有機電致發光顯示裝置的製造方法
2023-07-31 15:10:51 1
有機電致發光顯示裝置的製造方法
【專利摘要】本發明公開有機電致發光顯示裝置的製造方法，步驟如下：準備具有第一像素區域和與所述第一像素區域分隔的第二像素區域的基板，並將對應於所述第一像素區域和第二像素區域而開口的第一掩模布置在所述基板之上。然後，將對應於所述第一像素區域而開口的第二掩模布置在所述第一掩模之上，以暴露所述第一像素區域，覆蓋所述第二像素區域。然後，向所述基板側提供第一有機發光物質，以在暴露的所述第一像素區域形成所述第一有機發光物質，並從所述基板去除所述第二掩模而暴露所述第一像素區域和第二像素區域，向所述基板側提供第二有機發光物質，以在暴露的所述第一像素區域和第二像素區域形成所述第二有機發光物質，之後從所述基板去除所述第一掩模。
【專利說明】有機電致發光顯示裝置的製造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及有機電致發光顯示裝置的製造方法，尤其涉及形成有機電致發光顯示裝置的有機發光層的方法。
【背景技術】
[0002]有機電致發光顯示裝置作為平板顯示裝置中的一種，逐漸取代著以往廣泛使用的液晶顯示裝置。有機電致發光顯示裝置自發光而顯示圖像，因此與液晶顯示裝置不同，不需要通過其構成要素髮光的背光單元。據此，有機電致發光顯示裝置不僅具有相比液晶顯示裝置有利於減少其厚度的結構，響應特性也很出色，因此作為下一代平板顯示裝置，其使用範圍正逐漸擴大。
[0003]通常，有機電致發光顯示裝置包括陽極、陰極以及介入於這兩個電極之間的空穴注入層、空穴輸送層、有機發光層、電子輸送層、電子注入層。通過所述陽極向所述有機發光層提供空穴，並通過所述陰極向所述有機發光層提供電子。據此，被提供至所述有機發光層的電子和空穴再結合而生成激子，根據所述激子的狀態從激發態變化至基態而產生的能量，從所述有機發光層發出光。
[0004]另外，用於製造有機電致發光顯示裝置的多個單位工藝中的一部分單位工藝可適用被應用於液晶顯示裝置的製造中而通用化的單位工藝。但是，由於諸如在基板上圖案化有機發光層的工藝的一部分單位工藝屬於沒有被引入到液晶顯示裝置的製造中的工藝，因而正在研究能夠將這些單位工藝最優化的可執行的方案。
【發明內容】
[0005]本發明的目的在於提供一種能夠更加容易地圖案化有機電致發光顯示裝置的有機發光層的方法。
[0006]用於實現上述的本發明的目的的根據本發明一實施例的有機電致發光顯示裝置的製造方法如下。
[0007]準備具有第一像素區域和與所述第一像素區域分隔的第二像素區域的基板，並將對應於所述第一像素區域和第二像素區域而開口的第一掩模布置在所述基板之上。然後，將對應於所述第一像素區域而開口的第二掩模布置在所述第一掩模之上，以暴露所述第一像素區域，覆蓋所述第二像素區域。
[0008]然後，向所述基板側提供第一有機發光物質，以在暴露的所述第一像素區域形成所述第一有機發光物質，並從所述基板去除所述第二掩模而暴露所述第一像素區域和第二像素區域，向所述基板側提供第二有機發光物質，以在暴露的所述第一像素區域和第二像素區域形成所述第二有機發光物質，之後從所述基板去除所述第一掩模。
[0009]用於實現上述本發明的目的的根據本發明另一實施例的有機電致發光顯示裝置的製造方法如下。
[0010]準備具有彼此分隔的第一像素區域、第二像素區域、第三像素區域的基板，並將對應於所述第一至第三像素區域而開口的第一掩模布置在所述基板之上，將對應於所述第一像素區域和第二像素區域而開口的第二掩模布置在所述第一掩模之上。然後，將對應於所述第一像素區域而開口的第三掩模布置在所述第二掩模之上，以暴露所述第一像素區域，並覆蓋所述第二像素區域和第三像素區域。
