噴塗用粉末和粉末製法、用該粉末的噴塗層及噴塗層製法的製作方法

2023-05-13 16:09:56 1

專利名稱：：噴塗用粉末和粉末製法、用該粉末的噴塗層及噴塗層製法的製作方法
技術領域：
：本發明實施例涉及噴塗工藝用粉末和製成該粉末的方法，及使用該粉末的噴塗層和形成該噴塗層的方法。更具體地，本發明的實施例涉及其孔隙數量減少了的噴塗工藝用粉末和製成這種粉末的方法，以及使用了這種粉末、其層密度得到改善的噴塗層，以及形成該噴塗層的方法。
背景技術：
：在通常的等離子體處理系統中，源氣轉變成等離子體，該源等離子體對如半導體晶片之類的基板進行處理。該源等離子體除了對基板進行處理，還會對等離子體處理系統的工藝室的內表面造成損傷。為此，在工藝室的內表面上塗有防止工藝室受損的保護層。最廣為採用的等離子體工藝室內保護層是噴塗層，用於防止因源等離子體引起的工藝室內表面腐蝕。所述噴塗層採用氧化釔(Y203)、氧化鋁(Al203)、二氧化矽(Si02)、碳化硼(B4C)等粉末經噴塗工藝形成。圖1A為照片，示出了現有噴塗層的剖面，圖1B為放大照片，示出了圖1A所示照片的一部分。參見圖1A和圖1B，現有噴塗層有晶狀結構，該結構裡有許多孔隙或空隙。工藝室內的源等離子體滲入該噴塗層的晶狀結構中的空隙內，因此該噴塗層被源等離子體腐蝕。從而，噴塗層從等離子體處理系統的工藝室的內表面上脫落，因此源等離子體直接造成對工藝室內表面的損傷。
發明內容因此，本發明提供一種噴塗工藝用粉末，所述粉末具有無定形結構且內部空隙較小。本發明的另一實施例提供一種形成上述噴塗工藝用粉末的方法。本發明的另一實施例提供一種使用上述粉末的噴塗層，所述噴塗粉末具有提高了的層密度。本發明的另一實施例提供一種形成上述噴塗層的方法。根據本發明的一個方面，提供一種噴塗工藝用噴塗粉末。所述噴塗粉末包括含有氧化釔和氧化鋁且平均直徑為約20pm至約60pm的粗粒狀顆粒。6在一實施例中，所述氧化釔與所述氧化鋁的重量比的範圍為約1:0.41。根據本發明的一個方面，提供了一種噴塗工藝用噴塗粉末。所述噴塗粉末包括平均直徑為約20pm至約60pm的顆粒，且由包含第一漿體和第二漿體的混合漿體生成。所述第一漿體含有直徑為約0.01pm至約2pm的氧化釔顆粒、用於均勻分散所述氧化釔顆粒的第一分散劑、用於粘結所述氧化釔顆粒的第一粘結劑以及所述氧化釔顆粒、第一分散劑和第一粘結劑溶於其中的第一溶劑。所述第二漿體含有直徑為約0.5)nm至約2pm的氧化鋁顆粒、用於均勻分散所述氧化鋁顆粒的第二分散劑、用於粘結所述氧化鋁顆粒的第二粘結劑以及所述氧化鋁顆粒、第二分散劑和第二粘結劑溶於其中的第二溶劑。在一實施例中，所述第一分散劑包含鹼性物質，且所述第二分散劑包含酸性物質。所述第一分散劑相對所述第一漿體的比例的範圍為約0.3%至約0.5%，且所述第二分散劑相對所述第二漿體的比例的範圍為約0.3%至約2%。在一實施例中，所述第一粘結劑相對所述第一漿體的比例的範圍為約2%至約3%，且所述第二粘結劑相對所述第二漿體的比例的範圍為約2%至約3%。在一實施例中，所述第一漿體和所述第二漿體中固體物質的比例的範圍分別為約20%至約30%。在一實施例中，在漿體混合物中氧化釔與氧化鋁的重量比的範圍為約1:0.41。根據本發明的一個方面，提供了一種形成噴塗工藝用噴塗粉末的方法。第一漿體形成為含有氧化釔顆粒、分散所述氧化釔顆粒的第一分散劑及第一溶劑；且第二漿體形成為含有氧化鋁顆粒、分散所述氧化鋁顆粒的第二漿體及第二溶劑。通過相互混合所述第一漿體和第二漿體形成漿體混合物；以及對所述漿體混合物進行噴霧乾燥工藝和熱處理工藝，從而形成包含氧化釔和氧化鋁的粗粒狀顆粒。在一實施例中，所述氧化釔顆粒的平均直徑為約0.01pm至約2iim，且所述氧化鋁顆粒的平均直徑為約0.5jam至約2pm。在一實施例中，所述第一分散劑包含鹼性物質。所述第一分散劑包括至少一種選自下組的物質羧基物質、酯基物質、醯胺基物質和其組合物，且所述第一分散劑相對所述第一漿體的比例的範圍為約0.3%至約0.5%。在一實施例中，所述第二分散劑包括酸性物質。所述第二分散劑包括至少一種選自下組的物質羧基物質、酯基物質、醯氨基物質其它們的組合物；且所述第二分散劑相對所述第二漿體的比例的範圍為約0.3%至約2%。在一實施例中，所述第一漿體具有鹼性，且所述第二漿體具有酸性。所述7第一漿體中的所述氧化釔顆粒具有負表面電荷，且所述第二漿體中的所述氧化鋁顆粒具有正表面電荷，且所述氧化釔顆粒和氧化鋁顆粒通過靜電吸引而互相粘結。在一實施例中，固體物質相對所述第一和第二漿體的比例的範圍分別為約20%至約30%。在一實施例中，所述第一和第二溶劑包括有機物質和水溶液中的一種。在一實施例中，所述第一漿體還包括使所述氧化釔顆粒相互粘結的第一粘結劑，且所述第二漿體還包括使所述氧化鋁顆粒相互粘結的第二粘結劑。在一實施例中，所述第一粘結劑包括聚乙烯類物質或丙烯酸類物質，且所述第一粘結劑相對所述第一漿體的比例的範圍為約2%至約3%，並且所述第二粘結劑包括聚乙烯類物質或丙烯酸類物質，且所述第二粘結劑相對所述第二漿體的範圍為約2%至約3%。在一實施例中在所述槳體混合物中，所述第一漿體中的氧化釔相對所述第二漿體中的氧化鋁的重量比的範圍為約1:0.41。在一實施例中，對所述漿體混合物的所述熱處理工藝在約80(TC至約150(TC的溫度下進行。在一實施例中，形成過程包括步驟形成含有氧化釔顆粒的所述第一漿體，形成含有氧化鋁顆粒的所述第二漿體，形成所述漿體混合物並進行所述噴霧乾燥工藝，且所述熱處理工藝在空氣、氫氣、氧氣、氮氣或它們的混合物的氣氛中進行。根據本發明的一個方面，提供了一種噴塗工藝用噴塗粉末的方法。製備具有包含氧化釔和氧化鋁的粗粒狀顆粒的噴塗粉末，並將所述噴塗粉末以溶解狀態噴到物體上。所述顆粒的平均直徑的範圍為約20|im至約60pm。