塗布顯影設備及其溫度控制設備的製作方法

2023-10-10 11:03:19 2

塗布顯影設備及其溫度控制設備的製作方法【專利摘要】本發明公開了一種塗布顯影設備及其溫度控制設備，該溫度控制設備包括至少一個熱傳感器和溫度調整裝置；該熱傳感器插設於調整板中的中空的頂杆中，該頂杆用於支撐基板；該溫度調整裝置根據該熱傳感器檢測到的該基板的溫度，對該基板進行溫度控制。本發明通過將熱傳感器設置於塗布顯影設備的調整板的頂杆中，使得能夠直接對基板的溫度進行測量，對玻璃板的溫度進行實時的反應和調整。【專利說明】塗布顯影設備及其溫度控制設備【
技術領域：
】[0001]本發明涉及溫度控制設備，且特別涉及一種塗布顯影設備及其溫度控制設備。【
背景技術：
】[0002]TCU(Temperaturecontrolunit,溫度控制單元)為塗布顯影設備(Track)近曝光機前，調節玻璃基板溫度的裝置，為使塗布顯影設備正常工作，通常需要將玻璃基板的溫度控制在23±0.I。。。[0003]參見圖1所示為現有技術中塗布顯影設備及其T⑶裝置的示意圖，T⑶裝置的位置架設於塗布顯影設備中的調整板(Tunetable,Track廠商製造)的上方，T⑶裝置的溫度偵測位置為TCU裝置的出風口位置，TCU根據檢測到的溫度，利用冷凍機與加熱器調節玻璃基板的溫度。[0004]現有技術中的此種溫度測量方式，由於TCU裝置的溫度檢測設備在出風口，無法立刻測得玻璃基板的實時溫度，也就無法針對玻璃基板的溫度進行實時的反應和調整，若玻璃基板發生溫度控制異常，則會導致曝光機的精度不穩，嚴重情況下甚至導致重大異常發生。【
發明內容】[0005]鑑於現有技術的上述問題和/或其他問題，本發明提供了一種塗布顯影設備及其溫度控制設備。[0006]本發明實施例提供了一種塗布顯影設備的溫度控制設備，包括:至少一個熱傳感器和一溫度調整裝置；所述熱傳感器固定於至少一頂杆，所述頂杆能以頂部支撐基板；所述溫度調整裝置根據所述熱傳感器檢測到的所述基板的溫度，對所述基板進行溫度控制。[0007]根據上述構思，所述溫度調整裝置通過冷凍機或加熱器對所述基板的溫度進行調難iF.0[0008]根據上述構思，所述熱傳感器為熱電偶。[0009]根據上述構思，所述熱傳感器固定於所述頂杆頂部，所述熱傳感器能接觸所述基板。[0010]根據上述構思，所述頂杆為中空結構，所述熱傳感器的信號線路位於所述頂杆中空空間內。[0011]本發明實施例還公開了一種塗布顯影設備，包括溫度控制設備和調整板；[0012]該溫度控制設備包括至少一個熱傳感器和溫度調整裝置；[0013]該調整板包括多個用於支撐該基板的頂杆，其中，所述多個頂杆中的至少一個為中空結構，該中空的頂杆中插設有該熱傳感器；[0014]該溫度調整裝置根據該熱傳感器檢測到的該基板的溫度，對該基板進行溫度控制。[0015]其中，所述調整板中的中空的頂杆均勻的分布於該基板下，形成正方形陣列。[0016]其中，所述調整板中的中空的頂杆均勻的分布於該基板的邊緣，以及該基板的中心位置。[0017]其中，所述調整板中的中空的頂杆於一設定區域的分布密度大於平均分布密度。[0018]本發明通過將熱傳感器設置於塗布顯影設備的調整板的頂杆中，使得能夠直接對基板的溫度進行測量，對基板的溫度進行實時的反應和調整。【專利附圖】【附圖說明】[0019]圖1為現有技術的T⑶裝置和塗布顯影設備的示意圖。