多線切割機用工件夾具的製作方法

2023-11-05 22:39:42 1

專利名稱：多線切割機用工件夾具的製作方法
多線切割機用工件夾具
技術領域：
本發明屬於多線切割矽單晶錠領域，尤其屬於一種與多線切割機匹配使用， 用於固定矽單晶錠，然後利用多線切割機將矽單晶錠切割成矽單晶片的工件夾 具。
背景技術：
多線切割技術是目前世界上比較先進的矽片加工技術，它的原理是通過一 根高速運動的鋼線，帶動附著在鋼線上的切割刃料對半導體等硬脆材料進行摩 擦，從而達到切割效果。在整個過程中，鋼線通過十幾個導線輪的引導，在主 線輥上形成一張線網，而待加工工件通過工件臺的上升下降實現工件的進給， 可將半導體等硬脆材料一次同時切割為數百片，多線切割技術與其他技術相比， 具有效率高，產能高，精度高且節材等優點，業己逐漸取代傳統的刀鋸片、砂 輪片及內圓切割，是目前採用最廣泛的半導體等硬脆材料切割技術。
進行切割作業， 一個與工件臺聯接、必不可少的附件就是固定待加工工件 的工件夾具。該工件夾具的結構包括主連接座和副連接座，以及分別貼置固定 在主連接座和副連接座上的主連接片和副連接片。作業前，先將兩根待加工工 件即矽單晶錠，連同主連接片和副連接片分別固定在主連接座和副連接座上，
然後，再將攜帶工件的夾具對接在多線切割機的工件臺上，由工件臺完成上升 下降、實現工件進給，利用線網進行切割。
現有工件夾具在固定工件時，存在如下問題主導工件固定以後，從導工 件按要求必須嚴格參照主導工件的位置為基準，固定從導工件，但是，這種工 件夾具要調整好從導工件的位置非常麻煩，以至於費時費力還很難確保從導工 件與主導工件的一致性，從而造成多線切割機所切割出的矽片厚薄不一致，合 格率低，有時線網還會出現跳線、斷線現象，影響多線切割機正常作業。

發明內容
為克服現有技術存在的上述缺陷，本發明旨在提供一種結構新型的多線切 割機用工件夾具，該工件夾具在主導工件定位後，通過簡單調整，就能使從導 工件按照主導工件基準定位，確保主導工件和從導工件位置的一致性，從而消 除矽片厚薄不一致，合格率低，以及線網跳線、斷線現象。
為實現上述目的，本發明採用了如下技術方案
這種多線切割機用工件夾具，包括主連接座和副連接座、主連接片和副連 接片，主連接座與主連接片經螺栓固定呈平面連接，副連接座和副連接片經定
位螺栓固定呈平面連接，其特徵是副連接座用於接納定位螺栓的定位螺栓孔 形狀呈異形。
如上所述的多線切割機用丄件夾具，其特徵是副連接座和副連接片經定 位螺栓固定呈平面連接，副連接座上用於接納定位螺栓的定位螺栓孔形狀為前 後向長槽形。
如上所述的多線切割機用工件夾具，其特徵是副連接座和副連接片經定 位螺栓固定呈平面連接，副連接座上用於接納定位螺栓的定位螺栓孔形狀為前 後向橢圓形。
有益效果與現有技術相比，本發明通過改變副連接座用於接納定位螺栓 的螺栓孔形狀，當主導工件固定定位後，如果從導工件出現與主導工件位置不 一致時，只要旋鬆定位螺栓，利用橢圓形孔微調副連接片的前後位置後，加以 固定即可，克服了現有技術副連接座上用於接納定位螺栓的螺栓孔形狀為圓形， 工件不能作前後(實際作業時為左右向)向調整的缺陷，因為，圓形螺栓孔作 調整時，主導工件與從導工件只能作整體調整，而不能改變兩者的相對位置來 達到微調效果。

圖1為本發明一個實施例的立體結構示意圖。
圖中導軌l，裝卸槽2，緊固螺孔3，切割墊塊4，切割墊塊41，定位螺 栓5，定位螺栓孔6，副連接座7，副連接片71，導向柱8，沙漿管9，工件IO， T件101，主連接座ll，主連接片12。
具體實施方式
參見圖1。導軌1通過裝卸槽2，由緊固螺栓經緊固螺孔3固定在多線切割 機的工件臺上。夾具以導軌1下方的沙漿管9為對稱，兩側分別設置主連接座 11、副連接座7。主連接片12和副連接片71分別由相應的定位螺栓5經定位螺 栓孔6，貼置固定在主連接座11、副連接座7上(主連接片12和副連接片71 上有相應的圓形螺栓孔)。
右側的工件IO稱主導工件，工件101為從導工件。主連接片12、切割墊塊 41和工件10是通過粘膠粘接而成的整體件，副連接片71、切割墊塊4和工件 101也是通過粘膠粘接而成的整體件。本發明的創新之處在於接納定位螺栓5 的定位螺栓孔6的形狀呈異形，為非圓形，例如長條形、橢圓形，定位螺栓孔6 的數量可根據實際情況而定， 一般為6個。作業時，當主導工件定位後，調整 從導工件位置只要旋鬆定位螺栓，即可微調連接在副連接座7上的整體件的前 後位置，改進簡單、方便實用。
權利要求
1、一種多線切割機用工件夾具，包括主連接座(11)和副連接座(7)、主連接片(12)和副連接片(71)，主連接座(11)與主連接片(12)經螺栓固定呈平面連接，副連接座(7)和副連接片(71)經定位螺栓(5)固定呈平面連接，其特徵是副連接座(7)用於接納定位螺栓(5)的定位螺栓孔(6)形狀呈異形。
2、 如權利要求1所述的多線切割機用工件夾具，其特徵是副連接座(7) 和副連接片(71)經定位螺栓(5)固定呈平面連接，副連接座(7)上用於接 納定位螺栓(5)的定位螺栓孔(6)形狀為前後向長槽形。
3、 如權利要求1所述的多線切割機用工件夾具，其特徵是副連接座(7) 和副連接片(71)經定位螺栓(5)固定呈平面連接，副連接座(7)上用於接 納定位螺栓(5)的定位螺栓孔(6)形狀為前後向橢圓形。
全文摘要
一種多線切割機用工件夾具，包括主連接座和副連接座、主連接片和副連接片，主連接座與主連接片經螺栓固定呈平面連接，副連接座和副連接片經定位螺栓固定呈平面連接，其特徵是副連接座用於接納定位螺栓的定位螺栓孔形狀呈異形，例如長槽形、橢圓形。與現有技術相比，本發明通過改變副連接座上用於接納定位螺栓的螺栓孔形狀，當主導工件固定定位後，如果從導工件出現與主導工件位置不一致時，只要旋鬆定位螺栓，利用橢圓形孔微調副連接片的前後位置後，加以固定即可，克服了現有技術副連接座上用於接納定位螺栓的螺栓孔形狀為圓形，工件不能作前後向調整的缺陷。
文檔編號B28D5/04GK101380785SQ20081012158
公開日2009年3月11日 申請日期2008年10月14日 優先權日2008年10月14日
發明者陸昌忠 申請人:浙江華友電子有限公司