在一實施例中，通過大氣等離子體噴塗(APS)工藝、高速氧燃料(HVOF)噴塗工藝、真空等離子體噴塗(VPS)工藝和動力噴塗工藝中的一種來進行所述噴塗粉末的噴塗。根據本發明的一個方面，提供了一種形成噴塗工藝用噴塗粉末的方法。利用包含第一漿體和第二漿體的漿體混合物製備噴塗粉末。所述噴塗粉末包括平均直徑為約20至約60pm的顆粒，所述第一漿體含有直徑為約0.01pm至約2pm的氧化釔顆粒、均勻分散所述氧化釔顆粒的第一分散劑、粘結所述氧化釔顆粒的第一粘結劑以及所述氧化釔顆粒、第一分散劑和第一粘結劑溶於其中的第一溶劑。所述第二漿體含有直徑為約0.5(am至約2)im的氧化鋁顆粒、均勻分散所述氧化鋁顆粒的第二分散劑、粘結所述氧化鋁顆粒的第二粘結劑以及所述氧化鋁顆粒、第二分散劑和第二粘結劑溶於其中的第二溶劑。然後，將所述噴塗粉末以溶解狀態噴射至物體。在一實施例中，所述第一分散劑包括鹼性物質，且所述第二分散劑包括酸性物質。所述第一分散劑相對所述第一漿體的比例的範圍為約0.3%至約0.5%，而所述第二分散劑相對所述第二漿體的比例的範圍為約0.3%至約2%。在一實施例中，所述第一粘結劑相對所述第一漿體的比例的範圍為約2%至約3%，而所述第二粘結劑相對所述第二漿體的比例的範圍為約2%至約3%。在一實施例中，固體物質相對所述第一和第二漿體的比例的範圍分別為約20%至約30%。在一實施例中，在所述漿體混合物中，第一漿體中的氧化釔相對第二漿體中的氧化鋁的重量比的範圍為約1:0.41。在一實施例中，所述噴塗粉末是通過APS工藝、HVOF噴塗工藝、VPS工藝或動力噴塗工藝進行噴塗的。根據本發明的一個方面，提供了一種噴塗層，包括氧化釔和氧化鋁，且具有經噴塗工藝形成的無定形結構。在一實施例中，其孔隙率範圍為約0.5%至約2%。在一實施例中，其粘合強度至少為約13MPa。在一實施例中，其硬度至少為約650HV。在一實施例中，在所述漿體混合物中，第一漿體中的氧化釔相對第二漿體中的氧化鋁的重量比的範圍為1:0.41，且在所述噴塗工藝中使用平均直徑為約20pm至約60pm的噴塗粉末。在一實施例中，所述噴塗層位於工藝室的內部構件的表面上，在基板上的等離子體處理在所述工藝室內進行。根據本發明的實施例，噴塗粉末形成為含有氧化釔和氧化鋁的粗粒狀顆粒，其平均直徑為約20pm至約60pm。噴塗層使用噴塗粉末通過噴塗工藝形成，因此具有無定形結構和低孔隙率。因此，當噴塗層形成於等離子體處理系統內部時，可充分防止源等離子體穿透該噴塗層。這樣，噴塗層可防止源等離子與等離子體處理系統直接接觸。此外，噴塗層可充分粘合到等離子體處理系統，以防止噴塗層從等離子體處理系統分離，並因此將噴塗層引起的汙染降到最小。具體地，噴塗層可充分防止由源等離子體引起的等離子體處理系統的腐蝕，從而顯著提高等離子體處理系統的壽命。噴塗層使用平均直徑為約20pm至約60(am的噴塗粉末通過噴塗工藝形成。因此，當噴塗層形成於等離子體處理系統內部時，可充分防止源等離子體穿透該噴塗層。參考下述詳細說明並結合附圖，本發明的上述及其它特徵和優點將變得清楚。圖1A為照片，示出了現有噴塗層的剖面，圖1B為放大照片，示出了圖1A所示照片的一部分。圖2為照片，示出了根據本發明實施例的噴塗工藝用粉末；圖3為流程圖，示出了形成本發明實施例的噴塗粉末的方法的工藝步驟；圖4為流程圖，示出了圖3所述形成第一漿體的方法的工藝步驟；圖5為流程圖，示出了圖3所述形成第二漿體的方法的工藝步驟；圖6示意了圖3所述漿體混合物中氧化釔和氧化鋁的結合機理；圖7為流程圖，示出了根據本發明實施例的形成噴塗層的方法；圖8A為照片，示出了根據本發明實施例的噴塗層的剖面，圖8B為放大照片，示出了圖8A所示噴塗層的一部分；圖9示意了根據本發明實施例的等離子體處理系統的內部結構；以及圖io示意了根據本發明實施例的噴塗層的x射線衍射圖樣。具體實施例方式參見示出本發明實施例的附圖，下文將更詳細地描述本發明。然而，本發明可以以許多不同的形式實現，並且不應解釋為受在此提出之實施例的限制。相反，提出這些實施例是為了達成充分及完整公開，並且使本
技術領域：
的技術人員完全了解本發明的範圍。附圖中，為了清楚起見，可能對層和區域的尺寸和相對尺寸進行了誇大。應理解，當將元件或層稱為在另一元件或層"上"，或"連接至"另一元件或層之時，其可以是直接在另一元件或層上或與另一元件或層連接，或者存在居於其間的元件或層。與此相反，當將元件或層稱為"直接"在另一元件或層上，或"直接"連接在另一元件或層，則不存在居於其間的元件或層。通篇相同的標記代表相同的元件。如本文中所使用的，用語"和/或"包括一或多個相關的所列項目的任何或所有組合。應理解，儘管本文中使用第一、第二、第三等用語來描述各種元件、組件、區域、層和/或區段，但這些元件、組件、區域、層和/或區段並不受到這些用語的限制。這些用語僅用於區分一元件、組件、區域、層和/或區段與其它區域、層或區段。因此，下文所稱之第一元件、組件、區域、層或區段可稱為第二元件、組件、區域、層或區段，而不脫離本發明的教導。如"下"、"上"等空間相關表述，在本文中使用這些用語以描述如圖所示的一個元件或部件與另一元件或部件的關係。應理解，這些與空間相關的表述除圖中所示方位之外，還用於涵蓋在使用或操作中該裝置的不同方位。例如，若圖中的該裝置翻轉，描述為在其它元件"下"的元件會轉而定向為在其它元件"上"。由此，該示例的用語"下"可同時涵蓋"下"和"上"兩個方位。該裝置可以是另外的方位(旋轉90度或其它方位)，並且本文所作出的這些空間相關表述需作相應地解釋。本文中所使用的表述僅用於描述特定的實施例，並不用於限制本發明。如本文中所用的，單數形式的"一"、"所述"可用於包括複數形式，除非其上下文明示。