具有放電電離電流檢測器的分析裝置製造方法

2023-11-06 02:54:52

具有放電電離電流檢測器的分析裝置製造方法
【專利摘要】被供給至等離子體生成部的等離子氣體的流量通過流量控制器等流量控制機構來調節。從毛細管的頂端噴出的試樣氣體的流量由通過流量控制器等流量控制機構調節的載氣流量來決定。流量控制機構通過控制部來控制。控制部具有用於控制流量控制機構的氣體流量設定單元。氣體流量設定單元構成為，基於被保持於流量設定條件保持部的流量設定條件，按照由測定試樣決定的載氣的流量來設定等離子氣體的流量。
【專利說明】具有放電電離電流檢測器的分析裝置

【技術領域】
[0001]本發明涉及一種具有放電電離電流檢測器的分析裝置，尤其涉及具有在等離子體生成部使電介質阻擋放電發生並利用電介質阻擋放電發生時發出的光將試樣電離的方式的放電電離電流檢測器的分析裝置。

【背景技術】
[0002]作為氣相色譜儀用的微量氣體檢測器，TO) (Thermal Conductive Detector熱導檢測器)、ECD (Electric Capture Detector電子捕獲檢測器)等多種方式的檢測器被提出並實用化，但是當前最常用的檢測器為FID(Flame 1nizat1n Detector火焰電離檢測器)。FID是通過氫火焰將樣品氣體電離，並對該電離電流進行測量，由此達到較寬的動態範圍(大約6位數)。
[0003]又，也提出了用通過高壓放電生成的等離子體來生成He、N2、Ar、Ne、Xe等惰性氣體的受激態物質，由此來對樣品進行電離的檢測器。例如F1DD(Pulsed Discharge Detector脈衝放電檢測器)通過施加脈衝化的高電壓產生火花放電以生成等離子體。利用等離子體的方法不需要氫，一般來說，電離效率比FID要高。例如，FID對於丙烷的電離效率為
0.0005%，而pro對於丙烷的電離效率為0.07%。
[0004]又，作為以與PDD不同的方法生成等離子體的手段，有利用電介質阻擋放電的方法(參照非專利文獻I)。電介質阻擋放電中，由於用電介質覆蓋用於產生放電的電極的表面，因此如在使用金屬電極使放電發生的情況下的熱電子或二次電子等的放出較少，等離子體產生的穩定性高。又，由於放電電流被電介質抑制，因此具有電極的劣化或電極上的發熱被抑制，耐久性高的特徵。
[0005]作為利用了 PDD或電介質阻擋放電的電離檢測器，除了通過將由利用放電產生的等離子體生成的受激態物質和試樣混合來進行試樣的電離的電離檢測器之外，還有利用在通過放電生成等離子體時發出的激勵光來進行試樣的電離的放電電離電流檢測器(參照專利文獻1、非專利文獻2。) ο
[0006]現有技術文獻
[0007]專利文獻
[0008]專利文獻I日本特開2011-158357號公報
[0009]非專利文獻
[0010]非專利文獻1: 「Gas Chromatographic Applicat1ns with the DielectricBarrier Discharge Detector'Journal of Chromatographic Science, Vil.44, February2006( 「利用電介質阻擋放電檢測器的氣相色譜應用」，色譜科學雜誌，Vil.44，2月2006)
[0011]非專利文獻2: 「ΡΗ0Τ0Ι0ΝΙΖΑΤΙ0Ν DETECT1N AND ITS APPLICAT1N IN GASCHROMATOGRAPHY", Journal of Chromatography, 300 (1984) p249_264 ( 「光致電離檢測及其在氣相色譜分析中的應用」，色譜雜誌，300 (1984) p249-264)
[0012]非專利文獻 3: 「Characterizat1n and mechanism studies of dielectricbarrier discharge generated at atmospheric pressure"，APPLIED PHYSICS LETTERS96( 「在大氣壓力下的電介質阻擋放電的特性以及機制研究」，應用物理學快報96)


