通過絲網印刷來印刷具有兩個疊加層的導體的方法

2023-05-30 04:32:11

專利名稱：通過絲網印刷來印刷具有兩個疊加層的導體的方法
技術領域：
本發明涉及用於對準絲網印刷單元的方法，其尤其適合於在光伏電池上印刷具有 雙層的收集導體(collection conductor) 0本發明還涉及執行這種方法的印刷單元，用於 生產光伏電池的單元，以及由這樣的單元生產的光伏電池和模塊。
背景技術：
光伏電池藉助於所謂的半導體材料「晶片」來製造，該半導體材料通常為矽。這種 製造特別需要在該晶片表面上形成電導體。為此，現有技術的一種方法在於通過絲網印刷 在晶片上沉積導電墨。作為變型，有其他技術用於產生這些電導體。圖1和圖2示出這種方法。絲網印刷基於使用位於要被絲網印刷的晶片1上方一 毫米量級距離處的絲網或掩模20。刮刀22在箭頭F的方向上移動，使絲網20變形到晶片 1的表面4上並施加壓力，這使一些墨21通過絲網的開孔23沉積在晶片1的表面4上預定 的點處，從而在其表面上形成窄導體2。這些導體2的的寬度通常大於開孔23的20微米量 級的寬度，如圖2中特別示出的。得到的導體2的電特性在光伏電池的最終性能中起重要作用，且對於轉換效率尤 其至關緊要。上面描述的絲網印刷方法的一個特性是，隨著時間的推移，絲網由於其重複變 形而磨損。這是因為在光伏電池的製造過程中，這樣的絲網承受高的壓力，其中該製造過程 需要每小時1200次印刷這一量級的高速度。這些壓力尤其導致絲網的逐漸變形，因此導致 印刷的圖案變形。為了克服這些缺點，已知使用基於一個或多個相機的檢查裝置，其觀察半導體晶 片並檢測它們的完整性，然後觀察晶片的位置以改進晶片和絲網印刷的絲網之間的對準。 這樣的檢查裝置使得能夠達到足夠的精度，符合所希望的50到100微米量級的精度。為了提高光伏電池的性能，已知的第二種方法在於通過兩次疊加印刷產生導體， 如圖3所示。第二次印刷能夠藉助於位於通過第一次印刷得到的第一導電層2上的單獨的 第二絲網25，通過絲網印刷而印刷第二導電層3。第二層3的寬度類似於置於第一層2上的 絲網25的開口 26。此特點有助於兩個導電層2、3的重疊。目的是獲得更厚的最終導體，使 得能夠以接近兩倍的因子降低收集導體的電阻，這將相當大地提高光伏電池的轉換效率。 然而，為了能夠在重疊第二層3之前乾燥第一導電層2，這種方法必須基於兩個不同的絲網 20、25，用兩個不同的絲網印刷頭執行兩次連續的印刷來實現。僅僅在兩個導電層2、3獲得足夠重疊的條件下，才可通過該利用雙次印刷的第二 種方法獲得對光伏電池的改進。這是因為，如果第二層在第一層上重疊不好，則會導致導體 變寬而增加電池不可用的表面面積(其材料對光子不敏感的表面)，並因此降低光伏電池 的性能。現在，在這種雙次印刷方案中，兩個絲網隨時間推移而不同地變形，由於兩個絲網 的組合，絲網20、25隨時間推移而對準偏移的現象更為重要。因而，現今這種方案需要頻繁 地每1000次印刷改變絲網，而對於標準的單次印刷方案，絲網可以保持5到10，000次印 刷。因此該利用雙次印刷的第二種方法存在需要消耗更多絲網的缺點，這顯著地增加了其成本。而且，由於更換絲網導致的時間損失降低了該光伏電池製造方法的產量。最終，由於上面提到的缺點，通過該利用雙次印刷的第二種方法來改進光伏電池 僅僅停留在理論上，幾乎不可用。

