的真空泵中，由於需要使FRP制的圓筒高速旋轉，所以為了防止作為塗層材料的覆膜脫離FRP制的圓筒的表面，上述事先除去脫模劑的處理是必須的。
[0007]附著在FRP制的圓筒的表面上或融入其中的脫模劑的除去雖然能夠通過磨石、砂紙或噴丸處理等對表面進行磨削而除去，但在磨削過度的情況下，存在對FRP內部的纖維帶來損壞，引起原材料的強度降低的弊端。
[0008]在這種情況下，由於受到損壞的僅是表面附近的纖維，而不是原材料整體的強度降低，所以是在一般使用下幾乎沒有影響的水平。但是，在本發明為對象的真空泵中，由於如上所述必須使FRP制的圓筒高速旋轉，所以若FRP制的圓筒的表面附近的纖維粉碎，則纖維以該粉碎部位為起點飛散，在這種真空泵中產生重大的不良情況。
[0009]但是，在這種真空泵中使用的FRP制的圓筒的表面的脫模劑除去之際，必須滿足以下的條件。
[0010]條件1:嚴格地管理研磨量，防止FRP制的圓筒的表面附近的纖維損壞。
[0011]條件2:這種FRP制的圓筒大多因成型時的纖維的卷繞不均勻等表面是起伏的，所以必須進行追隨著該表面的起伏的研磨。
[0012]條件3:為了提高脫模劑除去後形成的鍍層的密接度，必須在脫模劑除去後的FRP制的圓筒的表面製作出適當大小的凹凸(錨固效果)。
[0013]在此，在用細的磨粒進行研磨的情況下，由於容易管理研磨量而容易滿足條件1，但由於表面的凹凸減小而不容易滿足條件3。
[0014]此外，在用粗的磨粒進行研磨的情況下，由於在表面製作出適當尺寸的凹凸而容易滿足條件3，但研磨量的管理困難，不容易滿足條件I。
[0015]另一方面，在用中等程度的磨粒進行研磨的情況下，條件1、條件3均不容易滿足，難以同時滿足兩者。
[0016]專利文獻1:日本國特開平7 - 4383號公報，
專利文獻2:日本國特開2004 - 278512號公報。
【發明內容】
[0017]本發明是為了解決這種問題而提出的，其目的在於提供一種能夠恰當地進行纖維強化複合材料的表面的覆膜形成處理的真空泵用零件以及真空泵。
[0018]為了達到上述的目的，本發明的真空泵用零件是具備覆膜的纖維強化複合材料，其特徵在於，前述覆膜是至少經過除去前述纖維強化複合材料的表面部分的除去加工工序，和使前述纖維強化複合材料的表面粗面化的粗面化工序形成的。
[0019]在此，其特徵在於，前述除去加工工序包含通過藥品將前述纖維強化複合材料溶解，從而除去前述表面部分的處理。
[0020]此外，其特徵在於，前述除去加工工序包含通過使用在具有柔軟性的基材上固接有磨粒的研磨材料對前述纖維強化複合材料進行研磨，從而除去前述表面部分的處理。
[0021]此外，其特徵在於，前述除去加工工序包含通過在具有柔軟性的基材上塗敷磨粒並對前述纖維強化複合材料進行研磨，從而除去前述表面部分的處理。
[0022]此外，其特徵在於，前述除去加工工序包含通過對前述纖維強化複合材料進行噴丸加工，從而除去前述表面部分的處理。
[0023]此外，其特徵在於，前述粗面化工序包含通過使用在具有柔軟性的基材上固接有磨粒的研磨材料對除去了前述表面部分後的前述纖維強化複合材料進行研磨，從而使前述表面粗面化的處理。
[0024]此外，其特徵在於，前述粗面化工序包含通過在具有柔軟性的基材上塗敷磨粒並對除去了前述表面部分後的前述纖維強化複合材料進行研磨，從而使前述表面粗面化的處理。