[0020]圖2為本發明的現有技術的T⑶裝置和塗布顯影設備的示意圖。[0021]圖3為在調整板的頂杆中加裝熱傳感器的示意圖。[0022]圖4為熱傳感器的分布示意圖。【具體實施方式】[0023]現在將參考附圖更全面地描述示例實施方式。然而，示例實施方式能夠以多種形式實施，且不應被理解為限於在此闡述的實施方式；相反，提供這些實施方式使得本公開將全面和完整，並將示例實施方式的構思全面地傳達給本領域的技術人員。在圖中，為了清晰，誇大了區域和層的厚度。在圖中相同的附圖標記表示相同或類似的結構，因而將省略它們的詳細描述。[0024]此外，所描述的特徵、結構或特性可以以任何合適的方式結合在一個或更多實施例中。在下面的描述中，提供許多具體細節從而給出對本公開的實施例的充分理解。然而，本領域技術人員將意識到，可以實踐本公開的技術方案而沒有所述特定細節中的一個或更多，或者可以採用其它的方法、組元、材料等。在其它情況下，不詳細示出或描述公知結構、材料或者操作以避免模糊本公開的各方面。[0025]本發明提供了一種塗布顯影設備及其溫度控制設備，參見圖2所示為本發明的塗布顯影設備的示意圖，其包括T⑶裝置I和調整板2。T⑶裝置I至少包括熱傳感器11和溫度調節裝置，溫度調節裝置包括冷凍機與加熱器等；調整板2包括多個用於支撐基板3的頂杆21，基板3可為玻璃基板、PVC基板或其它可用材質基板。[0026]參見圖2所示，該熱傳感器11設置於調整板2中的頂杆21中。參見圖3所示，本發明將調整板2中的頂杆21加工成中空的形狀，使其可以容納一熱傳感器11，通常頂杆21的直徑約為1-2釐米，可根據實際需要選擇直徑小於頂杆21的熱傳感器11，將其插設入頂杆21中，該熱傳感器11可以選擇熱電偶(Thermocouple)。頂杆21可為招合金等輕質材料，可選擇由車床鑽孔成形，也可以選擇直接通過專用模具擠出成形。[0027]在頂杆21中空空間內，熱傳感器11可位於頂部，以便於能直接接觸所支撐的基板3，才能正確的回傳基板溫度，且熱傳感器的信號線路可位於頂杆21的中空空間內，以降低由外側線路裸露導致設備幹涉的風險。[0028]在塗布顯影設備中，調整板2的作用為將基板3進行90度轉向，因後續的曝光工藝中，基板3進入機臺的角度為90度，由於機臺限制無法以O度角進入，因此需要調整板2對基板3進行轉向，而調整板2中的頂杆21的作用為支撐基板3，將頂杆21加工成中空並不會對調整板2的功用造成影響。[0029]通過將熱傳感器11直接加裝到調整板2中的頂杆21中，使得熱傳感器11能夠直接檢測基板3的實時溫度，也就使得TCU裝置I能夠根據基板3的實時溫度，對基板3的溫度進行實時的控制，由此可以提高對基板3溫度控制的及時性和控制效果。[0030]在對基板3的溫度進行調節時，是通過調節冷凍機及加熱器出力比例，實現對基板3的溫度調節。[0031]本發明中，可以將熱傳感器11均勻的設置在基板3的中間和邊緣位置，形成nXn的陣列，參見圖4所示，可以將四個角、四個邊的中心及正中的位置的頂杆21加工成中空，在其中設置熱傳感器11，加裝了熱傳感器11的頂杆21為9個，形成3X3的陣列。能夠想到的是，加裝了熱傳感器11的頂杆21也可以設置成均勻分布的4X4陣列或5X5陣列等，可根據具體的需要選擇設置熱傳感器11的頂杆21的位置。