一種可動光學元件調節定位裝置的製作方法
2023-06-04 20:48:06
專利名稱：一種可動光學元件調節定位裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種光刻設備，具體涉及一種在光刻機曝光設備中可動光學 元件調節定位裝置。。
背景技術：
在半導體器件製備以及掩模製造工藝中，採用曝光設備的光刻步驟必不 可少。在該光刻步驟中，對塗敷有光刻膠等感光材料的襯底材料進行處理， 即通過照明光學系統，對中間掩^^上的圖形進行照明，並通過"t殳影光學系統， 將該圖形轉移到半導體襯底上。
近年來，隨著半導體器件的集成化程度越來越高，器件特徵尺寸越來越 小，對於圖形轉移的精度要求也越來越高。在先進光刻機曝光設備中的投影 光學系統，需要越來越小的波相差和畸變來滿足製備工藝的要求，同時，在 這種投影光學系統的曝光設備中，可以實時並容易的對由各種環境及其他因 素導致的相差和畸變的變化進行補償，從而實現對曝光尺寸的精確控制。為 了解決這類問題， 一般考慮釆用設置一個或幾個鏡片位置可調的方式來進行 補償。
通常來講，可動鏡片的調節機構一般採用絲母絲杆，蝸輪蝸杆和滾珠絲 杆等，雖然絲母絲杆調節機構結構簡單，緊湊，成本低，但移動精度和定位
精度較低；蝸輪蝸杆調節機構工作平穩，結構緊湊，但加工困難，並且精度低；滾珠絲杆相對絲母絲杆精度稍高，但成本也較高。
近年來，在曝光設備中可調鏡片的實現方式出現了 一些新的調節機構，
中國專利CN01120775.2中採用了 一種壓電元件組成的制動器來驅動柔性四 杆機構，四桿機構將制動器水平向的運動轉換成活動透鏡的光軸方向，從而 實現對活動透鏡位置的調控。該專利提供的方法精度高，發熱低，噪音小， 但其柔性連杆機構結構複雜，加工製造難度較高，安裝也有較大困難，實用 性相對一交差。
除此之外，中國專利CN200720074897.8中也才是供了一種可動4竟片調整 機構，該結構採用了並列的兩個線形滑軌作導向，伺服電機通過凸輪機構來 驅動可動鏡片上下運動。然而，凸輪力口工難度較大，不能實現自鎖，且線形 滑軌滑塊與導軌之間存在一定得間隙，機構的精度有待進一步提高。
發明內容
本發明要解決的技術問題是實現可動光學元件的調節定位，解決調節定 位裝置成本高、結構複雜、調整定位幅度較小、定位不夠準確等問題。
為解決上訴技術問題，本發明提供的可動光學元件調節定位裝置包括 主鏡筒l,可動鏡組2，固定鏡組3，板簧片4，球頭柱塞5，驅動電機8， 電才幾固定板9，驅動才幾構10和位移傳感器系統20。其中，可動4竟組2包括 可動鏡組鏡片2a和可動鏡組鏡筒2b,通過板簧片4固定在主鏡筒1內，且 可動鏡組2在主鏡筒1內可以沿光軸方向上下運動；固定鏡組3包括固定鏡 組鏡片3a和固定鏡組鏡筒3b,固定在主鏡筒1內，可動鏡組鏡片2a通過板 簧片4與固定鏡組鏡片3a同光軸；驅動機構10為一級槓桿機構，包括通過 撓性軸承104安裝在基座103上的槓桿101、通過彈簧固定件102固定在基 座103上的彈簧片105和安裝在所述槓桿101長柄處的圓柱銷106，驅動才幾構10通過固定螺釘14沿光軸方向均布固定在所述主鏡筒1上，驅動電機8 通過電機固定板9隨驅動機構10均布固定在主鏡筒1外側，位移傳感器系 統20包括位移傳感器20a和傳感器支架20b，通過固定螺4丁 15沿光軸均布 固定在所述主鏡筒1外側。