[0025]此外，其特徵在於，前述粗面化工序包含通過對除去了前述表面部分後的前述纖維強化複合材料進行噴丸加工，從而使前述表面粗面化的處理。
[0026]此外，其特徵在於，前述除去加工工序包含通過使用在具有柔軟性的基材上固接有磨粒的研磨材料對前述纖維強化複合材料進行研磨，從而除去前述表面部分的處理，或者通過在具有柔軟性的基材上塗敷磨粒並對前述纖維強化複合材料進行研磨，從而除去前述表面部分的處理，前述粗面化工序包含通過使用在具有柔軟性的基材上固接有磨粒的研磨材料對除去了前述表面部分後的前述纖維強化複合材料進行研磨，從而使前述表面粗面化的處理，或者通過在具有柔軟性的基材上塗敷磨粒並對除去了前述表面部分後的前述纖維強化複合材料進行研磨，從而使前述表面粗面化的處理，前述粗面化工序使用的前述磨粒的粒徑為在前述除去加工工序中使用的前述磨粒的粒徑的3倍以上。
[0027]此外，其特徵在於，前述除去加工工序包含通過對前述纖維強化複合材料進行噴丸加工，從而除去前述表面部分的處理，前述粗面化工序包含通過對除去了前述表面部分後的前述纖維強化複合材料進行噴丸加工，從而使前述表面粗面化的處理，在前述粗面化工序的前述噴丸加工中使用的噴丸材料的粒徑為在前述除去加工工序的前述噴丸加工中使用的噴丸材料的粒徑的3倍以上。
[0028]根據本發明，由於在表面形成有覆膜的纖維強化複合材料中，覆膜是至少經過除去纖維強化複合材料的表面部分的除去加工工序，和使表面粗面化的粗面化工序形成的，所以能夠提供一種不會對纖維強化複合材料的表面附近的纖維帶來損壞，能夠除去脫模劑，並且能夠形成密接性高的覆膜的真空泵用零件以及真空泵。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0029]圖1是適用本發明的真空泵的剖視圖；
圖2是將構成圖1所示的真空泵的螺紋槽泵部的第2圓筒部件拔出後表示的立體圖；圖3表示圖2所示的FRP制的圓筒中A表示的部分截面的放大圖，是說明本發明所涉及的除去加工工序、粗面化工序的附圖；
圖4是適用本發明的其它的真空泵的剖視圖。
[0030]附圖標記說明:
1:封裝殼體，IA:泵殼，IB:泵座，IC:凸緣，2:氣體吸氣口，3:氣體排氣口，4:定子柱，5:轉子軸，6:轉子，60:圓形部件，61:第I圓筒部件，62:第2圓筒部件、圓筒部件，63:端部件，7:軸轂孔，9:轉子軸肩部，10:徑向磁力軸承:10A:徑向電磁鐵標靶，1B:徑向電磁鐵，1C:徑向方向位移傳感器，11:軸向磁力軸承，IlA:電樞盤，IlB:軸向電磁鐵，IlC:軸向方向位移傳感器，12:驅動馬達，12A:固定體，12B:轉動體，13:旋轉翼，14:固定翼，18:固定部件，19:螺紋槽，Pl:複合泵(真空泵)，P2:螺紋槽泵(真空泵)，Pt:翼排氣部，Ps:螺紋槽泵部，S:螺紋槽泵流路。
【具體實施方式】
[0031]以下，參照說明書所附的附圖對用於實施本發明的實施例詳細地進行說明。
[0032]圖1是適用本發明的真空泵的剖視圖。該圖的真空泵Pl在半導體製造裝置、平板顯示器製造裝置、太陽能電池板製造裝置中作為工藝室或其它的密閉室的氣體排氣機構等加以利用。
