等離子體沉積鍍膜系統的廢氣過濾裝置的製作方法

2023-06-04 08:34:26

專利名稱：等離子體沉積鍍膜系統的廢氣過濾裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種等離子體沉積鍍膜系統的部件，特別是涉及一種等離子體沉積鍍膜系統的廢氣過濾裝置。
下面結合圖1和圖2對已有等離子體沉積鍍膜系統及其廢氣過濾裝置的基本結構和工作過程加以說明已有等離子體沉積鍍膜系統及其廢氣過濾裝置的基本結構是如圖1所示，沉積室1內部空間相向設置有平板狀電極2和金屬板材3，電極2與金屬板材3分別與外部直流電源(圖中未示出)的兩個電極相連接；另外，在沉積室1的下部一側設置有工程氣體注入管4，另一側設置廢氣排放管5，廢氣排放管5上設置有廢氣過濾裝置6和抽氣泵7。圖2所示，過濾裝置6的殼體8的一側設有廢氣入口8A，另一側設有廢氣出口8B；殼體8的內部設置有區劃板9，區劃板9殼體8的內部空間分隔成廢氣進入區和廢氣排出區兩個區域；區劃板9上安裝有若干個濾芯10，殼體8的底部設置有用來收集異物的容器11。
已有等離子體沉積鍍膜系統及其廢氣過濾裝置的工作過程是通過工程氣體注入管4向沉積室1注入工程氣體，同時啟動抽氣泵7，接通外部直流電源，電極2與金屬板材3之間的電位差使工程氣體電離形成等離子體，某種離子在電場力的作用下附著在金屬板材的表面，形成一定厚度的保護膜。與此同時，在抽氣泵7的作用下，反應後形成的廢氣及異物通過廢氣排放管5進入過濾裝置6，經濾芯10過濾後，進入廢氣排出區，通過廢氣出口8B排放出去；隨廢氣進入過濾裝置6的較大異物則在重力的作用下落入容器11。
上述已有等離子體沉積鍍膜系統的廢氣過濾裝置缺點是過濾裝置6對廢氣進行一次性過濾，混入廢氣中的雜質及異物，除了較大異物在重力的作用下落入容器11之外，其餘細小顆粒或較小顆粒狀態的雜質及異物在抽氣泵7的作用下隨著廢氣進入濾芯10或附著在濾芯10的表面，使得濾芯10很快被堵塞，大大縮短了濾芯10的使用壽命，需要頻繁更換濾芯10。更換濾芯時需要暫時使停止等離子體沉積鍍膜系統停止運行，因而降低整個系統的生產效率。
為了解決上述技術問題，本發明等離子體沉積鍍膜系統的廢氣過濾裝置採用的技術方案是等離子體沉積鍍膜系統的廢氣過濾裝置包括一級過濾裝置和二級過濾裝置；所述的一級過濾裝置的作用是過濾廢氣中顆粒較大的異物，所述的二級過濾裝置的作用是過濾廢氣中顆粒特別細小的異物。
所述的一級過濾裝置包括外管、廢氣流入管、內管和異物收集容器；所述的廢氣流入管一端與廢氣排出通道相連通，另一端與外管上部相連通；所述的內管一端插入外管內，其外壁與外管的內壁之間留有間隔，另一端與二級過濾裝置廢氣流入口相對接並於二級過濾裝置的內腔相連通；所述的異物收集容器位於外管的下部並於外管成一體連通結構。
所述的二級過濾裝置包括二級過濾裝置殼體、區劃板和若干個濾芯；所述的二級過濾裝置殼體的上側部設有二級過濾裝置廢氣排出口，下部設有二級過濾裝置廢氣流入口；所述的區劃板設置在二級過濾裝置殼體內部空間的中部，將二級過濾裝置殼體內部空間分隔成廢氣進入區和廢氣排出區兩個區域；所述的濾芯安裝在區劃板上。
本發明的有益效果是結構簡單，對廢氣進行二級過濾，在一級過濾裝置中，顆粒較大的異物已被過濾掉，進入二級過濾裝置進行二級過濾的廢氣中只混有顆粒特別細小的異物，因此有效地防止了顆粒較大的異物對濾芯的阻塞，延長了濾芯的使用壽命，提高了等離子體沉積鍍膜系統的生產效率。


