濾色器的缺陷修正方法

2023-07-31 16:13:16

專利名稱：濾色器的缺陷修正方法
技術領域：
本發明涉及修正濾色器的缺陷的缺陷修正方法。
背景技術：
已知在液晶顯示裝置用濾色器的製造工序中，為了改善成品率而修正 濾色器上的缺陷。在缺陷修正方法中，有例如，通過使抗蝕劑附著在針的 頂端，在缺陷部分中滴加該抗蝕劑來進行修正的方法。
另外，作為其他的缺陷修正方法，有膜轉印方法。在該方法中，使具 有單色著色層的單色膜粘附於濾色器基板的沒有著色層的白色缺陷部分， 從膜上以每1種顏色對著色層進行轉印，從而進行缺陷部分的修正(例如， 參照專利文獻1)。
專利文獻1:日本特開2005-95971號公報

發明內容
但是，在缺陷部分中滴加抗蝕劑的方法中，由於通過抗蝕劑的粘度來 變化滴加量，因此難以控制滴加量或修正精密度，穩定並修正困難。另外， 需要乾燥工序，在修正中需要長時間，生產率低。特別是在缺陷部分的尺 寸大的情況下，例如，在缺陷部分的長徑超過100pm的情況下，難以在 短時間內修正缺陷部分，不得不放棄修正。
另外，在上述的膜轉印方法中，可以在短時間內修正缺陷部分，但由 於使用單色膜，因此，特別是在涉及多種顏色而產生缺陷部分這樣的情況 等中、或者在缺陷部分的尺寸大的情況等中，缺陷修正困難，而且只能進 行修正部位在目測下可以容易識別的程度的修正，結果成為在液晶顯示裝 置的情況下顯示品質降低的重要原因。
本發明是鑑於上述而進行的，其目的在於提供一種濾色器的缺陷修正 方法，其可以在短時間內對涉及多種顏色的濾色器的缺陷部分容易地進行
修正，且難以識別修正部分。
本發明提供濾色器的缺陷修正方法。本發明的第一方式是具有圖案轉 印工序的濾色器的缺陷修正方法，所述圖案轉印工序為在基板上的著色 圖像脫落區域上使用具有黑色圖案、或2種顏色以上的彩色圖案的轉印膜， 對上述黑色圖案、或上述彩色圖案的至少一部分進行轉印。
用於解決上述課題的具體方法如下。
一種濾色器的缺陷修正方法，其具有圖案轉印工序，所述圖案轉 印工序中，使用具有黑色圖案或者2種顏色以上的彩色圖案的轉印膜，將 所述黑色圖案或者所述彩色圖案的至少一部分轉印到基板上的著色圖像 脫落區域。
上述所述的濾色器的缺陷修正方法，其還具有通過雷射照射將 基板上的著色圖像的缺陷部分除去的除去工序，所述著色圖像脫落區域是 通過雷射照射將基板上的著色圖像的缺陷部分除去而形成的區域。
上述或所述的濾色器的缺陷修正方法，其還包括著色層形 成工序，所述著色層形成工序中，在被轉印後的所述黑色圖案劃分的所述 著色圖像脫落區域的至少一部分上，形成規定的著色層。
上述所述的濾色器的缺陷修正方法，其中，所述著色層形成工
序是使用噴墨法來形成所述著色層的工序。
上述或所述的濾色器的缺陷修正方法，其中，所述轉印膜 在臨時支承體上具有黑色圖案和被所述黑色圖案隔離的至少1種顏色的圖 像圖案。
上述所述的濾色器的缺陷修正方法，其中，所述圖像圖案由選 自紅色、綠色、藍色以及透明無色彩中的2種顏色以上的圖案構成。
上述 中任一項所述的濾色器的缺陷修正方法，其中，轉 印膜的所述彩色圖案具有與所述基板上的著色圖像的圖案的至少一部分 相同的圖案。
上述<1〉 中任一項所述的濾色器的缺陷修正方法，其中，所 述著色圖像脫落區域的最大長度為100um以上。
本申請主張日本專利申請第2007-227835號、以及日本專利申請第 2007-308840號的利益。


圖1是表示濾色器的缺陷修正裝置的結構的概略圖。
圖2是表示濾色器的缺陷修正裝置的膜的結構的平面圖。
圖3a是用於i兌朋著色圖像脫落區域的形成工序的擴大截面圖，是表
示在濾色器上附著有異物的狀態的擴大截面圖。
圖3b是用於說明著色圖像脫落區域的形成工序的擴大截面圖，是表
示除去異物並形成著色圖像脫落區域的狀態的擴大截面圖。 圖4是表示濾色器的缺陷修正裝置的膜的結構的概略圖。 圖5a是用於說明將黑色圖案(以下有時也稱為黑矩陣圖案)轉印到
著色圖像脫落區域上的圖案轉印工序的擴大截面圖，是表示轉印膜上的黑 矩陣與加熱塊的位置關係的擴大截面圖。
圖5b是用於說明將黑色圖案轉印到著色圖像脫落區域上的圖案轉印 工序的擴大截面圖，是表示在著色圖像脫落區域上轉印有黑矩陣圖案的狀 態的擴大截面圖。
圖6a是用於說明將RGB3色的像素圖案和黑矩陣圖案轉印到著色圖 像脫落區域上的圖案轉印工序的擴大截面圖，是表示轉印膜上的RGB3色 的像素圖案及黑矩陣圖案與加熱塊的位置關係的擴大截面圖。
圖6b是用於說明將RGB3色的像素圖案和黑矩陣圖案轉印到著色圖 像脫落區域上的圖案轉印工序的擴大截面圖，是表示在著色圖像脫落區域 上轉印有RGB3色的像素圖案和黑矩陣圖案的狀態的擴大截面圖。
具體實施例方式
本發明的濾色器的缺陷修正方法是設計圖案轉印工序而構成的方法，
其中，所述圖案轉印工序為在基板上的著色圖像脫落區域上使用具有黑 色圖案、或2種顏色以上的彩色圖案的轉印膜，對上述彩色圖案的至少一 部分進行轉印。該缺陷修正方法，可以根據需要在圖案轉印工序之前預先 設計通過雷射照射來除去基板上的著色圖像的缺陷部分的除去工序等其 他工序。
在本發明中，通過向基板上的著色圖像脫落區域轉印形成為預先規定
的圖案狀的黑色圖案、或者2種顏色以上的彩色圖案，可以在短時間內對 在著色圖像脫落區域中預定著色層和/或黑矩陣等黑色層(以下簡單稱為黑 矩陣)的形成的部分穩定地進行修正。另外，通過將選自l種顏色以上的 著色層和黑矩陣中的期望的色相的2種顏色以上的彩色圖案匯集至少2種 顏色進行轉印來形成，得到預定的色相，由此，與以往的通過滴加抗蝕劑 的方法或膜轉印方法相比更簡易，而且可以再現修正部分難以識別的濾色 器。
上述2種顏色以上的彩色圖案的轉印，可以是選自RGB和含有透明 無色彩的色相中的2種顏色以上的圖像圖案、或者1種顏色或2種顏色以 上的圖像圖案以及黑矩陣圖案。另外，通過轉印的黑矩陣圖案，對基板上 形成的凹部進行著色，形成著色層，得到預定的色相，由此，可以再現修 正部分難以識別的濾色器。