【發明內容】

[0013]放電電離電流檢測器中，一般在用於生成等離子體的等離子氣體流動的管的下遊側設置用於對試樣進行電離的空間即試樣電離部，試樣通過毛細管從與等離子體生成部的相反方向噴出到試樣電離部內。試樣氣體侵入等離子體生成部的話，會對放電的發生造成影響，等離子體生成部中的放電狀態變得不穩定，因此需要預先將等離子氣體的流量設定為某程度的大小以上，以避免試樣氣體侵入等離子體生成部。
[0014]又，採用PDD這樣的放電方式的話，等離子氣體也會起到對放電用電極進行冷卻的作用，放電狀態根據放電用電極的冷卻情況而變化，因此希望以能夠充分得到放電用電極的冷卻效果的流量使等離子氣體維持一定流量的流動。採用現有的放電電離電流檢測器的話，考慮了以上的情況從而將等離子氣體的流量固定為充分的大的值來進行檢測。因此，總是消耗大量的等離子氣體。
[0015]又，在試樣電離部中混合有試樣氣體和等離子氣體，試樣氣體被等離子氣體所稀釋。在以往，需要使等離子氣體以大流量流動，因此用於對被電離了的試樣進行檢測的檢測部中的試樣氣體濃度變低，得到高檢測靈敏度是比較困難的。
[0016]因此，本發明的目的在於提供一種具有能夠抑制等離子氣體的消耗量並得到高檢測靈敏度的放電電離電流檢測器的分析裝置。
[0017]用於解決課題的手段
[0018]本發明包括:放電電離電流檢測器，所述放電電離電流檢測器具有:等離子體生成部、試樣電離部以及試樣離子檢測部，所述等離子體生成部通過對安裝於電介質管的外周的多個電極間施加高壓交流電壓而使電介質阻擋放電發生，所述試樣電離部被配置在所述電介質管的一端側，並通過在所述等離子體生成部的放電時發出的激發光對試樣進行電離，所述試樣離子檢測部將由所述試樣電離部電離後試樣作為電流進行檢測；等離子氣體供給部，所述等離子氣體供給部能夠可變地調節等離子氣體的流量地從所述電介質管的另一端側供給等離子氣體；試樣氣體供給部，所述試樣氣體供給部從所述電介質管的相反側向所述試樣電離部供給試樣氣體；流量設定條件保持部，所述流量設定條件保持部將來自所述試樣氣體供給部的試樣氣體供給流量與相對於該供給流量應該設定的等離子氣體的供給流量的關係作為流量設定條件進行保持；氣體流量設定單元，所述氣體流量設定單元構成為，基於被保持於所述流量設定條件保持部的流量設定條件，將來自所述等離子氣體供給部的等離子氣體供給流量設定為與試樣氣體供給流量相應的流量。
[0019]發明效果
[0020]本發明是基於以下觀點而作出的，即通過電介質阻擋放電產生激發光並對試樣進行電離的方式的放電電離電流檢測器中，由於放電用電極的發熱較小，所以等離子氣體對電極的冷卻基本不需要。即，等離子氣體的流量為，至少試樣氣體不會侵入等離子氣體的大小即可。在本發明的分析裝置中，等離子氣體供給至放電電離電流檢測器的電介質管的等離子氣體供給部能夠可變地調節等離子氣體的供給流量，該分析裝置具有流量設定條件保持部和氣體流量設定單元，該流量設定條件保持部將來自試樣氣體供給部的試樣氣體供給流量與相對於該供給流量應該設定的等離子氣體的供給流量的關係作為流量設定條件進行保持，該氣體流量設定單元被構成為，基於被保持於流量設定條件保持部的流量設定條件，將來自等離子氣體供給部的等離子氣體供給流量設定為與試樣氣體供給流量相應的流量，因此該分析裝置可以將等離子氣體的供給流量設定為與試樣氣體的供給流量相應的必要最小限度的流量。由此，可以抑制等離子氣體的消耗量，且能夠降低試樣氣體的稀釋率並提聞檢測靈敏度。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0021]圖1是示出具有放電電離電流檢測器的分析裝置的一實施例的概略構成截面圖。
[0022]圖2是示出在該實施例中設定等離子氣體流量的設定條件時的裝置構成的一例的概略截面構成圖。
