用於基板側面的塗布設備的製作方法
2023-08-09 19:48:01
用於基板側面的塗布設備的製作方法
【專利摘要】本實用新型關於一種用於基板側面的塗布設備，該塗布設備包括一第一XY軸向移動機構、一Z軸向旋轉機構、一第二XY軸向移動機構、一承載臺及一噴頭裝置，Z軸向旋轉機構連接在第一XY軸向移動機構上並跟隨第一XY軸向移動機構移動；第二XY軸向移動機構固定在Z軸向旋轉機構上並跟隨Z軸向旋轉機構旋轉；承載臺連接在第二XY軸向移動機構上並跟隨第二XY軸向移動機構移動；噴頭裝置包含一Z軸向移動機構及安裝在Z軸向移動機構的一噴頭組件，噴頭組件跟隨Z軸向移動機構移動並對應側面配置。藉此，本實用新型可以達到成膜質量優異及厚度均勻等優點。
【專利說明】用於基板側面的塗布設備
【技術領域】
[0001 ] 本實用新型有關於一種塗布設備，尤指一種用於基板側面的塗布設備。
【背景技術】
[0002]傳統的基板成膜方式包括一機械手臂及一噴頭，噴頭安裝在機械手臂上，再使用自動控制系統控制機械手臂的來回移動，而使噴頭直接對基板進行噴塗動作，並配合基板的表面形狀及面積移動。
[0003]然而，上述基板成膜方式大多針對基板的正面、背面等大面積表面進行塗布作業，但若將上述基板成膜方式使用於基板的側面等小面積表面或環形狀表面上，則容易有塗料不均勻及溢料到基板其他表面的問題，造成塗料成膜質量不佳、厚度不均勻等缺點。
實用新型內容
[0004]本實用新型的目的在於提供一種用於基板側面的塗布設備，其利用第二 XY軸向移動機構帶動形狀中心與Z軸向旋轉機構的軸心重疊，Z軸向旋轉機構再帶動承載臺旋轉，並第一 XY軸向移動機構用以調整噴頭組件與側面之間的間隔距離，使得本實用新型塗布設備能在基板的側面等小面積表面或環形狀表面上進行塗布作業，以達到成膜質量優良及厚度均勻等優點。
[0005]為了達成上述的目的，本實用新型提供一種用於基板側面的塗布設備，所述基板具有一側面及一形狀中心，該塗布設備包括:
[0006]一機座；
[0007]—第一 XY軸向移動機構，固定在該機座上；
[0008]一 Z軸向旋轉機構，連接在該第一 XY軸向移動機構上並跟隨該第一 XY軸向移動機構移動；
[0009]一第二 XY軸向移動機構，固定在該Z軸向旋轉機構上並跟隨該Z軸向旋轉機構旋轉；
[0010]一承載臺，連接在該第二 XY軸向移動機構上並跟隨該第二 XY軸向移動機構移動，所述基板定位於該承載臺；以及
[0011]一噴頭裝置，包含一 Z軸向移動機構及安裝在該Z軸向移動機構的一噴頭組件，該噴頭組件跟隨該Z軸向移動機構移動並對應所述側面配置；
[0012]其中，該第二 XY軸向移動機構帶動所述形狀中心與該Z軸向旋轉機構的軸心重疊，該第一 XY軸向移動機構調整該噴頭組件與所述側面之間的間隔距離。
[0013]還包括用以計算所述基板的所述形狀中心位置的一運算裝置，該運算裝置以所述形狀中心為基準產生出一第一移動數據及一第二移動數據。
[0014]其中該運算裝置與該第二 XY軸向移動機構電性連接並控制該第二 XY軸向移動機構沿著該第一移動數據移動，且依據該第一移動數據以使所述形狀中心與該Z軸向旋轉機構的軸心重疊。[0015]其中該運算裝置與該第一 XY軸向移動機構電性連接並控制該第一 XY軸向移動機構沿著該第二移動數據移動，且依據該第二移動數據以調整該噴頭組件與所述側面之間的間隔距離。
[0016]還包括一進料區及一出料區，該第一 XY軸向移動機構移動在該進料區及該出料區之間。
[0017]還包括一檢測組件，該檢測組件對應該噴頭組件及所述基板配置。
[0018]其中該檢測組件安裝於該Z軸向移動機構並跟隨該Z軸向移動機構移動。
