藉由檢測廢液濃度來決定廢液排出量的方法及其設備的製作方法
2023-06-06 20:40:21 2
專利名稱：藉由檢測廢液濃度來決定廢液排出量的方法及其設備的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種檢測廢液濃度的方法與設備，特別是涉及一種藉由檢測廢液濃度來決定廢液排出量的方法及其設備。
背景技術：
目前在超大規模集成電路(Very Large Scale Integration；VLSI)的製造過程中，由於在許多製造製程中需要用大量的水用以清洗、潔淨等作用，因此，也會產生大量的廢液，這些廢液通常具有毒性，而且與製程中的物質混合之後，可形成有機廢液，相當容易燃燒，因此在處理的過程中必須格外小心，避免對廠區環境或者處理人員造成傷害。
一般來說，工廠中廢液的處理程序，是會先將各個製程部門所產生的廢液收集於一個廢液收集槽。然後，再對該廢液收集槽中的廢液成分及其濃度作檢測。之後，依照檢測的結果，調整廢液的排出量，以使廢液排入汙水處理廠的流量是汙水處理廠所能負荷的範圍。
然而，在檢測廢液收集槽的廢液濃度時，卻常常因為濃度超過濃度偵測器可以偵測的上限值，所以無法得知廢液收集槽中的真正濃度。如此將會產生一些問題，例如若現場操作人員無法確切掌握真正濃度，則可能因為輕忽這些廢液所帶來的危害，而使自身暴露在危險的工作環境中。再者，若無法正確地得知廢液的真正濃度，則可能造成後續排放至汙水處理廠時，單位時間的廢液排出量超出汙水處理廠所能承受的負荷，而衍生出一些工安問題。
當然，上述的問題可以藉由購入更先進、偵測上限值更高的濃度偵測器來解決，但是，從經濟的觀點來考量，如此勢必提高設備的成本。因此該方法並不是一個根本的解決之道。
由此可見，上述現有的藉由檢測廢液濃度來決定廢液排出量的方法及其設備仍存在有缺陷，而亟待加以進一步改進。為了解決現有的藉由檢測廢液濃度來決定廢液排出量的方法及其設備的缺陷，相關廠商莫不費盡心思來謀求解決之道，但長久以來一直未見適用的設計被發展完成，此顯然是相關業者急欲解決的問題。
有鑑於上述現有的藉由檢測廢液濃度來決定廢液排出量的方法及其設備存在的缺陷，本發明人基於從事此類產品設計製造多年豐富的實務經驗及其專業知識，積極加以研究創新，以期創設一種新的藉由檢測廢液濃度來決定廢液排出量的方法及其設備，能改進一般現有的藉由檢測廢液濃度來決定廢液排出量的方法及其設備，使其更具有實用性。經過不斷研究、設計，並經過反覆試作樣品及改進後，終於創設出確具實用價值的本發明。
發明內容
本發明的目的在於，克服現有的藉由檢測廢液濃度來決定廢液排出量的方法及其設備存在的缺陷，而提供一種新的藉由檢測廢液濃度來決定廢液排出量的方法及其設備，所要解決的技術問題是使其藉由該設備可以得知廢液的真正濃度，進而可控制廢液的排出量在安全的範圍內，能夠避免操作人員暴露在危險的工作環境中，從而非常適於實用，且具有產業上的利用價值。
本發明的另一目的在於，提供一種藉由檢測廢液濃度來決定廢液排出量的方法及其設備，所要解決的技術問題是使其可以解決現有技術中為了量測出高濃度的廢液，而需花費更多經費購入昂貴的設備的問題，從而符合經濟效益。
本發明的再一目的在於，提供一種藉由檢測廢液濃度來決定廢液排出量的方法及其設備，所要解決的技術問題是藉由該方法可以使再高濃度的廢液都能檢測出其真正濃度，從而更加適於實用。
