半導體生產設備管理系統的製作方法

2023-09-19 01:34:00

專利名稱：半導體生產設備管理系統的製作方法
技術領域：
本發明涉及生產設備的管理，適用於具有完備設備相關數據條件下，需要特色化管理的狀況。
背景技術：
通常的設備管理系統一般都具備採集設備、故障、備品備件、採購信息等數據的功能。但在管理方面往往只能實現簡單的統計以及通用性的分析功能，而不能實現多層次的分析計算匯總功能，且存在著橫向查詢比對困難、開發工具靈活性通用性差等問題。由於不同行業的生產設備，特色化管理項目繁多，分析計算方法複雜，因此只使用通常的設備管理系統往往不能全面有效地實施管理。

發明內容
在原管理系統的基礎上，根據特色管理需要，建立數據傳輸通道，設計製作數據分析模塊，快速實時地獲取指定的設備管理參數。構成圖參見圖1。原管理系統主要是簡單的履歷保管，其查詢方法煩瑣，無法實現數據的橫向比較和複雜的分析運算；運行耗時長，必須以用戶登錄界面方式進入，方可進行查詢。新系統直接連接後臺資料庫，讀取指定欄位數據，並對數據進行分析處理獲得所需分析結果，由於數據通道與原系統完全不同，使用只讀方式進行後臺登錄，因此在完全不影響原系統工作的情況下，運行速度快5倍以上。
本發明的目的是提供一種生產設備特色分析、查詢管理系統，利用即存系統的資料庫通過導出工具對需求數據進行導出，再進行各類複雜的分析處理及計算，獲得設備管理所需要的統計結果；同時當資料庫數據發生變化時，通過刷新隨時獲得最新的統計結果，達到及時、客觀、有效的管理目的。
本發明涉及的一種半導體生產設備管理系統，包括採集設備、故障、備品備件、採購信息步驟，該系統有一個實現建立數據傳輸通道、設計製作數據分析模塊、快速實時獲指定的設備管理參數。
所述的半導體生產設備管理系統，首先新建資料庫查詢並選擇數據源，然後使用Microsoft ODBC for Oracle聯結與數據源進行連接，選擇需要的表和列設置指定列條件及排序方式。
所述的半導體生產設備管理系統數據分析模包括工單及設備狀態查詢、備品查詢、採購狀態查詢、設備資料查詢、生產批管理查詢。
所述的半導體生產設備管理系統的多表查詢，則要在Microsoft Query中添加表單並設定條件。
在本發明中，實現了即存資料庫數據導出及再處理功能，並能實現數據的及時刷新，隨時獲得最新的導出數據，進而利用再處理功能，迅速獲得最新的處理結果。實現了信息的橫向查詢比對功能，可將客戶要求的項目進行數據篩選、比對，與傳統的檔案式管理相比，操作直觀且快速有效。實現了設備狀態實時監控功能，能夠根據設備故障狀況，及時形象地顯示發生故障的設備位置即相關信息。本發明具有報表統計功能，能夠直接獲得用戶需求報表，且具有靈活的再處理能力，可進一步進行分析計算。此外還提供了智能分析功能，可根據歷史數據預測今後可能出現的情況，為計劃管理提供有效的幫助。


圖1是半導體生產設備管理分析查詢系統基本構成圖2是建立資料庫連接的實施流程圖3是分析查詢系統文件結構圖4是「日報」宏設計流程圖5是「設備故障統計」文件及函數設計方案圖6是針對「日報」中組立工序的處理宏程序
具體實施例方式閱讀以下本發明的詳細敘述和附圖，將會進一步了解本發明的實施方式及特點。下面將敘述本發明的一個應用於半導體生產設備管理分析查詢系統的實施例。其基本構成分為數據傳輸通道，包括數據連接與半導體生產設備特色管理系統更新及分析查詢系統模塊，包括模塊結構設計、函數運算設計、宏命令設計等參見圖1。