還應理解，當本說明書中使用表述"包括"之時，明確說明了存在有所描述的部件、整體、步驟、操作、元件及/或組件，但並不排除存在或附加有一個或多個其它部件、整體、步驟、操作、元件、組件及/或它們的組。根據剖視圖對本發明的實施例進行描述，這些剖視圖是本發明理想的實施方式的(和中間結構的)示意圖。同樣地，作為例如製造工藝和/或公差的結果，示出形狀的變化形式是可以預期的。因此，本發明的實施方式不應解釋為限於本文所示區域的特定形狀，而應包括例如因製造引起的形狀偏差。例如，顯示為矩形的嵌入區域，通常具有圓的或彎曲的結構、禾口/或在其邊緣的嵌入程度的梯度，而不是從嵌入區變為非嵌入區的二元變化。同樣地，通過嵌入形成的埋入區域可導致在該埋入區域和進行嵌入的表面之間的區域之間的區域的一些嵌入。因此，附圖中所示區域實際上是示意的，其形狀不用於表示裝置的區域的實際形狀，也不用於限制本發明的範圍。除非另行詳細說明，本文所使用的所有術語(包括科技術語)的意思與本
技術領域：
的普通技術人員所通常理解的一致。還應理解，諸如一般字典中所定義的術語應解釋為與相關技術的文本中的意思一致，並且不應解釋為理想化的或過度刻板的含義，除非在文中另有明確定義。圖2為示出了根據本發明實施例的用於噴塗工藝的粉末。參見圖2，用於噴塗工藝的粉末(下文稱為噴塗粉末)由包含第一漿體和第二漿體的漿體混合物形成。在實施例中，該第一漿體包括氧化釔顆粒、第一分散劑、第一粘結劑和第一溶劑。例如，氧化釔顆粒的直徑為約0.01^n至約2pm。當氧化釔顆粒的直徑小於約O.Olpm時，由於噴塗粉末具有該氧化釔顆粒的粗粒結構，噴塗粉末的平11均直徑會減小，從而使得氧化釔顆粒難以精確控制，因此噴塗粉末難以形成氧化釔球粒結構。相反，當氧化釔顆粒的直徑大於2pm時，氧化釔顆粒會相互結合成具有大孔隙率的粒狀結構晶體。第一分散劑將氧化釔顆粒均勻地分散在第一槳體中。在實施例中，第一分散劑為鹼性。例如，第一分散劑包括鹼性物質。或者，通過將固體或液體分散劑溶解於鹼性溶劑的方式，使第一分散劑形成鹼性混合物。第一分散劑的例子包括具有羧基的物質、具有酯基的物質以及具有醯胺基物質。這些物質可單獨或組合使用。第一分散劑的pH值為約10至約12。在本實施例中，第一分散劑的pH值約為10。在鹼性的第一分散劑中，氧化釔顆粒具有負(-)表面電荷。當第一分散劑在第一漿體中的比例大於約0.5%時，在噴霧乾燥處理中，氧化釔顆粒難以在具有粗粒晶體結構的噴塗粉末中形成球狀。例如，當噴霧乾燥處理在極高溫度下進行時，球狀噴塗粉末在其內部和外表面之間具有不同的硬度，從而噴塗粉末中的溶劑滲透其外表面並流到噴塗粉末的球狀顆粒之外，因此在噴塗粉末顆粒的外表面上形成凹陷。相反，當部分噴塗粉末中分散劑的比例過高時，在噴塗粉末中溶劑的蒸發速率局部有差別，溶劑局部流到該球狀噴塗粉末之外。因此，噴塗粉末會形成為非球狀。在等離子體處理工藝中，當將非球狀粉末噴塗到工藝室的內表面上時，該噴塗粉末的流動性變差，且噴塗粉末無法均勻地輸送入等離子體槍。因此，經噴塗工藝塗在工藝室內表面上的薄層(噴塗層)的物料性質不均勻，並且連到等離子體槍的輸送管有被噴塗粉末堵塞的風險。此外，當噴塗粉末在晶體結構內有大量孔隙和空隙時，噴塗層也會有大量孔隙和空隙，從而增加噴塗層內的孔隙率。當第一分散劑在第一漿體中的比例小於約0.3%時，因第一分散劑的量過小，第一漿體的粘度顯著增加。因此，氧化釔顆粒相互粘連而第一粘結劑不能與氧化釔顆粒充分反應，使得氧化釔粗粒結構會因該粗粒結構的粘結強度弱而在噴塗粉末中容易破裂。還有，第一和第二漿體的漿體混合物的流動性也會變差，因此，當第一漿體中第一分散劑的比例小於約0.3%時，會產生噴霧乾燥處理中噴霧乾燥機被該漿體混合物堵塞的問題。為此，第一漿體中第一分散劑的比例可以在約0.3%至約0.5%範圍內。在實施例中，第一粘結劑會提高第一漿體中氧化釔顆粒之間的粘結強度。當第一粘結劑在第一漿體中的比例小於約2%時，氧化釔顆粒不能互相充分粘結，使得具有氧化釔顆粒粗粒結構的噴塗粉末無法形成球狀。相反，當第一粘結劑在第一漿體中的比例大於約3%時，雖然噴塗粉末可充分形成為球狀，但12第-一漿體的粘度迅速增加。因此，第一和第二漿體的漿體混合物的流動性會變差，從而在噴霧乾燥處理中噴霧乾燥機會被該漿體混合物堵塞。因此，第一粘結劑在第一漿體中的比例可在約2%至3%的範圍內。第一粘結劑包括乙烯類物質和丙烯酸類物質。當第一粘結劑包括乙烯類物質時，第一溶劑包括有機物，如乙醇，而當第一粘結劑包括丙烯酸類物質時，第一溶劑包括水溶液。乙烯類物質的例子包括乙烯-醋酸乙烯(EVA)樹脂、聚氯乙稀(PVC)樹脂、聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯醇樹脂、聚乙烯醇丁縮醛、聚醋酸乙烯、聚乙烯醚等。這些物質可單獨或組合使用。丙烯酸類物質的例子包括聚甲基丙烯酸、聚甲基丙烯酸甲酯、聚丙烯腈、聚丙烯酸正丁酯、苯乙烯-甲基丙烯酸甲酯共聚物等。這些物質可單獨或組合使用。在實施例中，第一漿體包括第一溶劑。第一溶劑包括有機溶劑或水溶液。第一漿體可經球磨形成。在第一漿體中固體物質的比例(以下稱作固體比例)與第一分散劑的比例成比例。當第一漿體中固體比例小於約20%時，氧化釔顆粒難以溶解到第一溶劑中，從而降低所述粗粒結構的顆粒尺寸。相反，當第一漿體中的固體比例大於約30%時，第一漿體的粘度很高，使得形成噴塗粉末的過程太快而不能精確控制。此外，第一漿體中第一分散劑的比例很高，使得噴塗粉末會形成為非球狀。為此，第一漿體中的固體比例可在約20%至約30%範圍內。在實施例中，第二漿體包括氧化鋁顆粒、第二分散劑、第二粘結劑以及第二溶劑。例如，氧化鋁顆粒的直徑為約0.5pm至約2pm。當氧化鋁顆粒的直徑小於約0.5!im時，由於噴塗粉末具有氧化鋁顆粒的粗粒結構，噴塗粉末的平均直徑降低，從而難以精確控制氧化鋁顆粒，並因此使噴塗粉末難以形成為球粒結構。