本發明的目的及解決其技術問題是採用以下技術方案來實現的。依據本發明提出的一種檢測廢液濃度的設備，藉由該設備的檢測結果可以決定由一廢液收集槽排出廢液的流量大小，該設備包括一混合槽，該混合槽具有一第一輸送管；一檢測槽，該檢測槽是藉由該第一輸送管與該混合槽相通；一純水供應單元，該純水供應單元具有一第二輸送管，且該純水供應單元是藉由該第二輸送管與該混合槽相通；一廢液供應單元，該廢液供應單元具有一第三輸送管，且該廢液供應單元是藉由該第三輸送管與該混合槽相通，而且該廢液供應單元是與該廢液收集槽相通；一濃度偵測器，配置於該檢測槽中；一控制器，該控制器是分別與該純水供應單元、該廢液供應單元與該濃度偵測器電性連接；以及一顯示面板，該顯示面板是與該控制器電性連接，以顯示該純水供應單元、該廢液供應單元與該濃度偵測器的狀態。
本發明的目的及解決其技術問題還可採用以下技術措施進一步實現。
前述的檢測廢液濃度的設備，其更包括一酸鹼偵測器，配置於該檢測槽中。
前述的檢測廢液濃度的設備，其更包括一酸鹼調整液供應單元，該酸鹼調整液供應單元具有一第四輸送管，且該酸鹼調整液供應單元是藉由該第四輸送管與該檢測槽相通。
前述的檢測廢液濃度的設備，其更包括一攪拌器，配置於該混合槽中。
前述的檢測廢液濃度的設備，其更包括一攪拌器，配置於該檢測槽中。
前述的檢測廢液濃度的設備，其更包括一第一控制閥、一第二控制閥與一第三控制閥，其中該第一控制閥是配置於該混合槽與該檢測槽之間的該第一輸送管上，且該第二控制閥是配置於該純水供應單元與該混合槽之間的該第二輸送管上，而且該第三控制閥是配置於該廢液供應單元與該混合槽之間的該第三輸送管上。
前述的檢測廢液濃度的設備，其中所述的第一控制閥、該第二控制閥與該第三控制閥是分別與該控制器電性連接，且在該顯示面板上顯示出該第一控制閥、該第二控制閥與該第三控制閥的狀態。
本發明的目的及解決其技術問題還採用以下的技術方案來實現。依據本發明提出的一種藉由檢測廢液濃度來決定廢液排出量的方法，該方法是用於檢測出一廢液收集槽中的一廢液濃度之後，再決定該廢液自該廢液收集槽的排出量，該方法包括以下步驟由該廢液收集槽取一特定量的廢液與純水混合稀釋，以得到一混合液；以及利用一濃度偵測器量測該混合液的濃度，並推算該廢液的真正濃度，再決定出該廢液自該廢液收集槽的排出量。
本發明的目的及解決其技術問題還可採用以下技術措施進一步實現。
前述的藉由檢測廢液濃度來決定廢液排出量的方法，其中若該混合液的濃度值等於該濃度偵測器的上限值時，則進行下列步驟重新由該廢液收集槽取該特定量廢液，並將該特定量的廢液與純水以更高的稀釋倍數稀釋，以稀釋成一第一混合液；以及利用該濃度偵測器量測該第一混合液的濃度，並推算該廢液的真正濃度，再決定出該廢液自該廢液收集槽的排出量。
前述的藉由檢測廢液濃度來決定廢液排出量的方法，其中在量測該混合液的濃度的步驟中，更包括同時對該混合液進行一酸鹼值檢測步驟。
前述的藉由檢測廢液濃度來決定廢液排出量的方法，其中若該混合液的酸鹼值未介於pH5至pH9之間，則在該混合液中加入一酸鹼值調整液以調整該混合液的酸鹼值之後，再將該混合液排放出。