[0023]圖3是圖2的裝置構成中光檢測器的檢測信號和電流放大器的輸出信號的波形圖，(A)表示將等離子氣體的流速設定為5cm/秒時，(B)表示將等離子氣體的流速設定為
7.5cm/秒時，(C)表示將等離子氣體的流速設定為1cm/秒時。
[0024]圖4是示出等離子氣體流量的設定步驟的流程圖。
[0025]圖5是用於對根據試樣成分控制等離子氣體流量的方法進行說明的圖，(A)是由放電電離檢測器的得到的色譜，⑶是示出等離子氣體流量的時間變化的圖表。

【具體實施方式】
[0026]在本發明的分析裝置中，流量設定條件保持部所保持的流量設定條件包含試樣氣體供給流量與相對於該試樣氣體供給流量不使試樣氣體侵入等離子體生成部的最小限度的等離子氣體供給流量的關係作為最小設定條件，氣體流量設定單元優選構成為，在放電電離電流檢測器的檢測靈敏度被設定為最高靈敏度時採用最小設定條件對來自等離子氣體供給部的等離子氣體供給流量進行設定。這樣的話，能夠使分析裝置具有一邊將等離子氣體的消耗量限制為最小限度，一邊進行最高靈敏度的檢測的功能。
[0027]作為上述最小設定條件，舉例有通過根據試樣氣體的種類以及放電電離電流檢測器的溫度而預先設定的係數來表示等離子氣體供給流量相對於試樣氣體供給流量的相關關係的關係式。
[0028]列舉出以下式子作為上述關係式的一例。
[0029]Vp = f (Vc) XKl XK2
[0030]其中，Vp是等離子氣體流量，Vc是載氣流速，f(Vc)是載氣流速Vc的函數，Kl是與試樣氣體的種類相應的係數，K2是與放電電離電流檢測器的溫度相應的係數。
[0031]本發明所涉及的分析裝置可以適用於氣相色譜儀，該氣相色譜儀通過載氣將試樣輸送至分析柱，在該分析柱根據成分對試樣進行分離，將被分離了的成分導入至放電電離電流檢測器。在氣相色譜儀中，試樣包含溶劑，該溶劑一般是被導入放電電離電流檢測器的成分中濃度最高的成分。在該情況下，如果載氣的流量、分析柱的種類及溫度為相同條件，則溶劑作為色譜的峰值而出現的時間段總是一定的，因此可以預測溶劑被導入放電電離電流檢測器的時間段。在此，在本發明的分析裝置中，氣體流量設定單元優選構成為，將溶劑以外的成分被導入放電電離電流檢測器的時間段的等離子氣體供給流量設定得比溶劑被導入放電電離電流檢測器的時間段的等離子氣體供給流量小。這樣的話，在試樣氣體中濃度最高的溶劑被導入放電電離電流檢測器的時間段，可以將等離子氣體供給流量設定為溶劑不進入等離子體生成部的流量，在溶劑以外的成分被導入放電電離電流檢測器的時間段，可以將等離子氣體供給流量設定得比溶劑被導入放電電離電流檢測器的時間段的離子氣體供給流量小，因此以更高的靈敏度對溶劑以外的成分進行測定成為可能。
[0032]以下，參照附圖，對具有放電電離電流檢測器的分析裝置即氣相色譜儀的一實施例進行說明。圖1是示出氣相色譜儀的一實施例的概略構成截面圖。
[0033]作為對由氣相色譜儀分離了的試樣成分進行檢測用的檢測器，具有放電電離電流檢測器2。放電電離電流檢測器2包括等離子體生成部、試樣電離部以及試樣離子檢測部。
[0034]等離子體生成部由以下部分構成:例如由石英等構成的電介質管4，和安裝在該電介質管4的外周的互相隔開的三個部位的環狀電極6、8、10。電極6通過交流電源20被施加高壓交流電壓。夾持著電極6而配置的兩個電極8以及10接地。在電介質管4的一端側設置有氣體入口 12，氦氣作為等離子氣體從氣體入口 12被供給至電介質管4內的流路4aο通過對電極6施加高壓交流電壓，在電極6和電極8之間以及電極6和電極10之間引起電介質阻擋放電，通過該放電，在電介質管4內的流路4a中流動的等離子氣體被激發，發出激發光。
[0035]另外，作為等離子氣體，除了氦氣之外，還可以採用氬氣、氮氣、氖氣、氙氣中的任一個或者它們的混合氣體。
[0036]在電介質管4的下遊端即另一端側，連接有構成試樣電離部和試樣離子檢測部的管5的一端。毛細管14被插入管5的另一端側。毛細管14將來自氣相色譜儀的分析柱36的試樣氣體供給至管5內的空間5a，與電介質管4的另一端相對地配置。試樣氣體被從毛細管14的頂端向電介質管4噴出。