相反，當氧化鋁顆粒的直徑大於約2pm時，氧化鋁顆粒會相互結合成具有大孔隙率的粒狀結構晶體。第二分散劑將氧化鋁顆粒均勻地分散在第二漿體中。在實施例中，第二分散劑為酸性。例如，第二分散劑包括酸性物質。或者，通過將固體或液體分散劑溶解於酸性溶劑使第二分散劑形成為酸性混合物。第二分散劑的例子包括具有羧基的物質、具有酯基的物質和具有醯胺基物質。這些物質可單獨或組合使用。第二分散劑的pH值約為2至4。在本實施例中，第二分散劑的pH值約為2。在該酸性的第二分散劑中，氧化鋁顆粒具有正(+)表面電荷。當第二分散劑在第二漿體中的比例大於約2%時，由於與第一分散劑在第一眾體中的比例大於約0.5%的情形相同的原因，氧化鋁顆粒難以在噴塗粉末中形成球粒結構。當第二分散劑在第二漿體中的比例小於0.3%時，由於與第一分散劑在第一漿體中的比例小於約0.3%的情形相同的原因，氧化鋁粗粒結構在噴塗粉末中容易破裂。此外，第一和第二漿體的漿體混合物的流動性也變差，從而當第二分散劑在第二漿體中的比例小於0.3%時會產生噴霧乾燥機在噴霧乾燥過程中被該漿體混合物堵塞的問題。為此，第二分散劑在第二漿體中的比例可在約0.3%至約2%的範圍內。在實施例中，第二粘結劑可提高第二漿體中氧化鋁顆粒之間的粘結強度。當第二粘結劑在第二漿體中的比例小於約2%時，氧化鋁顆粒互相無法充分粘結，使得具有第二氧化物顆粒的粗粒結構的噴塗粉末無法形成為球狀。相反，當第二粘結劑在第二槳體中的比例大於約3%時，雖然噴塗粉末可充分形成為球狀，但第二漿體的粘度迅速增加。因此，第一和第二槳體的漿體混合物的流動性變差，從而在噴霧乾燥處理中噴霧乾燥機會被漿體混合物堵塞。因此，第二粘結劑在第二漿體中的比例在約2%至約3%的範圍內。第二粘結劑與第二粘結劑具有基本上相同的結構和功能，因此省略了對第二粘結劑的詳細描述。在實施例中，第二漿體包括第二溶劑。第二溶劑包括有機溶劑或水溶液。第二漿體經球磨形成。第二漿體的固體比例與第二分散劑的比例成比例。當第二漿體中固體比例小於約20%時，氧化鋁顆粒難以溶解到第二溶劑中，從而降低所述粗粒結構的顆粒尺寸。相反，當第二漿體中的固體比例大於約30%時，第二漿體的粘度很高，使得形成噴塗粉末的過程太快而不能精確控制。此外，第二漿體中第二分散劑的比例很高，使得噴塗粉末會形成為非球狀。為此，第二漿體中的固體比例可在約20%至約30%範圍內。當第一漿體混合物中氧化釔與氧化鋁的重量比為約1:9約4:6時，包含該第一漿體混合物的噴塗粉末在內的噴塗層體現為氧化鋁的特性，從而具有高機械強度和弱粘合強度。相反，當在第二漿體混合物中氧化釔與氧化鋁的重量比為約8:2約9:1時，包含該第二漿體混合物的噴塗粉末在內的噴塗層體現為氧化釔的性質，從而具有弱機械強度和高粘合強度。因此，在漿體混合物中氧化釔與氧化鋁的重量比應為約5:5約7:3。在本實施例中，在漿體混合物中的氧化釔與氧化鋁的重量比為約5:5。這樣，由包括該漿體混合物的噴塗粉末形成的噴塗層具有氧化鋁和氧化釔兩者的性質，具有高機械強度和高粘合強度。噴塗粉末是利用所述漿體混合物經一些處理步驟形成的。漿體混合物包括第一漿體和第二漿體，該第一漿體是氧化釔顆粒、第一分散劑、第一粘結劑以及第一溶劑的混合物，而所述第二漿體是氧化鋁顆粒、第二分散劑、第二粘結劑以及第二溶劑的混合物。14在實施例中，粗粒噴塗粉末顆粒包括氧化釔和氧化鋁。當粗粒噴塗粉末顆粒的平均直徑小於約20pm時，噴塗粉末顆粒的尺寸太小，使得噴塗粉末無法充分噴塗至物體表面。相反，當粗粒噴塗粉末顆粒的平均直徑大於約60pm時，噴塗粉末顆粒的尺寸太大，使得噴塗粉末會在物體表面上結塊，從而使物體上噴塗層的均一性變差。因此，所述噴塗粉末的粗粒顆粒的平均直徑在約20pm至約60pm的範圍內。在本實施例中，所述噴塗粉末顆粒的平均直徑在約30pm至約40pm的範圍內。通過噴塗工藝，所述噴塗粉末在物體上形成噴塗層，從而提高噴塗層中粒狀晶體結構內的機械強度和粘合強度並減低噴塗層中粒狀晶體結構內的孔隙或空隙。圖3為流程圖，示出了形成本發明實施例的噴塗粉末的方法的工藝步驟。參見圖3，所述第一漿體形成為氧化釔、第一分散劑和第一粘結劑在第一溶劑中的混合物(步驟SllO)。在實施例中，第一漿體包括直徑為約O.Olpm至約2pm的氧化釔顆粒、用於均勻分散氧化釔顆粒的第一分散劑、用於使氧化釔顆粒粘結的第一粘結劑以及所述氧化釔顆粒、第一分散劑和第一粘結劑溶於其中的第一溶劑。如果氧化釔顆粒之間的粘結足夠強而使該氧化釔顆粒相互結合在一起，第一漿體可不含第一粘結劑。第一漿體中的氧化釔顆粒、第一分散劑、第一粘結劑和第一溶劑與根據圖2作了詳細描述的噴塗粉末中的氧化釔顆粒、第一分散劑、第一粘結劑和第一溶劑基本上相同，因此省去了對氧化釔顆粒、第一分散劑、第一粘結劑和第一溶劑的進一步詳細說明。下面參考圖4詳細描述形成第一漿體的方法的工藝步驟。圖4為流程圖，示出了圖3所述形成第一漿體的方法的工藝步驟。參見圖4，為形成第一漿體，首先製備第一溶劑(步驟Slll)。例如，第一溶劑包括如乙醇之類的有機溶劑。將氧化釔顆粒加入到第一溶劑中(步驟5112)。然後，將第一分散劑加入到第一溶劑和氧化釔顆粒的混合物中(步驟5113)。在實施例中，第一分散劑包括鹼性的羧基物質。該第一分散劑使氧化釔顆粒具有負(-)表面電荷。例如，第一分散劑相對第一漿體的混合物的比例在約0.3%至約0.5%的範圍內。然後，將第一粘結劑加入到第一溶劑、氧化釔顆粒以及第一分散劑的混合物中(步驟S114)。例如，第一粘結劑包括聚乙烯醇縮丁醛，其相對第一漿體的混合物的比例為約2%至約3%。雖然上述實施例公開了將氧化釔顆粒、第一分散劑和第一粘結劑依次加入第一溶劑，但如本領域的技術人員已知的那樣，實際次序可根據工藝條件進行改變。