根據本發明提供的可動光學元件調節定位裝置，其中，板簧片4為平板 形狀，具有第一沿圓周分布的面201和第二被沿圓周曲線切開的剩餘面202， 所述第二沿圓周分布的面202與所述第一沿圓周分布的面201相鄰連4妻，且 所述第二^圓周分布的面202環形寬度為所述第一沿圓周分布的面201環形 寬度的1/2至1/3, 二者具有相同的曲率半徑。板簧片4第一沿圓周分布的 面201通過第一固定螺釘13固定在主鏡筒1上，板簧片4第二沿圓周分布 的面202通過第二固定螺釘12固定在可動鏡組鏡筒2b上。且板簧片4徑向 方向的剛度遠大於其軸向方向的剛度，從而使得可動鏡組2軸向運動更容易， 而在軸向運動的同時徑向不發生相對位移。
球頭柱塞5是一種內置壓縮彈簧的緊定螺釘，包括一內置彈簧和一位於 其下端的滾珠。球頭柱塞5均勻;^文置在可動鏡組鏡筒2b下端面螺紋孔內， 球頭柱塞5下端滾珠與主鏡筒1接觸。球頭柱塞5安裝時保證一定的預緊力， 預緊力大小取決於內置彈簧壓縮距離以及內置彈簧的剛度，足夠的預緊力用 以保證所述可動鏡組2在軸向運動時所述可動鏡組鏡片2a光軸不發生傾斜。
驅動機構10工作時，槓桿101可沿撓性軸承104作一定角度無間隙轉 動，轉動角度不大於15度，其中，撓性軸承104是一種內置交叉彈簧片的 圓柱型軸承，具有無摩擦、無需潤滑、自定心、自消隙、高重複性、低滯後 等優點。撓性軸承104使驅動機構基本可以消除回程誤差，而彈簧片105通 過彈簧固定件102固定在基座103上，另一端搭在圓柱銷106上，彈簧片105為槓桿101提供回彈力。在驅動電才幾8工作過程中，驅動電才幾8的驅動軸直 接驅動槓桿101長柄處。
根據本發明提供的可動光學元件調節定位裝置，可動鏡組2在三組驅動 電機8同步作用下沿光軸運動。驅動電機8驅動軸作軸向運動推動驅動機構 10中的槓桿101長柄，槓桿101短柄驅動可動鏡組鏡筒2b面6,使可動鏡 組鏡片2a沿光軸運動，均布放置在可動鏡組鏡筒2b內的球頭柱塞5提供反 向作用力。可動鏡組鏡片2a運動精度取決於驅動電機8精度和驅動機構10 精度，驅動機構IO提供一級減速，這一軸向調節定位裝置可以大幅度提高 可動鏡組鏡片2a相對固定鏡組鏡片3a的位移精度，可達到0.5fxm以下，行 程可達0.2mm。
而可動鎮:組2在一組或兩組驅動電才幾8作用下相對所述固定4竟組3作傾 斜調整運動。驅動電才幾8驅動軸作軸向運動推動驅動機構10中的槓桿101 長柄，槓桿101短柄驅動可動鏡組鏡筒2b面6,使可動鏡組鏡片2a此端面 作沿光軸運動，其餘端面靜止不動，由此實現可動鏡組2相對固定鏡組3的 傾斜調整，均布放置在可動鏡組鏡筒2b內的球頭柱塞5提供反向作用力。 可動鏡組鏡片2a傾在牛調整精度取決於驅動電才幾8精度和驅動4幾構IO精度， 驅動機構10提供一級減速，這一傾斜調節定位裝置傾斜調整精度可以達到 0.5mrad以下。
此外，位移傳感器20a為非接觸式位移傳感器，可用來測量可動鏡組鏡 片2a與固定鏡組鏡片3a的相對位移量，由此可以檢測到可動鏡組2沿光軸 方向的位移量。位移傳感器20a還具有檢測原點的原點檢測功能，通過讀取 原點位置，可以獲得可動鏡組2在光軸方向的絕對位置。
本發明的技術效果是，可動鏡組2通過板簧片4固定在主鏡筒1上，可動電機8驅動採用無隙撓性軸承的驅動機構中槓桿機構長柄，其短柄驅動可 動鏡組沿光軸運動，本調節定位裝置的結構相對簡單，驅動電機8和位移傳
感器系統20安裝在主鏡筒1外側，因此可以更方便的對驅動電機8和位移 傳感器系統20進行維修和更換。本調節定位裝置的軸向運動精度可達到 0.50.5pm以下，水平向調整精度可達0.5mrad。本調節定位裝置結構緊湊， 運行平穩，無摩擦，無潤滑，低滯後性，且重複性好，可動鏡組運動行程可 達到0.2mm,線性度極好。