發明內容
因而本發明的一般目的是提供通過在晶片上絲網印刷產生電導體的解決方案，該 解決方案減少了現有技術的解決方案的缺點。更明確地，本發明試圖實現下列部分或全部目的本發明的第一目的是提供一種在光伏電池上通過絲網印刷產生電導體的解決方 案，使得到的光伏電池的性能能夠被優化。本發明的第二目的是提供一種利用具有高生產率的高性能、經濟的方法在光伏電 池上通過絲網印刷產生電導體的解決方案。為此，本發明基於一種通過絲網印刷在晶片上印刷的方法，其特徵在於包括以下 步驟-在晶片的表面上產生至少兩個第一測試圖案；-在通過絲網印刷在晶片的表面上印刷期間，印刷至少四個區別於所述至少兩個 第一測試圖案的第二測試圖案；-測量在晶片的表面上獲得的第一測試圖案與第二測試圖案之間的實際距離；_將該實際距離與理論距離相比較，以推導所述印刷的絲網印刷絲網的偏移。所述印刷方法可包括改變所述印刷的絲網印刷絲網的位置以減少或消除其偏移 的步驟。第一測試圖案可在印刷期間通過絲網印刷以及通過印刷至少四個第一測試圖案 而產生。為此，可以在晶片表面上印刷第一層墨時印刷第一測試圖案，並且可以在印刷第 二層墨時印刷第二測試圖案，當這兩次印刷的絲網印刷絲網沒有偏移時，第二測試圖案疊 加在晶片表面上的第一層上。進一步地，印刷方法可包括在印刷第二測試圖案之前檢查第一測試圖案的步驟， 該步驟包括測量第一測試圖案相對於它們的理論位置的偏移，以及包括改變第一次印刷的 絲網印刷絲網的位置以消除或減少所述偏移。印刷方法可包括在印刷至少一個第二測試圖案之前乾燥至少一個第一測試圖案 的步驟。第一測試圖案和/或第二測試圖案可分布在晶片的外圍。測試圖案可圍繞其理論位置的相同對稱中心對稱分布，所述對稱中心是在絲網印 刷絲網無偏移的情況下進行印刷時得到的。如果晶片為平行四邊形，測試圖案可分布在四個角上。作為一種變型，第一測試圖案和第二測試圖案可以都以相同方式偏移某個距離 ⑵。第一測試圖案和第二測試圖案可包括絲網印刷電路的一部分。印刷方法可包括使晶片進入印刷臺上的步驟，將晶片放置在印刷單元中的步驟，其中晶片在該印刷單元中經受第二次印刷，以及將晶片放置在檢查單元中以便測量和推導 第二次印刷的絲網印刷絲網的偏移的步驟。進入印刷臺上的第一步驟可將晶片放置在檢查單元中以便測量第一次印刷的測 試圖案的位置，將晶片放置在檢查單元中的步驟可以通過向後移動將晶片放置在晶片進入 印刷臺上時所到達的相同檢查單元的下面，並且所述方法可包括在晶片離開印刷臺之前將 晶片重新放置在印刷單元下面而不印刷的步驟。在檢查單元中第二次印刷的檢查可僅僅周期性地執行，而不對所有晶片執行。本發明還涉及一種製造光伏電池的方法，其特徵在於，該方法包括如上所述的印 刷光伏電池的部分或全部收集導體的方法。本發明還涉及一種絲網印刷裝置，包括至少一個絲網印刷單元和至少一個檢查單 元，其特徵在於絲網印刷單元執行至少四個測試圖案的印刷，並且該裝置執行如上所述的 絲網印刷方法。檢查單元可包括計算機和至少一個高解析度相機。最後，本發明還涉及光伏電池，其特徵在於，它包括至少一個具有至少兩個疊加層 的導體，以及有區別的至少兩個第一絲網印刷測試圖案和至少四個第二絲網印刷測試圖案。它可包括至少四個第一絲網印刷測試圖案。