然後，氧化釔顆粒、第一分散劑和第一粘結劑在第一溶劑中經球磨機互相混合，由此形成第一漿體混合物。再參見圖3，第二漿體形成為氧化鋁、第二分散劑和第二粘結劑在第二溶劑中的混合物(S120)。在實施例中，第二漿體包括直徑為約0.5pm至約2iim的氧化鋁顆粒、用於將該氧化鋁顆粒均勻分散的第二分散劑、用於粘結該氧化鋁顆粒的第二粘結劑以及氧化鋁顆粒、第二分散劑和第二粘結劑溶於其中的第二溶劑。如果氧化鋁顆粒之間的粘結足夠強而使該氧化鋁顆粒相互結合在一起，第二漿體可不含第一粘結劑。第二漿體中氧化鋁顆粒、第二分散劑、第二粘結劑和第二溶劑與根據圖2作了詳細描述的噴塗粉末中的氧化鋁顆粒、第二分散劑、第二粘結劑和第二溶劑基本上相同，因此省去了對氧化鋁顆粒、第二分散劑、第二粘結劑和第二溶劑的進一步詳細描述。下面根據圖5詳細說明形成第二漿體的方法的工藝步驟。圖5為流程圖，示出了圖3所示形成第二漿體的方法的工藝步驟。參見圖5，為形成第二漿體，首先製備第二溶劑(步驟S121)。例如，第二溶劑包括如乙醇之類的有機溶劑。將氧化鋁顆粒加入到第二溶劑中(S122)。然後，將第二分散劑加入到第二溶劑和氧化鋁顆粒的混合物中(S123)。在實施例中，第二分散劑包括酸性羧基物質。由於該第二分散劑，氧化鋁顆粒具有正(+)表面電荷。例如，第二分散劑相對第二漿體的比例在約0.3%至約0.2%的範圍內。然後，將第二粘結劑加入到第二溶劑、氧化鋁顆粒和第二分散劑的混合物中(步驟S124)。例如，第二粘結劑包括聚乙烯醇丁縮醛，其相對第二漿體混合物的比例為約2%至約3%。雖然上述實施例公開了將氧化鋁顆粒、第二分散劑和第二粘結劑依次加入第二溶劑，但如本領域的技術人員已知的那樣，實際次序可根據工藝條件進行改變。然後，氧化鋁顆粒、第二分散劑和第二粘結劑在第二溶劑中經球磨機互相混合，由此形成第二漿體混合物。再參見圖3，第一漿體和第二漿體相互混合，從而形成漿體混合物(歩驟S130)。在實施例中，第一漿體和第二漿體混合成使得氧化釔與氧化鋁的重量比的範圍為約5:5至約7:3，也就是說，約1:0.41的範圍。圖6示意了圖3所述漿體混合物中氧化釔和氧化鋁的結合機理。200參見圖6，氧化釔具有負(-)表面電荷，且氧化鋁具有正(+)表面電荷，使得氧化釔與氧化鋁通過靜電吸引而強烈結合。再參見圖3，對漿體混合物進行噴霧乾燥工藝和熱處理工藝，從而形成具有粗粒結構的顆粒，該粗粒結構包括氧化釔和氧化鋁(步驟S140)。也就是說，所述顆粒是通過依次進行漿體混合物的噴霧乾燥工藝和乾燥後漿體混合物的熱處理工藝形成的。將漿體混合物噴入乾燥室時，噴霧乾燥工藝在乾燥室內於約6(TC至約ll(TC的溫度下進行。當噴霧乾燥工藝在低於約6(TC的溫度下進行時，漿體混合物中的有機溶劑無法充分蒸發，因此增加噴霧乾燥工藝的工藝時間。具體地，當如純水和醇溶劑(如甲醇和乙醇)之類的中性溶劑被用作漿體混合物的有機溶劑時，該有機溶劑非常難以在低於約6(TC的溫度下蒸發，從而會顯著降低噴霧乾燥工藝的效率。此外，當噴霧乾燥工藝在大於約ll(TC的溫度下進行時，漿體混合物中的有機溶劑被迅速蒸發並因此在噴塗粉末中產生許多孔隙。因此，在約6(TC至約ll(TC的溫度下進行噴霧乾燥工藝，且將漿體混合物變成噴塗粉末。然後，在乾燥室內以高溫加熱乾燥後的漿體混合物或噴塗粉末，從而改善噴塗粉末的硬度。當熱處理工藝在低於約80(TC的溫度下進行時，噴塗粉末難有足夠的硬度，從而會使噴塗粉末的球狀顆粒破裂和變平。因此，向等離子體槍輸送噴塗粉末的管道會被噴塗粉末堵塞。相反，當熱處理工藝在大於約150(TC的溫度下進行時，噴塗粉末中氧化釔和氧化鋁相互發生化學反應，這樣噴塗粉末變成粉末團。因此，在約80(TC至約150(TC的溫度下進行熱處理工藝，噴塗粉末會具有足夠的硬度。在完成噴霧乾燥工藝和熱處理工藝後，上述漿體混合物變成具有氧化釔和氧化鋁的粗粒狀顆粒的噴塗粉末，該粗粒狀顆粒的平均直徑範圍為約20)im至約60pm。這樣，包括氧化釔的第一漿體與包括氧化鋁的第二漿體的漿體混合物形成為具有粗粒狀結構的噴塗粉末，該粗粒狀結構的平均直徑在約20pm至約60)im的範圍內。噴塗粉末的形成工藝可在空氣、氫氣、氧氣和氮氣及其混合物的氣氛下進行。也就是說，形成第一漿體的步驟SllO、形成第二漿體的步驟S120、形成漿體混合物的步驟S130以及對漿體混合物進行噴霧乾燥工藝和熱處理工藝的步驟S140可在空氣、氫氣、氧氣和氮氣及其混合物的其中之一的氣氛下進行。在本實施例中，噴霧乾燥工藝在空氣氣氛中進行，而熱處理工藝在空氣、氫氣、氧氣和氮氣的其中一種氣氛下進行。用於噴塗層的噴塗粉末包括含氧化釔和氧化鋁的粗粒狀顆粒，使得噴塗層17具有不定形晶體結構且其內部的孔隙和空隙減少。因此，當在等離子體工藝室的內表面上形成該噴塗層時，可充分防止源等離子體滲透該噴塗層。因此，該噴塗層可充分粘結於工藝室的內表面，在等離子體處理系統中可充分防止該噴塗層從工藝室的內表面分離。這樣，該噴塗層可充分防止由源等離子體引起的等離子體處理系統的腐蝕。下面詳細說明利用噴塗粉末形成噴塗層的方法以及包括該噴塗粉末的噴塗層。圖7為流程圖，示出了根據本發明實施例的形成噴塗層的方法。參見圖7，首先製備噴塗粉末(步驟S210)。噴塗粉末包括大量氧化釔和氧化鋁的粗粒狀顆粒，且該粗粒狀顆粒的直徑為約20pm至約60pm。在實施例中，噴塗粉末用包括第一和第二漿體的混合漿體經噴霧乾燥工藝形成。第一漿體包括直徑為約O.Olpm至約2pm的氧化釔顆粒、均勻分散氧化釔顆粒的第一分散劑、粘結氧化釔顆粒的第一粘結劑、以及所述氧化釔顆粒、第一分散劑和第一粘結劑溶於其中的第一溶劑。第二漿體包括直徑為約0.5pm至約2pm的氧化鋁顆粒、均勻分散氧化鋁顆粒的第二分散劑、粘結氧化鋁顆粒的第二粘結劑以及所述氧化鋁顆粒、第二分散劑和第二粘結劑溶於其中第二溶劑。