一種lpcvd工藝中的冷卻腔傳輸系統的製作方法
2023-06-15 07:14:16
專利名稱：一種lpcvd工藝中的冷卻腔傳輸系統的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統，具體地講是涉及一種降低玻璃破碎率的LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統。
背景技術：
光伏應用的未來市場發展，特別是用於與電網相連的光伏電廠的應用，關鍵取決於降低太陽能電池生產成本的潛力。薄膜太陽能電池生產過程能耗低，具備大幅度降低原材料和製造成本的潛力；同時，薄膜太陽能電池在弱光條件下仍可發電。因此，目前市場對薄膜太陽能電池的需求正逐漸增長，而製造薄膜太陽能電池的技術更成為近年來的研究熱點。ZnO是一種N型直接帶隙半導體材料，室溫下禁帶寬度Eg為3. 37eV。由於其原材 料豐富且無毒，具有高電導和高透過率，並且在H等離子體環境中性能穩定，因此，在太陽能電池領域，ZnO作為透明導電氧化物薄膜可進一步提高Si薄膜太陽能電池的效率和穩定性，加快產業化進程。作為陷光結構的絨面ZnO薄膜前電極和背反射電極顯得尤為重要。ZnO的生長方法有很多，包括脈衝雷射沉積、低壓金屬有機物化學氣相沉積、射頻/中頻/直流濺射、電子束和熱反應蒸發、等離子體化學氣相沉積、噴霧熱分解和溶膠-凝膠法等。近年來，以玻璃為基板材料的非晶矽薄膜太陽能電池憑藉其成本低廉、工藝成熟、應用範圍廣泛等優勢，逐漸從各種類型的薄膜太陽能電池中脫穎而出。其中較為成熟的是低壓化學氣相沉積工藝，該工藝要求低壓真空環境和一定的加熱反應溫度，反應溫度是薄膜生長的重中之重。在ZnO的工藝中，ZnO反應的溫度為200°C，故玻璃基板在加熱腔已經進行預熱到200°C左右，在進入工藝氣體反應腔後，放置在加熱板上保持溫度，在整個工藝沉積的過程中，溫度一直維持在設定溫度不變，當玻璃基板完成氣體沉積後被傳送系統傳輸到冷卻腔進行冷卻。在現有技術中，冷卻腔的傳輸系統是由6組傳動滾輪組成的，如圖I所示1為帶動滾輪轉動的電機，2為傳動滾輪，這6組傳動滾輪均勻排步在腔室內部。由於玻璃基板材質的特殊性，當玻璃前端離開第一組滾輪在到達第二組滾輪之前，玻璃基板前端部分在重力的作用下發生形變下垂。同時玻璃基板後端在傳送過程中，在剛剛離開滾輪支撐時同樣會在重力的作用下發生形變下垂。眾所周知玻璃在由高溫向低溫轉變的過程中，玻璃內部的應力會有相應變化，如溫度變化過於劇烈，會導致應力變化而造成玻璃的破碎。故在生產製造時應使玻璃冷卻的過程的時間加長，避免溫度變化的過於劇烈。同時玻璃本身的形變也會增加玻璃破損的概率，現有的技術中，玻璃在冷卻的過程中，溫度變化導致內部應力的變化還要疊加上玻璃自身的形變，這會導致玻璃基板在冷卻腔室冷卻的過程中破損機率的增加。最關鍵的是由於滾輪傳輸裝置本身是水冷裝置，高溫玻璃在與滾輪裝置接觸時會導致玻璃基板邊沿局部溫度的劇烈變化，也會增加玻璃基板破碎的機率
實用新型內容
[0006]本實用新型提供一種LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統，簡化了結構的同時，消除了玻璃基板自身的變形以及局部溫度變化過於劇烈等導致玻璃破損的因素，降低了玻璃傳輸過程中的破碎率，提高了生產的穩定性，且易於維護。為解決上述技術問 題，本實用新型技術方案如下一種LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統，包括傳動滾輪等，傳動滾輪只有一組，該系統還包括從動滾輪和由傳動滾輪驅動的傳送皮帶，傳動滾輪和從動滾輪分別位於傳送皮帶傳送方向的兩端；傳送皮帶為兩邊各一條，各自架設於冷卻腔兩邊的傳動滾輪和從動滾輪上，保證傳送皮帶能夠勻速運轉，進而帶動玻璃勻速傳輸。所述傳送皮帶為耐至少200°C高溫的皮帶，可以確保玻璃邊沿與皮帶接觸不會導致皮帶壽命的降低。同時由於傳送皮帶本身是熱的不良導體，不會引起玻璃邊沿局部溫度的劇烈變化。所述傳送皮帶上還設有使傳送皮帶繃緊的裝置，優選為向下頂緊傳動皮帶下方一邊的滾軸，可以設於傳送皮帶的中間部位，這樣將皮帶下方一邊拉緊後，可以保證皮帶上方一邊保持緊繃狀態，使其與玻璃接觸時不至於出現玻璃受力不均勻的情況。同時，該裝置的另一功能為可以方便皮帶的拆卸。所述皮帶外側固定有傳輸導向裝置，可以選擇為擋板，用於玻璃在傳送的過程中限制其兩側的運動軌跡，避免傳歪而導致玻璃基板碰撞破碎。所述傳輸導向裝置上開有供冷卻腔室外部的電機與傳動滾輪連接的孔，方便電機與傳動滾輪之間的傳動。本實用新型提供的LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統，通過用皮帶傳輸結構替代了傳統的多組滾輪傳輸結構，簡化了結構的同時，消除了玻璃基板自身的變形以及局部溫度變化過於劇烈等導致玻璃破損的因素，降低了玻璃傳輸過程中的破碎率，提高了生產的穩定性，且易於維護。