[0033]該真空泵Pl在封裝殼體I內具有通過旋轉翼13和固定翼14對氣體進行排氣的翼排氣部Pt，和利用螺紋槽19對氣體進行排氣的螺紋槽泵部Ps。
[0034]封裝殼體I成為用螺栓將筒狀的泵殼IA和有底筒狀的泵座IB沿其筒軸方向連結成一體的有底圓筒形。泵殼IA的上端部作為氣體吸氣口 2開口，在泵座IB的下端部側面設有氣體排氣口 3。
[0035]氣體吸氣口 2通過設在泵殼IA上緣的凸緣IC上的未圖示的螺栓與例如半導體製造裝置的工藝室等高真空的未圖示的密閉室相連。氣體排氣口 3連接成與未圖示的輔助泵連通。在泵殼IA內的中央部設有內置各種電裝品的圓筒狀的定子柱4，定子柱4以其下端一側螺釘固定在泵座IB上的形態立設。
[0036]在定子柱4的內側設有轉子軸5，轉子軸5配置成其上端部朝向氣體吸氣口 2的方向，其下端部朝向泵座IB的方向。此外，轉子軸5的上端部設成從定子柱4的圓筒上端面向上方突出。
[0037]轉子軸5由徑向磁力軸承10和軸向磁力軸承11支撐而能夠徑向和軸向旋轉，在該狀態下被驅動馬達12驅動而旋轉。
[0038]驅動馬達12為由固定體12A和轉動體12B構成的構造，設在轉子軸5的大致中央附近。這種驅動馬達12的固定體12A配置在定子柱4的內側，該驅動馬達12的轉動體12B一體地裝設在轉子軸5的外周面一側。
[0039]徑向磁力軸承10在驅動馬達12的上下各配置一組，共計配置兩組，軸向磁力軸承11在轉子軸5的下端部一側配置一組。
[0040]兩組徑向磁力軸承10、10分別具備安裝在轉子軸5的外周面上的徑向電磁鐵標靶10A、配置在與其對置的定子柱4內側面上的多個徑向電磁鐵10B、以及徑向方向位移傳感器10C。徑向電磁鐵標靶1A由將高透磁率材料的鋼板層疊而成的層疊鋼板構成，徑向電磁鐵1B穿過徑向電磁鐵標靶1A而用磁力沿徑向吸引轉子軸5。
[0041]徑向方向位移傳感器1C檢測轉子軸5的徑向位移。而且，通過基於徑向方向位移傳感器1C的檢測值(轉子軸5的徑向位移)控制徑向電磁鐵1B的勵磁電流，轉子軸5在徑向規定位置被磁力支撐而上浮。
[0042]軸向磁力軸承11具備安裝在轉子軸5的下端部外周的圓盤形狀的電樞盤11A、隔著電樞盤11A上下對置的軸向電磁鐵11B、和設置在稍稍離開轉子軸5的下端面的位置的軸向方向位移傳感器11C。
[0043]電樞盤IlA由透磁率高的材料構成，上下的軸向電磁鐵IlB用磁力從上下方向吸引電樞盤11A。軸向方向位移傳感器IlC檢測轉子軸5的軸向位移。而且，通過基於軸向方向位移傳感器IlC的檢測值(轉子軸5的軸向位移)控制上下的軸向電磁鐵IlB的勵磁電流，轉子軸5在軸向規定位置被磁力支撐而上浮。
[0044]在前述定子柱4的外側，作為真空泵P的旋轉體設有轉子6。轉子6為包圍在定子柱4的外周的圓筒形狀，成為了經由位於大致中間的圓環板狀的圓形部件60，將直徑不同的兩個筒體(第I筒體61和第2筒體62)沿其軸向連結的構造。
[0045]前述第I圓筒部件61由與圓形部件60相同的材料(例如鋁或者其合金)形成。另一方面，前述第2圓筒部件62由纖維增強塑料(FRP:Fiber Reinforced Plastics)形成。