上述著色圖像脫落區域是基板上沒有形成構成濾色器的著色層和/或 黑矩陣的區域，可以是在濾色器的製造時形成的著色圖像脫落區域，也可 以是除去濾色器的缺陷部分等而形成的著色圖像脫落區域。
在本發明中，優選的方式為進一步設計通過雷射照射將基板上構成 濾色器的著色圖像的缺陷部分除去的除去工序，通過對濾色器中的缺陷部 分照射雷射來將其除去，形成著色圖像脫落區域，其後進行缺陷修正。
在本發明中，濾色器中的缺陷部分是指基板上著色層和/或黑矩陣沒有 形成期望的形態的區域。可以列舉著色層的脫落、著色層的膜厚不足、
著色層的混色、黑矩陣的脫落、著色異物的附著、無色異物的附著等。這 樣的基板上缺陷部分的存在在構成顯示裝置時，引起顯示裝置的顯示特性 的下降。
本發明的缺陷修正方法，在上述濾色器上的著色圖像脫落區域的尺寸 大時，或者在用黑色圖案(例如所謂的黑矩陣)隔離彩色圖案(例如，紅
(R)、綠(G)、藍(B)等的著色區域)而成的圖像圖案中，著色圖像脫 落區域涉及黑色圖案和跨越該黑色圖案而設置的圖像圖案時，與以往通過 滴加抗蝕劑的方法或膜轉印方法相比，更加適宜進行涉及多種顏色出現缺 陷部分情況下的缺陷修正，可以進行更難以識別的修正。
另外，作為濾色器中的著色圖像脫落區域的尺寸，優選最大長度為ioo
"m以上的情況，更優選lOOum以上且lOOOum以下的情況。在此，缺 陷部分的最大長度是指在濾色器中的缺陷部分的形狀中最長的距離。
本發明的濾色器的缺陷修正方法，特別是在對缺陷部分的最大長度為 100um以上的大缺陷、例如對涉及多種顏色而形成的缺陷部分進行修正 的情況下，在缺陷修正效率和修正部分難以識別的方面，具有顯著效果。
作為本發明中的除去工序中使用的雷射的光源，只要是可以除去基板 上的缺陷部分的光源即可以使用，沒有特別的限制。其中，從缺陷除去效 率的觀點出發，優選為脈衝雷射光源。在本發明中，從缺陷除去效率的觀 點出發，優選為YAG雷射，更優選為Q開關YAG雷射。
另外，本發明中的雷射可以根據光束成形機構成形為適合於缺陷除去 的光斑形狀。作為光束成形機構，可以使用具有光圈(aperture)、狹縫、 透鏡等的公知的光束成形機構。
作為通過雷射照射來除去濾色器上的缺陷部分的方法，只要可以除去 構成缺陷部分的著色層和黑矩陣即可，沒有特別的限制。在本發明中，從 缺陷部分的除去效率、微細區域的除去的觀點出發，優選為通過雷射的燒 蝕。
另外，在缺陷部分的除去中，從修復效率的觀點出發，除了缺陷部分 之外，也可以同時除去缺陷部分的周邊區域。
在本發明中的圖案轉印工序中使用的轉印膜是在臨時支承體上設置 黑色圖案或者2種顏色以上的彩色圖案而構成的轉鄰膜。該2種顏色以上 的彩色圖案可以由選自黑色層、黑色以外的有彩色的著色層、以及實質上 未著色的無彩色的透明無色彩層中的著色樹脂層構成。另外，在上述臨時 支承體與上述著色樹脂層之間可以具有熱增塑性樹脂層。另外，轉印膜在 上述著色樹脂層上還具有保護膜。
上述臨時支承體化學和熱穩定，另外可以由可撓性的物質構成。進一 步優選由不吸收上述雷射的物質構成。具體而言，可以使用Teflon (特氟 隆)(註冊商標)、聚對苯二甲酸乙二酯、聚碳酸酯、聚乙烯、聚丙烯等薄 片或它們的層疊物。支承體的厚度，可以為5 300um，特別可以為20 150u m。
上述著色樹脂層，在構成為透明無色彩時可以至少含有固化性組合
物，在構成為黑色或有彩色時可以至少含有著色劑和固化性組合物。
作為著色劑，可以從可形成著色層或黑矩陣的著色劑中沒有特別限制 地選擇公知的顏料和染料來使用。例如可以列舉日本特開2005-17716
號公報

中記載的顏料和染料、日本特開2004-361447號公報

中記載的顏料、日本特開2005-17521號公報
,7
中記載的著色劑。具體可以列舉脂肪黑HB (C丄26150)、 Monolighf Fast 黑B (C丄色素黑l)以及炭黑等。作為著色樹脂層中的著色劑的含量， 從形成的黑矩陣圖案的光學濃度與強度的觀點出發，優選為30 70質量 %，更優選為40 60質量％，進一步優選為50 55質量％。
上述固化性組合物可以為光固化性組合物，也可以為熱固化性組合 物，根據目的可以適宜選擇。
在本發明中，用光刻法形成黑色圖案或者2種顏色以上的彩色圖案(包 括圖像圖案和黑矩陣圖案，以下同樣)時，上述固化性組合物優選為光固 化性組合物。另外，用噴墨法形成2種顏色以上的彩色圖案時，上述固化 性組合物優選為熱固化性組合物。
上述光固化性組合物可以至少含有粘合劑聚合物、含有乙烯性不飽和 鍵的單體、和光聚合引發劑而成。
對於粘合劑聚合物、含有乙烯性不飽和鍵的單體和光聚合引發劑，沒 有特別限制，可以使用公知的材料。例如，可以列舉日本特開2005-3861 號公報中記載的材料。
另外，上述熱固化性組合物只要是通過加熱進行固化的組合物，可以 沒有特別限制來使用，例如可以含有公知的具有熱固化性官能團的熱固化 性化合物而成。
作為上述熱固化性組合物，優選為具有選自例如環氧基、羥甲基、烷 氧甲基以及醯氧甲基中的至少一個基團的化合物。
作為進一步優選的熱固化性化合物，可以列舉a)環氧化合物；b) 由選自羥甲基、烷氧甲基以及醯氧甲基中的至少一個取代基取代的三聚氰 胺化合物、胍胺化合物、甘脲化合物或脲化合物；c)由選自羥甲基、垸 氧甲基以及醯氧甲基中的至少一個取代基取代的苯酚化合物、萘酚化合物 或羥基蒽化合物。其中，作為熱固化性組合物，特別優選為多官能環氧化
合物。
上述著色樹脂層的層厚，可以設定為與成為修正對象的濾色器具有的 黑矩陣的膜厚大致相同的膜厚度，例如，可以為l 5Pm。
作為上述保護膜，例如可以適宜使用日本特開2005-3861號公報中記 載的保護膜。
另外，作為上述熱增塑性樹脂層，例如可以適宜使用日本特開 2005-3861號公報、日本特開平11-338134號公報等中記載的熱增塑性樹 脂層。
本發明中的轉印膜，從著色樹脂層的轉印效率的觀點考慮，優選為具 有日本特開平11-338134號公報中記載的構成的轉印膜。由此可以得到良 好的轉印性，另外，可以從著色樹脂層上同時剝離支承體和熱增塑性樹脂 層，提高生產率。
