光學元件操縱儀的製作方法

2023-06-10 20:22:21 2

專利名稱：光學元件操縱儀的製作方法
技術領域：
本發明涉及到光學元件操縱儀，其通過至少三個調節裝置在相對於結構多達六個自由度上操縱光學元件。本發明還涉及到直接連結光學元件或光學組件的調節裝置。本發明也涉及到通過至少三個調節裝置在相對於結構多達六個自由度上操縱光學組件的儀器。此外，本發明還涉及到由力控制的調節器以及由力控制的調節裝置。
從EP 1 312 965 A1人們知道了通過至少三個調節裝置在相對於結構多達六個自由度上操縱光學元件的儀器。
光學元件，特別是鏡子，主要在三個自由度進行操縱，而壓電致動器例如就用於這一目的。
US 5,986,827公開了一種三自由度光學元件操縱儀。
但是，有些特殊應用，諸如在投影照明系統，尤其在EUVL範圍內光學元件，光學組件或晶片臺的精確定位則要求多達六個自由度(既有沿xyz的直線運動又有繞xyz軸的轉動)的操縱或定位操作，同時還要有很高的精度。
人們知道在多達六個自由度上阻尼光學元件的受阻尼的力控制調節器，並稱其為複合調節器。Porter Davis等在「Second GenerationHybrid D-Strut」(第二代複合D-支撐)一文中，Honeywell麻省理工學院；SPIE新式結構和材料會議，1995.2.加利福尼亞州，聖地牙哥，說明了這樣的複合調節器。在那裡含阻尼系統的勞倫茲力調節器構成了複合調節器。其中還說明了在六架配置中這些複合調節器的排列。在這種配置集中在有源阻尼問題的同時，本發明所涉及的調節器或調節系統使得幾乎沒有附加力傳遞到由調節器或調節系統所支持或調節的光學元件。
表達的自由度應當在機械含義上加以理解，因此剛性物體之影象運動的每種可能性都用一個單獨的坐標來加以描述，這個坐標就代表了相關的自由度。如已經提到的直線運動和轉動就是自由度的實例。
沿一個自由度產生移動的調節器，特別是壓電致動器，通常都與光學元件或光學組件相連結來用於操縱。這種連結在作用力的方向上必須是剛性的而在其餘的自由度上必須近似於無剛性，因為壓電致動器在作用方向上產生的是位移力。在高精度應用中，通常是藉助固體元件來達到這點，這就會引起一些不希望的附加力。因此另外還需要套筒用作補償之用，以便防止畸變被傳輸到光學元件或光學組件。諸如此類的中間元件大大地降低了精確操縱所需之支承的高剛度，這樣其中不利的結果就不能夠達到上面所要求的位置精度。
關於現有技術，請參閱EP 1 001 512 A2，它公開了力控制調節器，特別是勞倫茲力調節器。那裡所說明的勞倫茲力調節器有產生磁場的永久磁鐵、磁場中設置其中有電流流過的元件。利用得到的勞倫茲力在勞倫茲力調節器的移動部件之間產生移動或力。
本發明以提供開始所提型式的儀器為目標，該儀器能夠在多達六個自由度上對光學元件或組件進行精確的操作，目的是儘可能地防止引起不希望的畸變。
根據本發明，通過使調節裝置每個都有至少兩個力控制調節器，每個調節器沿一個自由度產生出作用力，而且調節裝置的連結點直接作用在光學元件上而達到了這一目標。
調節裝置之調節器的作用力最好指向光學元件不同自由度的方向。由調節器作用力所產生的調節裝置的這種作用力可以在由調節器作用力限定的平面內通過調節調節裝置之調節器的各自作用力加以調節。
此外，在調節裝置與光學元件之間連結點上從調節裝置到光學元件的作用力(由調節裝置之調節器所引起的)幾乎不存在與該作用力相垂直的力。這是因為在這個自由度上剛度幾乎趨於零。但是，在由調節裝置之調節器所引起的作用力方向上則存在最大的剛度。為了達到所說的剛度條件，根據本發明的調節器使用力控制調節器，它在一個自由度上產生作用力。這種調節器包括第一和第二元件。元件彼此相互可移動，而且第一元件與第二元件在機械上是斷開的，所以在第一與第二元件之間只是氣體或真空。
這種力控制調節器最好是基於勞倫茲力的調節器，其幾乎不引起剛度，而且在元件間幾乎沒有阻尼。這種情況的優點是，除了在調節器相應自由度上的受控力，例如由磁場方向和大小及電流方向和大小所限定的勞倫茲力之外，幾乎沒有其他力從第一元件傳輸到第二元件。
