低溫共燒陶瓷印刷分系統上的工作檯裝置的製作方法

2023-09-21 13:28:20

專利名稱：低溫共燒陶瓷印刷分系統上的工作檯裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種應用在低溫共燒陶瓷(LTCC)印刷分系統上的能實現吸附待印刷的生瓷片的工作檯裝置。
背景技術：
隨著微電子信息技術的迅猛發展，電子整機在小型化、可攜式、多功能、數位化、高 性能、高可靠性等方面的需求，以及對元器件的小型化、集成化以至模塊化的要求都越來越 迫切。低溫共燒陶瓷(LTCC)技術應運而生，它集中了厚膜技術和高溫共燒陶瓷技術的優 點，應用於多層晶片線路模塊化設計中，有著非常廣泛的應用前景。工作檯是低溫共燒陶瓷 (LTCC)印刷分系統的核心機構。目前可採用半自動太陽能印刷設備上的工作檯應用於低溫 共燒陶瓷(LTCC)印刷分系統，但是應用於半自動太陽能印刷設備上的工作檯是手動調節 各軸位置，人工拾取放置矽片，對準精度底，效率慢。而低溫共燒陶瓷(LTCC)印刷分系統對 工作檯的要求非常嚴格，因此需要一種更好的工作檯。新的工作檯需要實現生瓷片可靠吸 附和印刷圖形的自動對準等工藝要求，對準精度能達到0. 005 μ m，是低溫共燒陶瓷印刷系 統保證精密印刷的關鍵部件。

實用新型內容本實用新型的目的就在於提供一種應用在低溫共燒陶瓷(LTCC)印刷分系統上的 工作檯裝置，本實用新型能實現吸附待印刷的生瓷片，與線性電機、驅動器、光柵尺、CCD系 統配合，能在X、Y、θ三個方向微量調節，實現精確對準。配合其他結構，能自動取放生瓷 片，全自動印刷，組成低溫共燒陶瓷(LTCC)印刷分系統，其調節更方便準確，自動化程度更 高，對位精度更高，速度更快。為實現上述目的，本實用新型的技術方案為本實用新型包括三個線性電機，三套光柵尺，三層臺板，一件多孔陶瓷板，兩副導 軌，一個軸承，其他輔助零件等組成。三層臺板由下向上依次裝配，上層臺板用質輕、加工性 能好的鑄鋁，下面兩層臺板為了防磁，採用不鏽鋼材質；上層臺板作為工作檯面板，其上表 面中央嵌設有多孔陶瓷板，在上層臺板上多孔陶瓷板的下方設有真空腔；上層臺板下面通 過軸承裝配有驅動上層臺板的θ向線性電機，中間層臺板下面通過一副χ向直線導軌裝配 有驅動中間層臺板的X向線性電機，下層臺板下面配設有裝配在一副y向直線導軌上驅動 下層臺板的y向線性電機，χ向、y向為直線方向，θ向為旋轉方向；在三層臺板一側對應χ 向線性電機裝配有χ向光柵尺，在三層臺板另一側對應θ向線性電機裝配有θ向光柵尺； y向直線導軌裝配在工作檯之外設在低溫共燒陶瓷印刷分系統的y嚮導軌座上，對應y向線 性電機的y向光柵尺裝配在y嚮導軌座上設在y向直線導軌之後。本實用新型其X、Y向線性電機對準調節量為士5mm，θ向線性電機調節量為 士2°。本實用新型的有益效果為該系統屬於微電子組裝關鍵設備，處於世界領先水平。該設備填補了國內在印刷領域的空白，為國家0611工程的圓滿成功做出了突出貢獻。三軸工作檯是低溫共燒陶瓷(LTCC)印刷分系統的核心機構。本三軸工作檯採用線性電機驅 動比螺旋測微頭手動調節更方便準確，自動化程度更高，對位精度更高，其對準精度優於 士0. 005mm，速度更快。採用多孔陶瓷板作面板，比用鑽孔的不鏽鋼板透氣性好。