本發明的這些目的、特徵和優點將在接下來的具體實施例中參考附圖詳細闡述， 給出這些具體實施例不意味著限制，其中圖1示意性地示出根據現有技術的絲網印刷方法。圖2示意性地表示由根據現有技術的第一種絲網印刷方法得到的結果。圖3示意性地表示由根據現有技術的第二種絲網印刷方法得到的結果。圖4示意性地表示根據本發明的一個實施例，第一次印刷後的晶片。圖5中示意性地表示根據本發明的該實施例，第二次印刷後的相同晶片。圖6a到圖6e表示根據本發明的一個實施例，用於確定第二次印刷的偏移的方法。圖7a到圖7e表示根據本發明的另一實施例，用於確定第二次印刷的偏移的方法。圖8表示根據本發明的一個實施例的印刷單元。圖9表示使用根據本發明的該實施例的該印刷單元的一種方式。圖10示意性地示出根據本發明的另一實施例，第一次印刷後的晶片。圖11示意性地示出根據本發明的該另一實施例，第二次印刷後的晶片。
具體實施例方式本發明基於使用檢查裝置來校正在執行雙次印刷以形成具有兩個疊加層的導體 的裝置中的對準誤差，其中至少第二層是通過絲網印刷產生的。為此，本發明提出在晶片上通過任何方法產生第一導電層，例如，通過用噴墨或絲 網印刷方法加墨，或者通過被稱為「滴塗(dispensing) 」或「分離(lift-off)，，的兩種方法 之一。作為變型，第一層可通過使用刻蝕膏、雷射燒蝕、或全晶片沉積後進行光刻和刻蝕而產生。最後，本發明能夠達到等同於僅用一次印刷的標準解決方案的生產率，並且由於 厚的收集導體而得到具有高轉換效率的光伏電池。其特別適合於通過雙次絲網印刷製造光 伏電池。然而，它仍然適合於任何需要形成要求精確相對對準的兩個網狀結構的電子元件 的製造，其中至少第二個網狀結構通過絲網印刷來製造。因而，這些可以是兩個疊加的層，例如兩層金屬導體，但也可以是兩層任何材料。 這可尤其有利地用於具有選擇性發射極的光伏電池的生產，例如通過在包括由重摻雜矽形 成的發射極圖案的第一層上對準金屬第二層的絲網印刷。因而，它們更通常地是兩個不一定重疊但需要有精確的相對對準的圖案，其中至 少第二個圖案通過絲網印刷產生，例如兩個圖案並排，諸如兩個叉合(interdigitated)的 圖案，本發明為其提供的各層的對準精度將能夠減少兩個圖案之間的距離。這可特別有利 地用於具有背面接觸(rear-face contact)的光伏電池的兩個叉合導體層的生產(通過減 小具有相反極性的區域之間的距離來提高性能)。在以下描述中，相同的附圖標記用於表示相似的元件。現在詳細描述根據本發明的一個實施例，基於通過絲網印刷重疊兩層導電墨的印 刷和檢查方法。圖4表示在用絲網印刷進行第一次印刷期間執行的該方法第一步驟，其使得能夠 在晶片1的表面4上印刷導體的第一層2。根據本發明的一個基本方面，該第一次印刷印刷第一對準圖案或第一測試圖案 5a、5b、5c、5d，其唯一的功能是使得能夠通過基於相機在檢查裝置中觀察它們的位置而確 定第一次印刷在晶片上的實際位置。從而，此方法的第二步驟在於檢查由第一次印刷得到的結果。該檢查能夠識別第 一對準圖案5a到5d並將其精確定位。在某些情形下，計算它們的實際位置相對於其理論位置的差別可能是有利的，其 中理論位置是根據利用新的完美對準的絲網所獲得的位置來定義的。可通過在下一個第一 次印刷期間應用第一校正而將該差別考慮在內。