幹泵安全停止裝置及其使用方法以及幹泵系統的製作方法
2023-05-30 21:53:41
幹泵安全停止裝置及其使用方法以及幹泵系統的製作方法
【專利摘要】本發明公開一種幹泵安全停止裝置及其使用方法以及幹泵系統，所述幹泵安全停止裝置包括：通過手搖接口與幹泵連接的聯軸器；設置於所述聯軸器上的馬達以及離合器，所述離合器位於所述馬達與手搖接口之間；以及與所述馬達以及離合器連接的控制器。採用本發明的幹泵安全停止裝置，所述幹泵正常運轉時，所述控制器控制所述離合器處於分離狀態，並控制所述馬達不運轉；所述幹泵發生異常時，所述控制器控制所述離合器處於連接狀態，並控制所述馬達運轉，以帶動幹泵正常運轉，從而避免幹泵由於異常停止卡死。
【專利說明】幹泵安全停止裝置及其使用方法以及幹泵系統
【技術領域】
[0001〕 本發明涉及集成電路製造領域，特別涉及一種幹泵安全停止裝置及其使用方法以及幹慄系統。
【背景技術】
[0002]平板顯示器(1^0)行業中，幹泵通常使用在化學氣相沉積((^0)、幹法刻蝕(00 等工藝製程中，由於工藝製程環境惡劣例如具有較多粉塵，幹泵不允許異常停止，一旦幹泵異常停止，粉塵等汙染物會附著在幹泵的轉子上，很容易導致幹泵卡死異常。
[0003]目前，為解決幹泵異常停止的問題，業界通常的做法是在幹泵異常停止後使用口?3電源保持幹泵正常運轉或安全停止，但幹泵本身運行功率較大，即3電源較貴，成本較高。另一種做法是工作人員手動搖動幹泵，以保持幹泵正常運轉，然而幹泵數量較多，若手動搖動幹泵，往往不能保證幹泵及時和充分的搖動，仍然容易造成幹泵卡死異常。
[0004]因此，提供一種能夠實現幹泵自動、安全停止的裝置是十分必要的。
【發明內容】
[0005]本發明提供一種幹泵安全停止裝置，以解決幹泵卡死異常的問題。
[0006]為解決上述技術問題，本發明提供一種幹泵安全停止裝置，所述幹泵包括一手搖接口，所述幹泵安全停止裝置包括:
[0007]通過所述手搖接口與所述幹泵連接的聯軸器；
[0008]設置於所述聯軸器上的馬達以及離合器，所述離合器位於所述馬達與手搖接口之間；以及
[0009]與所述馬達以及離合器連接的控制器；
[0010]其中，所述幹泵正常運轉時，所述控制器控制所述離合器處於分離狀態，並控制所述馬達不運轉；所述幹泵發生異常時，所述控制器控制所述離合器處於連接狀態，並控制所述馬達運轉，以帶動所述幹泵運轉。
[0011〕 可選的，在所述的幹泵安全停止裝置中，所述幹泵安全停止裝置還包括一減速機，所述減速機設置於所述聯軸器上並與所述馬達連接。
[0012]可選的，在所述的幹泵安全停止裝置中，所述幹泵安全停止裝置還包括一支架，所述支架用以支撐所述減速機。
[0013]可選的，在所述的幹泵安全停止裝置中，所述馬達是減速馬達。
[0014]可選的，在所述的幹泵安全停止裝置中，所述馬達是直流馬達。
[0015]可選的，在所述的幹泵安全停止裝置中，所述幹泵安全停止裝置還包括一電池，所述電池用於為所述馬達以及控制器供電。
[0016]可選的，在所述的幹泵安全停止裝置中，所述控制器還連接一主設備的控制櫃，所述控制器根據所述控制櫃發送的信號控制所述離合器和馬達。
[0017]可選的，在所述的幹泵安全停止裝置中，所述主設備是化學氣相沉積設備或幹法刻蝕設備。
[0018]本發明還提供一種幹泵系統，包括一幹泵，還包括如上所述的幹泵安全停止裝置。
[0019]本發明又提供一種幹泵安全停止裝置的使用方法，包括:
[0020]所述幹泵正常運轉時，所述控制器控制所述離合器處於分離狀態，並控制所述馬達不運轉；以及
[0021]所述幹泵發生異常時，所述控制器控制所述離合器處於連接狀態，並控制所述馬達運轉，以帶動所述幹泵運轉。
[0022]採用本發明的幹泵安全停止裝置，所述幹泵正常運轉時，所述控制器控制所述離合器處於分離狀態，並控制所述馬達不運轉；所述幹泵發生異常時，所述控制器控制所述離合器處於連接狀態，並控制所述馬達運轉，以帶動所述幹泵運轉，從而避免幹泵由於異常停止而卡死。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0023]圖1為本發明幹泵系統的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0024]下面將結合示意圖對本發明進行更詳細的描述，其中表示了本發明的優選實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本發明，而仍然實現本發明的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對於本領域技術人員的廣泛知道，而並不作為對本發明的限制。