圖I是現有技術的冷卻腔室傳輸系統結構示意圖；圖2是本實用新型的冷卻腔室滾輪傳輸系統的立體結構示意圖；圖3是本實用新型的冷卻腔室滾輪傳輸系統的俯視結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖和具體實施方式
對本實用新型作進一步詳細的說明。實施例I一種LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統，如圖2、3所示，包括一組傳動滾輪2，還包括從動滾輪5和由傳動滾輪2驅動的傳送皮帶3，傳動滾輪2和從動滾輪5分別位於傳送皮帶3傳送方向的兩端；傳送皮帶3為兩邊各一條，各自架設於冷卻腔兩邊的傳動滾輪2和從動滾輪5上,保證傳送皮帶3能夠勻速運轉,進而帶動玻璃勻速傳輸。所述傳送皮帶3為耐200°C高溫的皮帶，可以確保玻璃邊沿與皮帶接觸不會導致皮帶壽命的降低。同時由於傳送皮帶3本身是熱的不良導體，不會引起玻璃邊沿局部溫度的劇烈變化。[0021]所述傳送皮帶3上還設有向下頂緊傳動皮帶3下方一邊的滾軸4，設於傳送皮帶3的中間部位，用於繃緊皮帶，這樣將皮帶下方一邊拉緊後，可以保證皮帶上方一邊保持緊繃狀態，使其與玻璃接觸時不至於出現玻璃受力不均勻的情況。所述傳送皮帶3外側固定有擋板6，用於玻璃在傳送的過程中限制其在兩側的運動軌跡，避免傳歪而導致玻璃基板碰撞破碎。擋板6上開有供冷卻腔室外部的電機I與傳動滾輪2連接的孔，方便電機I與傳動滾輪2之間的傳動。
權利要求1.一種LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統，包括傳動滾輪，其特徵在於傳動滾輪只有一組，該系統還包括從動滾輪和由傳動滾輪驅動的傳送皮帶，傳動滾輪和從動滾輪分別位於傳送皮帶傳送方向的兩端。
2.根據權利要求I所述的LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統，其特徵在於所述傳送皮帶為耐至少200°C高溫的皮帶。
3.根據權利要求I或2所述的LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統，其特徵在於所述傳送皮帶為兩邊各一條，各自架設於冷卻腔兩邊的傳動滾輪和從動滾輪上。
4.根據權利要求I所述的LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統，其特徵在於所述傳送皮帶上還設有使傳送皮帶繃緊的裝置。
5.根據權利要求4所述的LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統,其特徵在於所述使傳送皮帶繃緊的裝置設於傳送皮帶的中間部位。
6.根據權利要求5所述的LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統,其特徵在於所述傳送皮帶繃緊的裝置為向下頂緊傳動皮帶下方一邊的滾軸。
7.根據權利要求I所述的LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統，其特徵在於所述皮帶外側固定有傳輸導向裝置。
8.根據權利要求7所述的LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統,其特徵在於所述傳輸導向裝置上開有供冷卻腔室外部的傳動電機與傳動滾輪連接的孔。
9.根據權利要求7或8所述的LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統,其特徵在於所述傳輸導向裝置為擋板。
專利摘要本實用新型涉及一種LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統，具體地講是涉及一種降低玻璃破碎率的LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統。該系統包括一組傳動滾輪，還包括從動滾輪和由傳動滾輪驅動的傳送皮帶，傳動滾輪和從動滾輪分別位於傳送皮帶傳送方向的兩端。該系統簡化了結構的同時，消除了玻璃基板自身的變形以及局部溫度變化過於劇烈等兩個導致玻璃破損的因素，降低了玻璃傳輸過程中的破碎率，提高了生產的穩定性，且易於維護。
文檔編號C23C16/44GK202380078SQ20112053520
公開日2012年8月15日 申請日期2011年12月20日 優先權日2011年12月20日
發明者吳國發, 彭侃, 辛科 申請人:漢能科技有限公司