接下來，此方法的第三步驟在於第二次印刷，如圖5所示，在第二次印刷期間，第 二導電層3將疊加在第一導電層2上。根據本發明的另一基本方面，該第二次印刷印刷第 二對準圖案或第二測試圖案6a、6b、6c、6d，以及其它。接下來，第四步驟類似於第二步驟，其能夠檢測第二測試圖案6a到6d相對於它們 的理論位置7a到7d的定位差Ea到Ed，其中所述理論位置是根據藉助於新的、無變形的、完 美對準的絲網所得到的結果來定義的。第二測試圖案的理論位置7a到7d通過考慮第一測 試圖案5a到5d的位置數據而得到。第二測試圖案的理論位置基於第一測試圖案的位置並 考慮到它們的理論相對偏移而計算，即利用無變形的、完美對準的絲網印刷絲網。因此，得 到的差Ea到Ed對應於第二測試圖案相對於第一測試圖案的相對距離，並且使得能夠確定 在兩次印刷之間的殘留定位差。上述測試圖案的產生是通過舉例的方式加以說明的，並且有非常多的可能性。例 如，第一和/或第二對準圖案可以是導體2、3的一部分。然而，把檢查功能與光伏電池的實際結構分開是有利的。從而有可能賦予第一和/或第二對準圖案5a到5d，6a到6d對於其 光學檢查而言理想的形狀和尺寸。從而這些圖案可以具有小的尺寸以最小化不能接受光子 的表面，並且，它們可以例如是直徑為100微米量級的部分球形，或者是優選與收集導體朝 著相同方向且大小例如等於300X 70微米的棒狀，或者是十字形。而且，這些測試圖案可位 於晶片1的表面4上的任何位置，優選位於晶片的外圍或平行四邊形晶片的角上。此外，它們的數量必須大於或等於四，以便獲得足夠的關於絲網變形和印刷偏移 的信息。第二測試圖案還可以有利地與第一測試圖案具有不同外觀，以易於區分。在所有 情況下，為了允許識別和有效的光學利用，第二測試圖案將區別於第一測試圖案。根據一個可替換實施例，對準圖案可集成在導體2中。為此，導體2的某些部分可 僅在第一次印刷期間印刷，而其他部分僅在第二次印刷期間印刷。例如，圖10和11示出該 變型的一種實施方式，其中圖10中示出的第一次印刷表明導體2的區域8a到8d未印刷。 類似地，圖11示出第二次印刷的執行，其中導體3的區域9a到9d未印刷，這些區域區別於 區域8a到8d。所有這些區域可有利地布置在晶片1的角上。從而，當執行了兩次印刷時， 實際上獲得了所有這些導體2、3的連貫整體。用於檢查或顯示對準的裝置將集中於這些特 定區域，特別是區域5a_5d和6a_6d，以便可視地分析對準缺陷。圖6a到6e示出本發明的一個實施例，其基於第一印刷層中四個第一測試圖案5a 到5d及然後第二印刷層中四個第二測試圖案6a到6d的定位，這八個測試圖案圍繞參考框 X，Y對稱地分布，以得益於相同的理論中心或形心(Centroid)5C、6C。該幾何分布使得能夠 基於分別通過由測試圖案5a、5b和5c、5d定義的兩個中點5m、5n，和通過類似地由第二測試 圖案6a、6b和6c、6d定義的兩個中點的直線Yl、Y2而工作。在完美對準的情況下，兩條直 線Y1和Y2將重疊。圖6e示出絲網磨損後的情形。兩條直線Yl、Y2之間的偏移使得能夠 定義在第一次印刷和第二次印刷之間的相對失準。該偏移通過三個值x，y，a定義，(x，y) 表示形心5C、6C之間的相對位移矢量，a表示直線Yl、Y2之間的角度。這三個值由檢查和 校正裝置計算，並且用作下次印刷的對準的基礎。