本發明與現有技術相比具有明顯的優點和有益效果。由以上技術方案可知，為了達到前述發明目的，本發明的主要技術內容如下本發明提出一種檢測廢液濃度的設備，藉由該設備的檢測結果可以決定由一廢液收集槽排出廢液的流量大小，該設備包括混合槽、檢測槽、純水供應單元、廢液供應單元、濃度偵測器、控制器與顯示面板。其中，混合槽具有第一輸送管，且檢測槽是藉由該第一輸送管與混合槽相通。此外，純水供應單元具有第二輸送管，且純水供應單元是藉由該第二輸送管與混合槽相通。另外，廢液供應單元具有第三輸送管，且廢液供應單元是藉由該第三輸送管與混合槽相通，而且廢液供應單元是與廢液收集槽相通。此外，濃度偵測器是配置於檢測槽中。另外，控制器是分別與純水供應單元、廢液供應單元與濃度偵測器電性連接。此外，顯示面板是與控制器電性連接，以顯示純水供應單元、廢液供應單元與濃度偵測器的狀態。除此之外，該檢測設備更包括在檢測槽中配置酸鹼偵測器，另外更配置有酸鹼調整液供應單元，用以供應酸鹼調整液至檢測槽內，以調整被稀釋的廢液的酸鹼值之後，再將檢測槽內稀釋的廢液排放出。
由於上述的檢測設備的各個構件是與控制器電性連接，因此使用者可在顯示面板監控該檢測設備的狀況，並藉由控制器而輸入相關的參數使其運作，所以該設備是為自動控制的檢測設備。
本發明提出一種藉由檢測廢液濃度來決定廢液排出量的方法，該檢測方法是用於檢測廢液收集槽中的廢液濃度，然後再決定廢液自廢液收集槽的排出量，以使其排出量在安全範圍內。該方法是首先由廢液收集槽取一特定量的廢液與純水混合稀釋，以得到混合液。之後，利用濃度偵測器來量測該混合液的濃度，以推算該廢液的真正的濃度，然後再決定廢液收集槽排出廢液的排出量，並控制其排出量是在安全範圍內。特別是，若上述濃度偵測器偵測出的濃度等於濃度偵測器的上限值時，則重新由廢液收集槽取特定量廢液，並將特定量的廢液與純水以更高的稀釋倍數稀釋，以稀釋成一第一混合液。之後利用濃度偵測器量測第一混合液的濃度，並推算廢液的真正濃度，再決定出廢液自廢液收集槽的排出量。
由於本發明是以稀釋的方式來降低廢液的濃度，之後再進行量測，再推算出廢液的真實濃度，而且可以藉由多次的稀釋，以使濃度偵測器量測的濃度小於濃度偵測器的上限值，然後再推算出真實濃度，因此，利用該種方法所得的廢液濃度的可靠度較高，而能正確地決定出廢液從廢液收集槽排放至汙水處理廠的排出量。
此外，本發明藉由多次稀釋的方式就可以精確的掌握高濃度的廢液的真正濃度，因此，不需購買具有高偵測上限的濃度偵測器，而能降低成本。
由上述可知，本發明主要是一種檢測廢液濃度的設備，藉由該設備的檢測結果可以決定由一廢液收集槽排出廢液的流量大小。該設備包括混合槽、檢測槽、純水供應單元、廢液供應單元、濃度偵測器、控制器與顯示面板。其中，該檢測槽與混合槽相通。此外，該純水供應單元與混合槽相通。另外，該廢液供應單元與混合槽相通。此外，濃度偵測器是配置於檢測槽中。另外，控制器是分別與各個單元電性連接。此外，顯示面板是與控制器電性連接，以顯示各個單元的狀態。利用該設備可以得知廢液的真實濃度，因此藉由量測結果可以控制廢液排出量在安全的範圍內。
綜上所述，本發明特殊的藉由檢測廢液濃度來決定廢液排出量的方法及其設備，藉由該設備可以得知廢液的真正濃度，進而可控制廢液的排出量在安全的範圍內，能夠避免操作人員暴露在危險的工作環境中，從而非常適於實用，且具有產業上的利用價值；另其可以解決現有技術中為了量測出高濃度的廢液，而需花費更多經費購入昂貴的設備的問題，從而符合經濟效益；再者，藉由該方法可使再高濃度的廢液都能檢測出其真正濃度，從而更加適於實用。其具有上述諸多的優點及實用價值，並在同類製造方法及產品中未見有類似的方法及結構設計公開發表或使用而確屬創新，其不論在製造方法、產品結構或功能上皆有較大的改進，在技術上有較大的進步，並產生了好用及實用的效果，且較現有的藉由檢測廢液濃度來決定廢液排出量的方法及其設備具有增進的多項功效，從而更加適於實用，且具有產業的廣泛利用價值，誠為一新穎、進步、實用的新設計。