為了構成根據本發明的調節裝置，如上所述的第一力控制調節器的元件通過一耦合元件耦合到同樣型式的第二力控制調節器的元件上。耦合元件也可以為光學元件或其部件，意思是指調節裝置的每個調節器至少用第一或第二元件之一耦合到光學元件上。換句話說，耦合元件被直接耦合到光學元件上，而調節裝置的每個調節器則至少用其第一或第二元件之一在機械上耦合到該耦合元件上。
在根據本發明的調節裝置中，耦合元件3沿至少一個自由度移動，如果至少一個力控制調節器被啟動的話。如果調節裝置的兩個力控制調節器都被啟動的話，最好是耦合元件可沿兩個自由度移動。
另外，調節裝置的連結點可以使調節裝置之調節器的移動部件直接接觸光學元件。此外，如所提到的那樣，耦合元件為光學元件。接觸最好做成這樣即其基本上為像點一樣的接觸，意思是說調節裝置的所有調節器都作用在光學元件的同一點上。不過，還有其他接觸幾何形狀也同樣是可能的，這樣調節裝置的這些調節器就作用在光學器件的不同點上。如果調節裝置中有不止兩個調節器，則可進行組合，使得一些調節器可以作用在光學元件的同一點上，而其他調節器則作用在光學元件的其他點上。如所提到的那樣，除此之外，調節裝置的這些調節器或至少一個調節器還可以通過一獨立的耦合元件作用到光學元件上，此獨立的耦合元件為調節裝置的一部分，其包括或構成了調節裝置到光學元件的連結點。最好是耦合元件與兩個調節器相連接，這樣光學元件(由調節器引起的)移動就能夠在由調節裝置之兩個調節器的自由度所限定的空間(通常為由所有自由度限定之空間的子空間)內進行。獨立耦合元件具有在調節裝置與光學元件之間形成更像點一樣的連結點的優點。
另外，根據本發明，其目的也通過權利要求2和18來達到。關於調節裝置，此目的通過權利要求33達到。
根據本發明的措施對光學元件或光學組件提供了在多達六個自由度上的精確而快速的操縱能力。使用力控制調節器，其基本上能夠使與作用力方向不同的其餘自由度保持不變，意味著不需要任何中間的撓性元件或套筒來補償附加力，從而增加了設備例如在作用力方向上的總的剛度並提高了位置精度。
本發明還提供了要設置的三個調節裝置，每個調節裝置有至少兩個力控制調節器，每個調節器允許有一個自由度。
調節裝置最好彼此相對排列使得至少兩個調節裝置的自由度對由不同調節裝置所給出的至少兩個自由度是線性無關的。這些措施的結果是使得光學元件以有利的方式固定在允許沿多達六個自由度進行操縱或定位的設備內。光學元件在這種情況就不用附加的套筒進行固定，也就是說調節裝置直接作用在光學元件上。
每個調節裝置都有重力補償裝置是有利的。
當沒有電流流過時，在力控制調節器移動部件中就沒有力產生。這就是一個問題，特別是在調節器必須承受對象重力的應用中的一個問題，因為對此應用要求永久有電流流動，因而還連續生熱。這對在熱敏儀器中的應用是極為不利的。重力補償避免了力控制調節器比如說承載光學元件全部質量的調節器必須在其中永久有電流流過的問題。這就有利地減少了功率損耗並降低了所生成的熱能。
在本發明的一項研發中，還能夠為由調節裝置的連結點所覆蓋的平面至少近似地落在光學元件的中面上提供保證。最好連結點限定的平面要靠近中面。這些平面最好排列成這樣使平面在光學元件內的最大距離小於光學元件最大厚度的20％。
在剛性物體例如光學元件內部或外部的表面或面稱之為中面，在中面內力和動量的引入—例如藉助操縱裝置等—對光學表面引起的畸變最小。類似地，例如在工件被彎曲時工件內沒有應力的工作纖維被稱之為中間纖維。與此相反，外側和內側纖維在彎曲過程中則受到拉伸或壓縮。調節裝置的連結點直接地作用在—沒有任何中間套筒—光學元件上，為的是進一步改進光學元件對所引起畸變的支承或操縱能力，同時調節裝置也以有利的方式作用在光學元件的中面上。
在本發明的一種設計改進中，還可以提供用於製造的可由無源替代組件代替的調節裝置，其具有在製造階段和後繼應用匹配中的重力的方向和作用點。