[0046]此外，前述第I圓筒部件61通過切削加工等從鋁塊或者其合金塊上切出。在圖1的複合泵Pl中，前述圓形部件60為在第I圓筒部件61的端部外周設有凸緣那樣的形態，與第I圓筒部件61 —同從前述鋁塊或者其合金塊上切出。
[0047]另一方面，前述第2圓筒部件62是在與圓形部件60及第I圓筒部件61分體地形成後，通過壓入圓形部件60的外周而嵌合地接合的。另外，也可以通過粘接將第2圓筒部件62接合在圓形部件60的外周。
[0048]在第I圓筒部件61的上端設有端部件63，轉子6和轉子軸5經由該端部件63而一體化。作為這種一體化的構造的一例，在圖1的複合泵Pl中，在端部件63的中心設有軸轂孔7，並且在轉子軸5的上端部外周形成臺階狀的肩部(以下稱為「轉子軸肩部9」)。而且，轉子6與轉子軸5的一體化是將比其轉子軸肩部9靠上的轉子軸5頂端部嵌入端部件63的軸轂孔7中，並且用螺栓將端部件63和轉子軸肩部9緊固地固定。
[0049]由前述第I和第2圓筒部件61、62以及圓形部件60構成的轉子6經由轉子軸5由徑向磁力軸承10、10及軸向磁力軸承11支撐，能夠繞其軸心(轉子軸5)旋轉。被支撐的轉子6被驅動馬達12的轉子軸5的旋轉驅動而繞其轉子軸5旋轉。
[0050]因此，在圖1的複合泵PI中，由轉子軸5，徑向磁力軸承1、1和軸向磁力軸承11，驅動馬達12構成的泵支撐系統、旋轉驅動系統作為驅動前述圓形部件60及第I和第2圓筒部件61、62繞其中心旋轉的驅動機構發揮功能。
[0051]《翼排氣部Pt的詳細結構》，在圖1的複合泵Pl中，轉子6的大致中間位置(具體地說是圓形部件60的位置，以下也同樣)的上遊(從轉子6的大致中間位置到轉子6的氣體吸氣口 2 —側端部的範圍，以下也同樣)作為翼排氣部Pt發揮功能。翼排氣部Pt的詳細結構如以下所述。
[0052]比轉子6的大致中間位置靠上遊一側的轉子6構成部分、即第I圓筒部件61是作為翼排氣部Pt的旋轉體旋轉的部分，在第I圓筒部件61的外周面上一體地設有多個旋轉翼13。這多個旋轉翼13以作為轉子6的旋轉軸心的轉子軸5或者封裝殼體I的軸心(以下稱為「泵軸心」)為中心放射狀地排列。
[0053]另一方面，在泵殼IA的內周面一側設有多個固定翼14，這多個固定翼14也以泵軸心為中心放射狀地排列配置。而且，通過前述那樣的旋轉翼13和固定翼14沿著泵軸心交錯地配置多級，形成了翼排氣部Pt。
[0054]任一個旋轉翼13均是通過切削加工與第I圓筒部件61的外徑加工部一體地切出形成的葉片狀的切削加工品，以最適於氣體分子的排氣的角度傾斜。此外，任一個固定翼14也以最適於氣體分子的排氣的角度傾斜。
[0055]《翼排氣部Pt的動作說明》，在由以上的結構構成的翼排氣部Pt中，通過驅動馬達12的起動，轉子軸5、轉子6以及多個旋轉翼13 —體地高速旋轉，最上級的旋轉翼13相對於從氣體吸氣口 2入射的氣體分子賦予從氣體吸氣口 2朝向氣體排氣口 3 —側的方向的運動量。具有該排氣方向的運動量的氣體分子被固定翼14向下一級的旋轉翼13 —側送入。通過以上這種運動量向氣體分子的賦予和送入動作重複地進行多級，氣體吸氣口 2 —側的氣體分子依次朝向轉子6的下遊轉移，到達螺紋槽泵部Ps的上遊一側。
[0056]《螺紋槽泵部Ps的詳細結構》，在圖1的複合泵Pl中，轉子6的大致中間位置的下遊(從轉子6的大致中間位置到轉子6的氣體排氣口 3側端部的範圍，以下也同樣)作為螺紋槽泵部Ps發揮功能。螺紋槽泵部Ps的詳細結構如以下所述。