本發明中具有黑色圖案或者2種顏色以上的彩色圖案的轉印膜，可以 通過使用噴墨法、或光刻法、轉印法等在例如聚對苯二甲酸乙二酯(PET) 等的臨時支承體上預先形成黑色圖案或者至少2種顏色的彩色圖案來進行
製作。從製作工序上的觀點考慮，優選通過光刻法來形成黑矩陣，通過噴 墨法來形成黑矩陣以外的圖像圖案。
作為彩色圖案，可以設置用於形成黑矩陣等遮光性圖像的黑色圖案、 黑色圖案以外的在(R)、綠(G)、藍(B)等中著色的圖像圖案、透明無 色彩的無彩色圖案。作為彩色圖案可以設置左右並列有R與G、 G與B、 B與R、或者R或G或B與透明無色彩這樣的2種顏色的圖案。圖案可 以根據作為修正對象的著色圖像的圖案，適宜選擇條紋狀、矩陣狀等。此 時，根據修正的缺陷部分的色相，可以選擇使用的轉印的轉印膜中的彩色 圖案的顏色組合。
如果形成彩色圖案為RGB三種顏色、或者RGB和透明無色彩四種顏 色，則可以進行更大的缺陷(優選最大長度為100pm以上的著色圖像脫 落區域)的修正，因此優選。另外，該彩色圖案為了能與基板上的著色圖 像的圖案對應，優選具有與作為基板上的修正對象的著色圖像的圖案的一 部分或全部相同的圖案來形成，更優選形成為與作為缺陷修正對象的著色 圖像的圖案相同或大致相同的圖案。
另外，2種顏色以上的彩色圖案在顏色與顏色之間具有黑矩陣等，優 選設置黑色圖案和由該黑色圖案隔離的1種顏色或2種顏色以上的圖像圖 案。
使用這樣製作的轉印膜，將根據期望選擇的彩色圖案在除去缺陷的著 色圖像脫落區域上進行適宜定位，將該轉印膜的黑色圖案或者2種顏色以 上的彩色圖案進行轉印，可以進行著色圖像區域的修正。
具體而言，具有黑色圖案或者2種顏色以上的彩色圖案的轉印膜，例 如可以如下進行製作。
在臨時支承體上通過公知的塗布方法來塗布熱增塑性樹脂層用塗布 液，使其乾燥，形成熱增塑性樹脂層，在該熱增塑性樹脂層上再通過公知 的塗布方法來塗布調色成黑色的感光性樹脂組合物(黑色感光性樹脂層形 成用塗布液)，使其乾燥，形成黑色感光性樹脂層，由此，製作在臨時支 承體上層疊有熱增塑性樹脂層和黑色感光性樹脂層的層疊體。接著，隔著 具有所期望的黑矩陣用圖案的掩模進行圖案曝光，顯影處理，由此，在臨 時支承體上的熱增塑性樹脂層上形成黑色感光性樹脂層固化而成的黑矩 陣圖案。接著，在由形成的黑矩陣圖案劃分的多個凹狀區域中，通過噴墨 法將第l色目的色相(例如紅色(R))的著色熱固化性組合物噴出，填充
凹狀區域的一部分成為圖案狀，使其乾燥，形成R圖像圖案。接著，與R 圖像圖案的形成同樣將第2色、第3色的色相(例如綠色(G)、藍色(B)) 的著色熱固化性組合物依次噴出，反覆乾燥，由此，形成第2色、第3色 的圖像圖案(例如G圖像圖案、B圖像圖案)。這樣，製作具有由RGB三 種顏色與黑矩陣構成的4種顏色的圖案的轉印膜。
在上述中，對通過噴墨法進行RGB的各圖像圖案的形成的情況進行 了說明，但可以不通過噴墨法，與黑矩陣圖案的形成同樣，重複進行塗布、 曝光、顯影來形成RGB的各圖像圖案，製作具有由RGB三種顏色與黑矩 陣構成的4種顏色的圖案的轉印膜。
對於上述噴墨法，在本發明中可以適宜採用濾色器的製作中使用的一 般方法。作為噴墨法，可以採用連續地噴射帶電的墨液且通過電場進行 控制的方法、使用壓電元件間歇地噴射墨液的方法、加熱墨液利用其發泡 間歇地進行噴射的方法等各種方法。
墨液可以使用油性、水性中的任一種。另外，該墨液中含有的著色劑 可以用於染料、顏料，從耐久性方面考慮更優選使用顏料。另外，也可以 使用用於公知的濾色器的製作時塗布的著色墨液(例如日本特開
2005-3861號公報的段落號

中記載的著色樹脂組合物)、日 本特開2004-325736號公報中記載的著色墨液、日本特開2002-372613號 公報中記載的墨液等公知的墨液。對於在噴墨法中使用的墨液，考慮到賦 予後的工序，可以通過加熱進行固化，或者添加通過紫外線等能量線進行 固化的成分。作為通過加熱進行固化的成分，廣泛使用各種熱固化性樹脂， 作為通過能量線進行固化的成分，例如可以例示在丙烯酸酯衍生物或甲基 丙烯酸酯衍生物中添加有光反應引發劑的成分。特別是考慮耐熱性，更優 選為在分子內具有多個丙烯醯基、甲基丙烯醯基的成分。它們的丙烯酸酯 衍生物、甲基丙烯酸酯衍生物可以優選使用水溶性的成分，水中難溶性的 成分可以進行乳化等來使用。
這樣，可以製作具有2種顏色以上的彩色圖案、具體而言選自含有 RGB和透明無色彩的色相中的2種顏色以上的圖像圖案、或者1種顏色或 2種顏色以上的圖像圖案和黑矩陣圖案、或者黑矩陣圖案的轉印膜。
在本發明中，從缺陷修正需要的時間的觀點、以及大尺寸(優選最大 長度為100um以上)的著色圖像脫落區域可以缺陷修正的觀點出發，轉 印膜上形成的圖像圖案以及黑矩陣圖案，優選為與作為缺陷修正對象的濾 色器具有的圖像圖案和黑矩陣圖案大致相同的圖案。
在本發明中，將轉印膜的黑色圖案或者2種顏色以上的彩色圖案(包 括圖像圖案和黑矩陣圖案)轉印到基板上的著色圖像脫落區域上的圖案轉 印工序，可以包括將轉印膜固定到作為轉印黑色圖案或者2種顏色以上 的彩色圖案的被轉印材料的基板上的位置的工序、從轉印膜向基板上轉印 黑色圖案或者2種顏色以上的彩色圖案中的至少一部分的工序。
上述"將轉印膜固定到作為轉印黑色圖案或者2種顏色以上的彩色圖 案的被轉印材料的基板上的位置的工序"，優選為將轉印膜固定到可以形 成為以下結構的位置的工序，所述結構是，轉印膜的黑色圖案、或者2種 顏色以上的彩色圖案與構成缺陷修正對象的濾色器的黑色圖案、或者2種 顏色以上的著色圖像轉印後形成連續的結構。
在上述"從轉印膜向基板上轉印黑色圖案或者2種顏色以上的彩色圖 案中的至少一部分的工序"中，例如可以通過加熱和/或壓接將轉印膜上的 黑色圖案或者2種顏色以上的彩色圖案轉印到基板上的著色圖像脫落區 域。在本發明中，從轉印效率的觀點出發，優選通過熱壓接來進行轉印。
對於熱壓接方法，沒有特別的限制。從缺陷修正的 :i率的觀點出發，優選