[0019]其中該檢測組件包括一第一攝影機及一第二攝影機，該第一攝影機對應所述基板的上方配置，該第二攝影機對應該噴頭組件及所述側面配置。
[0020]其中該檢測組件還包括一照明組件，該照明組件對應該噴頭組件及所述基板配置。 [0021]其中該第一攝影機、該第二攝影機及該照明組件安裝於該Z軸向移動機構並跟隨該Z軸向移動機構移動，該照明組件配置在該第一攝影機的一側。
[0022]本實用新型還具有以下優點:
[0023]第一、本實用新型塗布設備通過路徑選擇校正方式，使側面與噴頭組件之間的間隔距離維持在一定的數值之內，讓噴塗效果達到優化，從而達成成膜質量優良及厚度均勻等優點。
[0024]第二、形狀中心與Z軸向旋轉機構的軸心重疊，使基板以形狀中心為旋轉中心旋轉下，讓本實用新型塗布設備可採用噴塗連續不間斷的方式進行，當基板旋轉一圈之後，即完成噴塗作業，以達到噴塗均勻化及作業效率提高的優點。
[0025]第三、本實用新型塗布設備還包括檢測組件，檢測組件對應噴頭組件、基板上方及側面配置，使作業人員可通過檢測組件了解目前塗布作業的情形，運算裝置也可通過檢測組件進行第一移動數據及第二移動數據的調整，進而提升塗布設備的作業效率及操作便利性。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0026]圖1:本實用新型塗布設備的立體組合圖。
[0027]圖2:本實用新型塗布設備的組合示意圖。
[0028]圖3:本實用新型塗布設備的方塊圖。
[0029]圖4:本實用新型塗布設備的使用狀態示意圖。
[0030]圖5:本實用新型塗布設備的另一方塊圖。
[0031]圖6:本實用新型塗布設備的另一使用狀態示意圖。
[0032]圖7:本實用新型塗布設備的又一使用狀態示意圖。
[0033]圖中:
[0034]10…塗布設備
[0035]I…機座；
[0036]2…第一 XY軸向移動機構；
[0037]3…Z軸向旋轉機構；
[0038]4…第二 XY軸向移動機構；[0039]5…承載臺；
[0040]6…噴頭裝置；
[0041]61…Z軸向移動機構；
[0042]62…噴頭組件；
[0043]7…運算裝 置；
[0044]71…第一移動數據；
[0045]72…第二移動數據；
[0046]81…進料區；
[0047]82…出料區；
[0048]9…檢測組件；
[0049]91…第一攝影機；
[0050]91』…第二攝影機；
[0051]92…照明組件；
[0052]100 …基板；
[0053]101 …側面；
[0054]102…形狀中心；
[0055]200…膜層；
[0056]L…軸心；
[0057]S…間隔距離。
【具體實施方式】
[0058]下面結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步說明，以使本領域的技術人員可以更好的理解本實用新型並能予以實施，但所舉實施例不作為對本實用新型的限定。
[0059]請參考圖1至圖7所示，本實用新型提供一種用於基板側面的塗布設備，該塗布設備10主要包括一機座1、一第一 XY軸向移動機構2、一 Z軸向旋轉機構3、一第二 XY軸向移動機構4、一承載臺5及一噴頭裝置6。
[0060]如圖1至圖2所示，基板100可為圓形、三角形、矩形、多角形等幾何外型，基板100的外周緣具有一側面101及沿著側面101所圍設的形狀定義出一形狀中心102。
[0061]如圖1至圖2所不,第一 XY軸向移動機構2固定在機座I上,此第一 XY軸向移動機構2能夠在機座I上進行X軸方向及Y軸方向的移動。