圖1為本發明提供的可動光學元件調節定位裝置基本機構圖，其中1-主鏡筒；4-彈簧片；8-驅動電機；9-電機固定板；12、 13-固定螺釘；20-位移 傳感器系統；
圖2為本發明提供的可動光學元件調節定位裝置基本結構剖視圖，其中 l-主鏡筒；2-可動鏡組；2a-可動鏡組鏡片；2b-可動鏡組鏡筒；3-固定鏡組； 3a-固定鏡組鏡片；3b-固定鏡組鏡筒；4-板簧片；5-球頭柱塞；8-驅動電機； 9-電機固定板；lO-驅動機構；11、 12、 15-固定螺釘；20-位移傳感器系統； 20a-位移傳感器；20b-位移傳感器支架；
圖3為本發明提供的可動光學元件調節定位裝置基本結構仰視圖，其中 l-主鏡筒；4-板簧片；10-驅動機構；12、 13-固定螺釘；
圖4為本發明提供的可動光學元件調節定位裝置電機驅動機構簡圖，其 中l-主鏡筒；2a-可動鏡組鏡片；4-板簧片；6-可動鏡組鏡筒的面；8-驅動
電機；9-電機固定板；lOl-槓桿；102-彈簧固定件；103-基座；104-撓性軸承；
ii105-彈簧片;106-圓柱銷;12、 13、 14-固定螺釘;
圖5為本發明提供的可動光學元件調節定位裝置板簧片結構圖，其中 201和202為平4反形狀板簧片4沿圓周分布的兩個面。
具體實施例方式
為使本發明的目的、技術方案和優點更加清楚，下面結合附圖對本發明 作進一步的詳細描述。
圖1為可動光學元件調節定位裝置基本結構圖，圖2為基本結構剖視 圖，圖3為基本結構仰視圖，圖4為電機驅動機構簡圖。
結合參考圖l-4,本實施例提供了曝光設備中一種光學元件軸向調節定 位裝置，該裝置是為了調整可動鏡組鏡片2a相對固定鏡組鏡片3a的位置， 包括軸向調整和水平傾斜調整。
可動光學元件軸向調節定位裝置主要包括主鏡筒l,可動鏡組2，固 定鏡組3，板簧片4，球頭柱塞5，驅動電機8，驅動機構10，位移傳感器系 統20。
主鏡筒1是整個調節定位裝置安裝的基礎，為固定鏡組3和可動鏡組2 提供水平安裝基準。
固定鏡組3包括固定鏡組鏡片3a和固定鏡組鏡筒3b，固定鏡組鏡片 3a通過光學膠固定在固定鏡組鏡筒3b上，固定鏡組3通過固定螺釘11安 裝在主鏡筒1上，固定鏡組鏡片3a與主鏡筒1同光軸。
可動鏡組2包括可動鏡組鏡片2a和可動鏡組鏡筒2b,可動鏡組鏡片 2a通過光學膠固定在可動鏡組鏡筒2b上，可動鏡組2通過板簧片4和固定 螺釘12、 13安裝在主鏡筒1上，可動鏡組鏡片2a通過板簧片4與固定鏡組鏡片3a同光軸。
球頭柱塞5是一種內置壓縮彈簧的緊定螺釘，其均布放置在可動鏡組 鏡筒2b下端面螺紋孔內，球頭柱塞5下端滾i朱與主鏡筒1接觸。球頭柱塞5 安裝時保證一定的預緊力，預緊力大小取決於球頭柱塞5的內置彈簧壓縮距 離以及內置彈簧的剛度K。足夠的預緊力可以保證可動鏡組2在上下運動時 可動鏡組鏡片2a光軸不發生傾斜。
驅動才幾構10為一級槓桿才幾構，通過固定螺4丁 14沿光軸方向均布固定 在主4竟筒1上。如圖4所示，驅動機構10包括槓桿101，彈簧固定件102, 基座103，撓性軸承104，彈簧片105,圓柱銷106。槓桿101通過撓性軸承 104安裝在基座103上，並可沿撓性軸承104作一定角度無間隙轉動。撓性 軸承104是一種內置交叉彈簧片的圓柱型軸承，具有無摩擦、無需潤滑、自 定心、自消隙、高重複性、低滯後性等優點。撓性軸承104使驅動機構基本 可以消除回程誤差，圓柱銷106安裝在槓桿101長柄處，彈簧片105通過彈 簧固定件102固定在基座103上，另一端搭在圓柱銷106上，彈簧片105為 槓桿101提供回彈力。
驅動電機8通過電機固定板9隨驅動機構10均布固定在主鏡筒1外側， 驅動電機8驅動軸直接驅動槓桿101長柄處。