[0057]比轉子6的大致中間靠下遊一側的轉子6結構部分、即第2圓筒部件62是作為螺紋槽泵部Ps的旋轉部件旋轉的部分，在該第2的圓筒部件62的外周，作為螺紋槽泵部定子設有筒狀的固定部件18，該筒狀的固定部件(螺紋槽泵部定子)18為包圍在第2圓筒部件62的外周的構造。另外，前述固定部件18的下端部由泵座IB支撐。
[0058]在固定部件18與第2圓筒部件62之間設有螺旋狀的螺紋槽泵流路S。在圖1的例子中，採用了通過使第2圓筒部件62的外周面為沒有凹凸的曲面，並且在固定部件18的內表面一側形成螺旋狀的螺紋槽19，在第2圓筒部件62與固定部件18之間形成螺紋槽泵流路S的結構。也可以取代這種結構，而構成為通過將這種螺紋槽19形成在第2圓筒部件62的外周面上，並且使固定部件18的內表面為沒有凹凸的曲面，在第2圓筒部件62與固定部件18之間形成螺紋槽泵流路S。
[0059]前述螺紋槽19形成為向其深度朝向下方而小直徑化的圓錐形狀變化。此外，前述螺紋槽19從固定部件18的上端螺旋狀地刻設到下端。
[0060]在該螺紋槽泵部Ps中，為了通過螺紋槽19與第2圓筒部件62外周面的牽引效果而一邊將氣體壓縮一邊移送，所以螺紋槽19的深度設定成在螺紋槽泵流路S的上遊入口一偵U(靠近氣體吸氣口 2的流路開口端)最深，在其下遊出口一側(靠近氣體排氣口 3的流路開口端)最淺。
[0061]如《螺紋槽泵部Ps的動作說明》之前的《翼排氣部Pt的動作說明》一欄中所說明的那樣，到達了螺紋槽泵部Ps的上遊一側的氣體分子進一步向螺紋槽泵流路S轉移。轉移的氣體分子通過第2圓筒部件62的旋轉產生的效果、即第2圓筒部件62外周面與螺紋槽19的牽引效果，從過渡流壓縮成粘性流，並朝向氣體排氣口 3轉移，最終通過未圖示的輔助泵向外部排氣。
[0062]在上述結構的真空泵Pl中，本發明所涉及的該實施例的真空泵用零件適用於作為螺紋槽泵部Ps的結構部分的第2圓筒部件62。
[0063]圖2是將構成圖1所示的真空泵的螺紋槽泵部Ps的第2圓筒部件62拔出後表示的立體圖，圖3表示圖2所示的FRP制的圓筒中A表示的部分截面的放大圖，是說明本發明所涉及的除去加工工序、粗面化工序的附圖。
[0064]在圖1所示的真空泵中，構成螺紋槽泵部Ps的第2圓筒部件62在該實施例中是由強化材料例如使用碳纖維、母材主要使用環氧樹脂的纖維強化複合材料形成。
[0065]在這種情況下，作為強化材料的強化纖維621如圖3 (A)所示，沿著該第2圓筒部件62的圓周方向卷繞多層。而且，由於該強化纖維621的卷繞不均勻，該第2圓筒部件62的表面不是平坦的，產生了些許的起伏。
[0066]此外，由於該實施例的第2圓筒部件62是通過加熱、加圧成型而形成的，所以在脫模時，如圖3 (A)所示，在其表面上例如形成有附著或熔入了矽系的脫模劑的脫模劑層622。
[0067]該脫模劑層622的存在降低了之後進行的作為塗層處理的無電鍍處理形成的例如由鎳合金構成的鍍層的密接度。