上述說明僅是本發明技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本發明的技術手段，並可依照說明書的內容予以實施，以下以本發明的較佳實施例並配合附圖詳細說明如後。
圖1是依照本發明的一較佳實施例的一種檢測廢液中化學物濃度的設備結構示意圖。
100混合槽 101、103溢流管102檢測槽 104純水供應單元105廢液收集槽 106廢水供應單元108濃度偵測器 110控制器112顯示面板114酸鹼偵測器116酸鹼調整液供應單元 118、120攪拌器122、124、126控制閥128、130控制閥132、134、136輸送管138、140輸送管具體實施方式
以下結合附圖及較佳實施例，對依據本發明提出的藉由檢測廢液濃度來決定廢液排出量的方法及其設備其具體方法、步驟、結構、特徵及其功效，詳細說明如後。
一般來說，廢液的處理程序會先將工廠中各個製程部門所產生的廢液收集於一個廢液收集槽內。然後，再對廢液收集槽中的廢液成分及其濃度作檢測。之後，在依照檢測的結果，決定該廢液排放至汙水處理廠的排出量，以控制廢水排出量在安全的範圍內，並使廢水排入汙水處理廠的流量是汙水處理廠所能負荷的範圍。由於廢液收集槽的排出量會直接影響後續汙水處理廠的運轉效能，且該排出量又與廢液的濃度有關，因此，以下則是針對如何檢測廢液收集槽內的廢液濃度的設備加以說明。
請參閱圖1所示，是依照本發明一較佳實施例的一種檢測廢液濃度的設備示意圖。該設備包括混合槽100、檢測槽102、純水供應單元104、廢液供應單元106、濃度偵測器108、控制器110與顯示面板112、攪拌器(118與120)、控制閥(122、124與126)與輸送管(132、134與136)，其中該檢測槽102，是藉由輸送管132與混合槽100相通，而且在該輸送管132上更可配置有控制閥122，以控制混合槽100其注入檢測槽102的注入量。
該純水供應單元104，是藉由輸送管134與混合槽100相通，而且在輸送管134上更可配置有控制閥124，以控制純水供應單元104其注入混合槽100的注入量。
該廢液供應單元106，是藉由輸送管136與混合槽100相通，而且在輸送管136上更可配置有控制閥126，以控制廢液供應單元106其注入混合槽100的注入量。除此之外，廢液供應單元106是與廢液收集槽105相通，該廢液收集槽105是匯集了工廠中各個製程部門所產生的廢液。
該濃度偵測器108，是配置於檢測槽102中，用以檢測檢測槽102中的廢液濃度。其中，若廢液為氫氟酸，則所量測的廢液濃度例如是氟離子濃度。
該控制器110，是分別與純水供應單元104、廢液供應單元106、濃度偵測器108與控制閥(122、124與126)電性連接。此外，顯示面板112亦與控制器110電性連接，以顯示純水供應單元104、廢液供應單元106、濃度偵測器108與控制閥(122、124與126)的狀態。
除此之外，在混合槽100與檢測槽102上更可配置設有溢流管(101與103)。而該溢流管(101與103)的功用是當混合槽100與檢測槽102注入過多的液體時，可以藉由溢流管(101與103)將多餘的液體排出。