[0025]為了清楚，不描述實際實施例的全部特徵。在下列描述中，不詳細描述公知的功能和結構，因為它們會使本發明由於不必要的細節而混亂。應當認為在任何實際實施例的開發中，必須做出大量實施細節以實現開發者的特定目標，例如按照有關系統或有關商業的限制，由一個實施例改變為另一個實施例。另外，應當認為這種開發工作可能是複雜和耗費時間的，但是對於本領域技術人員來說僅僅是常規工作。
[0026]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本發明。根據下面說明和權利要求書，本發明的優點和特徵將更清楚。需說明的是，附圖均採用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發明實施例的目的。
[0027]如圖1所示，本發明提供一種幹泵安全停止裝置，所述幹泵10包括一手搖接口 11，所述幹泵10安全停止裝置包括:通過所述手搖接口 11與所述幹泵10連接的聯軸器21 ；設置於所述聯軸器21上的馬達22以及離合器23，所述離合器23位於所述馬達22與手搖接口 11之間；以及與所述馬達22以及離合器23連接的控制器24 ；其中，所述幹泵10正常運轉時，所述控制器24控制所述離合器23處於分離狀態，並控制所述馬達22不運轉；所述幹泵10發生異常時，所述控制器24控制所述離合器23處於連接狀態，並控制所述馬達22運轉，以帶動幹泵10正常運轉，從而避免幹泵10由於異常停止而卡死。
[0028]優選實施例中，所述幹泵10安全停止裝置還包括一減速機25，所述減速機25設置於所述聯軸器21上並與所述馬達22連接，利用減速機25的低轉速高扭矩的原理，即便採用小功率的馬達，也可以通過減速機25實現小功率驅動幹泵10低速旋轉的目的。例如，所述馬達22的轉速為幾千轉(如)，所述減速機25可減速至幾十轉，以此帶動幹泵10低速運轉一預定時間段，實現幹泵10的安全停止。所述幹泵10安全停止裝置還可包括一支架27，所述減速機25設置於所述支架24上，通過所述支架27支撐所述減速機25。當然，本發明並不局限於上述方案，也可直接選用減速馬達，如此則不必安裝減速機，同樣可實現帶動幹泵安全低速運轉的目的。
[0029]繼續參考圖1，所述幹泵10安全停止裝置還包括一電池26，所述電池26用於為所述馬達22以及控制器24供電，如此，即便出現斷電情況，幹泵10異常停止時，所述馬達22、控制器24仍然可以依靠電池26正常運行，以驅動幹泵10低速旋轉一段時間，實現幹泵10安全停止。所述馬達22例如是2價或487的直流馬達22，相應的採用2價或487的電池，所述控制器24還可以連接一交流電源，一方面所述交流電源可以為所述電池26充電，另一方面若並非是斷電情況下導致幹泵異常，那麼交流電源也可同時為控制器24供電。
[0030]其中，所述離合器23為電磁離合器，可以由所述電池26為所述電磁離合器供電。當然，本發明不局限於電磁離合器，亦可採用其他類型的離合器，只要實現接合或斷離動力傳遞作用的目的即可。
[0031〕 本實施例中，所述幹泵10用於一主設備，所述控制器24連接於所述主設備的控制櫃30，正常情況下，控制器24接收主設備的控制櫃30發送的正常信號，電磁離合器23處於分離狀態，幹泵10正常運轉時，安全停止裝置不運轉。當幹泵10異常停止時，控制器24接收到主設備的控制櫃30發送的異常信號，控制器24控制離合器23若干秒後閉合(通常，幹泵異常停止後不會立即停止，在慣性的作用下會運行若干秒)，同時馬達22運轉，這時安全啟動裝置帶動幹泵10正常運轉，一段時間後停止。
[0032]其中，所述幹泵10可以是乾式螺杆真空泵、無油往復真空泵、爪式真空泵或無油渦旋真空泵。所述主設備可以是平板顯示器(1^0)行業或者半導體工藝所使用的化學氣相沉積(￠:%)設備、幹法刻蝕設備，也可以是其他行業所使用的其他設備，只要涉及到幹泵需要安全停止的情況下均可適用於本發明的幹泵安全停止裝置。
[0033]本發明的幹泵安全停止裝置的結構簡單，可選用價格低廉的馬達22、減速機、電磁離合器以及控制器24實現幹泵10的安全停止，一旦出現異常情況如幹泵10突然斷電時，通過幹泵安全停止裝置的電池為馬達22、電磁離合器以及控制器24供電，從而帶動幹泵10低速旋轉一預定時間段，然後再停止下來，如此可避免由於突然地異常停止而導致幹泵卡死現象發生。即，只需要較低的成本就可以實現幹泵的自動安全停止。此外，對於其他情況引起的幹泵異常，同樣可採用本發明的幹泵安全停止裝置實現幹泵的自動安全停止。