圖7a至7e示出本發明前一實施例的變型，其中第一和第二測試圖案5a至5d，6a 至6d都以相同方式偏移距離P。因而第一和第二測試圖案分別的中心或形心5C、6C同樣以 相同的距離P偏移，而如上定義的兩條直線Yl、Y2是對準的。圖7b和7d表示這些各種測 試圖案和點。圖7e示出磨損後得到的偏移，其中第二測試圖案的形心6C相對於其理論位 置6Cth偏移，該理論位置利用圖7d中示出的偏移P而獲得。從而能夠像前一示例那樣，測 量由三個值x，y，a定義的任何理論偏移。應當注意，在上述示例中，第一和第二測試圖案之間的偏移是基於比較它們分別 的形心的偏移來測量的。然而，任何其它等價方法也能夠用於測量測試圖案之間的部分或 全部偏移。本發明還涉及一種裝置，該裝置用於通過在光伏電池所用類型的晶片上絲網印刷 來產生至少兩層，其包括通過執行上述方法來檢查或顯示對準的裝置。該檢查裝置可包括 多個高精度相機，例如四個解析度在1百萬到2百萬像素之間的相機，每個相機分別處理對 準圖案5a至5d和6a至6d。作為變型，具有更強解析度的單個相機，諸如一千萬像素量級 的相機，可以觀察到所有對準圖案並獲得同等的結果。應當注意，該解決方案可以與檢查全 部晶片1相結合，例如藉助於具有廣角的中心相機。接下來，這個相機或者這些相機將觀察到的圖像傳輸到處理單元，該處理單元包括具有執行上述用於對準絲網印刷裝置的方法的 軟體的計算機。因而，圖8表示旋轉臺形式的絲網印刷臺10。晶片通過入口 11到達絲網印刷臺 10上，並且通過出口 12排出。兩個分開但是類似的臺分別用於執行第一次印刷和執行第二 次印刷。作為變型，第一層可以用絲網印刷以外的技術產生，如上所述，在這種情況下，第一 層的裝置將不同於第二絲網印刷層的裝置。在第二次印刷的情形中，如圖8中所示的，晶片進入到印刷臺10上，以便通過入口 11執行第二次印刷。因而，第一次印刷已經在之前的印刷臺(未示出)上執行。該到達之 後的第一步驟E1在檢查單元13中執行第一次檢查，以確定由晶片和第一絲網印刷臺的絲 網之間的未對準引起的第一測試圖案的偏移。接著，在第二步驟E2，晶片被送到印刷單元 14，在其中它們經歷第二次印刷，使得能夠產生第二層導電墨3。在第三步驟E3，晶片被送 回到檢查臺13下面，以執行對由第二次絲網印刷的晶片的未對準引起的在第一次和第二 次印刷之間的相對偏移的新檢查。在後面這次檢查之後，在第四步驟E4，晶片再一次通過印 刷臺14而在這期間不進行印刷，然後在第五步驟E5將晶片傳送到控制單元15。最後，在步 驟E6，晶片通過出口 12被送出絲網印刷臺。根據本發明的一個有利實施例，不是對經過絲網印刷臺10的每個晶片都執行上 述對準第二絲網的工序，而是根據預定的周期來執行。例如，由於兩個絲網引起的偏移變化 非常緩慢，上述移動可以僅僅每500個晶片執行一次，其減少了步驟E3、E4實際執行的次 數，這些步驟涉及晶片的返回過程以及整個製造方法的生產率的降低。有利地，第二次印刷 的檢查可以以大於或等於每200晶片的周期執行。因而，總的來說，執行本發明的方法導致 可忽略的光伏電池生產減慢，並且執行本發明對生產線的產量影響很小。對於所有未執行 第二次檢查的中間晶片，得到的移動被簡化，如圖9所示，其中兩個步驟E3、E4不執行，這些 晶片的絲網印刷通過使用計算的最終偏移來執行。作為變型，為了避免步驟E3、E4的返回過程，上述裝置可被修改以包括布置在印 刷單元14之後的第二檢查單元。本發明的該等同替換實施例能夠加速生產線，但是相對於 圖8和9中示出的裝置將弓|入額外的安裝費用。因而，本發明提供如下優點，S卩，使得能夠使用通過利用雙次印刷方法的絲網印刷 在光伏電池晶片上印刷的方法，同時在可超過10000次印刷的長時間段期間，確保兩次印