[0062]如圖1至圖2所示，Z軸向旋轉機構3連接在第一 XY軸向移動機構2上並跟隨第一 XY軸向移動機構2進行X軸方向及Y軸方向的移動。
[0063]如圖1至圖2所示，第二 XY軸向移動機構4固定在Z軸向旋轉機構3上並跟隨Z軸向旋轉機構3旋轉，此第二 XY軸向移動機構4能夠在Z軸向旋轉機構3上進行X軸方向及Y軸方向的移動。
[0064]如圖1至圖2所示，承載臺5連接在第二 XY軸向移動機構4上並跟隨第二 XY軸向移動機構4進行X軸方向及Y軸方向的移動，基板100定位於承載臺5。
[0065]如圖1至圖2所示，噴頭裝置6包含一 Z軸向移動機構61及安裝在Z軸向移動機構61的一噴頭組件62，噴頭組件62跟隨Z軸向移動機構61進行Z軸方向移動並對應側面101配置。
[0066]其中，第二 XY軸向移動機構4帶動形狀中心102與Z軸向旋轉機構3的軸心L重疊，第一 XY軸向移動機構2用以調整噴頭組件62與側面101之間的間隔距離S。
[0067]如圖1至圖2、圖3及圖5所示，本實用新型塗布設備10還包括一運算裝置7，運算裝置7檢測側面101所圍設的形狀並計算出形狀中心102的位置，並依據形狀中心102為基準產生出一第一移動數據71及一第二移動數據72。
[0068]進一步說明如下，運算裝置7與第二 XY軸向移動機構4電性連接並控制第二 XY軸向移動機構4沿著第一移動數據72移動，且依據第一移動數據71以使形狀中心102與Z軸向旋轉機構3的軸心L重疊。
[0069]另外，運算裝置7與第一XY軸向移動機構2電性連接並控制第一 XY軸向移動機構2沿著第二移動數據72移動，且依據第二移動數據72以調整噴頭組件62與側面101之間的間隔距離S。
[0070]如圖1至圖2所示，本實用新型塗布設備10還包括一進料區81及一出料區82，第
一XY軸向移動機構2移動在進料區81及出料區82之間。
[0071]如圖1至圖2所示，本實用新型塗布設備10還包括一檢測組件9，檢測組件9安裝於Z軸向移動機構61並跟隨Z軸向移動機構61移動，此檢測組件9對應噴頭組件62及基板100配置。
[0072]詳細說明如下，檢測組件9包含一第一攝影機91、一第二攝影機91』及一照明組件92，第一攝影機91對應基板100的上方配置，第二攝影機91』對應噴頭組件62及側面101配置，照明組件92對應噴頭組件62及基板100配置。
[0073]另外，第一攝影機91、第二攝影機91』及照明組件92安裝於Z軸向移動機構61上並跟隨Z軸向移動機構61移動，照明組件92配置在第一攝影機91的一側。
[0074]此外，本實用新型最佳實施例的檢測組件9包括第一攝影機91及第二攝影機91』，但檢測組件9也可為紅外線檢測組件等其他檢測組件，並不以本實施例為限制。
[0075]如圖1至圖2所示，本實用新型的塗布設備10的組合，其利用第一 XY軸向移動機構2固定在機座I上；Z軸向旋轉機構3連接在第一 XY軸向移動機構2上並跟隨第一 XY軸向移動機構2移動；第二 XY軸向移動機構4固定在Z軸向旋轉機構3上並跟隨Z軸向旋轉機構3旋轉；承載臺5連接在第二 XY軸向移動機構4上並跟隨第二 XY軸向移動機構4移動，基板100定位於承載臺5 ;噴頭裝置6包含Z軸向移動機構61及安裝在Z軸向移動機構61的噴頭組件62，噴頭組件62跟隨Z軸向移動機構61移動並對應側面101配置；其中，第二 XY軸向移動機構4帶動形狀中心102與Z軸向旋轉機構3的軸心L重疊，第一 XY軸向移動機構2用以調整噴頭組件62與側面101之間的間隔距離S。藉此，第二 XY軸向移動機構4帶動形狀中心102與Z軸向旋轉機構3的軸心L重疊，Z軸向旋轉機構3再帶動承載臺5旋轉，並第一 XY軸向移動機構2用以調整噴頭組件62與側面101之間的間隔距離，使得本實用新型塗布設備10能在基板100的側面101等小面積表面或環形狀表面上進行塗布作業，以達到成膜質量優良及厚度均勻等特點。