[0037]管5自其與電介質管4的下遊端連接的一端側具有偏壓電極22和電荷收集電極26。偏壓電極22和電荷收集電極26均為環狀電極。直流電壓通過直流電源24被施加於偏壓電極22。毛細管14的頂端位於管5與電介質管4的連接部分和電荷收集電極26之間，通過在等離子體生成部的電介質阻擋放電發生時產生的激發光，從毛細管14的頂端被噴出的試樣氣體中的成分被電離而帶有電荷。被電離後的試樣通過偏壓電極22被給予電位後，該電荷被電荷收集電極26收集，由電流放大器28放大並作為電流信號被輸出。
[0038]在管5的一端側側壁設置有氣體排出口 16，在管5的另一端側側壁也設置有氣體排出口 18。氣體排出口 16被設置在比偏壓電極22更靠近一端側的位置，氣體排出口 18被設置在比電荷收集電極26更靠近另一端側的位置。來自電介質管4的等離子氣體的一部分從氣體排出口 16被排出，來自電介質管4的等離子氣體的剩餘部分和被該等離子氣體推回的試樣氣體從氣體排出口 18被排出。
[0039]被供給至等離子體生成部的等離子氣體的流量通過流量控制器等流量控制機構30來調節。被從毛細管14的頂端噴出的試樣氣體的流量由通過流量控制器等流量控制機構32調節的載氣流量來決定。自流量控制機構32的流路連接於試樣導入部34，試樣導入部34連接於分析柱36，分析柱36連接於毛細管14。
[0040]流量控制機構30以及32通過控制部38來控制。控制部38具有用於對流量控制機構30以及32進行控制的氣體流量設定單元40。控制部38可以通過控制該氣相色譜儀的計算機或者與該氣相色譜儀連接的個人計算機等通用的計算機來實現。氣體流量設定單元40可以通過存儲於構成控制部38的計算機的存儲裝置中的程序來實現。雖然將流量設定條件保持部42與控制部38分開地示出，但也可以通過構成控制部38的計算機的存儲裝置來實現，又，也可以通過與構成控制部38的計算機的存儲裝置不同的其他存儲裝置來實現。
[0041]氣體流量設定單元40構成為，根據由測定試樣決定的載氣流量對等離子氣體流量進行設定。載氣流量是由分析者根據作為測定對象的試樣的種類和分析的目的來設定的。分析者根據想要在提高了試樣的分離性能的狀態下進行分析、想要縮短測定時間、想要抑制載氣的消耗量等的要求，對載氣流量進行設定。
[0042]氣體流量設定單元40構成為，基於這樣設定的載氣流量，求出試樣氣體不會到達由電介質管4和電極6、8以及10構成的等離子體生成部的最小限度的等離子氣體流量來作為最小限度流量，根據來自分析者的要求將該最小限度流量以上的流量設定為等離子氣體流量。
[0043]最小限度流量是基於被保持在流量設定條件保持部42中的流量設定條件被求出的。通過將最小限度流量設定為等離子氣體流量，可以將等離子氣體的消耗量限制到最小限度，且能夠降低試樣氣體的稀釋率並提高試樣的檢測靈敏度。氣體流量設定單元40在分析者要求最高靈敏度的測定的情況下將最小限度流量設定為等離子氣體流量。另外，分析者也可以通過氣體流量設定單元40任意地設定最小限度流量以上的等離子氣體流量。
[0044]由於該放電電離電流檢測器2的等離子體生成部是使電介質阻擋放電發生的部件，所以電極6、8以及10的發熱基本沒有，不需要考慮等離子氣體對電極6、8以及10的冷卻效果。因此，等離子氣體的流量只要是被從毛細管14的頂端噴出的試樣氣體不會到達由電介質管4和電極6、8以及10構成的等離子體生成部的流量即可。
[0045]試樣氣體是否到達等離子體生成部是指該成分氣體是否能夠逆著等離子氣體流進行擴散，其除了由載氣與等離子氣體的流量比決定之外，還由試樣氣體(濃度最高的成分)的種類、溫度決定。流量設定條件保持部42將用於求出試樣氣體不到達等離子體生成部的最小限度流量的條件(最小設定條件)即下式(I)作為流量設定條件之一併予以保持。
[0046]Vp = f (Vc) XK1XK2 (I)