由於調節裝置可以用無源替代組件所代替，光學元件甚至在製造階段也能夠根據與後繼操作期間相同的力學關係、特別是由重力對光學元件引起之畸變而進行的補償來加以設計。這就意味著操作時的重力是由作用在嚴格確定點上的力來補償的。當調節裝置用無源替代組件所代替時，重力必須再次作用在同一點上。
調節裝置之兩個力控制調節器的作用力在所有情況下都通過一公共點是有利的，而且重力補償裝置的作用力在所有情況下都通過調節裝置這兩個力控制調節器作用力的這個公共點也是有利的。
特別是，這些措施減小了所引入之動量而造成的光學元件的畸變。
對權利要求2，18和33也得到了與關於權利要求1及說明書已經說明的優點相類似的優點。
在其他相關權利要求中可以找到本發明的有利的改進和研發成果。
原則上，在下文中依據附圖將對典型的實施方案予以說明，附圖中

圖1表示出含光源、照明系統和投影物鏡的EUV投影照明系統的基本配置；圖2示出根據本發明之光學元件操縱儀的基本圖解說明；圖3示出調節裝置的基本圖解說明；圖4示出根據本發明之儀器將鏡子固定在投影物鏡外殼內時的簡化平面圖；圖5示出根據本發明之儀器固定有鏡子時的透視圖；圖6示出調節裝置的透視圖；圖7示意性地表示出力控制調節器；及圖8示意性地示出與圖3和圖4所示相似的調節裝置。
如從圖1可以看到的那樣，EUV投影照明系統1具有光源2，EUV照明系統3，其用來照亮平面4上安排有結構屏的區域，以及投影物鏡5，其使平面4中的結構屏在光敏襯底6上成象。從EP 1 278 089 A2中可了解到像這樣的EUV投影照明系統1。
在投影物鏡5中通常要求有相對於投影物鏡5的外殼8來操縱諸如鏡子7或光學組件(未圖解示出)等光學元件的能力。為此目的對與投影物鏡5之外殼8相關的鏡子7提供了與調節裝置9的適當連結(在這方面請特別參閱圖4和5)。在另一典型實施方案中，光學元件還可以相對於傳感器框架或相對於投影物鏡5的測量結構進行操縱。從DE 101 34 381 A1可了解像這樣的測量結構。
圖2以簡化形式表示出藉助三個調節裝置9在六個自由度上操縱鏡子7的情況。調節裝置9有由力控制的勞倫茲力調節器10，也就是說通過力控制迴路控制的調節器，並且每個調節器允許有一個自由度。調節器9與結構(圖2中未圖解示出)相連接。如圖3，4和5中用圖所說明的那樣，舉例來說，這一結構可以是投影照明系統1之投影物鏡5的外殼8。
圖3示出調節裝置9的基本圖解說明，其對鏡子7有一個連結點11，對結構，也就是說對投影物鏡5的外殼8有兩個連結。兩個勞倫茲力調節器10共同支持兩個自由度並用來操縱鏡子7。為了使勞倫茲力調節器10的能量損耗最小。調節裝置9另外還有重力補償裝置12，其同樣與外殼8相連結，使本典型實施方案中用於此目的的彈簧元件12作為反作用力元件以便補償鏡子7的重力。調節裝置9中出現的力通過一共同點從重力補償裝置12和兩個勞倫茲力調節器順利通過，從而使鏡子7光學表面的畸變最小，特別是在出現動量的時候。勞倫茲力調節器10都處在一個平面上，彼此呈90°角。本典型實施方案中重力補償裝置12的作用力方向與重力方向相平行，而勞倫茲力調節器10則對稱地處在重力補償裝置12的兩側。在其他典型實施方案中，例如在鏡子7傾斜配置的情況下，調節裝置9無需一定對稱。
在另一典型實施方案中的連結點11也可以在機械上與鏡子7斷開聯繫(例如藉助磁力通過力耦合來斷開)。
圖7示意性地表示出根據本發明的力控制調節器。調節器10包括第一元件10a和第二元件10b。元件10a和10b可彼此相對移動。元件10a，10b與部件A，B相連接，其中在本發明的應用中，一個部件是光學元件，而另一部件是一結構如外殼。第一和第二元件10a，10b在機械上斷開，這樣在兩個元件之間的間隙10c中只是氣體或真空。最好元件10a，10b中的一個元件包括電磁線圈10d。如果電磁線圈10d受到電流的作用，間隙10c或其一部分就發生改變，與部件A，B一起的元件10a，10b則彼此相對移動。最好間隙10c的大小使得能在x和/或z方向上達到+/-300微米的位移。