如圖2、4所示，可動鏡組2在三組驅動電才幾8同步作用下沿光軸運動。 驅動電才幾8驅動軸作軸向運動推動驅動才幾構10中槓桿101長柄，槓桿101 短柄驅動可動鏡組鏡筒2面6，使可動鏡組鏡片2a沿光軸運動，均布放置在 可動鏡組鏡筒2b內的球頭柱塞5提供反向作用力。可動鏡組鏡片2a運動精 度取決於驅動電機8精度和驅動機構10精度，驅動機構10提供一級減速。 本實施例的光學元件的軸向調節定位裝置可以大幅度提高可動鏡組鏡片2a相對固定鏡組鏡片3a的位移精度，可達到0.5pm以下。
如圖2、 4所示，可動4竟組2在一組或兩組驅動電才幾8作用下相對所述 固定鏡組3作傾斜調整運動。驅動電機8驅動軸作軸向運動推動驅動驅動機 構10中槓桿101長柄，槓桿101短柄驅動可動鏡組鏡筒2b面6,使可動鏡 組鏡片2a此端面作沿光軸運動，其餘端面靜止不動，由此實現可動鏡組2 相對固定鏡組3的傾斜調整，均布放置在可動鏡組2b內的球頭柱塞5提供 反向作用力。可動鏡組鏡片2a傾斜調整精度取決於驅動電機8精度和驅動 機構IO精度，驅動機構IO提供一級減速。本實施例的光學元件的傾斜調節 定位裝置傾斜調整精度可以達到0.5mrad以下。
如圖2~4所示，可動鏡組2通過板簧片4固定在主鏡筒1上。如圖5 所示，板簧片4為平板形狀，沿圓周分布的面201通過固定螺釘13固定在 主鏡筒1上，沿圓周分布的面202通過固定螺釘12固定在可動鏡組鏡筒2b 上。其徑向方向的剛度遠大於其軸向方向的剛度，板簧片4徑向方向的大剛 度使得可動鏡組2上下運動時徑向不發生相對位移，板簧片4厚度方向的小 剛度〗吏得可動鏡組2上下運動更容易。
如圖2所示，可動光學元件軸向調節定位裝置還包括位移傳感器系統 20，位移傳感器系統20為非接觸式位移傳感器，位移傳感器系統20通過固 定螺釘15沿光軸均布固定在主鏡筒l外側，位移傳感器系統20包括位移 傳感器20a和傳感器支架20b，位移傳感器20a用來測量可動鏡組鏡片2a與
固定#:組#:片3a的相對位移量，由此可以4企測到可動#:組2沿光軸方向的
位移量。位移傳感器20a還具有檢測原點的原點檢測功能，通過讀取原點位 置，可以獲得可動鏡組2在光軸方向的絕對位置。
如圖2所示，驅動電機8和位移傳感器系統20安裝在主鏡筒1外側，因此可以更方便的對驅動電機8和位移傳感器系統20進行維修和更換。
在不偏離本發明的精神和範圍的情況下還可以構成許多有很大差別的 實施例。應當理解，除了如所附的權利要求所限定的，本發明不限於在說明 書中所述的具體實施例。
權利要求
1.一種可動光學元件調節定位裝置，主要包括主鏡筒(1)，可動鏡組(2)，固定鏡組(3)，板簧片(4)，其特徵在於，該可動光學器件調節定位裝置還包括球頭柱塞(5)，驅動電機(8)，電機固定板(9)，驅動機構(10)和位移傳感器系統(20)，其中，所述可動鏡組(2)通過板簧片(4)固定在所述主鏡筒(1)內，所述固定鏡組(3)固定在所述主鏡筒(1)內，所述驅動機構(10)通過固定螺釘(14)沿光軸方向均布固定在所述主鏡筒(1)上，所述驅動電機(8)通過電機固定板(9)隨所述驅動機構(10)均布固定在所述主鏡筒(1)外側，所述位移傳感器系統(20)通過固定螺釘(15)沿光軸均布固定在所述主鏡筒(1)外側。
2. 根據權利要求1所述的可動光學元件調節定位裝置，其特徵在於，所述可 動鏡組(2)包括可動鏡組鏡片(2a)和可動鏡組鏡筒(2b)。
3. 根據權利要求2所述的可動光學元件調節定位裝置，其特徵在於，所述可 動鏡組鏡片(2a)通過光學膠固定在所述可動鏡組鏡筒(2b)上。