[0068]因此，在該實施例的第2圓筒部件62上，首先執行圖3(A)所示的除去含有脫模劑層622的表面部分的除去加工工序。另外，圖3 (B)表示含有脫模劑層622的表面部分除去後的狀態，實線所示的面623表示了含有脫模劑層622的表面部分除去後的該第2圓筒部件62的外形面(表面)，點劃線所示的面624表示了含有脫模劑層622的表面部分除去前的該第2圓筒部件62的外形面。
[0069]在該除去加工工序中，含有脫模劑層622的表面部分的除去量必須嚴格地管理成到達強化纖維621而不會切斷大量的強化纖維621。例如，在該除去加工工序中，若含有脫模劑層622的表面部分的除去量到達強化纖維621，並對強化纖維621帶來損壞，則強化纖維621以該部分為起點剝落並飛散，在這種真空泵中產生重大的不良情況。
[0070]為此，該除去加工工序通過以下所示的某一種方法進行。
[0071]A -1)通過藥品將含有脫模劑層622的表面部分溶解並除去。
[0072]作為在此使用的藥品，能夠使用三彩化工制的「脫矽」、日動化學工業制的「斷矽」、金子化學制的「樹脂溶解劑纖維素溶劑21系列」等有機溶劑、鉻酸、高錳酸等。
[0073]A- 2)通過使用在具有柔軟性的基材上固著有磨粒的研磨材料對表面進行研磨，從而除去含有脫模劑層622的表面部分。
[0074]在此，作為在具有柔軟性的基材上固著有磨粒的研磨材料，能夠使用I)在海綿表面粘接有磨粒的研磨材料，2)在尼龍無紡布上粘接與磨粒的研磨材料，3)將粘接有磨粒的尼龍線綑紮而成的刷子，4)由加有狹縫的磨粒粘接研磨布構成的紗布輪等。此外，作為在此使用的磨粒，優選從# 240以上的磨粒選擇，例如使用# 600的磨粒。
[0075]A — 3)通過在具有柔軟性的基材上塗敷磨粒並對表面進行研磨，從而除去含有脫模劑層622的表面部分。
[0076]該方法為所謂拋光的方法，作為在此使用的磨粒，優選從# 240以上的磨粒選擇，例如使用# 600的磨粒。
[0077]A- 4)通過表面的噴丸加工除去含有脫模劑層622的表面部分。
[0078]在此的噴丸加工是用壓縮空氣將噴丸材料(各種研磨材料等的顆粒)吹噴在制品的表面上，或者用旋轉翼連續投射的氣體噴丸的方法。另外，作為上述噴丸材料，能夠使用鋼砂、鋼丸、鋼絲球、帆土、玻璃珠、娃砂等。此外，也能夠取代上述氣體噴丸，而通過壓縮空氣將均勻地分散有細磨粒的加工液高速地吹向工作物表面吹噴的液體珩磨。
[0079]通過使用上述A — I)至A — 4)的任一種方法，即使在第2圓筒部件62的表面有些許起伏，也能夠追隨著該表面的起伏，不對強化纖維921帶來損壞地進行脫模劑層622的除去。
[0080]如圖3(B)所不，若從第2圓筒部件62的表面除去含有脫模劑層622的表面部分，則接著執行將圖3 (B)中實線所示的面623粗面化成圖3 (C)中實線所示的面625的粗面化工序。
[0081 ] 該粗面化工序通過以下所示的某一種方法進行。
[0082]B -1)通過使用在具有柔軟性的基材上固著有磨粒的研磨材料對除去了含有脫模劑層622的表面部分後的表面623進行研磨，從而使表面粗面化。
[0083]在此，作為在具有柔軟性的基材上固著有磨粒的研磨材料，與A — 2)同樣，能夠使用I)在海綿表面上粘接有磨粒的研磨材料，2)在尼龍無紡布上粘接有磨粒的研磨材料，
3)將粘接有研磨的尼龍線綑紮而成的刷子，4)由加有狹縫的磨粒粘接研磨布構成的紗布輪等。但是，作為在此使用的磨粒，優選從# 180以下的磨粒選擇，例如使用# 100的磨粒。
