一種擴散爐石英舟結構的製作方法

2023-06-05 19:14:54 1

本實用新型涉及矽片工藝設備領域，尤其涉及一種擴散爐石英舟結構。

背景技術：

在光伏行業，高溫擴散爐主要用於對單晶矽片、多晶矽片進行摻雜，形成PN結。隨著光伏行業的發展，人們一直在追求產能的提升。其中，石英舟是矽片在工藝時的載體。

現有的石英舟的結構，使矽片放置在石英舟上後，與爐體石英管的軸線垂直且與水平成87°的角，這樣排列的矽片，要增加矽片的數量，只能把石英舟進行加長，這樣就會導致爐體的恆溫區過長，從而溫度控制的難度加大。

因此如何提供一種石英舟結構，使爐體恆溫區長度不變或者稍微加長的情況下，可以放置更多的矽片，提高生產效率，是業界亟待解決的技術問題。

技術實現要素：

本實用新型為了解決現有的問題，提供一種擴散爐石英舟結構，包括石英舟舟託、固定在石英舟舟託上的舟架，固定在舟架上的至少四根橫杆，所述橫杆沿擴散爐的石英管的軸線方向開設有用於放置矽片的卡槽，各橫杆上的卡槽間距及距離一致。

在一實施例中，所述橫杆設有四根，其中第一、第二根橫杆固定在舟架底部，第三、第四根橫杆分別固定在第一、第二根橫杆兩側的舟架側邊。

在上述實施例中，卡槽有兩種方式，一種是卡槽與橫杆的軸向方向垂直，使矽片與水平面呈90度角度。另一種是卡槽與橫杆的軸向方向呈87度，使矽片與水平面呈87度角度。

本實用新型結構簡單，石英舟的改造成本較低，通過使矽片與軸線方向平行，可以放置更多的矽片，有效提高生產效率，基本上不改變爐體恆溫區的長度。

附圖說明

圖1是本實用新型的剖視圖；

圖2是圖1的A-A剖面圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型進一步進行說明。

圖1至圖2示出了本實用新型的一優選實施例提出的擴散爐石英舟結構，具體包括石英舟舟託1，固定在石英舟舟託1上的舟架2，固定在舟架2上的四根橫杆3，其中第一、第二根橫杆固定在舟架底部，第三、第四根橫杆分別固定在第一、第二根橫杆兩側的舟架2側邊，橫杆3沿擴散爐的石英管的軸線方向開設有卡槽，各橫杆3上的卡槽間距及距離一致，矽片4可以等間距地放置在各卡槽中，與石英管5的軸線平行，這樣的石英舟結構最少可以放置1600片矽片。

除了上述實施例以外，橫杆的數量可以根據具體需要進行變化。

在上述實施例的基礎上，本實用新型的卡槽有兩種方式，一種是卡槽與橫杆的軸向方向垂直，使矽片與水平面呈90度角度，還有一種是卡槽與橫杆的軸向方向呈87度角，使矽片與水平面呈87度角度。

通過本實用新型的改進，可以使石英管內的石英舟上放置更多的矽片，且基本不增加生產成本，有效地提高了生產效率。

以上的具體實施例僅用以舉例說明本實用新型的構思，本領域的普通技術人員在本實用新型的構思下可以做出多種變形和變化，這些變形和變化均包括在本實用新型的保護範圍之內。