[0032]通過上述的加裝方式，就能實現對基板3的邊緣及中心位置的溫度檢測。[0033]在實現本發明的過程中，發明人還發現，通常情況下，基板3的邊緣的溫度與中心的溫度會有差距，在進行降溫曲線測試時，基板3邊緣的溫度下降比較慢。因此，對於溫度下降比較慢的該區域，可以加裝較多的熱傳感器，以提高測量精度，如可以選取較多的或全部的位於基板3的邊緣的頂杆21，在其中加裝熱傳感器11。[0034]此外，對於在某些特殊情況下，可能會出現基板3的受熱會不均勻，即存在基板3的某一區域受熱較多。則可以在基板3受熱較多的區域，選取較多的或全部的頂杆21，在其中加裝熱傳感器11，以提高該區域的溫度檢測精度。進一步的，若需要更精確的溫度監測，還可以在該區域增加頂杆21，並在其中加裝熱傳感器11。[0035]通常情況下，對基板3的邊緣及中間裝設熱傳感器11即可掌握基板的溫度變化，而對於一些精密度要求更高的情況，還可以在每個頂杆21中都加裝熱傳感器11，這對於溫度檢測和控制是更有效益的，但會相應的增加製作成本，故可根據實際的需要選擇加裝熱傳感器的數量和位置分布。[0036]本發明通過將熱傳感器設置於塗布顯影設備的調整板的頂杆中，使得能夠直接對基板的溫度進行測量，對基板的溫度進行實時的反應和調整。[0037]本領域技術人員應當意識到在不脫離本發明所附的權利要求所揭示的本發明的範圍和精神的情況下所作的更動與潤飾，均屬本發明的權利要求的保護範圍之內。【權利要求】1.一種塗布顯影設備的溫度控制設備，包括:至少一個熱傳感器和一溫度調整裝置；所述熱傳感器固定於至少一頂杆，所述頂杆以頂部支撐一基板；所述溫度調整裝置根據所述熱傳感器檢測到的所述基板的溫度，對所述基板進行溫度控制。2.根據權利要求1所述的溫度控制設備，其特徵在於，所述溫度調整裝置通過一冷凍機或一加熱器對所述基板的溫度進行調整。3.根據權利要求1所述的溫度控制設備，其特徵在於，所述熱傳感器為一熱電偶。4.根據權利要求1至3任一項所述的溫度控制設備，其特徵在於，所述熱傳感器固定於所述頂杆頂部並接觸所述基板。5.根據權利要求4所述的溫度控制設備，其特徵在於，所述頂杆為一中空結構，所述熱傳感器的信號線路位於所述頂杆中空結構內。6.一種塗布顯影設備，包括溫度控制設備和調整板；所述溫度控制設備包括至少一個熱傳感器和溫度調整裝置；所述調整板包括多個用於支撐基板的頂杆，其中，所述多個頂杆中的至少一個為中空結構，所述中空結構的頂杆中插設有所述熱傳感器；所述溫度調整裝置根據所述熱傳感器檢測到的所述基板的溫度，對所述基板進行溫度控制。7.根據權利要求6所述的塗布顯影設備，其特徵在於，所述調整板中的中空的頂杆均勻的分布於所述基板下，形成正方形陣列。8.根據權利要求6所述的塗布顯影設備，其特徵在於，所述調整板中的中空的頂杆均勻的分布於所述基板的邊緣，以及所述基板的中心位置。9.根據權利要求6所述的塗布顯影設備，其特徵在於，所述調整板中的中空的頂杆於一設定區域的分布密度大於平均分布密度。10.根據權利要求6至9任一項所述的塗布顯影設備，其特徵在於，所述熱傳感器固定於所述頂杆頂部並接觸所述基板。【文檔編號】G05D23/22GK103941773SQ201410162957【公開日】2014年7月23日申請日期:2014年4月22日優先權日:2014年4月22日【發明者】劉健行,黃章詠,劉剛申請人:上海和輝光電有限公司