[0047]在此，Vp是等離子氣體流量，Vc是載氣流速，f(Vc)是載氣流速Vc的函數(例如VcX0.3等)，K1是與試樣氣體的種類相應的係數，K2是與溫度相應的係數。流量設定條件保持部42將根據裝置結構實測的f (Vc)、K1以及K2與式(I) 一起進行保持。另外，試樣氣體的種類是指，由氣相色譜儀分離後的試樣氣體成分中濃度最高的成分，一般來說，溶劑是濃度最高的成分。
[0048]對作為最小設定條件的式(I)的各係數的求出方法的一例進行說明。如圖2所示，將電介質管44連接於圖1的分析裝置的放電電離電流檢測器2的氣體排出口 16，在電介質管44的外周安裝環狀的電極46並通過交流電源48施加高壓交流電壓，從而在電介質管44內發生放電。通過光纖50取得電介質管44內的等離子體發光，利用分光檢測器(光檢測器)52來進行檢測。
[0049]圖3是由圖2的結構取得的光檢測器52的輸出信號和電流放大器28的輸出信號。該測定是採用正己烷作為試樣，將檢測器溫度設定為基準的溫度(200°C)並維持一定，將載氣的流量固定為50ccm(流速30cm/秒)，將等離子氣體流速設定為(A) 5cm/秒、⑶7.5cm/秒、(C) 1cm/秒，採用光檢測器52對波長588nm的光譜進行了測定。在(A)以及(B)的數據中，光檢測器52的輸出信號出現峰值。這表示試樣正從氣體排出口 16排出。相對於此，在(C)的數據中，光檢測器52的輸出信號沒有出現峰值，可知試樣沒有從氣體排出口 16試樣排出。因此，在該裝置結構以及測定條件下，如果將等離子氣體流速設定為1cm/秒(載氣流速30cm/秒X0.3)以上，則作為試樣的正己烷不會侵入電介質管4內的流路4a。
[0050]在此，將該裝置結構以及測定條件作為基準的條件，設定為f (Vc) = 0.3Vc，與使用於該測定的溶劑相關的係數Kl = 1，與該測定時的溫度相關的係數K2 = 1，並使它們存儲於流量設定條件保持部42。將此時的等離子氣體流速(1cm/秒)作為基準，採用相同的裝置結構，使用氣相色譜儀能夠使用的其他溶劑作為試樣成分並同樣地進行測定，求出沒有從氣體排出口 16排出試樣的等離子氣體流速，由此，可以根據成為基準的等離子氣體流速與求出的等離子氣體流速的比率，求出與式(I)的溶劑相關的係數Kl。同樣地，改變檢測器溫度進行測定並求出試樣不從氣體排出口 16排出的等離子氣體流速，由此根據成為基準的等離子氣體流速和求出的等離子氣體流速的比率，求得與式(I)的檢測器溫度相關的係數K2。
[0051]採用圖4對等離子氣體流量的設定步驟進行說明。
[0052]分析者將與試樣氣體中濃度最高的成分的種類(通常為溶劑)、檢測器溫度、還有分析的目的相應的載氣流量設定於裝置。控制部38的氣體流量設定單元40基於由分析者輸入的那些信息和被保持於流量設定條件保持部42的最小設定條件，求出等離子氣體流量的最小限度流量，在分析者要求最高靈敏度的測定的情況下，將該最小限度流量設定為等離子氣體流量。在分析者沒有要求最高靈敏度的測定的情況下，氣體流量設定單元40使分析者設定最小限度流量以上的任意的流量作為等離子氣體流量。
[0053]又，一般來說，被導入分析柱36的試樣是作為分析對象的試樣成分被混入溶劑中而形成的試樣。在該情況下，由分析柱36分離的試樣成分中濃度最高的成分是溶劑。溶劑的組成和濃度都是已知的，所以只要載氣流量、分析柱36的種類以及溫度相同，則通過分析柱36被導入放電電離電流檢測器2的時間段總是相同的，可以進行預測。
[0054]因此，可以將氣體流量設定單元40構成為，能夠對於每個時間段設定等離子氣體流量。由於不需要以高靈敏度對相對於溶劑的色譜的峰值進行測定，所以如圖5所示，僅在作為高濃度成分的溶劑被導入放電電離電流檢測器2的時間段，將等離子氣體流量設定為溶劑不到達等離子體生成部的較大的流量，在除此之外的時間段將等離子氣體流量設定為溶劑以外的成分不到達等離子體生成部的程度較小的流量這樣的方案成為可能。由此，可以降低等離子氣體的消耗量，且能夠一邊可靠地防止溶劑對等離子體生成部的汙染一邊以高靈敏度對溶劑以外的試樣成分進行檢測。在該情況下，作為溶劑被導入放電電離電流檢測器2的時間段的等離子氣體流量，對於該溶劑，可以設定通過上述的式(I)求出的最小限度流量，作為除此之外的時間段的等離子氣體流量，對於溶劑以外的試樣成分中濃度最高的成分，可以設定通過式(I)求出的最小限度流量。另外，溶劑以外的試樣成分為未知的情況下，也可以設定預先規定的流量(例如，溶劑的最小限度流量的1/2等)。