[0011]然後，向所述基板側提供第一有機發光物質，以在暴露的所述第一像素區域形成所述第一有機發光物質，並從基板去除所述第三掩模，以暴露所述第一像素區域和第二像素區域，向所述基板側提供第二有機發光物質，以在暴露的所述第一像素區域和第二像素區域形成所述第二有機發光物質。
[0012]然後，從所述基板去除所述第二掩模，以暴露所述第一至第三像素區域，向所述基板側提供第三有機發光物質，以在暴露的所述第一至第三像素區域形成所述第三有機發光物質，之後從基板去除所述第一掩模。
[0013]根據本發明的實施例，可利用薄膜形態的掩模選擇性地在像素區域容易地形成彼此不同的有機發光層。據此，可以最小化以往為了圖案化有機發光層而使用的金屬掩模的使用頻率，或者所述薄膜形態的掩模可以取代所述金屬掩模。此時，可以解決隨著使用所述金屬掩模而發生的各種工藝問題(例如，由於金屬掩模的重量，所述金屬掩模在工藝過程中發生下垂，導致難以製作大型的所述金屬掩模的問題)。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0014]圖1a至圖1j為示出根據本發明實施例的有機電致發光顯示裝置的製造方法的圖。
[0015]圖2為示出根據本發明另一實施例的有機電致發光顯示裝置的製造工藝的圖。
[0016]圖3為示出根據本發明另一實施例的有機電致發光顯示裝置的製造工藝的圖。
[0017]圖4a至圖4f為示出根據本發明又一實施例的有機電致發光顯示裝置的製造方法的圖。
[0018]主要符號說明
[0019]Ml:第一掩模M2:第二掩模
[0020]M3:第三掩模PEl:第一像素電極
[0021]PAl:第一像素區域ELl:第一有機發光層
[0022]EMl:第一有機發光物質 HIL:空穴注入層
[0023]HTL:空穴輸送層EIL:電子注入層
[0024]ETL:電子輸送層CE:共同電極
[0025]FMM:精細金屬掩模
【具體實施方式】
[0026]以下，參照附圖詳細說明本發明的實施例。通過與附圖相關的實施例，可以容易理解上述的本發明的目的、特徵以及效果。但是，本發明並不局限於在此說明的實施例，可以應用為多種形態進行變更。後述的本發明的實施例是為了進一步明確通過本發明公開的技術思想，進而向本發明所屬的【技術領域】內具有普及的知識的技術人員充分地傳遞本發明的技術思想。因此，本發明的範圍並不能解釋為根據後述的實施例進行限定。另外，下述實施例和圖中的相同的附圖標記表示相同的構成要素。
[0027]圖1a至圖1j為示出根據本發明實施例的有機電致發光顯示裝置的製造方法的圖。
[0028]參照圖la，基板10具有多個第一像素區域、多個第二像素區域、多個第三像素區域。在進行後述的有機電致發光顯示裝置的製造工藝之後，在所述多個第一像素區域中的每一個第一像素區域中形成發出第一光(圖1j的LI)的像素，在所述多個第二像素區域中的每一個第二像素區域形成發出顏色與所述第一光不同的第二光(圖1j的L2)，所述多個第三像素區域中的每一個第三像素區域中形成發出顏色與所述第一光和第二光不同的第三光(圖1j的L3)的像素。另外，作為示例，在圖1a至圖1j示出了形成於所述多個第一至第三像素區域中的第一像素區域PA1、第二像素區域PA2、第三像素區域PA3的像素的製造方法，對於剩餘的像素區域中形成的像素的製造方法進行省略。
[0029]在所述基板10上形成有有機膜20，在所述有機膜20上形成與所述第一至第三像素區域PA1、PA2、PA3——對應而布置的第一至第三像素電極PE1、PE2、PE3。