[0084]B - 2)通過在具有柔軟性的基材上塗敷磨粒並對除去了含有脫模劑層622的表面部分後的表面623進行研磨，從而使表面粗面化。
[0085]該方法與A — 3)同樣，是所謂拋光的方法，但作為在此使用的磨粒，優選從# 180以下的磨粒選擇，例如使用# 100的磨粒。
[0086]另外，在B — I)或者B — 2)使用的磨粒的粒徑優選使用為在A — 2)或者A — 3)使用的磨粒的粒徑的3倍以上的粒徑。
[0087]B - 3)通過除去了含有脫模劑層622的表面部分後的表面623的噴丸加工，從而使表面粗面化。
[0088]該方法與A — 4)同樣，但在此優選使用粒徑為在A — 4)的噴丸加工使用的噴丸材料的粒徑的3倍以上的噴丸材料。
[0089]通過使用上述B — I)至B — 3)的任一種方法，有效地在第2圓筒部件62的表面上形成圖3 (C)的面625所示的凹凸而被粗面化。
[0090]在該粗面化後的圖3 (C)中實線所示的第2圓筒部件62的面625上，如圖3 (D)所示，通過無電鍍形成作為塗層層的鍍層626。
[0091]該鍍層626通過形成在面625上的凹凸產生的錨固效果而被強力地密接在第2圓筒部件62的表面上。
[0092]另外，在上述說明中，作為除去加工工序表示了 A — I)至A — 4)這四種方法，作為粗面化工序表示了 B — I)至B — 3)這三種方法，但也能夠是上述四種除去加工工序的方法A — I)至A — 4)的某一種與上述三種粗面化工序的方法B — I)至B — 3)的某一種的任意組合。
[0093]此外，在上述實施例中，作為塗層層的覆膜，表示了形成無電鍍的鍍層626的情況，但也可以通過塗裝等形成作為塗層層的覆膜。
[0094]另外，在上述實施例中，表示了本發明在具有翼排氣部Pt和螺紋槽泵部Ps的複合型真空泵中的適用情況，但本發明也同樣能夠適用於僅由螺紋槽泵構成的真空泵中。
[0095]圖4是適用本發明的其它真空泵P2的剖視圖。
[0096]該圖的真空泵P2為省略了圖1的真空泵Pl中的翼排氣部Pt的形式，作為基本的結構，具備:圓形部件60，驅動圓形部件60繞其中心旋轉的驅動機構(具體地說是由轉子軸5，徑向磁力軸承10、10及軸向磁力軸承11，驅動馬達12構成的泵支撐系統、旋轉驅動系統)，接合在圓形部件60的外周的圓筒部件62，包圍在圓筒部件62的外周、作為螺紋槽泵部定子的固定部件18，以及形成在圓筒部件62與固定部件18之間的螺紋槽泵流路S，由於通過圓形部件60及圓筒部件62的旋轉，通過螺紋槽泵流路S對氣體進行排氣與圖1的複合泵Pl同樣，所以對於相同部件賦予相同的附圖標記，省略其詳細說明。
[0097]另外，由圓形部件60和圓筒部件62構成的轉子6以與圖1的轉子6同樣的構造與轉子軸5 —體化。
[0098]相對於該圖4所示的真空泵P2的圓筒部件62，與圖1所示的第2圓筒部件62同樣，也能夠適用本發明。
[0099]本發明並不僅限於上述的實施方式，只要是在本發明的技術構思的範圍內，根據本領域技術人員的通常的創造能力能夠進行更多的變形。
【權利要求】