在實施例中，氧化釔與氧化鋁的重量比的範圍內為約5:5至約7:3，也就是說，約1:0.41的範圍。然後，溶解噴塗粉末並將其噴到物體上(步驟S220)。在實施例中，通過大氣等離子體噴塗(APS)工藝、高速氧燃料(HVOF)噴塗工藝、真空等離子體噴塗(VPS)工藝或動力噴塗工藝進行噴塗粉末的熔化與噴塗。從而，在物體表面上形成噴塗層。圖8A為照片，示出了根據本發明實施例的噴塗層的剖面，圖8B為放大照片，示出了圖8A所示噴塗層的部分。參見圖8A和圖8B，其顆粒具有含氧化釔和氧化鋁的粗粒結構的噴塗粉末在物體上形成為噴塗層，使得噴塗層具有無定形晶體結構。這樣，該噴塗層中，晶體結構內的孔隙和空隙減到最少，從而降低噴塗層的孔隙率。例如，噴塗層的孔隙率為約0.5%至約2%，更具體地，為約0.5%至約1%。此外，噴塗層的粘結強度大於約13MPa，硬度大於約650HV，更具體地，大於約700HV。圖9示意了根據本發明實施例的等離子體處理系統的內部結構。參見圖9，等離子體處理系統的內部結構IOO包括裝在等離子體處理系統內的內部構件IIO和內部構件IIO上的噴塗層120。在實施例中，內部構件110位於等離子體處理系統的工藝室內(未示出)。基板裝載到該工藝室內，且工藝室包括用於對基板實施等離子體工藝的內部空18間。將源氣輸入工藝室並轉化成源等離子體，在等離子體處理期間用該源等離子體在工藝室的所述空間內對基板進行處理。例如，源氣包括用於將薄層塗在基板上的沉積氣或從基板腐蝕該薄層的腐蝕氣。所述基板包括用於製造半導體器件的半導體基板或用於製造平板顯示裝置的玻璃基板。在實施例中，在工藝室內，內部構件110包括室襯板、擋板、和罩環。室襯板沿工藝室的內表面設置，可防止源氣引起的對工藝室內表面的破壞。罩環沿用於在工藝室內支撐基板的卡盤的周邊部設置，可防止由源氣引起的對卡盤的破壞。如本領域普通技術人員所知，該內部構件110可包括工藝室的內表面本身。噴塗層120位於內部構件110上。也就是說，噴塗層120位於各室襯板、擋板、罩環及工藝室的內表面上。噴塗層120與根據圖7、圖8A和圖8B描述的噴塗層具有基本相同的結構和功能，因此省略了對噴塗層120的詳細描述。噴塗層120可防止源等離子體與內部構件110直接接觸。此外，噴塗層120充分粘結於內部構件110，以防止噴塗層120從內部構件110分離，從而將噴塗層120引起的汙染降到最小。氧化釔和氧化鋁的顆粒尺寸的試驗表ltableseeoriginaldocumentpage19用表1所示的不同顆粒尺寸的氧化鋁和氧化釔，以與本發明實施例中所述的相同的噴霧乾燥工藝形成噴塗粉末，並利用該噴塗粉末，以與本發明實施例中所述相同的噴塗工藝形成噴塗層。各試驗中，噴塗粉末和噴塗層以上述工藝形成，並且在各試驗中，對各噴塗粉末的顆粒尺寸和各噴塗層的粘合強度、機械強度以及孔隙率進行測量。表1示出了噴塗粉末的顆粒尺寸和噴塗層的粘合強度、機械強度以及孔隙率的測量結果。表1表明試驗7、8、10和11(稱為試驗組1)中的粘合強度、機械強度以及孔隙率遠好於試驗16和9(稱為試驗組2)中的結果。在試驗組1中，氧化釔的顆粒尺寸的範圍為約0.01pm至約2pm，且氧化鋁的顆粒尺寸的範圍為約0.5)iim至約2pm，而在試驗組2中，氧化釔和氧化鋁的顆粒尺寸大於約2|um。表1中的上述試驗結果表明當形成噴塗層的噴塗粉末包含的氧化釔的顆粒尺寸範圍為約0.01nm至約2pm，且氧化鋁的顆粒尺寸的範圍為約0.5pm至約2pm時，噴塗層的粘合強度、機械強度以及孔隙率得到優化。氧化釔與氧化鋁的重量比試驗表2Y203(wt%)A1203(wt%)顆粒尺寸Om)噴塗氣氛粘合強度(MPa)硬度(HV)試驗1109030大氣10750試驗2208035大氣10750試驗3307033大氣11720試驗4406040大氣11720試驗5505035大氣13700試驗6604035大氣13650試驗7703030大氣13600試驗8802028大氣10520試驗9901033大氣10430以漿體混合物中不同重量比的氧化鋁和氧化釔，用與本發明實施例中所述的相同的噴霧乾燥工藝形成噴塗粉末，並利用該噴塗粉末，以與本發明實施例中所述相同的噴塗工藝形成噴塗層。各試驗中，噴塗粉末和噴塗層以上述工藝形成，並且在各試驗中，對各噴塗粉末的顆粒尺寸以及各噴塗層的粘合強度和機械強度進行測量。表2示出了噴塗粉末的顆粒尺寸以及噴塗層的粘合強度和20機械強度的測量結果。表2表明試驗57(稱為試驗組3)中的粘合強度遠好於試驗14中的結果(稱為試驗組4)。在試驗組3中，氧化釔與氧化鋁的重量比範圍為約5:5至約7:3，而在試驗組4中，氧化釔與氧化鋁的重量比範圍為約l:9至約4:6。此外，試驗組3中的粘合強度和機械強度遠好於試驗89(稱為試驗組5)中的結果。在試驗組5中，氧化釔與氧化鋁的重量比範圍為8:2至約9:1。表2中的上述試驗結果表明，當形成噴塗層的噴塗粉末包含的氧化釔和氧化鋁在該組合物中氧化釔與氧化鋁的重量比範圍為約5:5至約7:3時，即範圍為約1:0.41時，噴塗層的粘合強度和機械強度得到優化。漿體中分散劑和固體物質的比例的試驗表3第一分散劑(%)第二分散劑(%)固體物質(%)球狀/非球狀顆粒試驗12240X試驗21130X試驗32135X試驗41235X試驗50.51300試驗60.32300試驗70.52300試驗80.31250試驗9245X試驗10140X試驗110.535X試驗120.50.5250試驗130.50.3250試驗140.5335X以第一漿體中不同比例的第一分散劑，第二漿體中不同比例的第二分散劑以及漿體混合物中第一和第二漿體的不同固體物質比例，用與本發明實施例中所述的相同的噴霧乾燥工藝形成噴塗粉末。在各試驗中，通過前述工藝形成噴塗粉末，且各試驗中的噴塗粉末不論形成為球狀顆粒或非球狀顆粒，都進行檢21測。