[0030]在本發明的實施例中，所述有機膜20可以覆蓋布置在所述基板10上的多個驅動電晶體(未圖示)。所述多個驅動電晶體可包括與所述第一至第三像素電極PE1、PE2、PE3一一對應而電連接的第一至第三驅動電晶體，所述第一至第三驅動電晶體可切換向所述第一至第三像素電極PEl、PE2、PE3側提供的驅動信號。
[0031]而且，所述多個驅動電晶體中的每一個驅動電晶體可包括柵極、源極、有源圖案、漏極。據此，在所述基板10上可進一步設置使所述柵極與相鄰的其他導電圖案形成絕緣的柵極絕緣膜(未圖示)以及使所述源極和漏極與其他導電圖案形成絕緣的層間絕緣膜(未圖示)。
[0032]在形成所述第一至第三像素電極PEl、PE2、PE3之後，在所述第一至第三像素電極PE1、PE2、PE3之上順序地形成空穴注入層HIL、空穴輸送層HTL。在本發明的實施例中，所述空穴注入層HIL和所述空穴輸送層HTL可分別以單層膜的形狀共同形成於所述第一至第三像素區域？八1、？42、？43。在本發明的另一實施例中，所述空穴注入層HIL和所述空穴輸送層HTL中的其中一個可以以單層膜的形狀共同形成於所述第一至第三像素區域PA1、PA2、PA3，或者所述空穴注入層HIL和所述空穴輸送層HTL可以分別在各個所述第一至第三像素區域PA1、PA2、PA3中以圖案化的形狀形成。
[0033]在形成所述空穴注入層HIL和所述空穴輸送層HTL之後，將第一掩模Ml布置在所述基板10之上。所述第一掩模Ml對應於所述第一至第三像素區域PA1、PA2、PA3開口，因而暴露所述第一至第三像素區域PA1、PA2、PA3。具體來講，隨著具有上述結構的所述第一掩模Ml被布置到所述基板10之上，在所述第一至第三像素區域PA1、PA2、PA3中，所述空穴輸送層HTL可以局部暴露。
[0034]在本發明的實施例中，所述第一掩模Ml可具有形成有開口部的薄膜形狀。此時，所述第一掩模Ml的所述開口部與所述第一至第三像素區域PAl、PA2、PA3對齊，所述第一掩模Ml可布置在形成於所述基板10之上的薄膜中的位於最上層的薄膜之上。
[0035]參照圖lb，在基板10上布置第一掩模Ml之後，在所述第一掩模Ml之上布置第二掩模M2。所述第二掩模M2對應於所述第一像素區域PAl和第二像素區域PA2而開口，由此所述第一像素區域PAl和第二像素區域PA2被暴露。而且，與第一掩模Ml不同，所述第二掩模M2沒有對應於第三像素區域PA3而開口，因此所述第三像素區域PA3被所述第二掩模M2遮蓋。
[0036]在本發明的實施例中，所述第二掩模M2可以與所述第一掩模Ml類似地具有形成有開口部的薄膜形狀，此時，所述第二掩模M2可以黏貼於所述第一掩模Ml之上。
[0037]參照圖lc，在第一掩模Ml上布置第二掩模M2之後，在所述第二掩模M2上布置第三掩模M3。所述第三掩模M3對應於所述第一像素區域PAl而開口，從而所述第一像素區域PAl被暴露。而且，與所述第一掩模Ml和第二掩模M2不同，所述第三掩模M3沒有對應於第二像素區域PA2和第三像素區域PA3而開口，因此所述第二像素區域PA2和第三像素區域PA3被所述第三掩模M3遮蓋。
[0038]在本發明的實施例中，與所述第一掩模Ml和第二掩模M2類似地，所述第三掩模M3可具有形成有開口部的薄膜形狀，此時，所述第三掩模M3可黏貼於所述第二掩模M2之上。
[0039]參照圖1d和圖le，在基板10上順序地布置第一至第三掩模Ml、M2、M3之後，向所述基板10側提供第一有機發光物質EMl。其結果，所述第一有機發光物質EMl被蒸鍍到在所述第一像素區域PAl暴露於外部的空穴輸送層HTL，與此同時，除了所述第一像素區域PAl之外的剩餘區域中，由於第三掩模M3上被蒸鍍有所述第一有機發光物質EMl，因此形成第一預備有機發光層EL0_1。