刷的重疊具有高精度。已經描述了本發明的優選實施例，其中通過絲網印刷來重疊兩次印刷，在每個印 刷步驟中使用四個測試圖案。然而，第一層可通過任何其它技術產生，如上所述的那樣，並 且對於該第一層僅僅兩個測試圖案可能就足夠，而只有第二次印刷需要產生至少四個測試 圖案，與其在第一層上的重疊相結合，以獲得足夠的信息量，該信息量足以確定絲網印刷絲 網在所有方向上的特定變形所產生的誤差。
權利要求
通過絲網印刷在晶片(1)上印刷的方法，其特徵在於包括以下步驟-在晶片(1)的表面(4)上產生至少兩個第一測試圖案(5a-5d)；-在通過絲網印刷在晶片(1)的表面(4)上印刷期間，印刷至少四個區別於所述至少兩個第一測試圖案(5a-5d)的第二測試圖案(6a-6d)；-測量在晶片(1)的表面(4)上獲得的第一測試圖案(5a-5d)與第二測試圖案(6a-6d)之間的實際距離；-將該實際距離與理論距離相比較，以推導所述印刷的絲網印刷絲網(25)的偏移。
2.根據權利要求1所述的通過絲網印刷在晶片(1)上印刷的方法，其特徵在於，該方法 包括改變所述印刷的絲網印刷絲網(25)的位置以減少或消除絲網印刷絲網(25)的偏移的步驟。
3.根據權利要求1或2所述的通過絲網印刷法在晶片(1)上印刷的方法，其特徵在於， 第一測試圖案是通過絲網印刷在印刷期間產生的，並且印刷至少四個第一測試圖案。
4.根據權利要求3所述的通過絲網印刷在晶片(1)上印刷的方法，其特徵在於，當在 晶片(1)的表面(4)上印刷第一層(2)墨時印刷第一測試圖案(5a-5d)，並且當印刷第二層 (3)墨時印刷第二測試圖案(6a-6d)，當這兩次印刷的絲網印刷絲網沒有偏移時，第二測試 圖案疊加在晶片⑴的表面⑷上的第一層⑵上。
5.根據前述權利要求之一所述的通過絲網印刷在晶片(1)上印刷的方法，其特徵在 於，該方法包括在印刷第二測試圖案(6a_6d)之前檢查第一測試圖案(5a_5d)的步驟，該步 驟包括測量第一測試圖案(5a_5d)相對於它們的理論位置的偏移，以及包括改變第一次印 刷的絲網印刷的絲網(20)的位置以消除或減少所述偏移。
6.根據前述權利要求之一所述的通過絲網印刷在晶片(1)上印刷的方法，其特徵在 於，該方法包括在印刷至少一個第二測試圖案(6a_6d)之前乾燥至少一個第一測試圖案 (5a-5d)的步驟。
7.根據前述權利要求之一所述的通過絲網印刷在晶片(1)上印刷的方法，其特徵在 於，第一測試圖案(5a_5d)和/或第二測試圖案(6a_6d)可分布在晶片(1)的外圍。
8.根據權利要求7所述的通過絲網印刷在晶片(1)上印刷的方法，其特徵在於，測試圖 案可圍繞其理論位置的相同對稱中心(5C，6C)對稱分布，所述對稱中心是在絲網印刷絲網 (20，25)無偏移的情況下進行印刷時得到的。