通過由加熱塊(block)引起的熱壓接來進行。
另外，在通過加熱塊進行的熱壓接之前，可以進行通過紅外線等的預 加熱處理。
參照附圖，對本發明的濾色器的缺陷修正方法的實施方式的一個例子 進行更加詳細地說明。圖1是表示可以用於本發明的實施的缺陷修正裝置 的結構的一個例子的概略圖。
該缺陷修正裝置，如圖1所示，在放置於載物臺7上的作為缺陷修正 對象的基板6的上方，從基板6側依次配置轉印膜5、物鏡4，在物鏡4 上照射雷射的雷射光路上，從物鏡4側依次配置半透半反鏡3、半透半反 鏡ll、 CCD相機12。從短脈衝雷射光源1進行照射，使通過光束成形機 構2成形為光束形狀的雷射光束入射到半透半反鏡3，使從燈光源9照射 並通過過濾器10的光入射到半透半反鏡11。另外，成為隔著雷射光路上 的半透半反鏡3、 11可以由CCD相機12觀察的結構。轉印膜5由2個膜 巻筒8支承，通過膜巻筒旋轉工具14可以旋轉。在物鏡4的下方設置空 氣的噴出口，連接有用於向該噴出口供給空氣的噴出空氣噴出工具13。
在本實施方式中，修正缺陷的對象的基板6是在液晶顯示裝置的液晶 面板上使用的濾色器基板。該濾色器用的基板6通常在透明玻璃基板上設 置構成像素的著色層和黑矩陣。載物臺7是具有XY驅動結構(未圖示)、 且在XY方向可以移動的XY載物臺，可以使基板6在任意位置上移動。 本發明中的缺陷修正裝置具備用於檢測基板6的缺陷的缺陷檢測機構、 和用於修正檢測到的缺陷的缺陷修正機構，在載物臺7上水平載置基板6， 判斷在濾色器基板的各像素上是否有缺陷，可以進行修正。具體而言，通 過缺陷檢測機構把握缺陷的位置後，通過缺陷修正機構在基板6的缺陷部 分照射雷射，除去缺陷部分，進行修正。另外，圖示的缺陷檢測機構和缺 陷修正機構的光學系等的結構是一個例子，也可以具有其他的過濾器、透
鏡、反射鏡等光學部件。
首先，對於缺陷檢測機構進行說明。缺陷檢測機構使用燈光源9、過
濾器IO、半透半反鏡11和CCD相機12來檢測缺陷。設置燈光源9作為 觀察用光源，燈光源9射出用於照明基板6的表面的白色光。從燈光源9 射出的觀察用的光通過過濾器10，入射到半透半反鏡11上。過濾器—10是 波長可變過濾器，可以僅對所規定的波長進行遮光。在此，過濾器10配 合轉印膜5的透過率來校正波長，檢測到的光可以成為白色光。入射到半 透半反鏡11上的光向基板6的方向反射。反射的光通過半透半反鏡3，入 射到物鏡4。在物鏡4和基板6之間，將厚度為約10um的由聚醯亞胺構 成的轉印膜5與基板6對向設置。於是，由物鏡4聚集的光透過轉印膜5 入射到基板6的表面，對基板的一部分進行照明。由基板6反射的光透過 轉印膜5、物鏡4、半透半反鏡3和半透半反鏡11，入射到CCD相機12 上。CCD相機12根據由基板6的表面反射的反射光來檢測圖像。CCD相 機12與個人電腦(PC)等信息理裝置連接，根據檢測到的圖像來判斷基 板6的缺陷的有無。作為判斷基板的缺陷的有無的方法，例如，可以使用 將檢測到的圖像與參考模比較的模到模方式(Die-to-Die)。當檢測到的圖 像與參考模不同時，判斷為缺陷部分。在該缺陷檢測機構中，區別不透明 的黑缺陷和透明的白缺陷來進行檢測。
另外，PC與載物臺7的XY驅動結構連接，由缺陷檢測時的載物臺7 的位置來特定檢測部位，檢測基板上的缺陷像素的坐標。另外，通過使載 物臺7移動，使基板6與來自燈光源9的光的相對位置變化，進行基板6 的全面缺陷檢測。
當然缺陷檢測機構並不限於圖示的結構，也可以使用具有其他的結構 的缺陷檢測機構。對於該缺陷檢測機構，可以使用與以往的缺陷檢測裝置 同樣的結構。
通過上述缺陷檢測機構檢測到的缺陷，通過缺陷修正機構來進行修 正。以下對於缺陷修正結構進行說明。缺陷修正機構使用短脈衝雷射光源 1、光束成形機構2和半透半反鏡3來修正缺陷。短脈衝雷射光源1例如 為Q開關YAG雷射，可以射出10nsec以下的短脈衝光。從短脈衝雷射光 源1射出的短脈衝雷射入射到光束成形機構2中。光束成形機構2具有光
圈、狹縫、透鏡等，可以將短脈衝光的光斑成形為適當的形狀的光束光斑。 例如，將基板上的短脈衝光的光束光斑成形為與濾色器的像素大致相同的 矩形，或者成形為與缺陷的形狀大致相同的形狀。半透半反鏡3將短脈衝 光反射到基板6的方向上。在此，以使來自短脈衝雷射光源1與燈光源9 的光同軸的方式配置各自的光學部件。由半透半反鏡3反射的短脈衝光照
射到轉印膜5。
轉印膜5巻繞成與膜巻筒旋轉工具14連接的2個膜巻筒8。膜巻筒旋 轉工具14具有發動機等，可以使膜巻筒8分別旋轉。通過使2個膜巻筒8 旋轉，連續地向Y方向送出轉印膜5。在缺陷修正之前驅動膜巻筒旋轉工 具14使膜巻筒8之一旋轉以使轉印膜5具有彎度。在此，轉印膜5以不 與基板6接觸的程度來具有彎度。空氣噴出工具13具有空氣罐、配管、 電離器(一才於一f一)和過濾器等，可以從轉印膜5上使電離後的空氣 噴出。例如，在物鏡4的下面設置基板側的底面打開的圓筒。該圓筒成錐 狀，基板側的開口徑變小。在側面連接配管以使空氣可以流入到該圓筒內， 通過流動經配管供給的空氣，圓筒內的內壓升高，在轉印膜5側噴出空氣。 在缺陷修正時噴出空氣使轉印膜5接近基板側，使轉印膜5與基板6接近。 通過使轉印膜5與基板6接近，在缺陷部分在基板6與轉印膜5上設置微 小的間隙。此時，可以使基板6的缺陷部分以外的突出部分與轉印膜5接 觸。該轉印膜5與基板6的距離的調節通過空氣噴出工具13的噴出量等 進行調節。或者，通過膜巻筒旋轉工具14來調節轉印膜5的彎度和張力。 另外，在載物臺7上也可具有在Z方向上移動的結構，調節間隔。通過空 氣噴出工具13使轉印膜5與基板6接近，由此不需要使轉印膜5密接於 基板上。由此，可以進行穩定的修正，另外可以降低對基板6的圖案帶來 的影響。
該轉印膜5，如圖2所示，根據修正的缺陷的種類變更為不同的膜。 缺陷修正裝置的膜至少由缺陷除去用的轉印膜5a和膜巻筒8a、以及形成 有黑色圖案或者2種顏色以上的彩色圖案(例如，RGB3種顏色的圖像圖 案和黑矩陣)的缺陷修正用的轉印膜5b和膜巻筒8b構成，可以還具有形