4. 根據權利要求2或3所述的可動光學元件調節定位裝置，其特徵在於，所 述可動鏡組(2)在所述主鏡筒(1)內可以沿光軸方向上下運動。
5. 根據權利要求1所述的可動光學元件調節定位裝置，其特徵在於，所述固 定鏡組(3)包括固定鏡組鏡片(3a)和固定鏡組鏡筒(3b)。
6. 根據權利要求5所述的可動光學元件調節定位裝置，其特徵在於，所述固 定鏡組鏡片(3a)通過光學膠固定在所述固定鏡組鏡筒(3b)上。
7. 根據權利要求1所述的可動光學元件調節定位裝置，其特徵在於，所述板 簧片(4)為平板圓環形狀，具有第一沿圓周分布的面(201)和第二被 沿圓周曲線切開的剩餘面(202)，所述第二沿圓周分布的面(202)與所述第一沿圓周分布的面(201)相鄰連接，且所述第二沿圓周分布的面 (202)環形寬度為所述第一沿圓周分布的面(201)環形寬度的1/2至 1/3, 二者具有相同的曲率半徑。
8. 根據權利要求7所述的可動光學元件調節定位裝置，其特徵在於，所述板 簧片(4)第一沿圓周分布的面(201 )通過第一固定螺釘(13)固定在 所述主鏡筒(1)上，所述板簧片(4)第二沿圓周分布的面(202)通過 第二固定螺釘(12)固定在所述可動鏡組鏡筒(2b)上。
9. 根據權利要求7或8所述的可動光學元件調節裝置，其特徵在於，所述板 簧片(4)徑向方向的剛度遠大於其軸向方向的剛度，從而使得所述可動 鏡組(2)軸向運動更容易，而在軸向運動的同時徑向不發生相對位移。
10.所述可動鏡組鏡片(2a)通過板簧片(4)與所述固定鏡組鏡片(3a)同 光軸。
11. 根據權利要求1所述的可動光學元件調節定位裝置，其特徵在於，所述 球頭柱塞(5)包括一內置彈簧和一位於其下端的滾珠。
12. 根據權利要求11所述的可動光學元件調節定位裝置，其特徵在於，所述 球頭柱塞(5)均勻放置在所述可動鏡組鏡筒(2b)下端面螺紋孔內。
13. 根據權利要求11所述的可動光學元件調節定位裝置，其特徵在於，所述 球頭柱塞(5)下端滾珠與所述主鏡筒(1 )接觸。
14. 根據權利要求11或12或13所述的可動光學元件調節定位裝置，其特徵 在於，所述球頭柱塞(5)具有一定的預緊力，所述預緊力的大小取決於 所述內置彈簧壓縮距離以及內置彈簧的剛度，足夠的預緊力用以保證所 述可動鏡組(2)在軸向運動時所述可動鏡組鏡片(2a)光軸不發生傾斜。
15. 根據權利要求1所述的可動光學元件調節定位裝置，其特徵在於，所述驅動機構(10)為一級槓桿機構，其包括通過撓性軸承(104)安裝在基 座(103 )上的槓桿(101 )，通過彈簧固定件(102)固定在基座(103 ) 上的彈簧片(105)，和安裝在所述槓桿(101)長柄處的圓柱銷(106)。
16. 根據權利要求15所述的可動光學元件調節定位裝置，其特徵在於，所述撓性軸承(104 )為內置交叉彈簧片的圓柱型軸承。
17. 根據權利要求15所述的可動光學元件調節定位裝置，其特徵在於，所述槓桿(101 )可沿所述撓性軸承(104)作一定角度無間隙轉動，轉動角 度不大於15度。
18. 根據權利要求15或16或17所述的可動光學元件調節定位裝置，其特徵在於，所述彈簧片(105) —端固定在所述基座(103)上，另一端搭在 所述圓柱銷(106)上，為所述槓桿(101 )提供回彈力。
19. 根據權利要求1或15所述的可動光學元件調節定位裝置，其特徵在於，所述驅動電機(8)驅動軸直接驅動所述槓桿(101 )長柄處。
20. 根據權利要求1所述的可動光學元件調節定位裝置，其特徵在於，所述位移傳感器系統(20)為非接觸式位移傳感器。