9.根據前述權利要求之一所述的通過絲網印刷在晶片(1)上印刷的方法，其特徵在於 如果晶片為平行四邊形，測試圖案分布在四個角上。
10.根據權利要求1-7之一所述的通過絲網印刷在晶片(1)上印刷的方法，其特徵在 於，第一測試圖案(5a_5d)和第二測試圖案(6a_6d)都以相同方式偏移某個距離(P)。
11.根據權利要求3所述的通過絲網印刷在晶片(1)上印刷的方法，其特徵在於，第一 測試圖案(5a_5d)和第二測試圖案(6a_6d)包括絲網印刷電路的一部分。
12.根據前述權利要求之一所述的通過絲網印刷在晶片(1)上印刷的方法，其特徵在 於，該方法包括使晶片進入印刷臺上(10)的步驟(E1)，將晶片放置印刷單元(14)中的步驟 (E2)，其中晶片在該印刷單元(14)中經受第二次印刷，以及將晶片放置在檢查單元(13)中 以便測量和推導第二次印刷的絲網印刷絲網(25)的偏移的步驟(E3)。
13.根據權利要求12所述的通過絲網印刷在晶片(1)上印刷的方法，其特徵在於，進入印刷臺(10)上的第一步驟(E1)將晶片(1)放置在檢查單元(13)中以便測量第一次印刷 的測試圖案的位置，將晶片放置在檢查單元(13)中的步驟(E3)通過向後移動將晶片放置 在晶片(1)進入(E1)印刷臺(10)上時所到達的相同檢查單元的下面，並且所述方法包括 在晶片離開(E6)印刷臺之前將晶片重新放置在印刷單元(14)下面而不印刷的步驟。
14.根據權利要求12或13所述的通過絲網印刷在晶片(1)上印刷的方法，其特徵在 於，在檢查單元(13)中第二次印刷的檢查(E3)僅僅周期性地執行，而不對所有晶片(1)執 行。
15.一種製造光伏電池的方法，其特徵在於，該方法包括根據前述權利要求之一的印刷 光伏電池的部分或全部收集導體的方法。
16.一種絲網印刷裝置，包括至少一個絲網印刷單元和至少一個檢查單元，其特徵在於 絲網印刷單元執行至少四個測試圖案(6a-6d)的印刷，並且該裝置執行根據權利要求1至 14之一所述的絲網印刷方法。
17.根據權利要求16所述的絲網印刷裝置，其特徵在於檢查單元包括計算機和至少一 個高解析度相機。
18.光伏電池，其特徵在於，所述光伏電池包括至少一個具有至少兩個疊加層(2，3)的 導體，以及有區別的至少兩個第一絲網印刷測試圖案(5a_5d)和至少四個第二絲網印刷測 試圖案(6a-6d)。
19.根據權利要求18所述的光伏電池，其特徵在於，所述光伏電池包括至少四個第一 絲網印刷測試圖案(5a_5d)。
全文摘要
本發明為通過絲網印刷來印刷具有兩個疊加層的導體的方法。通過絲網印刷在晶片(1)上印刷的方法，其特徵在於包括以下步驟在晶片(1)的表面(4)上產生至少兩個第一測試圖案(5a-5d)；在通過絲網印刷在晶片(1)的表面(4)上印刷期間，印刷至少四個區別於所述至少兩個第一測試圖案(5a-5d)的第二測試圖案(6a-6d)；測量在晶片(1)的表面(4)上獲得的第一測試圖案(5a-5d)與第二測試圖案(6a-6d)之間的實際距離；將該實際距離與理論距離相比較，以推導所述印刷的絲網印刷絲網(25)的偏移。
文檔編號H01L31/18GK101856920SQ20101017410
公開日2010年10月13日 申請日期2010年4月6日 優先權日2009年4月6日
發明者A·貝迪內利 申請人:原子能及能源替代委員會