[0040]在本發明的實施例中，利用蒸發法(evaporation method)將所述第一有機發光物質EMl提供給所述基板10側。所述蒸發法是將根據熱量被蒸發的有機發光物質蒸鍍到基板之上的方法。據此，為了將所述第一有機發光物質EMl提供給所述基板10側而使用所述蒸發法時，與圖1d所示的情形不同，蒸發作為所述第一有機發光物質EMl的來源的物質的蒸發裝置可以布置在所述基板10的下側，所述基板10可布置在所述蒸發裝置的上側，以使所述第三掩模M3與所述蒸發裝置面對。
[0041 ] 然後，從所述基板10去除所述第三掩模M3。其結果，形成於所述第三掩模M3上的所述第一預備有機發光層EL0_1與所述第三掩模M3 —起被去除，形成於所述第一像素區域PAl的所述空穴輸送層HTL上的所述第一預備有機發光層EL0_1被圖案化為第一有機發光層 ELI。
[0042]參照圖1f和圖lg，在形成第一有機發光層ELl之後，向基板10側提供第二有機發光物質EM2。其結果，所述第二有機發光物質EM2被蒸鍍於在所述第一像素區域PAl被暴露於外部的所述第一有機發光層ELl之上，與此同時，被蒸鍍到在第二像素區域PA2被暴露於外部的空穴輸送層HTL之上。而且，所述第二有機發光物質EM2在除了所述第一像素區域PAl和第二像素區域PA2之外的剩餘區域中被蒸鍍到第二掩模M2上，從而形成第二預備有機發光層EM0_2。
[0043]形成所述第二預備有機發光層EM0_2之後，從所述基板10去除第二掩模M2。其結果，形成於所述第二掩模M2上的所述第二預備有機發光層EL0_2與所述第二掩模M2 —起被去除，且形成於所述第一像素區域PAl中的所述第一有機發光層ELl和所述第二像素區域PA2中的所述空穴輸送層HTL上的所述第二預備有機發光層EL0_2被圖案化為所述第二有機發光層EL2。
[0044]參照圖1h和圖1i，在形成第二有機發光層EL2之後，將第三有機發光物質EM3提供給基板10側。其結果，所述第三有機發光物質EM3被蒸鍍到在第一像素區域PAl被暴露於外部的第二有機發光層EL2之上，並被蒸鍍到在第二像素區域PA2被暴露於外部的第二有機發光層EL2之上，且被蒸鍍到在第三像素區域PA3被暴露於外部的空穴輸送層HTL之上。而且，所述第三有機發光物質EM3在除了所述第一至第三像素區域PA1、PA2、PA3之外的剩餘區域被蒸鍍到第一掩模Ml上，從而形成第三預備有機發光層EM0_3。
[0045]形成所述第三預備有機發光層之後，從所述基板10去除第一掩模Ml。其結果，形成於所述第一掩模Ml上的所述第三預備有機發光層EL0_3與所述第一掩模Ml —起被去除，形成於所述第一至第三像素區域PA1、PA2、PA3的所述第三預備有機發光層EL0_3被圖案化為所述第三有機發光層EL3。
[0046]參照圖1 j，在形成第三有機發光層EL3之後，順序地層疊電子輸送層ETL、電子注入層EIL以及共同電極CE。
[0047]在本發明的實施例中，所述電子注入層EIL、所述電子輸送層ETL以及所述共同電極CE可以以單層膜形狀經由所述第一至第三像素區域PA1、P2、PA3共同形成。在本發明的另一實施例中，所述電子注入層EIL和所述電子輸送層ETL中的其中一個可以以單層膜形狀共同形成於所述第一至第三像素區域PA1、PA2、PA3，或者所述電子注入層EIL和所述電子輸送層ETL可分別在各個所述第一至第三像素區域PA1、PA2、PA3中以圖案化的形狀形成。