一、實施例系統首先需要數據傳輸通道實現基本數據的傳輸及更新功能。本發明使用了ODBC功能進行了據傳輸通道的設計ODBC(Open Database Connectivity)即開放式資料庫連接，可提供對Oracle資料庫的直接訪問，獲取需要欄位的數據，並加以分析利用。本設計選擇Microsoft ODBC forOracle作為數據導入工具。設置如下設定統一的數據源名及用戶名以便使用者統一安裝設定。建立資料庫連接實現基礎數據的導入。實施流程見圖2。首先新建資料庫查詢並選擇數據源，然後使用Microsoft ODBCfor Oracle聯結與數據源進行連接，選擇需要查詢的表和列設置指定列條件及排序方式，若需多表查詢，則還要在Microsoft Query中添加表單並設定條件，從而完成數據導入。
對外部數據區域屬性進行數據更新設置時，根據客戶的需求設定不同類型的更新方式即顯示格式。更新方式有定時更新、打開時自動更新、手動更新等。
通過數據連接與更新，EXCEL可獲取ORACLE資料庫中最新的數據。
二、實施例系統的主體部分是分析查詢系統模塊系統模塊結構如圖3所示，主要分為工單及設備狀態查詢、備品查詢、採購狀況查詢、設備資料查詢、生產批管理查詢5個模塊。各模塊中設計製作了相關的分析查詢模塊(一)工單及設備狀態查詢模塊1)現狀工單當單擊更新時，模塊運行指定宏程，直觀顯示出現場設備狀況及未完成工單情況，並提供各工單的具體信息，適用於現場保全及PC及時了解工作情況。
2)早/晚班查詢當單擊更新時，模塊運行指定宏程，直觀顯示當班期間，現場設備狀況及全部工單列表，適用於保全、主管了解自身工作情況。
3)日報當單擊更新時，模塊運行指定宏程，將當日早8:30前一天或多天內故障、品換、借用及維護情況，進行排版計算處理，最終作成當日設備日報格式供管理者使用。
4)點檢計劃查詢輸入日期範圍，表單自動更新，顯示選定日期時間範圍內所有點檢計劃的工單，供相關人員了解計劃日程。
5)設備故障統計輸入日期範圍，並單擊更新，模塊運行指定宏程，將表單自動更新，並進行各類計算，最終顯示符合選定日期時間範圍、選定故障時間條件的完成故障工單，可進行分工序分設備分故障大停/小停的統計，提供各臺設備故障時間、件數、故障率MTBF、MTTR的動態計算結果，篩選設備故障件數、故障時間、故障率、廢棄個數的動態圖表，以及主要設備群的故障統計，並作成周/月報格式，適用於主管及報表統計人員及時了解設備的故障情況。
6)完成工單輸入日期範圍，更新後顯示選定日期時間範圍內所有類型的完成工單，並進行時間、件數、MTBF、MTTR的計算，適用於主管及日報統計人員了解工單歷史。
7)工作量統計輸入日期範圍，更新後可統計設備科人員工作量，適用於各系主管使用。
(二)備品查詢模塊1、基本數據查詢備品備件動態清單輸入庫存編碼特徵值，更新後顯示查詢時刻備品備件的在庫情況，適用於設備人員查找備品及實施相關統計。
2、備品管理查詢(1)備品關聯設備、成本中心及產品顯示查詢備品與設備、成本中心及產品的關係，便於事務人員進行有針對性的統計。
(2)入出庫品成本中心及產品信息顯示查詢入出庫品信息及其成本中心與產品信息，供庫管員進行月末結帳統計。
(3)事務處理履歷查詢顯示查詢備品的操作歷史，如發放與返回、接收與轉移、調整，適用於庫管員盤庫。
(4)備品備件費用統計及預測輸入歷史期間、預測天數以及歷史與預測期設備開動狀況，模塊可通過計算分析歷史數據，預測出預算期內備品備件費用情況，以供預算人員參考使用。
(5)常用備品重訂貨管理輸入歷史期間、預測天數等信息，模塊可通過計算分析歷史數據及庫存情況，計算預測期間備品是否不足，並顯示不足報警，提示責任人進行備品購入。
三、設備資料查詢模塊(1)設備清單顯示後工序所有設備及相關信息，以便進行各類查詢與統計。
(2)設備用力參數顯示後工序所有設備的電、氣、水參數值，供相關人員統計使用。
四、生產批管理查詢模塊(1)生產批管理查詢表輸入日期範圍，更新後列表可根據生產批號查找在生產中與之有關的設備故障，以便查找產品不良原因。
(2)工單流程管理查詢輸入日期範圍，更新後顯示工單流程各階段運行時間及耗時，能使管理者及時發現工單中存在的問題。
五、採購狀況查詢模塊
(1)採購狀態查詢顯示後工序採購申請臺帳，從而監控購買情況。