圖1為已有等離子體沉積鍍膜系統的結構剖視圖；圖2為圖1所示已有等離子體沉積鍍膜系統的廢氣過濾裝置構造的結構剖視圖；圖3為本發明等離子體沉積鍍膜系統的廢氣過濾裝置具體實施方式
中等離子體沉積鍍膜系統的結構剖視圖；圖4為本發明等離子體沉積鍍膜系統的廢氣過濾裝置具體實施方式
的結構剖視圖；圖5為本發明等離子體沉積鍍膜系統的廢氣過濾裝置具體實施方式
的一級過濾裝置的結構示意圖；圖6為本發明等離子體沉積鍍膜系統的廢氣過濾裝置具體實施方式
的二級過濾裝置的結構示意圖；圖7為本發明等離子體沉積鍍膜系統的廢氣過濾裝置具體實施方式
的工作過程示意圖。
圖中101沉積室104工程氣體注入通道105；廢氣排出通道 106過濾裝置107抽氣泵110一級過濾裝置111廢氣流入管112外管113異物收集容器 114內管220二級過濾裝置 221二級過濾裝置廢氣流入口222二級過濾裝置廢氣排出口223二級過濾裝置殼體 224區劃板225濾芯具體實施方式
下面結合附圖和具體實施方式
對本發明等離子體沉積鍍膜系統的廢氣過濾裝置作進一步詳細說明如圖3所示，採用本發明的等離子體沉積鍍膜系統包括沉積室101、電極102、金屬板材103、過濾裝置106、抽氣泵107和直流電源(圖中未示出)；所述的沉積室101下部一側設置有工程氣體注入通道104，另一側設置有廢氣排出通道105；所述的電極102和金屬板材103相向設置在沉積室101的內部空間，並且分別與直流電源的正、負極相連接；所述的過濾裝置106和抽氣泵107依次安裝在廢氣排出通道105上。
如圖4、5、6所示，本發明等離子體沉積鍍膜系統的廢氣過濾裝置包括一級過濾裝置110和二級過濾裝置220；所述的一級過濾裝置110包括外管112、廢氣流入管111、內管114和異物收集容器113；所述的廢氣流入管111一端與廢氣排出通道105相連通，另一端與外管112上部相連通；所述的內管114一端插入外管112內，其外壁與外管112的內壁之間留有間隔，另一端與二級過濾裝置廢氣流入口221相對接並於二級過濾裝置220的內腔相連通；所述的異物收集容器113位於外管112的下部並於外管112成一體連通結構。所述的二級過濾裝置220包括二級過濾裝置殼體223、區劃板224和若干個濾芯225；所述的二級過濾裝置殼體223的上側部設有二級過濾裝置廢氣排出口222，下部設有二級過濾裝置廢氣流入口221；所述的區劃板224設置在二級過濾裝置殼體223內部空間的中部，將二級過濾裝置殼體223內部空間分隔成廢氣進入區和廢氣排出區兩個區域；所述的濾芯225安裝在區劃板224上。
下面對本發明等離子體沉積鍍膜系統的廢氣過濾裝置的工作過程加以說明等離子體沉積鍍膜系統運行時，在抽氣泵107的作用下，從沉積室101的廢氣排出通道105排出的廢氣進入過濾裝置106，在一級過濾裝置中進行一級過濾廢氣通過廢氣流入管111進入一級過濾裝置的外管112，並於一級過濾裝置的內管114的外壁相碰撞，廢氣中顆粒較大的異物被阻擋，受自身重力的作用向下落入異物收集容器113；只有顆粒特別細小的異物能夠隨廢氣一起通過內管114的下口進入二級過濾裝置，通過二級過濾裝置廢氣流入口221進入二級過濾裝置的廢氣經過濾芯225的過濾，最後從二級過濾裝置廢氣排出口222排出。
由於本發明等離子體沉積鍍膜系統的廢氣過濾裝置對廢氣進行了二級過濾，在一級過濾裝置中，顆粒較大的異物已被過濾掉，進入二級過濾裝置進行二級過濾的廢氣中只混有顆粒特別細小的異物，因此有效地防止了顆粒較大的異物對濾芯的阻塞，延長了濾芯的使用壽命，提高了等離子體沉積鍍膜系統的生產效率。
權利要求
1.一種等離子體沉積鍍膜系統的廢氣過濾裝置，其特徵在於包括一級過濾裝置(110)和二級過濾裝置(220)；所述的一級過濾裝置(110)的作用是過濾廢氣中顆粒較大的異物，所述的二級過濾裝置(220)的作用是過濾廢氣中顆粒特別細小的異物。
2.根據權利要求1所述的等離子體沉積鍍膜系統的廢氣過濾裝置，其特徵在於所述的一級過濾裝置(110)包括外管(112)、廢氣流入管(111)、內管(114)和異物收集容器(113)；所述的廢氣流入管(111)一端與廢氣排出通道(105)相連通，另一端與外管(112)上部相連通；所述的內管(114)一端插入外管(112)內，其外壁與外管(112)的內壁之間留有間隔，另一端與二級過濾裝置廢氣流入口(221)相對接並於二級過濾裝置(220)的內腔相連通；所述的異物收集容器(113)位於外管(112)的下部並於外管(112)成一體連通結構。
3.根據權利要求1或2所述的等離子體沉積鍍膜系統的廢氣過濾裝置，其特徵在於所述的二級過濾裝置(220)包括二級過濾裝置殼體(223)、區劃板(224)和若干個濾芯(225)；所述的二級過濾裝置殼體(223)的上側部設有二級過濾裝置廢氣排出口(222)，下部設有二級過濾裝置廢氣流入口(221)；所述的區劃板(224)設置在二級過濾裝置殼體(223)內部空間的中部，將二級過濾裝置殼體(223)內部空間分隔成廢氣進入區和廢氣排出區兩個區域；所述的濾芯(225)安裝在區劃板(224)上。
全文摘要
本發明提供了一種等離子體沉積鍍膜系統的廢氣過濾裝置包括一級過濾裝置和二級過濾裝置；所述的一級過濾裝置的作用是過濾廢氣中顆粒較大的異物，所述的二級過濾裝置的作用是過濾廢氣中顆粒特別細小的異物。本發明的有益效果是結構簡單，對廢氣進行二級過濾，在一級過濾裝置中，顆粒較大的異物已被過濾掉，進入二級過濾裝置進行二級過濾的廢氣中只混有顆粒特別細小的異物，因此有效地防止了顆粒較大的異物對濾芯的阻塞，延長了濾芯的使用壽命，提高了等離子體沉積鍍膜系統的生產效率。
文檔編號B01D36/00GK1473953SQ0212913
公開日2004年2月11日 申請日期2002年8月19日 優先權日2002年8月19日
發明者吳定根, 鄭永萬, 尹東植 申請人:樂金電子(天津)電器有限公司