成有其他的彩色圖案的缺陷修正用膜和膜巻筒。另外，作為其他的方式， 例如，可以由缺陷除去用的轉印膜5a和膜巻筒8a、以及形成有RG2種顏
色的圖像圖案和黑矩陣的缺陷修正用的轉印膜和膜巻筒、形成有GB 2種
顏色的圖像圖案和黑矩陣的缺陷修正用的轉印膜和膜巻筒、形成有BR 2
種顏色的圖像圖案和黑矩陣的缺陷修正用的轉印膜和膜巻筒構成。
膜巻筒8安裝到直線導軌等巻筒移動工具(未圖示)上，設置為在X 方向上可以滑動。使膜巻筒8a和膜巻筒8b在X方向上移動，將短脈衝光 照射到與修正的對象相對應的缺陷的轉印膜5上。g卩，除去缺陷部分時， 在來自短脈衝雷射光源1的短脈衝光的雷射光斑15的位置上使轉印膜5a 移動。另一方面，修正白缺陷時，在來自短脈衝雷射光源l的短脈衝光的 雷射光斑15的位置上使轉印膜5b移動。由於來自該短脈衝雷射光源1與 燈光源9的光調節成為在相同光軸上，因此，轉印膜5上的雷射光斑15 與觀察用的光在大致相同的位置上。在膜巻筒8的移動時和轉印膜5的送 出時使膜巻筒8旋轉，賦予轉印膜5適當的張力，在基板6和轉印膜5上 設置間隙。於是，沒有使空氣噴出而進行膜的移動和送出。另一方面，除 去缺陷並進行修正時，使轉印膜5彎曲，通過空氣噴出工具14可以使空 氣噴出，使轉印膜5接近基板表面。
對於該轉印膜5a和基板6的結構，參照圖3a和圖3b進行說明。圖 3a和圖3b是表示修正部位的結構的擴大截面圖。圖3a表示照射短脈衝光 中的膜和基板配置。圖3b表示除去缺陷的基板的結構。基板6上設置紅 色(R)的著色層6K綠色(G)的著色層62、藍色(B)的著色層63、 黑矩陣(BM) 64，形成濾色器。如圖3a所示，在濾色器上附著異物65 的情況下，附著異物65的缺陷部分，通過缺陷檢測機構作為不透過光的 黑缺陷被檢測到。此時轉印膜5a與基板6上的濾色器略微接觸。
在附著有該異物65的缺陷部分上，如果照射來自短脈衝雷射光源1 的10nsec以下的短脈衝光，則通過物鏡4聚集的短脈衝光通過空氣噴出工 具入射到與基板6接近的轉印膜5a上。調節該短脈衝光的功率，使通過 雷射燒蝕轉印膜5a可以部分地開口。在此作為一個例子，使用聚醯亞胺 膜作為轉印膜5a。如果使用YAG短脈衝雷射光源I的3倍高頻355nm或 者4倍高頻的266nm，則由於聚醯亞胺膜吸收短脈衝光，因此，可以容易 地在轉印膜5a上設置開口部。另外，由於聚醯亞胺膜在可見光區域沒有 吸收大致透明，因此容易觀察，可以使用燈光源9來檢測缺陷。另外，轉
印膜5a並不限於聚醯亞胺，可以使用通過光的照射、通過化學分解、熱 分解、升華或者燒蝕等開口的材質。由於雷射通過光束成形機構2來成形
為缺陷的形狀或者像素的形狀，因此，轉印膜5a的開口部的形狀可以成 為與例如缺陷部分的形狀大致相同的形狀。通過雷射燒蝕可以基本同時除 去異物65和膜的一部分。 ，，
除去的異物65a如圖3b所示，通過轉印膜5a的開口部，從基板脫離。 另外，由於修正部周邊用膜覆蓋，因此異物65附著在修正部周邊的膜上， 不會在修正部周邊產生新的缺陷。這樣，通過雷射燒蝕可以基本同時除去 膜和缺陷。另外，除去的異物65a成l片，但也有時也成多個碎片落到膜 上。
另外，可以調節短脈衝雷射光源1的功率，以使在轉印膜5a上緩慢 地開孔，也可以調節使膜的開孔與異物的除去同時進行。在轉印膜5a上 緩慢地開孔時，形成轉印膜5a變薄的狀態，另外在轉印膜5a變薄的部位 照射短脈衝雷射來除去異物。
另外，開口部的尺寸小的情況下，可以在送出膜的同時設置開口部。 如果使用遠紫外線則由於轉印膜5a進行化學分解，因此在異物除去後在 基板表面上殘留膜的殘渣時，可以照射遠紫外線來除去膜的殘渣。
另外，在異物為透明的情況下，向異物照射短脈衝光，由於沒有光的 吸收，因此不產生雷射燒蝕。與此相對，作為轉印膜5使用聚醯亞胺等吸 收光的膜。在使吸收膜略微接觸異物的上部的狀態下照射短脈衝雷射時， 在膜通過雷射燒蝕進行開口的同時，由於在前方飛落的氣體或碎片，異物 在基板上瞬間施壓，由於其後的反跳可以從基板上脫離。
由於通過上述處理與基板上的異物65 —起除去黑矩陣64、著色層61 、 62，因此，黑缺陷成為透過光的著色圖像脫落區域66。為了修正該著色圖 像脫落區域66，如圖4所示，使膜巻筒8a和膜巻筒8b在X方向上移動， 使轉印膜5b移動到雷射光斑15的位置上。接著，使轉印膜5b熱壓接在 著色圖像脫落區域66上，對著色圖像脫落區域66進行修正。
對於該著色圖像脫落區域的修正方法，參照圖5a、圖5b、圖6a和圖 6b進行說明。圖5a和圖5b是表示膜5b和基板6之間的配置結構的截面 擴大圖。在膜5b的基板6側的面上形成黑矩陣54。在膜5b上將厚度為約
100 Wm的聚對苯二甲酸乙二酯膜設為基底膜，可以使用在基底膜上形成
有厚度為約1 u m的黑矩陣54的幹膜抗蝕劑。另外，優選在基底膜與黑矩 陣圖案之間進一步形成厚度為約lOum的熱增塑性樹脂層。
圖6a和圖6b是表示膜5b和基板6之間的配置結構的截面擴大圖。 在轉印膜5b的基板6側的面上形成圖像圖案51、 52、黑矩陣圖案54。在 轉印膜5b上將厚度為約100u m的聚對苯二甲酸乙二酯膜設為基底膜，可 以使用在基底膜上形成有厚度為約1lim的圖像圖案51、52以及黑矩陣圖 案54的幹膜抗蝕劑。另外，優選在基底膜與圖像圖案51、 52和黑矩陣圖 案54之間進一步形成厚度為約10 u m的熱增塑性樹脂層。
轉印膜5b並不限於聚乙烯，可以使用聚丙烯或PET膜等，厚度也不 限於上述厚度。另外，在圖像圖案51、 52、黑矩陣圖案54中，也可以使 用與基板6側的著色層61、 62、黑矩陣64大致相同的材質。由此，可以 更加有效地防止液晶顯示裝置品質的劣化。當然轉印膜5b或黑矩陣圖案 54、圖像圖案51、 52的材質和厚度並不限於上述。
另外，在缺陷修正裝置中設置加熱塊20,其用於將在轉印膜5b上形 成的圖像圖案51、 52、黑矩陣圖案54熱轉印到基板上。加熱塊20設置成 為可以上下移動，在使轉印膜5b的圖像圖案51、 52和黑矩陣圖案54附 著時，向下移動將轉印膜5b擠壓在基板上，進行加熱。由此，可以在著 色像素脫落區域上轉印形成圖像圖案51a、 52a以及黑矩陣圖案54a。