[0048]然後，結合包封基板50和所述基板10，以覆蓋形成於所述基板10之上的薄膜，並在所述基板10和所述包封基板50之間形成填充層80，由此完成有機電致發光顯示裝置100的製造。在完成製造的所述有機電致發光顯示裝置100中，在第一像素區域PEl可輸出從第一至第三有機發光層EL1、EL2、EL3產生的第一光LI,在所述第二像素區域PE2可輸出從所述第二和第三有機發光層EL2、EL3產生的第二光L2，在所述第三像素區域PE3可輸出從第三有機發光層EL3產生的第三光L3。
[0049]在本發明的實施例中，所述第一至第三光L1、L2、L3可以是互不相同的光。例如，所述第三光L3可以是紅色光，所述第二光L2可以是綠色光，所述第一光LI可以是藍色光。
[0050]另外，如上所述，在所述第一至第三像素區域PA1、PA2、PA3中的至少一個像素區域中層疊互不相同的兩個以上的有機發光層而輸出光。據此，根據情況，為了提高所述有機電致發光顯示裝置100的色再現性，有可能需要準確地控制從所述層疊的有機發光層產生的光的顏色。為此，參照圖2和圖3說明可為了準確地控制所述光的顏色而執行的工藝。
[0051]圖2為示出根據本發明另一實施例的有機電致發光顯示裝置的製造工藝的圖。具體來講，圖2所示的有機電致發光顯示裝置的製造工藝是關於在執行前面參照圖1a至圖1i說明的工藝之後，控制從第一至第三像素區域PA1、PA2、PA3發出的光的顏色的方法。因此，對於前面參照圖1a至圖1i說明的構成要素，賦予相同的附圖標記，且省略對於所述構成要素的製造工藝和功能的說明。
[0052]參照圖2，在第一至第三像素區域PA1、PA2、PA3選擇性地形成第一至第三有機發光層EL1、EL2、EL3之後，向基板10側提供摻雜物DP，由此可調整第一至第三有機發光層(圖1j)的第一至第三光(圖1j的L1、L2、L3)中的至少一個光的顏色。
[0053]在本發明實施例中，所述摻雜物DP可包括突光物質(fluorescent substance)和磷光物質(phosphorescence)中的至少一個。據此，所述摻雜物DP可以吸收從所述第一至第三有機發光層EL1、EL2、EL3中的至少一個發出的光而產生不同於所述光的顏色的光，因而可利用所述摻雜物DP的種類以及其含量容易地調整所述第一至第三光中的至少一個的顏色。
[0054]而且，圖2所示的實施例中，形成所述第三有機發光層EL3之後，所述摻雜物DP被提供至所述基板10側。但是，與圖2示出的實施例不同地，與所述摻雜物DP不同的另一種摻雜物可以在形成所述第三有機發光層EL3之前被提供至所述基板10側，與所述摻雜物DP不同的又一種摻雜物可以在形成所述第二有機發光層EL2之前被提供至所述基板10偵U。
[0055]圖3為示出根據本發明另一實施例的有機電致發光顯示裝置的製造工藝的圖。具體來講，圖3所示的有機電致發光顯示裝置的製造工藝是關於在執行前面參照圖1a至圖1i說明的工藝之後，控制從第一至第三像素區域PA1、PA2、PA3發出的光的顏色的方法。因此，對於前面參照圖1a至圖1i說明的構成要素，賦予相同的附圖標記，且省略對於所述構成要素的製造工藝和功能的說明。
[0056]參照圖3，在第一至第三像素區域PAl、PA2、PA3中選擇性地形成第一至第三有機發光層EL1、EL2、EL3之後，在基板10上順序地形成電子輸送層ETL、電子注入層EIL、共同電極CE。
[0057]然後，在所述共同電極CE之上形成濾色片。圖3所示的實施例中，所述濾色片可包括形成於第一像素區域PAl的第一濾色片CFl和形成於第二像素區域PA2的第二濾色片CF2。此時，從所述第一像素區域PAl發出的第一光(圖1j的LI)可透過所述第一濾色片CFl容易地被濾色為預定的顏色，從所述第二像素區域PA2發出的第二光(圖1j的L2)可透過所述第二濾色片CF2容易地被濾色為預定的顏色。