圖8示意性地表示出同一類型的兩個力控制調節器10，它們構成了根據本發明的調節裝置9。兩個調節器10均具有如關於圖7所說明的型式，但它們在機械上用耦合元件15耦合在一起。在所示的實施方案中，每個調節器10的一個元件10a與基礎結構A相連接，而兩個調節器的另一元件10b則與耦合元件15相連接。兩個調節器10的間隙10c都做成能夠使耦合元件在xz平面內的任意方向上移動例如約+/-300微米，這樣在各調節器10的第一和第二元件10a，10b之間就不存在直接接觸。
若根據圖7的調節器是勞倫茲力調節器，圖7調節器的力就作用在z方向上。通常必須有支承將這種可移動元件如元件10b固定在yz平面內，此平面與移動方向相垂直。根據本發明的支承不是機械的。因為力控制調節器10的第一和第二元件10a，10b在機械上被斷開了。支承最好是電磁力或磁力支承。
在圖8的調節裝置9中，如果兩個調節器為例如如關於圖7所述的勞倫茲力型調節器，那麼在xz平面(由構成調節裝置的兩個力控制調製器的力所限定的平面)內的耦合元件15(其本身也可能是光學元件)的支承就是通過磁力支承實現的。但是，在yz平面(與構成調節裝置的兩個力控制調節器的力所限定的平面相垂直的平面)中不存在支承，若支承磁鐵也用於此方向則除外。這樣力控制調節器10的第一和第二元件10a，10b在機械上就是斷開的。代替或除了yz平面中的磁力支承以外，還可以把第三個力控制調節器與耦合元件15相連接。這個第三調節器設置在除xz平面(由構成調節裝置的兩個力控制調節器的力所限定的平面)以外的平面內。由於這樣的設置，耦合元件(其可以是光學元件)可以在沒有機械支承的情況下而被支承住並可在五個自由度上移動。
圖4表示出根據本發明投影物鏡5外殼8內鏡子7所用支承的簡化平面圖。鏡子7藉助三個調節裝置9進行操縱，每個調節裝置相對於外殼8有兩個自由度。調節裝置9用虛線表示。因為如從圖5可看到的那樣，它們設置在鏡子7底下。調節裝置9繞鏡子7圓周以120°的均勻間隔排列分布。由調節裝置9其中之一的各個力控制調節器10所覆蓋的三個平面最好是與重力平行但並非必須與重力平行，並且在平面圖中看時，它們形成了一個三角形(由圖4中調節裝置9的虛線延長線所示出)。最好如對圖8所說明的那樣來構成調節裝置。
圖5表示出圖4所示儀器的透視圖。由調節裝置9之連結點11所覆蓋的平面有利地落在鏡子7的中面上，從而減小了鏡子表面的畸變。在這一實施方案中，由於使用了三個調節裝置用於光學元件7的支承，有利的是在力控制調節器的固定元件與流動元件之間沒有機械耦合或連接。此外，重要的是還要說明，在圖4的實施方案中，由於使用三個調節裝置9，除了在力控制調節裝置9的作用力方向上有剛性之外幾乎沒有剛性和阻尼。
圖6表示出具有勞倫茲力調節器10和重力補償彈簧12的調節裝置9的透視圖。調節裝置9在連結點11(見圖4)與鏡子7相連接。如對圖8所說明的那樣可在耦合元件15上形成連結點11。
此外，鏡子7的位置藉助傳感器(未予圖解說明)加以確定。
在製造階段可以使用無源替代組件以便能夠在與後續操作期間相同的力學關係下設計鏡子7，並且能夠對由重力而引起的鏡子畸變作出補償(未予圖解說明)。
權利要求
1.光學元件操縱儀，其通過至少三個調節裝置在對結構多達六個自由度上可操縱光學元件，其中調節裝置(9)每個有至少兩個力控制調節器(10)，每個力控制調節器在一個自由度上產生作用力，調節裝置(9)的連結點(11)則直接作用在光學元件(7)上。
2.光學元件操縱儀，其通過至少三個調節裝置在對結構多達六個自由度上可操縱光學元件，其中調節裝置(9)的連結點(11)直接作用在光學元件(7)上，光學元件(7)上由調節裝置(9)之連結點(11)所覆蓋的平面至少近似地落在光學元件(7)的中面上。
3.按權利要求1或2所要求的光學元件操縱儀，其中設置三個調節裝置(9)。
4.按權利要求2或3所要求的光學元件操縱儀，其中調節裝置(9)每個都有至少兩個力控制調節器(10)，每個調節器沿一個自由度產生作用力。