在本發明中，優選為在轉印膜5b與基板6之間夾持通過雷射開口的 轉印膜5a的狀態。通過隔著轉印膜5a的開口部對圖像圖案51、 52以及 黑矩陣圖案54進行轉印，可以防止在缺陷部位以外的區域上附著圖像圖 案51、 52或黑矩陣圖案54。由此，通過簡易的結構可以僅在缺陷部位對 圖像圖案51a、 52a以及黑矩陣圖案54a進行轉印，可以正確地修正缺陷。 另外，由於在其餘區域上沒有附著著色層，因此，可以使生產率提高。
對於1個部位的缺陷修正，由於可以不伴隨光學系或載物臺的移動而 僅提供膜巻筒8的移動來進行修正，因此以上動作可以在1個物鏡下觀察 的同時來進行。另外，可以僅通過l個短脈衝雷射光源l來進行異物的除 去和顏色附著，可以進行白缺陷和黑缺陷的修正。另外，在修正動作結束 後，可以通過CCD相機12來檢測是否正確地進行修正。
以下的方案也是優選實施方式之一，該方案為如上轉印黑矩陣圖案 之後，在被黑矩陣圖案劃分的著色圖像脫落區域，將預定的規定色相合併， 使用噴墨法形成著色層。這樣，即使修正面積大的缺陷部分，也可以有效 進行修正。
在上述說明中用液晶顯示裝置用的濾色器基板進行說明，也可以制用 於CCD相機等的固體攝像元件用的濾色器基板中。當然對於濾色器基板
以外的圖案基板可以利用。例如，也可以在PDP和布勞恩管等螢光體的修 正中利用。另外，在上述說明中異物65為形成黑缺陷的不透明材質，但 也可以為由透明的材質構成的異物。另外，可以除去沒有精密度良好地設 置的著色層等。將這些必須除去的異物等稱為缺陷。通過除去這些缺陷， 可以修正缺陷。 實施例
以下通過實施例對本發明進行具體地說明，但本發明並不限於這些實 施例。另外，只要沒有特別的說明，"份"和"％"是質量基準。 (實施例1) -濾色器的製作-
通過日本特開2006-276818號公報的段落號

中記載的 方法來製作濾色器。 -轉印膜的製作-
使用厚度為100ym的聚對苯二甲酸乙二酯作為基底膜(臨時支承 體)，在該膜上塗布乾燥下述組成的熱增塑性樹脂層形成用塗布液，使其 成為10um的乾燥膜厚，得到在聚對苯二甲酸乙二酯膜上形成有乙烯-丙 烯酸乙酯共聚物樹脂膜作為熱增塑性樹脂層的臨時支承體。
*熱增塑性樹脂層形成用塗布液* 乙烯-丙烯酸乙酯共聚樹脂… 10g
(三井 杜邦聚化合物(三井 於"二水 > 水U少S力；")公司制，商 品名EVAFLEX-EEA-709，丙烯酸乙酯含量35%) 甲苯… 100g
以下，在上述臨時支承體的熱增塑性樹脂層上塗布下述黑色感光性樹 脂層用塗布液，使其為1.8ym的膜厚，使其乾燥，形成黑色感光性樹脂
層。
*黑色感光性樹脂層用塗布液 '聚合物A…70份
(苯乙烯/甲基丙烯酸甲酯/丙烯酸乙酯/丙烯酸/甲基丙烯酸縮水甘油
酯的共聚樹脂、重均分子量=約35000，酸價=110) *單體季戊四醇四丙烯酸酯… 30份 '光引發劑IRUGACURE369… 2.2份
(汽巴精化公司制)
N,N-四乙基-4,4，-二氨基二苯甲酮… 2.2份 *溶劑丙二醇單甲基醚… 492份 *聚合抑制劑對甲氧基苯酚… 0.1份
，表面活性劑全氟烷基垸氧化物…0.01份 *著色劑炭黑…22份
-對於塗布形成的黑色感光性樹脂層，使用平行光曝光機MAP1200L
(大日本斯庫林(7夕y—y)公司制)，通過形成有黑矩陣用圖案的負
像掩模，在100mJ/ci^下進行曝光。接著，使用噴霧式顯影裝置DVW911 (大日本斯庫林公司制)，通過KOH類顯影液(商品名CDK-1、富士膠 片電子材料(FUJIFILM Electronic Materials)公司制)在25。C下噴霧顯影 60秒，除去未曝光部，使其乾燥，形成黑矩陣圖案。 -濾色器用噴墨墨液的配製- (1)顏料分散液的配製
將下述組成中的各顏料、顏料分散液、以及有機溶劑以下述比例進 行混合，加入直徑為0.3mm的氧化鋯微珠500份，使用塗料攪拌器(淺田 鐵鋼公司制)分散4小時，分別配製PB15:6 (C.I.色素藍15:6)顏料分散 液和PV23 (C丄色素紫23)顏料分散液。
顏料(PB15:6或PV23)… 10份
顏料分散劑(Disperbyk1161、 BYK日本公司制)… 10份
(二乙二醇單丁基醚乙酸酯(BCA;溶劑)中固體成分30質量％)
，顏料分散輔助劑(N-苯基馬來醯胺/甲基丙烯酸苄酯共聚物)…10
份
(溶劑BCA中固體成分30質量％)
BCA (二乙二醇單丁基醚乙酸酯)…70份
(2) 粘合劑組合物的配製
在樣品瓶中裝入Teflon (特氟隆，註冊商標)被覆的轉子，設置在磁 力攪拌器上。在該樣品瓶中，根據下述比例加入下述粘合劑性環氧化合物、 多官能環氧樹脂等，在室溫下充分攪拌溶解，接著，為了粘度調節加入稀 釋溶劑，進行攪拌溶解後，將其過濾，得到粘合劑組合物。
的記載進行配製。
(3) 噴墨墨液的配製
將上述配製的PB15:6顏料分散液46.8份、PV23顏料分散液3.2份、 粘合劑組合物30份和BCA15份充分地進行混合後，添加正十二烷，使相 對於墨液總量成為5質量％，配製濾色器用藍色噴墨墨液(B墨液l)。
(1)顏料分散液的配製
將下述組成中的各顏料、顏料分散液、以及有機溶劑以下述比例進 行混合，加入直徑為0.3mm的氧化鋯微珠500份，使用塗料攪拌器(淺田 鐵鋼公司制)分散4小時，分別配製PR254 (C.I.色素紅254)顏料分散液 和PR177 (C.I.色素紅177)顏料分散液。
*顏料(PR254或PR177)… 10份
顏料分散劑(Disperbyk1161、 BYK日本公司制)… 10份
(溶劑BCA中固體成分30質量％) 顏料分散輔助劑(N-苯基馬來醯胺/甲基丙烯酸節酯共聚物)…10
份