[0058]據此，在所述第一像素區域PAl和第二像素區域PA2中相互層疊了彼此不同的至少兩個有機發光層，因而即便從所述第一像素區域PAl和第二像素區域PA2分別發出從所述相互層疊的有機發光層產生的光，所述光也能夠通過所述濾色片容易地控制其顏色。
[0059]圖4a至圖4f為示出根據本發明又一實施例的有機電致發光顯示裝置的製造方法的圖。另外，在對圖4a至圖4e進行說明時，對於前面參照圖1a至圖1i說明的構成要素，賦予相同的附圖標記，並省略對於所述構成要素的重複的說明。
[0060]參照圖4a，在基板10上順序地形成有機膜20、第一至第三像素電極PE1、PE2、PE3、空穴注入層HIL、空穴輸送層HTL。然後，在所述空穴輸送層HTL上形成第一掩模MlI。所述第一掩模Ml I對應於所述第一像素區域PAl和第二像素區域PA2形成有開口部0P。
[0061]然後，在所述第一掩模Ml I之上形成第二掩模M22。所述第二掩模M22對應於所述第一像素區域PAl形成有開口部0P。據此，所述第一掩模Ml I和第二掩模M22對應於所述第一像素區域PAl共同地形成有開口部0P，由此暴露所述第一像素區域PA1，而所述第二像素區域PA2被所述第二掩模M22遮蓋。
[0062]參照圖4b和圖4c，在基板10上布置第一掩模Mll和第二掩模M22之後，向基板10側提供第一有機發光物質EMl。其結果，所述第一有機發光物質EMl被蒸鍍到在第一像素區域PAl暴露於外部的空穴輸送層HTL之上，與此同時，在除了所述第一像素區域PAl之外的剩餘區域中，所述第一有機發光物質EMl被蒸鍍到所述第二掩模M22之上而形成第一預備有機發光層ELOI。
[0063]然後，從基板10去除第二掩模M22。其結果，形成於第二掩模M22上的所述第一預備有機發光層ELOl中的一部分與所述第二掩模M22—起被去除，而形成於所述第一像素區域PAl的所述第一預備有機發光層ELOl的其他部分被保留，從而所述第一預備有機發光層ELOl被圖案化為所述第一有機發光層ELI。
[0064]參照圖4d和圖4e,在形成第一有機發光層ELl之後，向基板10側提供第二有機發光物質EM2。其結果，所述第二有機發光物質EM2被蒸鍍到在第一像素區域PAl暴露於外部的第一有機發光層ELl之上，與此同時，被蒸鍍到在第二像素區域PA2暴露於外部的空穴輸送層HTL之上。而且，所述第二有機發光物質EM2在除了所述第一像素區域PAl和第二像素區域PA2之外的剩餘區域被蒸鍍到第一掩模Mll上，從而形成第二預備有機發光層EM02。
[0065]然後，從基板10去除第一掩模Mil。其結果，形成於第一掩模Mll上的所述第二預備有機發光層EL02的一部分與所述第一掩模Mll —起被去除，形成於所述第一像素區域PAl和第二像素區域PA2的所述第二預備有機發光層EL02的其他部分被保留，從而所述第二預備有機發光層EL02被圖案化為第二有機發光層EL2。
[0066]參照圖4f，在基板10上布置對應於第三像素區域PA3而開口的精細金屬掩模，並向所述基板10側提供第三有機發光物質EM3，由此在所述第三像素區域PA3形成第三有機發光層EL3。然後，在形成有所述第一至第三有機發光層EL1、EL2、EL3的所述基板10上執行參照圖1j說明的製造工藝，從而可以完成有機電致發光顯示裝置的製造。
[0067]在本發明的另一實施例中，可以在上述的參照圖4a至圖4f說明的有機電致發光顯示裝置的製造工藝中追加參照圖2說明的、將摻雜物(圖2的DP)提供給所述第一至第三有機發光層EL1、EL2、EL3中的至少一個的工藝。此時，根據所述提供的摻雜物，可以容易地控制從所述第一至第三像素區域PA1、PA2、PA3發出的光的顏色。
