一種太陽能矽單晶爐的充氣裝置的製作方法

2023-12-02 17:26:41 1

專利名稱：一種太陽能矽單晶爐的充氣裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種太陽能矽單晶的爐充氣裝置，所屬技術領域為太陽能光伏產 業。它適用於採用直拉法工藝拉制太陽能級單晶矽的矽單晶爐，尤其是要求對矽單晶爐充 氣量有精確控制要求及有斷電應急手動操作功能要求的矽單晶爐。
背景技術：
目前公知的太陽能級直拉法矽單晶爐的充氣裝置主要有採用電磁閥或氣動閥實 現自動控制或完全手動控制兩種，也有部分的矽單晶爐在採用自動控制的同時在副室部分 又增加了一路手動控制閥。目前還沒有具有手動和自動控制功能一體的矽單晶爐充氣裝 置。一般來說，手動控制的充氣裝置需要完全由人手工操作，且對充氣量的控制也要靠人工 來調節，精確度不高，也不能實現自動化控制。自動控制充氣裝置用三個常閉電磁截止閥或 氣動閥來控制對矽單晶爐的主室和副室充氣，它在突然斷電時就不能工作，而且缺少斷電 保護功能，而僅在副室部分增加了一路手動控制閥，也只能應急保護矽料而不能將生產工 藝過程繼續下去。
發明內容為了解決現有矽單晶爐充氣裝置中存在的不足，實現自動精確充氣控制和應急手 動控制功能兼備，本實用新型提供了一種新型的太陽能級矽單晶爐充氣裝置。該裝置不但 具有通常充氣裝置的充氣功能，還具有斷電應急手動控制功能，並可選擇自動控制和手動 控制。本實用新型所採用的技術方案是充氣裝置中的副室充氣管接頭1、主室充氣管 接頭2、氣源充氣管接頭3、第一常閉電磁截止閥7、第二常閉電磁截止閥8、第三常閉電磁截 止閥9、第一手動隔膜閥4、第二手動隔膜閥6和質量流量控制器5按特定結構連接固定在 面板上，第一手動隔膜閥4、第二手動隔膜閥6、第一常閉電磁截止閥7和質量流量控制器5 並聯，第一手動隔膜閥4、第二手動隔膜閥6、第一常閉電磁截止閥7和質量流量控制器5的 進氣口和氣源充氣管接頭3相連接，第二常閉電磁截止閥8和第三常閉電磁截止閥9並聯 後與質量流量控制器5串聯，第二常閉電磁截止閥8和第三常閉電磁截止閥9的進氣口與 質量流量控制器5的出氣口相連接，第一手動隔膜閥4和第三常閉電磁截止閥9並聯，第一 手動隔膜閥4和第三常閉電磁截止閥9的出氣口與副室充氣管接頭1相連接，第二常閉電 磁截止閥8、第一常閉電磁截止閥7和第二手動隔膜閥6並聯，第二常閉電磁截止閥8、第一 常閉電磁截止閥7和第二手動隔膜閥6的出氣口與主室充氣管接頭2相連接。本實用新型的有益效果是可以自由選擇手動控制和自動遠程控制的充氣控制方 式，通過質量流量控制來實現對主室及副室充氣量的精確控制，同時還能在發生斷電的緊 急情況時採用手動控制操作，直至有備用電源接上或恢復供電。本實用新型結構簡單，使用 方便。