(溶劑BCA中固體成分30質量％) BCA (二乙二醇單丁基醚乙酸酯)…70份 (2)噴墨墨液的配製 將上述配製的PR254顏料分散液68.85份、PR177顏料分散液6.15份、 上述粘合劑組合物20份和BCA5份充分地進行混合。之後，添加正十二 烷5份，配製濾色器用紅色噴墨墨液(R墨液l)。
(1) 顏料分散液的配製
將下述組成中的顏料、顏料分散液、以及有機溶劑以下述比例進行 混合，加入直徑為0.3mm的氧化鋯微珠500份，使用塗料攪拌器(淺田鐵 鋼公司制)分散4小時，分別配製PG36 (C丄色素綠36)顏料分散液、PG7 (C丄色素綠7)顏料分散液、PY138(C丄色素黃138)顏料分散液和PY150 (C.I.色素黃150)顏料分散液。 [顏料分散液的組成]
顏料(PG36或PG7或PY138或PY150) 10份 '顏料分散劑(Disperbyk1161、 BYK日本公司制)… 10份
(溶劑BCA中固體成分30質量％) 顏料分散輔助劑(N-苯基馬來醯胺/甲基丙烯酸節酯共聚物)…10
份
(溶劑BCA中固體成分30質量％)
BCA (二乙二醇單丁基醚乙酸酯)…70份
(2) 噴墨墨液的配製
將上述配製的PG36顏料分散液19.25份、PG7顏料分散液13.65份、 PY138顏料分散液24.64份、PY150顏料分散液12.46份、上述粘合劑組 合物22份和BCA3份充分地進行混合。之後，添加正十二烷5份，配製
22
濾色器用綠色噴墨墨液(G墨液l)。
-通過噴墨墨液的RGB像素的形成-
下面，依次使用由上述得到的R墨液1、 G墨液l、 B墨液l，如下所 述形成RGB3色的圖像圖案。
首先，使用B墨液1，在形成有黑矩陣圖案的臨時支承體的、由黑矩 陣圖案劃分且形成為凹形狀的凹狀區域中，在應該形成藍色像素的區域上 將得到期望濃度的量的B墨液1通過Dimatix公司製造的墨液噴頭 (SE-128、噴頭溫度28°C)噴出達到期望的濃度，使其均勻附著形成B 著色區域。與此同樣，在應該形成綠色像素和紅色像素的凹狀區域上，分 別使上述的R墨液1、 G墨液l均勻地附著，形成G著色區域、R著色區 域。其後，對於各顏色的著色區域，在1333Pa (IOTorr)下進行120秒減 壓乾燥。
在本實施例中，控制搬運速度、驅動頻率，分別使R顏料、G顏料、 B顏料的塗設量為Llg/m2、 1.8g/m2、 0.75g/m2。
吐出後，各顏色的著色區域吐出形成的臨時支承體被搬運到曝光部， 在經過墨液滴著落後的約0.5秒後，通過紫外發光二極體NCCU033 (日亞 化學工業株式會社制，UV-LED)進行曝光，使其固化，形成RGB3色的 像素圖案(R像素、G像素、B像素)。
接著，將在熱增塑性樹脂層上形成的RGB 3色的圖像圖案和黑矩陣用 作為覆蓋膜的40"m的聚丙烯膜覆蓋，作為轉印膜巻繞成為輥狀，製作在 基底膜上依次層疊有熱增塑性樹脂層、RGB 3色的圖像圖案層和黑矩陣圖 案層、覆蓋膜的轉印膜。
對於由上述得到的濾色器，使用上述的轉印膜、圖l所示的濾色器缺 陷修正裝置來檢査濾色器，另外，按以下順序對在濾色器上檢測到的最大 長度為500um的缺陷進行修正。
-缺陷部分的除去-
作為雷射光源使用Q開關YAG雷射(波長266nm、脈衝時間10nsec)， 隔著10ym的聚醯亞胺膜，將短脈衝雷射照射到缺陷部分，通過雷射燒蝕 除去缺陷部分上的聚醯亞胺膜和缺陷部分，形成著色圖像脫落區域。
此時，雷射通過光束成形機構，形成為與缺陷部分幾乎相同的形狀。
-圖案的轉印-
由上述得到的轉印膜，在除去覆蓋膜後，以在該黑矩陣等形成面側進 行對置的方式，使其接近上述著色圖像脫落區域，將加熱塊(溫度12(TC)
在9.8X 104Pa下從黑矩陣等非形成面側按壓到轉印膜上0.5秒鐘，將RGB 3色的像素圖案(R像素、G像素、B像素)和黑矩陣圖案一起進行熱轉 印。
此時，調節轉印膜的位置，使連接被轉印後的RGB 3色的像素圖案(R 像素、G像素、B像素)和黑矩陣圖案、與基板上形成的R像素、G像素、 B像素和黑矩陣圖案的圖案形成。
之後，在20(TC的潔淨烘箱內加熱30分鐘，再在23(TC下加熱30分 鍾，進行後燒成，在基板上與黑矩陣一起形成乾燥固化後的平均膜厚為1.8 P m的RGB 3色的圖像圖案，對濾色器中的缺陷進行修正。
接著，將形成有RGB像素圖案的基板清洗乾燥後，在基板設定溫度 200°C、 0.8Pa (6X10-3Torr)的真空下，得到ITO (氧化銦錫)電極成膜 為120nm的厚度的濾色器。
在上述實施例中，以使用形成有RGB3色的像素圖案和黑矩陣圖案的 轉印膜的情況為中心進行說明，但根據作為修正對象的濾色器的缺陷部分 的形狀和位置、尺寸等，來適宜選擇例如形成有RG 2色的像素圖案的轉 印膜、形成有GB 2色的像素圖案和黑矩陣圖案的轉印膜、或者形成有R 色圖像圖案和透明無色彩的像素圖案的轉印膜等的情況下，也可以得到同 樣的效果。
另外，在上述實施例中，以在臨時支承體上用光刻法形成黑矩陣後用 噴墨法形成像素圖案而進行的方式為中心，對轉印膜的製作進行說明，但 轉印膜可以通過噴墨法形成黑矩陣和像素圖案全部來製作，另外，不僅是 黑矩陣，通過進行塗布、曝光、顯影的光刻法也可以形成圖像圖案來進行 製作，在這些情況下均可以得到與上述實施例同樣的效果。 (實施例2)
在上述實施例1的黑矩陣圖案上進一步用40 y m的聚丙烯膜作為覆蓋 膜來進行被覆，作為黑矩陣轉印膜巻繞成輥狀，製作在基底膜上依次層疊 有熱增塑性樹脂層、黑矩陣圖案層、覆蓋膜的黑矩陣轉印膜。
對於由上述實施例1得到的濾色器，使用上述的黑矩陣轉印膜、圖1 所示的濾色器缺陷修正裝置來檢査濾色器，另外，按以下順序對在濾色器
上檢測到的最大長度為500"m的缺陷進行修正。
-缺陷部分的除去-
與上述實施例1同樣，通過雷射燒蝕除去上述濾色器上的缺陷部分上 的聚醯亞胺膜和缺陷部分，形成著色圖像脫落區域。 -黑矩陣圖案的轉印-
使由上述得到的具有黑矩陣圖案的轉印膜，在除去覆蓋膜後，接近上
述著色圖像脫落區域，將加熱塊(溫度12(TC)在壓力9.8X10^a下按壓 到轉印膜上0.5秒鐘，將黑矩陣圖案進行熱轉印。