[0068]在本發明的另一實施例中，可以在上述的參照圖4a至圖4f說明的有機電致發光顯示裝置的製造工藝中追加參照圖3說明的形成濾色片(圖3的CF1、CF2)的工藝。此時，根據所述濾色片，可以容易地控制從所述第一至第三像素區域PA1、PA2、PA3發出的光的顏色。
[0069]以上雖然參照實施例進行了說明，但相關【技術領域】的熟練的技術人員可以理解，在不脫離權利要求書中記載的本發明的思想和領域的範圍之內，可以對本發明進行各種修改和變更。
【權利要求】
1.一種有機電致發光顯示裝置的製造方法，包括如下步驟: 準備具有第一像素區域和與所述第一像素區域分隔的第二像素區域的基板； 將對應於所述第一像素區域和第二像素區域而開口的第一掩模布置在所述基板之上； 將對應於所述第一像素區域而開口的第二掩模布置在所述第一掩模之上，以暴露所述第一像素區域，覆蓋所述第二像素區域； 向所述基板側提供第一有機發光物質，以在暴露的所述第一像素區域形成所述第一有機發光物質； 從所述基板去除所述第二掩模而暴露所述第一像素區域和第二像素區域； 向所述基板側提供第二有機發光物質，以在暴露的所述第一像素區域和第二像素區域形成所述第二有機發光物質； 從所述基板去除所述第一掩模。
2.根據權利要求1所述的有機電致發光顯示裝置的製造方法，其特徵在於，所述第一有機發光物質被蒸鍍到所述第一像素區域而形成第一有機發光層，所述第二有機發光物質被蒸鍍到所述第一像素區域和第二像素區域而形成第二有機發光層。
3.根據權利要求2所述的有機電致發光顯示裝置的製造方法，其特徵在於，從形成於所述第一像素區域的所述第一有機發光層和第二有機發光層產生第一光，從形成於所述第二像素區域的所述第二有機發光層產生顏色與所述第一光不同的第二光。
4.根據權利要求3所述的有機電致發光顯示裝置的製造方法，其特徵在於，還包括步驟:向所述第一有機發光層和第二有機發光層中的至少一個提供摻雜物而調整所述第一光和第二光中的至少一個的顏色。
5.根據權利要求3所述的有機電致發光顯示裝置的製造方法，其特徵在於，還包括步驟:在所述基板上形成至少一個濾色片，該濾色片對所述第一光和所述第二光中的至少一個的顏色進行濾色。
6.根據權利要求3所述的有機電致發光顯示裝置的製造方法，其特徵在於，還包括步驟: 在從所述基板去除所述第一掩模和第二掩模的狀態下，在所述基板上布置對應於與所述基板的所述第一像素區域和第二像素區域分開的第三像素區域而開口的第三掩模，以暴露所述第三像素區域； 在暴露的所述第三像素區域蒸鍍第三有機發光物質，形成產生顏色與所述第一光和第二光不同的光的第三有機發光層。
7.根據權利要求6所述的有機電致發光顯示裝置的製造方法，其特徵在於，所述第三掩模為金屬掩模。
8.根據權利要求6所述的有機電致發光顯示裝置的製造方法，其特徵在於，還包括如下步驟: 在形成所述第一至第三有機發光層之前，形成與所述第一至第三有機發光像素區域 對應的像素電極； 在形成所述第一至第三有機發光層之前，在所述像素電極之上形成空穴注入層； 在形成所述第一至第三有機發光層之前，在所述空穴注入層之上形成空穴輸送層；在所述第一至第三有機發光層之上形成電子輸送層； 在所述電子輸送層之上形成電子注入層； 在所述電子注入層之上形成共同電極， 所述空穴注入層、所述空穴輸送層、所述電子輸送層、所述電子注入層中的至少一個以單層膜形狀共同形成於所述第一至第三像素區域。
9.根據權利要求2所述的有機電致發光顯示裝置的製造方法，其特徵在於，從所述基板去除所述第二掩模時，蒸鍍到所述第二掩模上的所述第一有機發光物質與所述第二掩模一起被去除，從所述基板去除所述第一掩模時，蒸鍍到所述第一掩模之上的所述第二有機發光物質與所述第一掩模一起被去除。