另外，該裝置更可選擇性地在混合槽100與檢測槽102中配置攪拌器(118與120)，以均勻混合所注入的液體。其中，攪拌器(118與120)是與控制器110電性連接。
此外，該設備更可在檢測槽102中配置酸鹼偵測器114，以量測檢測槽102中廢液的酸鹼值。其中，酸鹼偵測器114是與控制器110電性連接。另外，該設備更可配置酸鹼調整液供應單元116，該酸鹼調整液供應單元116是藉由輸送管138與檢測槽102相通，其是用以中和檢測槽102中廢液。而且在輸送管138上更可配置控制閥128，以控制酸鹼調整液供應單元116其注入檢測槽102的注入量，其中，該控制閥128是與控制器110電性連接。
當然，在該設備中還可以配置有輸送管140與控制閥130，藉由輸送管140與控制閥130可將檢測槽102中已檢測完畢的廢液排出。其中，該控制閥130是與控制器110電性連接。
由於上述的檢測設備的各個構件是與控制器電性連接，因此使用者可在顯示面板監控該檢測設備的狀況，並藉由控制器而輸入相關的參數使其運作，所以該設備是為自動控制的檢測設備。
以下是利用上述的檢測設備進行廢液的檢測，以決定出廢液自廢液收集槽排放至汙水處理廠的排出量，使其排放量在安全的範圍內。在下述的操作方法中，各個構件的操作是藉由控制器110所操控之，並將各個構件的狀態顯示於顯示面板112上。
首先，開啟控制閥124，以使一定量的純水由純水供應單元104流經輸送管134而注入混合槽100中。其中，純水注入量是由注入時間來決定。之後，關閉控制閥124。
然後，在啟動攪拌器118之後，開啟控制閥126，以使一定量的廢液由廢液收集槽105經由廢液供應單元106與輸送管136而注入混合槽100中。其中，該廢液注入量是由注入時間來決定，且該廢液例如是氫氟酸、硝酸、鹽酸、氫氧化鈉或有機溶劑等。此外，攪拌器118可以使廢液與純水均勻的混合稀釋，而形成混合液，其中，攪拌器118的攪拌時間是可依照不同需求來設定。當然，若所注入的廢液與純水大於混合槽100的容量，則多餘的液體可以藉由溢流管101排出。之後，關閉控制閥126。
接著，開啟控制閥122，以使混合液由混合槽100流經輸送管132而注入檢測槽102中。其中，混合液注入量是由注入時間來決定。當然，若所注入的混合液大於檢測槽102的容量，則多餘的液體可以藉由溢流管103排出。之後，關閉控制閥122。然後，啟動攪拌器120，並在充分攪拌混合液一段時間之後停止。
之後，以濃度偵測器108量測檢測槽102中的混合液(被稀釋的廢液)濃度。其中，若上述的廢液是為氫氟酸溶液，則所檢測的廢液濃度是為氟離子濃度。此時，控制器110會依照先前所注入的廢液體積與純水體積，換算出檢測槽102中的混合液稀釋倍率，並依照濃度偵測器108所傳回的數值進行換算，而在顯示面板112中顯示出廢液的真正濃度，然後再決定出廢液收集槽105排出廢液的排出量，並控制其排出量是在安全範圍內。
另外，在上述以濃度檢測器量108測濃度的同時，亦可以利用酸鹼偵測器114量測檢測槽102中混合液的酸鹼值。值得注意的是，若所量測的混合液的酸鹼值在顯示面板112上所顯示的數值未介於pH5至pH9之間，則開啟控制閥128，以使酸鹼調整液由酸鹼調整液供應單元116流經輸送管138而注入檢測槽102中，來中和該混合液，之後再將中和後的混合液排出檢測槽102。在本發明中，將混合液排出檢測槽102的步驟是先開啟控制閥130，以排出檢測槽102中已檢測且中和完畢的混合液，然後，再關閉控制閥130。上述酸鹼調整液供應單元116注入酸鹼調整液的量是由注入時間來決定。此外，若廢液的酸鹼值小於pH5，其例如是氫氟酸溶液，則該酸鹼調整液例如是鹼性溶液，其例如是氫氧化鈉溶液。當然，若廢液的酸鹼值大於pH9，則該酸鹼調整液例如是酸性溶液。之後，關閉控制閥128。