[0034]根據本發明的另一面，還提供一種幹泵系統，包括至少一個幹泵10以及至少一個如上所述的幹泵安全停止裝置。其中，每個幹泵10均對應一個如上所述的幹泵安全停止裝置，也可以僅部分幹泵10安裝了幹泵安全停止裝置。
[0035]相應的，本發明還提供一種幹泵安全停止裝置的使用方法，所述幹泵10用於一主設備，所述幹泵安全停止裝置使用方法包括:
[0036]所述幹泵10正常運轉時，所述控制器24控制所述離合器23處於分離狀態，並控制所述馬達22不運轉；以及
[0037]所述幹泵10發生異常時，所述控制器24控制所述離合器23處於連接狀態，並控制所述馬達22運轉，以帶動所述幹泵10正常運轉。
[0038]其中，所述主設備包括一控制櫃30，正常情況下，控制器24接收主設備的控制櫃30發送的正常信號，電磁離合器23處於分離狀態，幹泵正常運轉時，安全停止裝置不運轉。當幹泵異常停止時，控制器24接收到主設備的控制櫃30發送的異常信號，控制器24控制離合器23若干秒後閉合(通常，幹泵異常停止後不會立即停止，在慣性的作用下會運行若干秒)，同時馬達22運轉，這時安全啟動裝置帶動幹泵正常運轉，一段時間後停止。或者，當幹泵異常停止時，也可以是幹泵本身發出異常信號給控制器，即，幹泵異常停止後可以是主設備發出異常信號，也可以是幹泵本身發出異常信號，控制器24根據幹泵或者主設備的控制櫃30發出的異常信號控制所述離合器23處於連接狀態，並控制所述馬達22運轉，以帶動所述幹泵10正常運轉。如此，即可實現幹泵的自動、安全停止。
[0039]需要說明的是，本說明書中各個實施例採用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。對於實施例公開的方法而言，由於與實施例公開的裝置相對應，所以描述的比較簡單，相關之處參見裝置部分說明即可。
[0040]顯然，本領域的技術人員可以對發明進行各種改動和變型而不脫離本發明的精神和範圍。這樣，倘若本發明的這些修改和變型屬於本發明權利要求及其等同技術的範圍之內，則本發明也意圖包括這些改動和變型在內。
【權利要求】
1.一種幹泵安全停止裝置，所述幹泵包括一手搖接口，其特徵在於，所述幹泵安全停止裝置包括: 通過所述手搖接口與所述幹泵連接的聯軸器； 設置於所述聯軸器上的馬達以及離合器，所述離合器位於所述馬達與手搖接口之間；以及 與所述馬達以及離合器連接的控制器； 其中，所述幹泵正常運轉時，所述控制器控制所述離合器處於分離狀態，並控制所述馬達不運轉；所述幹泵發生異常時，所述控制器控制所述離合器處於連接狀態，並控制所述馬達運轉，以帶動所述幹泵運轉。
2.如權利要求1所述的幹泵安全停止裝置，其特徵在於，所述幹泵安全停止裝置還包括一減速機和一支架，所述減速機設置於所述聯軸器上並與所述馬達連接，所述支架用以支撐所述減速機。
3.如權利要求1所述的幹泵安全停止裝置，其特徵在於，所述馬達是減速馬達。
4.如權利要求1所述的幹泵安全停止裝置，其特徵在於，所述馬達是直流馬達。
5.如權利要求1所述的幹泵安全停止裝置，其特徵在於，所述幹泵安全停止裝置還包括一電池，所述電池用於為所述馬達以及控制器供電。
6.如權利要求1至5中任一項所述的幹泵安全停止裝置，其特徵在於，所述控制器還連接一主設備的控制櫃，所述控制器根據所述控制櫃發送的信號控制所述離合器和馬達。
7.如權利要求1至5中任一項所述的幹泵安全停止裝置，其特徵在於，所述控制器還連接所述幹泵，所述控制器根據所述幹泵發送的信號控制所述離合器和馬達。
8.如權利要求1至5中任一項所述的幹泵安全停止裝置，其特徵在於，所述主設備是化學氣相沉積設備或幹法刻蝕設備。
9.一種幹泵系統，包括至少一個幹泵，其特徵在於，還包括至少一個如權利要求1至8中任一項所述的幹泵安全停止裝置。
10.一種如權利要求1所述的幹泵安全停止裝置的使用方法，其特徵在於，包括: 所述幹泵正常運轉時，所述控制器控制所述離合器處於分離狀態，並控制所述馬達不運轉；以及 所述幹泵發生異常時，所述控制器控制所述離合器處於連接狀態，並控制所述馬達運轉，以帶動所述幹泵運轉。
【文檔編號】F04C28/06GK104295497SQ201410542981
【公開日】2015年1月21日 申請日期:2014年10月14日 優先權日:2014年10月14日
【發明者】張田超, 汪建平, 王冰 申請人:崑山國顯光電有限公司