5.按權利要求1-4其中之一所要求的光學元件操縱儀，其中調節裝置(9)的該至少兩個力控制調節器(10)在所有情況下都排列在一平面內彼此相互成近似60°-120°的角度，最好是90°。
6.按權利要求1-5其中之一所要求的光學元件操縱儀，其中調節裝置(9)每個都有重力補償裝置(12)作為反作用力元件以補償光學元件(7)的重力。
7.按權利要求1，3-6其中之一所要求的光學元件操縱儀，其中由調節裝置(9)的各個力控制調節器(10)所覆蓋的三個平面與重力相平行，並在與重力平行的投影中形成一個三角形。
8.按權利要求1-7其中之一所要求的光學元件操縱儀，其中調節裝置(9)繞光學元件(7)每隔一定間隔、最好以三個120°的間隔基本上均勻地進行排列。
9.按權利要求1，3-8其中之一所要求的光學元件操縱儀，其中由光學元件(7)上調節裝置(9)的連結點(11)所覆蓋的平面至少近似地落在光學元件(7)的中面上。
10.按權利要求1，3-9其中之一所要求的光學元件操縱儀，其中調節裝置(9)的該至少兩個力控制調節器(10)的作用力在所有情況下都通過一共同點，最好是光學元件(7)上的一個共同點。
11.按權利要求6-10其中之一所要求的光學元件操縱儀，其中重力補償裝置(12)的作用力與重力基本上平行，並且最好在所有情況下都通過調節裝置(9)的該兩個力控制調節器(10)之作用力的共同點。
12.按權利要求6-11其中之一所要求的光學元件操縱儀，其中在所有情況下調節裝置(9)的該至少兩個力控制調節器(10)的作用力和/或重力補償裝置(12)在機械上與光學元件(7)斷開，最好是通過磁力斷開。
13.按權利要求1-12其中之一所要求的光學元件操縱儀，其中設置有傳感器來確定光學元件(7)的位置。
14.按權利要求1-13其中之一所要求的光學元件操縱儀，其中出於製造應用的目的，調節裝置(9)可以用具有在製造階段和後續應用匹配中力的方向和作用點的無源替代組件來代替。
15.按權利要求1，3-14其中之一所要求的光學元件操縱儀，其中力控制調節器呈電磁力或靜磁力、特別是勞倫茲力調節器(10)的形式。
16.按權利要求1-15其中之一所要求的儀器，其中光學元件呈鏡子(7)的形式。
17.按權利要求1-16其中之一所要求的光學元件操縱儀，其中結構為投影物鏡(5)的外殼(8)或傳感器框架，特別是用於用微光刻生產EUV範圍內半導體器件的投影照明系統(1)的外殼(8)或傳感器框架。
18.光學組件操縱儀，其通過至少三個調節裝置在對結構多達六個自由度上可操縱光學組件，其中調節裝置(9)每個有至少兩個力控制調節器(10)，每個力控制調節器在一個自由度上產生作用力。
19.按權利要求18中所要求的光學組件操縱儀，其中設置三個調節裝置(9)。
20.按權利要求18或19所要求的光學組件操縱儀，其中調節裝置(9)的該至少兩個力控制調節器(10)在所有情況下都排列在一平面內彼此相互成近似60°-120°的角度，最好是90°。
21.按權利要求18，19或20其中之一所要求的光學組件操縱儀，其中調節裝置(9)每個都有重力補償裝置(12)作為反作用力元件以補償光學組件的重力。
22.按權利要求18-21其中之一所要求的光學組件操縱儀，其中由調節裝置(9)的各個力控制調節器(10)所覆蓋的三個平面與重力相平行，並在與重力平行的投影中形成一個三角形。
23.按權利要求18-22其中之一所要求的光學組件操縱儀，其中調節裝置(9)繞光學組件每隔一定間隔、最好以三個120°的間隔基本上均勻地進行排列。
24.按權利要求18-23其中之一所要求的光學組件操縱儀，其中調節裝置(9)的該至少兩個力控制調節器(10)的作用力在所有情況下都通過一個共同點、最好是光學組件上的一個共同點。
25.按權利要求18-24其中之一所要求的光學組件操縱儀，其中重力補償裝置(12)的作用力與重力基本上平行，並且最好在所有情況下都通過調節裝置(9)的該兩個力控制調節器(10)之作用力的共同點。