[0055]符號說明
[0056]2放電電離電流檢測器
[0057]4電介質管
[0058]6,8,10放電用電極
[0059]12等離子氣體入口
[0060]14毛細管(試樣氣體導入用)
[0061]16，18氣體排出口
[0062]20高壓交流電源
[0063]22偏壓電極
[0064]24直流電源
[0065]25電荷收集電極
[0066]28電流放大器
[0067]30,32流量控制機構
[0068]34試樣導入部
[0069]35分析柱
[0070]38控制部
[0071]40氣體流量設定單元
[0072]42流量設定條件保持部。
【權利要求】
1.一種分析裝置，其特徵在於，包括: 放電電離電流檢測器，所述放電電離電流檢測器具有:等離子體生成部、試樣電離部以及試樣離子檢測部，所述等離子體生成部通過對安裝於電介質管的外周的多個電極間施加高壓交流電壓而使電介質阻擋放電發生，所述試樣電離部被配置在所述電介質管的一端偵U，並通過在所述等離子體生成部的放電時發出的激發光對試樣進行電離，所述試樣離子檢測部將由所述試樣電離部電離後試樣作為電流進行檢測； 等離子氣體供給部，所述等離子氣體供給部能夠可變地調節等離子氣體的流量地從所述電介質管的另一端側供給等離子氣體； 試樣氣體供給部，所述試樣氣體供給部從所述電介質管的相反側向所述試樣電離部供給試樣氣體； 流量設定條件保持部，所述流量設定條件保持部將來自所述試樣氣體供給部的試樣氣體供給流量與相對於該供給流量應該設定的等離子氣體的供給流量的關係作為流量設定條件進行保持； 氣體流量設定單元，所述氣體流量設定單元構成為，基於被保持於所述流量設定條件保持部的流量設定條件，將來自所述等離子氣體供給部的等離子氣體供給流量設定為與試樣氣體供給流量相應的流量。
2.如權利要求1所述的分析裝置，其特徵在於， 所述流量設定條件保持部所保持的所述流量設定條件包含試樣氣體供給流量與相對於該試樣氣體供給流量不使試樣氣體侵入所述等離子體生成部的最小限度的等離子氣體供給流量的關係作為最小設定條件， 所述氣體流量設定單元構成為，在所述放電電離電流檢測器的檢測靈敏度被設定為最高靈敏度時採用所述最小設定條件對來自所述等離子氣體供給部的等離子氣體供給流量進行設定。
3.如權利要求2所述的分析裝置，其特徵在於， 所述最小設定條件是採用根據試樣氣體的種類以及所述放電電離電流檢測器的溫度預先決定的係數來表示等離子氣體供給流量相對於試樣氣體供給流量的相關關係的關係式。
4.如權利要求3所述的分析裝置，其特徵在於， 所述關係式由下式表示，
Vp = f (Vc) XK1XK2 其中，Vp為等離子氣體流量，Vc為載氣流速，f(Vc)為載氣流速Vc的函數，Kl為與試樣氣體的種類相應的係數，K2是與放電電離電流檢測器的溫度相應的係數。
5.如權利要求1?4中任一項所述的分析裝置，其特徵在於， 該分析裝置是通過載氣將試樣輸送至分析柱，在該分析柱根據成分對試樣進行分離，並將被分離的成分導入所述放電電離電流檢測器的氣相色譜儀， 所述試樣包含溶劑，該溶劑是被導入所述放電電離電流檢測器的成分中濃度最高的成分， 所述氣體流量設定單元構成為，能夠將所述溶劑以外的成分被導入所述放電電離電流檢測器的時間段的等離子氣體供給流量設定得比所述溶劑被導入所述放電電離電流檢測 器的時間段的等離子氣體供給流量小。
【文檔編號】G01N30/64GK104246494SQ201380013992
【公開日】2014年12月24日 申請日期:2013年2月20日 優先權日:2012年3月21日
【發明者】品田惠, 堀池重吉, 西本尚弘 申請人:株式會社島津製作所