表3示出了噴塗粉末的形狀的檢測結果。表3表明在試驗59、12和13(稱為試驗組6)中噴塗粉末檢測為球狀，而試驗14、911和14(試驗組7)中的為非球狀。在試驗組6中，第一分散劑在第一漿體中的比例範圍為約0.3%至約0.5%，第二分散劑在第二漿體中比例範圍為約0.3%至約2%，且固體物質在第一和第二漿體中的比例的範圍為約20%至約30%。相反，在試驗組7中，第一分散劑在第一漿體中比例大於約0.5%，第二分散劑在第二漿體中的比例大於2%，且固體物質在第一和第二漿體中的比例大於約30%。表3中的上述試驗結果表明當處於第一分散劑在第一漿體中的比例範圍為約0.3%至約0.5%，第二分散劑在第二漿體中比例範圍為約0.3%至約2%，且固體物質在第一和第二漿體中的比例的範圍為約20%至約30%的條件下，大多數噴塗粉末形成為球狀。粘結劑比例和加熱溫度變化的試驗表4tableseeoriginaldocumentpage22tableseeoriginaldocumentpage23以第一漿體中不同比例的第一粘結劑，第二漿體中不同比例的第二粘結劑以及包括第一和第二漿體的漿體混合物的熱處理工藝的不同加熱溫度，用與本發明實施例中所述的相同的噴霧乾燥工藝形成噴塗粉末。在各試驗中，通過前述工藝形成噴塗粉末，且各試驗中的噴塗粉末不論形成為球狀顆粒或非球狀顆粒，都進行檢測。表4示出了噴塗粉末的顆粒形狀的檢測結果。表4表明試驗1416和1821(稱為試驗組9)中噴塗粉末檢測為球狀，而試驗113和17(稱為試驗組9)為非球狀。在試驗組8中，第一粘結劑在第一漿體中的比例大於約2%，第二粘結劑在第二漿體中的比例也大於約2%，且所述熱處理工藝在約80(TC約150(TC的溫度下進行。相反，在試驗組9中，第一粘結劑在第一漿體中的比例小於約2%，第二粘結劑在第二槳體中的比例也小於約2%，且在低於約80(TC或高於150(TC的溫度下進行熱處理工藝。當第一粘結劑和第二粘結劑在第一漿體和第二漿體中分別大於約3%，且在約80(TC約150(TC的溫度下進行熱處理工藝時，儘管噴塗粉末呈球狀，但包括第一和第二漿體的漿體混合物的流動性變差，使得產生用於噴霧乾燥工藝的噴霧乾燥器經常被該漿體混合物堵塞。表4中的上述試驗結果表明在第一粘結劑和第二粘結劑在第一漿體和第二漿體中的比例分別在約2%至約3%的範圍內，且所述熱處理工藝在約80(TC約150(TC的溫度下進行的條件下，大多數噴塗粉末形成為球狀。圖IO示意了根據本發明實施例的噴塗層的X射線衍射圖樣。在圖IO中，水平線表示X射線衍射的衍射角(20)，且垂直線表示X射線的強度。圖10沒有顯示存在與表示噴塗層的晶體結構的X射線高強度相對應的具體衍射角(26)。也就是說，圖IO表示該噴塗層形成為具有無定形結構。根據本發明的實施例，噴塗粉末形成為包含氧化釔和氧化鋁的粗粒結構，其平均直徑為約20|im至約60Mm。噴塗層利用該噴塗粉末經噴塗工藝形成，因此具有無定形結構和低孔隙率。因此，當噴塗層形成在等離子體處理系統內部時，可充分防止源等離子體穿透該噴塗層。這樣，噴塗層防止源等離子與等離子體處理系統直接接觸。此外，噴塗層可充分粘合到等離子體處理系統，以防止噴塗層從等離子體處理系統分離，並因此將噴塗層引起的汙染降到最小。具體地，噴塗層可充分防止由源等離子體引起的等離子體處理系統的腐蝕，從而顯著提高等離子體處理系統的壽命。雖然以對本發明的實施例作了說明，應理解，本發明不限於這些實施例，本領域技術人員可在後文所主張保護的本發明的精神和範圍內作出改變和調整。2權利要求1.一種噴塗工藝用噴塗粉末，其特徵在於，所述噴塗粉末包括含有氧化釔和氧化鋁且平均直徑為約20μm至約60μm的粗粒狀顆粒。2.如權利要求1所述的噴塗粉末，其中所述氧化釔與所述氧化鋁的重量比的範圍為約1:0.41。3.—種噴塗工藝用噴塗粉末，其特徵在於，所述噴塗粉末包括平均直徑為約20jim至約60pm的顆粒，且由包含第一漿體和第二漿體的混合漿體生成，所述第一槳體含有直徑為約0.01pm至約2)Lim的氧化釔顆粒、用於均勻分散所述氧化釔顆粒的第一分散劑、用於粘結所述氧化釔顆粒的第一粘結劑、以及所述氧化釔顆粒、所述第一分散劑和所述第一粘結劑溶於其中的第一溶劑，所述第二漿體含有直徑為約0.5pm至約2pm的氧化鋁顆粒、用於均勻分散所述氧化鋁顆粒的第二分散劑、用於粘結所述氧化鋁顆粒的第二粘結劑、以及所述氧化鋁顆粒、所述第二分散劑和所述第二粘結劑溶於其中的第二溶劑。4.如權利要求3所述的噴塗粉末，其中所述第一分散劑包含鹼性物質，且所述第二分散劑包含酸性物質。5.如權利要求4所述的噴塗粉末，其特徵在於，所述第一分散劑相對所述第一漿體的比例的範圍為約0.3%至約0.5%，且所述第二分散劑相對所述第二漿體的比例的範圍為約0.3%至約2%。6.如權利要求3所述的噴塗粉末，其中所述第一粘結劑相對所述第一漿體的比例的範圍為約2%至約3%，且所述第二粘結劑相對所述第二漿體的比例的範圍為約2%至約3%。7.如權利要求3所述的噴塗粉末，其中，所述固體物質相對於所述第一槳體和所述第二漿體的比例的範圍分別為約20%至約30%。8.如權利要求3所述的噴塗粉末，其中，在所述漿體混合物中，所述第一漿體中的氧化釔與所述第二漿體中的氧化鋁的重量比在約1:0.41的範圍內。9.一種形成噴塗工藝用噴塗粉末的方法，其特徵在於，包括形成含有氧化釔顆粒、用於分散所述氧化釔顆粒的第一分散劑、及第一溶劑的第一漿體；形成含有氧化鋁顆粒、用於分散所述氧化鋁顆粒的第二分散劑、及第二溶劑的第二漿體；通過相互混合所述第一漿體和第二漿體形成槳體混合物；以及對所述漿體混合物進行噴霧乾燥工藝和熱處理工藝，從而形成包含氧化釔和氧化鋁的粗粒狀顆粒。10.如權利要求9所述的方法，其中，所述氧化釔顆粒的平均直徑為約0.01nm至約2nm，且所述氧化鋁顆粒的平均直徑為約0.5pm至約2)im。