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以下結合附圖對本實用新型的實施例進一步說明。附圖是本實用新型結構圖。圖中1.副室充氣管接頭，2.主室充氣管接頭，3.氣源充氣管接頭，4.第一手動隔 膜閥，5.質量流量控制器，6.第二手動隔膜閥，7.第一常閉電磁截止閥，8.第二常閉電磁 截止閥，9.第三常閉電磁截止閥具體實施方式
充氣裝置中的副室充氣管接頭1、主室充氣管接頭2、氣源充氣管接頭3、第一常閉 電磁截止閥7、第二常閉電磁截止閥8、第三常閉電磁截止閥9、第一手動隔膜閥4、第二手動 隔膜閥6和質量流量控制器5按特定結構連接固定在面板上，第一手動隔膜閥4、第二手動 隔膜閥6、第一常閉電磁截止閥7和質量流量控制器5並聯，第一手動隔膜閥4、第二手動隔 膜閥6、第一常閉電磁截止閥7和質量流量控制器5的進氣口和氣源充氣管接頭3相連接， 第二常閉電磁截止閥8和第三常閉電磁截止閥9並聯後與質量流量控制器5串聯，第二常 閉電磁截止閥8和第三常閉電磁截止閥9的進氣口與質量流量控制器5的出氣口相連接， 第一手動隔膜閥4和第三常閉電磁截止閥9並聯，第一手動隔膜閥4和第三常閉電磁截止 閥9的出氣口與副室充氣管接頭1相連接，第二常閉電磁截止閥8、第一常閉電磁截止閥7 和第二手動隔膜閥6並聯，第二常閉電磁截止閥8、第一常閉電磁截止閥7和第二手動隔膜 閥6的出氣口與主室充氣管接頭2相連接。關閉第三常閉電磁截止閥9和第一常閉電磁截止閥7，啟動第二常閉電磁截止閥8 和質量流量控制器5，經自動控制系統控制質量流量控制器5的氣體質量流量，可實現向副 室精確充氣。關閉第二常閉電磁截止閥8和第一常閉電磁截止閥7，啟動第三常閉電磁截止閥9 和質量流量控制器5，經自動控制系統控制質量流量控制器5的氣體質量流量，可實現向主 室精確充氣。關閉第二常閉電磁截止閥8、第三常閉電磁截止閥9和質量流量控制器5，啟動第 一常閉電磁截止閥7，可實現向副室快速充氣。當緊急停電時，第一常閉電磁截止閥7、第二常閉電磁截止閥8和第三常閉電磁截 止閥9不工作，通過調節第一手動隔膜閥4和第二手動隔膜閥6，可實現對矽單晶爐的主室 和副室進行手動充氣。
權利要求1. 一種太陽能級矽單晶爐的充氣裝置，其特徵是充氣裝置中的副室充氣管接頭(1)、 主室充氣管接頭O)、氣源充氣管接頭(3)、第一常閉電磁截止閥(7)、第二常閉電磁截止閥 (8)、第三常閉電磁截止閥(9)、第一手動隔膜閥G)、第二手動隔膜閥(6)和質量流量控制 器(5)按特定結構連接固定在面板上，第一手動隔膜閥G)、第二手動隔膜閥(6)、第一常閉 電磁截止閥(7)和質量流量控制器( 並聯，第一手動隔膜閥G)、第二手動隔膜閥(6)、第 一常閉電磁截止閥(7)和質量流量控制器(5)的進氣口和氣源充氣管接頭C3)相連接，第 二常閉電磁截止閥(8)和第三常閉電磁截止閥(9)並聯後與質量流量控制器(5)串聯，第 二常閉電磁截止閥(8)和第三常閉電磁截止閥(9)的進氣口與質量流量控制器( 的出氣 口相連接，第一手動隔膜閥(4)和第三常閉電磁截止閥(9)並聯，第一手動隔膜閥(4)和第 三常閉電磁截止閥(9)的出氣口與副室充氣管接頭(1)相連接，第二常閉電磁截止閥(8)、 第一常閉電磁截止閥(7)和第二手動隔膜閥(6)並聯，第二常閉電磁截止閥(8)、第一常閉 電磁截止閥(7)和第二手動隔膜閥(6)的出氣口與主室充氣管接頭( 相連接。
專利摘要本實用新型涉及一種太陽能級矽單晶爐的充氣裝置，它由副室充氣管接頭1、主室充氣管接頭2、氣源充氣管接頭3、第一常閉電磁截止閥7、第二常閉電磁截止閥8、第三常閉電磁截止閥9、第一手動隔膜閥4、第二手動隔膜閥6、質量流量控制器5用無縫鋼管及相應管接頭按特定結構順序連接而成。通過質量流量控制器5、第二常閉電磁截止閥8、第三常閉電磁截止閥9來實現對矽單晶爐主室和副室進行自動精確充氣；通過第一常閉電磁截止閥7來實現對矽單晶爐副室的自動快速充氣；通過第一手動隔膜閥4和第二手動隔膜閥6來實現對矽單晶爐的主室和副室進行手動充氣。本實用新型使用方便，結構簡單。
文檔編號C30B15/00GK201915163SQ201020541289
公開日2011年8月3日 申請日期2010年9月26日 優先權日2010年9月26日
發明者張春華, 文武, 李曉平, 楊朝旭, 楊榮啟 申請人:北京京儀世紀電子股份有限公司