10.根據權利要求1所述的有機電致發光顯示裝置的製造方法，其特徵在於，所述第一掩模和第二掩模以薄膜形態被提供。
11.一種有機電致發光顯示裝置的製造方法，包括如下步驟: 準備具有彼此分隔的第一像素區域、第二像素區域、第三像素區域的基板； 將對應於所述第一至第三像素區域而開口的第一掩模布置在所述基板之上； 將對應於所述第一像素區域和第二像素區域而開口的第二掩模布置在所述第一掩模之上； 將對應於所述第一像素區域而開口的第三掩模布置在所述第二掩模之上，以暴露所述第一像素區域，並覆蓋所述第二像素區域和第三像素區域； 向所述基板側提供第一有機發光物質，以在暴露的所述第一像素區域形成所述第一有機發光物質； 從基板去除所述第三掩模，以暴露所述第一像素區域和第二像素區域； 向所述基板側提供第二有機發光物質，以在暴露的所述第一像素區域和第二像素區域形成所述第二有機發光物質； 從所述基板去除所述第二掩模，以暴露所述第一至第三像素區域； 向所述基板側提供第三有機發光物質，以在暴露的所述第一至第三像素區域形成所述第三有機發光物質； 從基板去除所述第一掩模。
12.根據權利要求11所述的有機電致發光顯示裝置的製造方法，其特徵在於，所述第一有機發光物質被蒸鍍到所述第一像素區域而形成第一有機發光層，所述第二有機發光物質被蒸鍍到所述第一像素區域和第二像素區域而形成第二有機發光層，所述第三有機發光物質被蒸鍍到所述第一至第三像素區域而形成第三有機發光層。
13.根據權利要求12所述的有機電致發光顯示裝置的製造方法，其特徵在於，從形成於所述第一像素區域的所述第一至第三有機發光層產生第一光，從形成於所述第二像素區域的所述第二有機發光層和第三有機發光層產生第二光，從形成於所述第三像素區域的所述第三有機發光層產生第三光，且所述第一至第三光具有彼此不同的顏色。
14.根據權利要求13所述的有機電致發光顯示裝置的製造方法，其特徵在於，還包括步驟:向所述第一至第三有機發光層中的至少一個提供摻雜物而調整所述第一至第三光中的至少一個的顏色。
15.根據權利要求13所述的有機電致發光顯示裝置的製造方法，其特徵在於，還包括步驟:在所述基板上形成至少一個濾色片，該濾色片對所述第一至第三光中的至少一個的顏色進行濾色。
16.根據權利要求12所述的有機電致發光顯示裝置的製造方法，其特徵在於，從所述基板去除所述第三掩模時，蒸鍍到所述第三掩模上的所述第一有機發光物質與所述第三掩模一起被去除，從所述基板去除所述第二掩模時，蒸鍍到所述第二掩模上的所述第二有機發光物質與所述第二掩模一起被去除，從所述基板去除所述第一掩模時，蒸鍍到所述第一掩模之上的所述第三有機發光物質與所述第一掩模一起被去除。
17.根據權利要求12所述的有機電致發光顯示裝置的製造方法，其特徵在於，還包括如下步驟: 在形成所述第一至第三有機發光層之前，形成與所述第一至第三有機發光區域一一對應的像素電極； 在形成所述第一至第三有機發光層之前，在所述像素電極之上形成空穴注入層； 在形成所述第一至第三有機發光層之前，在所述空穴注入層之上形成空穴輸送層； 在所述第一至第三有機發光層之上形成電子輸送層； 在所述電子輸送層之上形成電子注入層； 在所述電子注入層之上形成共同電極， 所述空穴注入層、所述空穴輸送層、所述電子輸送層、所述電子注入層中的至少一個以單層膜形狀共同形成於所述第一至第三像素區域。
18.根據權利要求11所述的有機電致發光顯示裝置的製造方法，其特徵在於，所述第一掩模至第三掩模以薄膜形態被提供。
【文檔編號】H01L51/56GK103682174SQ201310285542
【公開日】2014年3月26日 申請日期:2013年7月9日 優先權日:2012年9月19日
【發明者】金建模 申請人:三星顯示有限公司