(2)詢價單查詢顯示選定詢價單的具體內容，輸出詢價單標準格式。
從上述模塊中選擇有代表性的模塊進行設計說明工單及設備狀態查詢模塊-日報此模塊主要使用了宏功能宏自動完成頻繁執行的任務。如果經常在Microsoft Excel中重複某項任務，那麼可以用宏自動執行該任務。宏是存儲在Visual Basic模塊中的一系列命令和函數，當需要執行該項任務時可隨時運行宏。錄製宏時，Excel會存儲在執行一系列命令時每個步驟的信息。然後即可運行宏使其重複執行或「回放」這些命令。
在「日報」中設計了大量宏程序，設計流程見圖4。首先更新工單數據，然後按計算的故障時間排序，接下來篩選「組立」工序的「故障」，並轉置拷貝「設備」「內容」「時間」至日報原紙；篩選「組立」工序的「借用」，並轉置拷貝「設備」「內容」「時間」至日報原紙；篩選「組立」工序的「品換」，並將「件數」「時間」數值拷貝至日報原紙。封入、仕上、電鍍、選別等工序重複同組立的操作。最後，將7日內標準作業計劃更新。這樣設計出的模塊在5秒鐘內就能生產每日的設備狀況日報。圖6顯示了針對「日報」中組立工序的處理宏程序。
工單及設備狀態查詢模塊-設備故障統計在開發中，EXECL函數是溝通原始數據與需求結果間的重要工具，為實現目標必須選擇最適用的函數產品。此模塊中的關鍵函數資料庫和清單管理函數DSUM對資料庫中滿足條件的記錄的欄位列中的數字求和DCOUNTA計算資料庫中滿足條件的非空單元格的個數語法Dfunction(database，field，criteria)Database構成數據清單或資料庫的單元格區域Field指定函數所使用的數據列Criteria為對一組單元格區域的引用。這組單元格區域用來設定函數的匹配條件。資料庫函數可以返回數據清單中與條件區域所設定的條件相匹配的信息。
設計方案流程參見圖5，首先設置時間區間，根據時間條件獲取後工序工單數據，從而計算出處置時間；當處置時間符合故障時間條件時，處置時間記為故障時間；分工序列出設備，並以「設備名」為標誌利用資料庫函數導入「合計件數」「故障時間」，並利用設置時間區間進行「故障率」「MTBF」「MTTR」的計算；在「設備報告」中按照月報格式匯總同類設備群的「故障件數」、「故障率」、「MTBF」、「MTTR」等數據，並依據目標設定報警顯示方式。
權利要求
1.一種半導體生產設備管理系統，包括採集設備、故障、備品備件、採購信息步驟其特徵在於該系統有一個實現建立數據傳輸通道、設計製作數據分析模塊、快速實時獲指定的設備管理參數。
2.如權利要求1所述的半導體生產設備管理系統，其特徵在於首先新建資料庫查詢並選擇數據源，然後使用Mi crosoft ODBC for Oracle聯結與數據源進行連接，選擇需要的表和列設置指定列條件及排序方式。
3.如權利要求1所述的半導體生產設備管理系統，其特徵在於數據分析模包括工單及設備狀態查詢、備品查詢、採購狀態查詢、設備資料查詢、生產批管理查詢。
4.如權利要求2所述的半導體生產設備管理系統，其特徵在於多表查詢，則要在Microsoft Query中添加表單並設定條件。
全文摘要
本發明是一種能實現半導體生產設備特色化管理的系統。該系統包括採集設備、故障、備品備件、採購信息外，該系統還有一個實現建立數據傳輸通道、設計製作數據分析模塊、快速實時獲指定的設備管理參數。能在具有完備的設備相關數據條件下，運用通用軟體工具，設計實現快速多層次的分析、計算、匯總、查詢功能，從而使用戶獲得所要求的各類統計結果，並輸出用戶最終要求文件格式的報表。本系統通用性強，操作方便，投入使用後大大提高了設備的管理水平。
文檔編號H01L21/00GK1492474SQ02146548
公開日2004年4月28日 申請日期2002年10月22日 優先權日2002年10月22日
發明者高華, 高 華 申請人:首鋼日電電子有限公司