11.如權利要求9所述的方法，其中，所述第一分散劑包含鹼性物質。12.如權利要求11所述的方法，其中，所述第一分散劑包括至少一種選自下組的物質羧基物質、酯基物質、醯胺基物質和其組合物；且所述第一分散劑相對所述第一漿體的比例的範圍為約0.3%至約0.5%。13.如權利要求9所述的方法，其中，所述第二分散劑包括酸性物質。14.如權利要求13所述的方法，其中，所述第二分散劑包括至少一種選自下組的物質羧基物質、酯基物質、醯氨基物質其它們的組合物；且所述第二分散劑相對所述第二漿體的比例的範圍為約0.3%至約2%。15.如權利要求9所述的方法，其中，所述第一漿體具有鹼性，且所述第二漿體具有酸性。16.如權利要求15所述的方法，其中，所述第一漿體中的所述氧化釔顆粒具有負表面電荷，且所述第二漿體中的所述氧化鋁顆粒具有正表面電荷。17.如權利要求16所述的方法，其中，所述氧化釔顆粒和所述氧化鋁顆粒通過靜電吸引而互相粘結。18.如權利要求9所述的方法，其中，固體物質相對所述第一和第二漿體的比例的範圍分別為約20%至約30%。19.如權利要求9所述的方法，其中，所述第一和第二溶劑包括有機物質和水溶液中的一種。20.如權利要求9所述的方法，其中，所述第一漿體還包括用於使所述氧化釔顆粒相互粘結的第一粘結劑，且所述第二漿體還包括用於使所述氧化鋁顆粒相互粘結的第二粘結劑。21.如權利要求20所述的方法，其中，所述第一粘結劑包括聚乙烯類物質和丙烯酸類物質中的一種，且所述第一粘結劑相對所述第一漿體的比例的範圍為約2%至約3%，並且所述第二粘結劑包括聚乙烯類物質和丙烯酸類物質中的一種，且所述第二粘結劑相對所述第二漿體的範圍為約2%至約3%。22.如權利要求9所述的方法，其中，在所述漿體混合物中，所述第一漿體中的氧化釔相對所述第二漿體中的氧化鋁的重量比的範圍為約1:0.41。23.如權利要求9所述的方法，其中，對所述漿體混合物的所述熱處理工藝在約80(TC至約150(TC的溫度下進行。24.如權利要求9所述的方法，其中，形成含有氧化釔顆粒的所述第一漿體，形成含有氧化鋁顆粒的所述第二漿體，形成所述漿體混合物，進行所述噴霧乾燥工藝以及所述熱處理工藝是在空氣、氫氣、氧氣、氮氣及其混合物之一的氣氛中進行的。25.—種形成噴塗層的方法，其特徵在於，包括-製備具有包含氧化釔和氧化鋁的粗粒狀顆粒的噴塗粉末，所述顆粒的平均直徑的範圍為約2(^m至約60^n;以及將所述噴塗粉末以溶解狀態噴射到物體上。26.如權利要求25所述的方法，其中，所述噴塗粉末的噴塗是通過大氣等離子體噴塗(APS)工藝、高速氧燃料(HVOF)噴塗工藝、真空等離子體噴塗(VPS)工藝和動力噴塗工藝中的一種進行的。27.—種形成噴塗層的方法，其特徵在於，包括利用包含第一漿體和第二漿體的漿體混合物製備噴塗粉末，所述噴塗粉末包括平均直徑為約20|im至約60nm的顆粒，所述第一漿體含有直徑為約O.Olnm至約2pm的氧化釔顆粒、用於均勻分散所述氧化釔顆粒的第一分散劑、用於粘結所述氧化釔顆粒的第一粘結劑以及所述氧化釔顆粒、第一分散劑和第一粘結劑溶於其中的第一溶劑，且所述第二槳體含有直徑為約0.5pm至約2pm的氧化鋁顆粒、均勻分散所述氧化鋁顆粒的第二分散劑、粘結所述氧化鋁顆粒的第二粘結劑以及所述氧化鋁顆粒、第二分散劑和第二粘結劑溶於其中的第二溶劑；以及將所述噴塗粉末以溶解狀態噴射至物體。28.如權利要求27所示的方法，其中，所述第一分散劑包括鹼性物質，且所述第二分散劑包括酸性物質。29.如權利要求28所述的方法，其中，所述第一分散劑相對所述第一漿體的比例的範圍為約0.3%至約0.5%，而所述第二分散劑相對所述第二漿體的比例的範圍為約0.3%至約2%。30.如權利要求27所述的方法，其中，所述第一粘結劑相對所述第一漿體的比例的範圍為約2%至約3%，而所述第二粘結劑相對所述第二漿體的比例的範圍為約2%至約3%。31.如權利要求27所述的方法，其中，固體物質相對所述第一和第二漿體的比例的範圍分別為約20%至約30%。32.如權利要求27所述的方法，其中，在所述漿體混合物中，氧化釔相對氧化鋁的重量比的範圍為約1:0.41。33.如權利要求27所述的方法，其中，所述噴塗粉末的噴塗是通過APS工藝、HVOF噴塗工藝、VPS工藝、和動力噴塗工藝中的一種進行的。34.—種噴塗層，包括氧化釔和氧化鋁，且具有經噴塗工藝形成的無定形結構。35.如權利要求34所述的噴塗層，其中，其孔隙率範圍為約0.5%至約2%。36.如權利要求34所述的噴塗層，其中，其粘合強度至少為約BMPa。37.如權利要求34所述的噴塗層，其中，其硬度至少為約650HV。38.如權利要求34所述的噴塗層，其中，在所述漿體混合物中氧化釔相對氧化鋁的重量比的範圍為1:0.41，且平均直徑為約2(Vm至約60pm的噴塗粉末使用在所述噴塗工藝中。39.如權利要求34所述的噴塗層，其中，所述噴塗層位於工藝室的內部構件的表面上，在所述工藝室內等離子體處理在基板上進行。全文摘要在噴塗工藝用噴塗粉末中，所述噴塗粉末包括平均直徑為約20μm至約60μm的顆粒，所述噴塗粉末由包含第一漿體和第二漿體的漿體混合物生成。所述第一漿體含有直徑為約0.01μm至約2μm的氧化釔顆粒、均勻分散所述氧化釔顆粒的第一分散劑、粘結所述氧化釔顆粒的第一粘結劑以及第一溶劑。所述第二漿體含有直徑為約0.5μm至約2μm的氧化鋁顆粒、均勻分散所述氧化鋁顆粒的第二分散劑、粘結所述氧化鋁顆粒的第二粘結劑以及第二溶劑。文檔編號C23C4/10GK101487109SQ20081018215公開日2009年7月22日申請日期2008年11月14日優先權日2008年1月14日發明者張敬翼,柳忠烈,芮庚煥,鄭彩鍾,金三雄申請人:高美科株式會社