1.一種真空泵用零件，是具備覆膜的纖維強化複合材料，其特徵在於，前述覆膜是至少經過除去前述纖維強化複合材料的表面部分的除去加工工序，和使前述纖維強化複合材料的表面粗面化的粗面化工序形成的。
2.如權利要求1所述的真空泵用零件，其特徵在於，前述除去加工工序包含通過藥品將前述纖維強化複合材料溶解，從而除去前述表面部分的處理。
3.如權利要求1所述的真空泵用零件，其特徵在於，前述除去加工工序包含通過使用在具有柔軟性的基材上固接有磨粒的研磨材料對前述纖維強化複合材料進行研磨，從而除去前述表面部分的處理。
4.如權利要求1所述的真空泵用零件，其特徵在於，前述除去加工工序包含通過在具有柔軟性的基材上塗敷磨粒並對前述纖維強化複合材料進行研磨，從而除去前述表面部分的處理。
5.如權利要求1所述的真空泵用零件，其特徵在於，前述除去加工工序包含通過對前述纖維強化複合材料進行噴丸加工，從而除去前述表面部分的處理。
6.如權利要求1至5中任一項所述的真空泵用零件，其特徵在於，前述粗面化工序包含通過使用在具有柔軟性的基材上固接有磨粒的研磨材料對除去了前述表面部分後的前述纖維強化複合材料進行研磨，從而使前述表面粗面化的處理。
7.如權利要求1至5中任一項所述的真空泵用零件，其特徵在於，前述粗面化工序包含通過在具有柔軟性的基材上塗敷磨粒並對除去了前述表面部分後的前述纖維強化複合材料進行研磨，從而使前述表面粗面化的處理。
8.如權利要求1至5中任一項所述的真空泵用零件，其特徵在於，前述粗面化工序包含通過對除去了前述表面部分後的前述纖維強化複合材料進行噴丸加工，從而使前述表面粗面化的處理。
9.如權利要求1所述的真空泵用零件，其特徵在於，前述除去加工工序包含通過使用在具有柔軟性的基材上固接有磨粒的研磨材料對前述纖維強化複合材料進行研磨，從而除去前述表面部分的處理，或者通過在具有柔軟性的基材上塗敷磨粒並對前述纖維強化複合材料進行研磨，從而除去前述表面部分的處理，前述粗面化工序包含通過使用在具有柔軟性的基材上固接有磨粒的研磨材料對除去了前述表面部分後的前述纖維強化複合材料進行研磨，從而使前述表面粗面化的處理，或者通過在具有柔軟性的基材上塗敷磨粒並對除去了前述表面部分後的前述纖維強化複合材料進行研磨，從而使前述表面粗面化的處理，前述粗面化工序使用的前述磨粒粒徑為在前述除去加工工序中使用的前述磨粒的粒徑的3倍以上。
10.如權利要求1所述的真空泵用零件，其特徵在於，前述除去加工工序包含通過對前述纖維強化複合材料進行噴丸加工，從而除去前述表面部分的處理，前述粗面化工序包含通過對除去了前述表面部分後的前述纖維強化複合材料進行噴丸加工，從而使前述表面粗面化的處理，在前述粗面化工序的前述噴丸加工中使用的噴丸材料的粒徑為在前述除去加工工序的前述噴丸加工中使用的噴丸材料的粒徑的3倍以上。
11.一種在真空泵中使用的轉子，其特徵在於，具備前述權利要求1至10中任一項所述的真空泵用零件。
12.—種真空泵，其特徵在於，具備前述權利要求1至10中任一項所述的真空泵用零 件。
【文檔編號】F04D19/04GK104471254SQ201380039323
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2013年7月24日 優先權日:2012年8月1日
【發明者】樺澤剛志, 野中學 申請人:埃地沃茲日本有限公司