21. 根據權利要求20所述的可動光學元件調節定位裝置，其特徵在於，所述位移傳感器系統(20)包括位移傳感器(20a)和傳感器支架(20b )。
22. 根據權利要求20或21所述的可動光學元件調節定位裝置，其特徵在於，所述位移傳感器系統(20)用來測量所述可動鏡組鏡片(2a)與所述固 定鏡組鏡片(3a)的相對位移量，由此4企測所述可動鏡組(2)沿光軸方 向的位移量。
23. 根據權利要求20或21所述的可動光學元件調節定位裝置，其特徵在於，所述位移傳感器系統(20)具有檢測原點的原點檢測功能，通過讀取原 點位置，可以獲得所述可動鏡組(2)在光軸方向的絕對位置。
24.力艮據^5L利要求1或3或6或11或12或13或15所述的可動光學元件調節 定位裝置，其特徵在於，所述可動鏡組(2)在三組所述驅動電機(8) 同步作用下沿光軸運動，所述驅動電機(8)驅動軸作軸向運動推動所述 驅動4幾構(10)中的槓桿(101 )長柄，槓桿(101 )短柄驅動所述可動 鏡組(2)面(6),使所述可動鏡組鏡片(2a)沿光軸方向運動，均布放 置在所述可動鏡組鏡筒(2b )內的球頭柱塞(5 )提供反向作用力。
25. 根據權利要求1或3或6或11或12或13或15所述的可動光學元件調節 定位裝置，其特徵在於，所述可動鏡組鏡片(2a)的運動精讀取決於所 述驅動電機(8)精度和所述驅動機構(10)精度，所述驅動機構(10) 提供一級減速。
26. 才艮據一又利要求1或3或6或11或12或13或15所述的可動光學元件調節定位裝置，其特徵在於，所述可動鏡組(2)在一組或兩組所述驅動電機 (8 )作用下相對所述固定鏡組(3 )作傾斜調整運動，所述驅動電機(8 ) 驅動軸作軸向運動推動所述驅動^L構(10)中槓桿(101)長柄，所述槓 杆(101)短柄驅動所述可動鏡組鏡筒(2b)面(6)，使所述可動鏡組鏡 片(2a)此端面沿光軸方向運動，其餘端面靜止不動，由此實現所述可 動鏡組(2)相對所述固定鏡組(3)的傾斜調整，所述均布放置在所述 可動鏡組鏡筒(2b)內的球頭柱塞(5)提供反向作用力。
27. 根據權利要求1或3或6或11或12或13或15所述的可動光學元件調節 定位裝置，其特徵在於，所述可動鏡組鏡片(2a)傾斜調整精度取決於 所述驅動電機(8 )精度和所述驅動機構(10 )精度，所述驅動機構(10 )提供一級減速。
28. 根據權利要求1所述的可動光學元件調節定位裝置，其特徵在於，所述可 動鏡組鏡片(2a)相對所述固定鏡組鏡片(3a)的位移精度，可達到0.5|im 以下，朽—禾呈可達0.2mm。
29. 根據權利要求1所述的可動光學元件調節定位裝置，其特徵在於，所述 可動鏡組鏡片(2a)相對所述固定鏡組鏡片(3a)的傾斜調整精度可以 達到0.5mrad以下。
全文摘要
一種可動光學元件調節定位裝置，涉及一種光刻設備，該裝置中可動鏡組通過板簧片固定在主鏡筒上，可動鏡組在驅動電機作用下可以沿光軸運動或是進行水平向傾斜調整，驅動電機驅動採用無隙撓性軸承的驅動機構中槓桿機構長柄，其短柄驅動可動鏡組沿光軸運動，本調節定位裝置軸向運動精度可達到0.5μm以下，水平向調整精度可達0.5mrad。本調節定位裝置結構緊湊，運行平穩，無摩擦，無潤滑，低滯後性，且重複性好，可動鏡組運動行程可達到0.2mm，線性度極好。
文檔編號G03F7/20GK101609193SQ20091005539
公開日2009年12月23日 申請日期2009年7月24日 優先權日2009年7月24日
發明者王洪尊, 譚長永 申請人:上海微電子裝備有限公司