值得注意的是，當顯示面板112中所顯示的廢液濃度等於濃度偵測器108的上限值，則表示該廢液的濃度有可能大於或是等於顯示面板112所顯示的數值。因此，為了使得所檢測的數據具有可信賴度，故需重新檢測該廢液，其檢測方法是採用上述的檢測步驟進行之，並可藉由調整廢液供應單元106或是純水供應單元104的注入混合槽100的時間，以提高混合液的稀釋倍數。上述的步驟可以重複進行，直到顯示面板112所顯示的廢液濃度小於濃度偵測器108的上限值為止。之後，再決定出廢液自廢液收集槽106的排出量。
由於本發明是以稀釋的方式來降低廢液的濃度，之後再進行量測，再推算出廢液的真實濃度，而且可以藉由多次的稀釋，以使濃度偵測器量測的濃度小於濃度偵測器的上限值，然後再推算出真實濃度，因此，利用該種方法所得的廢液濃度的可靠度較高，而能正確地決定出廢液從廢液收集槽排放至汙水處理廠的排出量。
此外，本發明藉由多次稀釋的方式就可以精確的掌握高濃度的廢液的真正濃度，因此不需購買具有高偵測上限的濃度偵測器，而能降低成本。
另外，利用本發明的方法可以使再高濃度的廢液都能檢測出其真正濃度，意即高濃度的廢液可以藉由稀釋得知其真正的濃度，然後再決定出廢液從廢液收集槽排放至汙水處理廠的排出量。
此外，該操作方法是為自動化的操作流程，操作人員只需將相關參數輸入控制器中，控制器便可使檢測設備的各個構件自行運作。因此，操作人員可在顯示面板中監看整個檢測的過程。
除此之外，該對於廢水的檢測及其設備並不限定於半導體廠使用，其它例如化學廠或紡織廠等都可以利用本發明的方法與設備來決定廢液排放至汙水處理廠的排出量，而具有廣泛的工業利用價值。
以上所述，僅是本發明的較佳實施例而已，並非對本發明作任何形式上的限制，雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然而並非用以限定本發明，任何熟悉本專業的技術人員，在不脫離本發明技術方案範圍內，當可利用上述揭示的方法及技術內容作出些許的更動或修飾為等同變化的等效實施例，但是凡是未脫離本發明技術方案的內容，依據本發明的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬於本發明技術方案的範圍內。
權利要求
1.一種檢測廢液濃度的設備，藉由該設備的檢測結果可以決定由一廢液收集槽排出廢液的流量大小，其特徵在於該設備包括一混合槽，該混合槽具有一第一輸送管；一檢測槽，該檢測槽是藉由該第一輸送管與該混合槽相通；一純水供應單元，該純水供應單元具有一第二輸送管，且該純水供應單元是藉由該第二輸送管與該混合槽相通；一廢液供應單元，該廢液供應單元具有一第三輸送管，且該廢液供應單元是藉由該第三輸送管與該混合槽相通，而且該廢液供應單元是與該廢液收集槽相通；一濃度偵測器，配置於該檢測槽中；一控制器，該控制器是分別與該純水供應單元、該廢液供應單元與該濃度偵測器電性連接；以及一顯示面板，該顯示面板是與該控制器電性連接，以顯示該純水供應單元、該廢液供應單元與該濃度偵測器的狀態。