圖1為本實用新型實施例的結構示意圖，圖2為本實用新型實施例的俯視結構示意圖，圖3為圖IA-A向剖視示意圖，圖4為圖2B-B向剖視示意圖。圖中1轉臺光柵墊板，2轉臺光柵尺架，3轉臺光柵頭架，4工作檯面板，5真空底 板，6多孔陶瓷板，7滾子軸承內壓蓋，8滾子軸承大壓蓋，9轉臺磁塊線圈(θ向電機動子)， 10上轉板，11上滑板，12中滑板，13 θ向電機定子，14倒鉤接頭，15聯接板，16Χ向光柵尺， 17Χ向掃描頭18Χ向直線電機動子，19Χ向直線電機導軌，20滾子軸承，21 θ向光柵讀數頭， 22Υ向直線電機導軌，23Υ向直線電機定子。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型作詳細說明，如附圖1、2、3、4所示本實用新型實施 例，所述裝置在工作時是由CCD對工件(生瓷片)進行取樣，與標準模版對比，通過特定的 算法求得該工件的位置偏差，再由線性電機驅動各層板實現。該裝置設有Χ、Υ、θ三個方向 可以微量調整功能。X、Y向對準調節量為士5mm，θ向士2°，對準精度優於士0. 005mm。安裝時先把X嚮導軌副和X向直線電機安裝在中滑臺12上，調節兩根導軌的平行 度，使其平行度小於0. 005mm，再把裝有X向直線電機動子18的上滑板11固定在X向直線 電機導軌19的滑塊上，X向直線電機動子18上配設有X向直線電機定子24 ；將轉臺磁塊線 圈(Θ向電機定子)9、滾子軸承內壓蓋7、滾子軸承20、滾子軸承大壓蓋8、真空底板5、倒 鉤接頭14依次安裝，並固定在上滑板11上；然後安裝上轉板10和鑲好多孔陶瓷板6的上 層臺板即工作檯面板4用螺釘緊固。最後用螺釘將轉臺光柵墊板1、轉臺光柵尺架2、轉臺 光柵頭架3固定在上轉板10和上滑板11上，並將θ向光柵讀數頭21固定好，同時將另一 側X向光柵尺16等電器件固定在其相應的位置。這套機構再與Y向直線電機導軌22連接 好，本實用新型y向直線導軌22裝配在工作檯之外設在低溫共燒陶瓷印刷分系統的y嚮導 軌座上，對應y向線性電機的y向光柵尺裝配在y嚮導軌座上設在y向直線導軌之後。這 樣整套三軸工作檯至此則安裝完畢，圖3中可見Y向直線電機定子23。
權利要求低溫共燒陶瓷印刷分系統上的工作檯裝置，其特徵在於所述工作檯裝置包括三個線性電機x向、y向、θ向，三套光柵尺，三層臺板，一件多孔陶瓷板，兩副直線導軌，一個軸承；三層臺板由下向上依次裝配，上層臺板用質輕、加工性能好的鑄鋁，下面兩層臺板為了防磁，採用不鏽鋼材質；上層臺板作為工作檯面板，其上表面中央嵌有多孔陶瓷板，在上層臺板下面在多孔陶瓷板的下方設有真空腔；在上層臺板下面通過軸承裝配有驅動上層臺板的θ向線性電機，中間層臺板下面通過一副x向直線導軌裝配有驅動中間層臺板的x向線性電機，下層臺板下面配設有裝配在一副y向直線導軌上驅動下層臺板的y向線性電機，x向、y向為直線方向，θ向為旋轉方向；在三層臺板一側對應x向線性電機裝配有x向光柵尺，在三層臺板另一側對應θ向線性電機裝配有θ向光柵尺；中y向直線導軌裝配在工作檯之外設在低溫共燒陶瓷印刷分系統的y嚮導軌座上，對應y向線性電機的y向光柵尺裝配在y嚮導軌座上設在y向直線導軌之後。
2.根據權利要求1所述的低溫共燒陶瓷印刷分系統上的工作檯裝置，其特徵在於X、Y 向線性電機對準調節量為士5mm，θ向線性電機調節量為士2°。
專利摘要本實用新型涉及一種應用在低溫共燒陶瓷(LTCC)印刷分系統上的能實現吸附待印刷的生瓷片的工作檯裝置。本實用新型包括三個線性電機，三套光柵尺，三層臺板，一件多孔陶瓷板，兩副導軌，一個軸承，其他輔助零件等組成。在工作時是由CCD對工件(生瓷片)進行取樣，與標準模版對比，通過特定的算法求得該工件的位置偏差，再由線性電機驅動各層板實現。本實用新型裝置設有X、Y、θ三個方向可以微量調整功能，X、Y向對準調節量為±5mm，θ向±2°，對準精度優於±0.005mm。其調節更方便準確，自動化程度更高，對位精度更高，速度更快。
文檔編號H01L21/48GK201638798SQ201020102210
公開日2010年11月17日 申請日期2010年1月27日 優先權日2010年1月27日
發明者張建亮, 王慧, 趙立華, 陳煜 申請人:中國電子科技集團公司第四十五研究所