此時，調節轉印膜的位置，形成被轉印後的黑矩陣圖案與基板上形成 的黑矩陣圖案連接的圖案。

在通過熱轉印修正黑矩陣圖案的著色圖像脫落區域的應該形成藍色 像素的凹部上，將由上述實施例1得到的濾色器用藍色噴墨墨液通過 Dimatix公司製造的墨液噴頭(SE-128、噴頭溫度28'C)噴出達到期望的 濃度，使其正確且均勻地附著。
與此同樣，在應該形成綠色像素和紅色像素的凹部上，分別使由上述 實施例1得到的濾色器用綠色噴墨墨液以及由上述實施例1得到的濾色器 用紅^^賁墨墨液正確且均勻地附著。
其後，在1333Pa (10Torr)下進行120秒減壓乾燥，另外，在80。C的 熱板上進行預焙10分鐘。其後，在潔淨烘箱內200'C下加熱30分鐘進行 預焙燒，再在23(TC下加熱30分鐘進行主焙燒，在基板上形成乾燥固化後 的平均膜厚為1.8um的RGB3色的像素圖案，對濾色器中的缺陷進行修 正。
接著，將形成有RGB像素圖案的基板進行清洗乾燥後，在基板設定 溫度200。C、 0.8Pa (6Xl(T3Torr)的真空下，得到ITO (氧化銦錫)電極 成膜為120nm的厚度的濾色器。
如上，根據本發明的濾色器的修正方法，可以修正最大長度為100 u m以上(在實施例中500 um)的缺陷，並且缺陷修正需要的時間，與以
往通過滴加抗蝕劑的方法或以往的單色膜轉印方法相比時間短。另外，將 缺陷修正後的濾色器進行目測觀察，結果通過以往通過滴加抗蝕劑的方法 或以往的單色膜轉印方法在經缺陷修正的濾色器中修正部分可以容易地 觀察，但通過本發明的缺陷修正方法在經缺陷修正的濾色器中，不能觀察 到修正部分。
根據本發明，可以在短時間內簡易地修正涉及多個顏色的濾色器的缺 陷部分，可以提供難以識別修正部分的濾色器的缺陷修正方法。 艮P，根據本發明，提供下述 。
提供一種濾色器的缺陷修正方法，其具有圖案轉印工序，所述圖 案轉印工序中，使用具有黑色圖案或者2種顏色以上的彩色圖案的轉印膜，
將所述黑色圖案或者所述彩色圖案的至少一部分轉印到基板上的著色圖 像脫落區域。
提供上述<1〉所述的濾色器的缺陷修正方法，其還具有通過雷射照 射將基板上的著色圖像的缺陷部分除去的除去工序，所述著色圖像脫落區 域是通過雷射照射將基板上的著色圖像的缺陷部分除去而形成的區域。
提供上述或所述的濾色器的缺陷修正方法，其還包括著色
層形成工序，所述著色層形成工序中，在被轉印後的所述黑色圖案劃分的 所述著色圖像脫落區域的至少一部分上，形成規定的著色層。
提供上述所述的濾色器的缺陷修正方法，其中，所述著色層形 成工序是使用噴墨法來形成所述著色層的工序。
提供上述或所述的濾色器的缺陷修正方法，其中，所述轉
印膜在臨時支承體上具有黑色圖案和被所述黑色圖案隔離的至少1種顏色 的圖像圖案。
提供上述所述的濾色器的缺陷修正方法，其中，所述圖像圖案 由選自紅色、綠色、藍色以及透明無色彩中的2種顏色以上的圖案構成。
提供上述 中任一項所述的濾色器的缺陷修正方法，其 中，轉印膜的所述彩色圖案具有與所述基板上的著色圖像的圖案的至少一 部分相同的圖案。
提供上述 中任一項所述的濾色器的缺陷修正方法，其 中，所述著色圖像脫落區域的最大長度為100ym以上。
上述本發明的優選實施方式的詳細，毫無疑問是本領域技術人員根據 試圖應用的方式，可以自由變更為各種的應用方式。因此，本發明的範圍 應該根據權利要求的範圍來確定。
權利要求
1. 一種濾色器的缺陷修正方法，其特徵在於，具有圖案轉印工序，所述圖案轉印工序中，使用具有黑色圖案或者2種顏色以上的彩色圖案的轉印膜，將所述黑色圖案或者所述彩色圖案的至少一部分轉印到基板上的著色圖像脫落區域。
2. 根據權利要求1所述的濾色器的缺陷修正方法，其特徵在於，還具 有通過雷射照射將基板上的著色圖像的缺陷部分除去的除去工序，所述著色圖像脫落區域是通過雷射照射將基板上的著色圖像的缺陷 部分除去而形成的區域。
3. 根據權利要求1或2所述的濾色器的缺陷修正方法，其特徵在於， 還包括著色層形成工序，所述著色層形成工序中，在被轉印後的所述黑色 圖案劃分的所述著色圖像脫落區域的至少一部分上，形成規定的著色層。
4. 根據權利要求3所述的濾色器的缺陷修正方法，其特徵在於，所述著色層形成工序是使用噴墨法形成所述著色層的工序。
5. 根據權利要求1或2所述的濾色器的缺陷修正方法，其特徵在於，所述轉印膜在臨時支承體上具有黑色圖案和被所述黑色圖案隔離的至少1 種顏色的圖像圖案。
6 . 根據權利要求5所述的濾色器的缺陷修正方法，其特徵在於，所述 圖像圖案由選自紅色、綠色、藍色以及透明無色彩中的2種顏色以上的圖 案構成。
7. 根據權利要求1或2所述的濾色器的缺陷修正方法，其特徵在於， 轉印膜的所述彩色圖案具有與所述基板上的著色圖像的圖案的至少一部 分相同的圖案。
8. 根據權利要求3所述的濾色器的缺陷修正方法，其特徵在於，轉印 膜的所述彩色圖案具有與所述基板上的著色圖像的圖案的至少一部分相 同的圖案。
9. 根據權利要求4所述的濾色器的缺陷修正方法，其特徵在於，轉印 膜的所述彩色圖案具有與所述基板上的著色圖像的圖案的至少一部分相 同的圖案。
10. 根據權利要求1或2所述的濾色器的缺陷修正方法，其特徵在於，所述著色圖像脫落區域的最大長度為100um以上。
11. 根據權利要求3所述的濾色器的缺陷修正方法，其特徵在於，所 述著色圖像脫落區域的最大長度為100um以上。
12. 根據權利要求4所述的濾色器的缺陷修正方法，其特徵在於，所 述著色圖像脫落區域的最大長度為100"m以上。
全文摘要
可以在短時間內簡易地進行涉及多個顏色的濾色器的缺陷部分的修正，可以進行難以識別修正部分的修正。在濾色器的缺陷修正方法中具有圖案轉印工序，即在基板上的著色圖像脫落區域上，使用具有黑色圖案或者2種顏色以上的彩色圖案的轉印膜，對所述彩色圖案的至少一部分進行轉印。
文檔編號G02B5/20GK101382673SQ20081014633
公開日2009年3月11日 申請日期2008年8月25日 優先權日2007年9月3日
發明者酒井榮一 申請人:富士膠片株式會社