2.根據權利要求1所述的檢測廢液濃度的設備，其特徵在於其更包括一酸鹼偵測器，配置於該檢測槽中。
3.根據權利要求2所述的檢測廢液濃度的設備，其特徵在於其更包括一酸鹼調整液供應單元，該酸鹼調整液供應單元具有一第四輸送管，且該酸鹼調整液供應單元是藉由該第四輸送管與該檢測槽相通。
4.根據權利要求1所述的檢測廢液濃度的設備，其特徵在於其更包括一攪拌器，配置於該混合槽中。
5.根據權利要求1所述的檢測廢液濃度的設備，其特徵在於其更包括一攪拌器，配置於該檢測槽中。
6.根據權利要求1所述的檢測廢液濃度的設備，其特徵在於其更包括一第一控制閥、一第二控制閥與一第三控制閥，其中該第一控制閥是配置於該混合槽與該檢測槽之間的該第一輸送管上，且該第二控制閥是配置於該純水供應單元與該混合槽之間的該第二輸送管上，而且該第三控制閥是配置於該廢液供應單元與該混合槽之間的該第三輸送管上。
7.根據權利要求6所述的檢測廢液濃度的設備，其特徵在於其中所述的第一控制閥、該第二控制閥與該第三控制閥是分別與該控制器電性連接，且在該顯示面板上顯示出該第一控制閥、該第二控制閥與該第三控制閥的狀態。
8.一種藉由檢測廢液濃度來決定廢液排出量的方法，該方法是用於檢測出一廢液收集槽中的一廢液濃度之後，再決定該廢液自該廢液收集槽的排出量，其特徵在於該方法包括以下步驟由該廢液收集槽取一特定量的廢液與純水混合稀釋，以得到一混合液；以及利用一濃度偵測器量測該混合液的濃度，並推算該廢液的真正濃度，再決定出該廢液自該廢液收集槽的排出量。
9.根據權利要求8所述的藉由檢測廢液濃度來決定廢液排出量的方法，其特徵在於其中若該混合液的濃度值等於該濃度偵測器的上限值時，則進行下列步驟重新由該廢液收集槽取該特定量廢液，並將該特定量的廢液與純水以更高的稀釋倍數稀釋，以稀釋成一第一混合液；以及利用該濃度偵測器量測該第一混合液的濃度，並推算該廢液的真正濃度，再決定出該廢液自該廢液收集槽的排出量。
10.根據權利要求8所述的藉由檢測廢液濃度來決定廢液排出量的方法，其特徵在於其中在量測該混合液的濃度的步驟中，更包括同時對該混合液進行一酸鹼值檢測步驟。
11.根據權利要求10所述的藉由檢測廢液濃度來決定廢液排出量的方法，其特徵在於其中若該混合液的酸鹼值未介於pH5至pH9之間，則在該混合液中加入一酸鹼值調整液以調整該混合液的酸鹼值之後，再將該混合液排放出。
全文摘要
本發明是關於一種藉由檢測廢液濃度來決定廢液排出量的方法及其設備，該檢測廢液濃度的設備，是藉由該設備的檢測結果可決定由一廢液收集槽排出廢液的流量大小。該設備包括混合槽、檢測槽、純水供應單元、廢液供應單元、濃度偵測器、控制器與顯示面板。該檢測槽與混合槽相通，純水供應單元與混合槽相通，廢液供應單元與混合槽相通。此外濃度偵測器是配置於檢測槽中，控制器是分別與各個單元電性連接。此外，顯示面板是與控制器電性連接，以顯示各個單元的狀態。利用該設備可得知廢液真實濃度，藉此量測結果可控制廢液排出量在安全範圍內，能避免操作人員暴露在危險工作環境中；另藉由該方法可使再高濃度的廢液都能檢測出其真正濃度，從而具有廣泛的利用價值。
文檔編號G01N35/00GK1601280SQ0315749
公開日2005年3月30日 申請日期2003年9月22日 優先權日2003年9月22日
發明者湯志英, 李昭德, 蔡志欽, 吳文泰, 徐嘉立 申請人:旺宏電子股份有限公司