26.按權利要求18-25其中之一所要求的光學組件操縱儀，其中在所有情況下調節裝置(9)的該至少兩個力控制調節器(10)的作用力和/或重力補償裝置(12)在機械上與光學組件斷開，最好是通過磁力斷開。
27.按權利要求8-26其中之一所要求的光學組件操縱儀，其中設置傳感器來確定光學組件的位置。
28.按權利要求18-27其中之一所要求的光學組件操縱儀，其中出於製造應用的目的，調節裝置(9)可以用具有在製造階段和後續應用匹配中力的方向和作用點的無源替代組件來代替。
29.按權利要求18-28其中之一所要求的光學組件操縱儀，其中力控制調節器呈電磁力或靜磁力、特別是勞倫茲力調節器(10)的形式。
30.按權利要求18-29其中之一所要求的光學組件操縱儀，其中該結構為投影物鏡(5)的外殼(8)或傳感器框架，特別是用於用微光刻生產EUV範圍內半導體器件的投影照明系統(1)的外殼(8)或傳感器框架。
31.按權利要求18-30其中之一所要求的光學組件操縱儀，其中光學組件具有至少一個光學元件和至少一個套筒元件。
32.投影物鏡(5)，特別是用於用微光刻生產EUV範圍內半導體器件的投影照明系統(1)，其具有兩個或多個排列在外殼(8)內的光學元件(7)，使至少一個光學元件(7)固定成能夠藉助權利要求1-17其中之一所要求的儀器相對於外殼(8)對其進行操縱。
33.直接將光學元件(7)或光學組件與外殼(8)相連結起來的調節裝置，其具有至少兩個力控制調節器(10)，這兩個調節器每個都沿一個自由度產生作用力並且排列在一個平面內彼此相互成近似60°-120°的角度，最好是90°。
34.按權利要求33所要求的調節裝置，其中該至少兩個力控制調節器(10)的作用力在所有情況下都通過一共同點，最好是光學元件(7)或光學組件上的一個共同點。
35.按權利要求33或34所要求的調節裝置，其特色是為補償光學元件(7)或光學組件的重力而用作反作用力元件的重力補償裝置(12)，它的作用力基本上與重力平行，並且最好通過該兩個力控制調節器(10)之作用力的公共交叉點。
36.按權利要求33，34或35所要求的調節裝置，其中光學元件(7)上的連結點(11)至少近似地落在光學元件(7)的中面上。
37.力控制調節器(10)，該力控制調節器(10)沿一個自由度產生作用力，調節器(10)包括第一元件(10a)和第二元件(10b)，它們彼此可相對移動，第一元件(10a)與第二元件(10b)在機械上斷開，這樣在第一和第二元件(10a，10b)之間只是氣體或真空。
38.根據權利要求37的第一力控制調節器(10)，其特徵在於，一個元件(10b)通過一耦合元件(15)與同一類型的第二力控制調節器(10)的元件(10b)在機械上相耦合，這兩個調節器(10)構成一調節裝置(9)。
39.權利要求38的調節裝置，其中如果啟動至少一個力控制調節器的話，耦合元件(15)可在至少一個自由度中移動。
40.權利要求39的調節裝置，其中如果啟動兩個力控制調節器的話，耦合元件(15)可在兩個自由度中移動。
41.根據權利要求33-36其中之一的調節裝置，具有根據權利要求37的力控制調節器。
42.根據權利要求1-31的光學元件操縱儀，具有根據權利要求37的力控制調節器。
43.權利要求32的投影物鏡，具有根據權利要求37的力控制調節器。
44.根據權利要求37-40其中之一的力控制調節器的應用，其應用在根據權利要求1-31的光學元件操縱儀或權利要求32的投影物鏡中。
全文摘要
本發明涉及到光學元件(7)操縱儀，其通過至少三個調節裝置(9)在相對於結構(8)多達六個自由度上來操縱光學元件(7)。調節裝置(9)每個都有至少兩個由力控制的調節器，每個調節器沿一個自由度產生作用力，而調節裝置(9)的連結點(11)則直接作用在光學元件(7)上。
文檔編號G03F7/20GK1879046SQ200480033316
公開日2006年12月13日 申請日期2004年9月7日 優先權日2003年9月12日
發明者M·米爾拜爾, J·科佩爾特 申請人:卡爾蔡司Smt股份公司