[0076]如圖3至圖7所示，本實用新型的塗布設備10的使用狀態，首先，如圖3至圖4所示，運算裝置7檢測側面101所圍設的形狀並計算出形狀中心102的位置，並依據形狀中心102為基準產生出第一移動數據71，運算裝置7再與第二 XY軸向移動機構4電性連接並控制第二 XY軸向移動機構4沿著第一移動數據72移動，且第二 XY軸向移動機構4依據第一移動數據71移動，進而帶動形狀中心102與Z軸向旋轉機構3的軸心L重疊。
[0077]再者，如圖5至圖7所示，噴頭組件62跟隨Z軸向移動機構61進行Z軸方向移動並對應側面101配置，運算裝置7檢測側面101所圍設的形狀並計算出形狀中心102的位置，並依據形狀中心102為基準產生出第二移動數據72，運算裝置7與第一 XY軸向移動機構2電性連接並控制第一 XY軸向移動機構2沿著第二移動數據72移動，且第一 XY軸向移動機構2依據第二移動數據72以調整噴頭組件62與側面101之間的間隔距離S。
[0078]因此，本實用新型塗布設備10進行塗布作業時，第二 XY軸向移動機構4帶動形狀中心102與Z軸向旋轉機構3的軸心L重疊後即定位不移動，Z軸向旋轉機構3會帶動第
二XY軸向移動機構4、承載臺5及基板100 —起轉動。
[0079]並且，因形狀中心102與Z軸向旋轉機構3的軸心L重疊，使基板100在轉動一圈的過程中，側面101與噴頭組件62之間的間隔距離S所產生的變化最小；詳細說明如下，基板100可為圓形、三角形、矩形、多角形等幾何外型，因此基板100的外型非對稱下，基板100在轉動時，側面101與噴頭組件62之間的間隔距離S也會改變，但因側面101各點至形狀中心102的距離變化最小，所以基板100以形狀中心102為旋轉中心旋轉下，側面101與噴頭組件62之間的間隔距離S所產生的變化也會最小。
[0080]之後，第一 XY軸向移動機構2帶動Z軸向旋轉機構3、第二 XY軸向移動機構4、承載臺5及基板100 —起移動，以調整噴頭組件62與側面101之間的間隔距離S，使基板100以形狀中心102為旋轉中心旋轉時，側面101與噴頭組件62之間的間隔距離S所產生的變化最小下，第一 XY軸向移動機構2又能夠帶動基板100接近或遠離噴頭組件62，以微調噴頭組件62與側面101之間的間隔距離S，讓塗布作業中，間隔距離S維持在一定的數值之內，以使噴頭組件62噴出的塗料均勻地覆蓋於側面101，而在側面101上形成有厚度均勻且質量良好的膜層200。藉此，本實用新型塗布設備10通過路徑選擇校正方式，使側面101與噴頭組件62之間的間隔距離S維持在一定的數值之內，讓噴塗效果達到優化，從而達成成膜質量優良及厚度均勻等優點。
[0081]另外，形狀中心102與Z軸向旋轉機構3的軸心L重疊，使基板100以形狀中心102為旋轉中心旋轉下，讓本實用新型塗布設備10可採用噴塗連續不間斷的方式進行，當基板100旋轉一圈之後，即完成噴塗作業，讓膜層200均勻且穩定地披覆在側面101上，以達到噴塗均勻化及作業效率提高的優點。
[0082]本實用新型塗布設備10還包括檢測組件9，檢測組件9包含第一攝影機91及第二攝影機91』，第一攝影機91對應基板100的上方配置，此第一攝影機91用於提供運算裝置7計算基板100的偏移量，以微調第一移動數據71，以幫助形狀中心102與軸心L準確地重疊。
[0083]再者，第二攝影機91』對應噴頭組件62及側面101配置，此第一攝影機91用於檢測側面101的表面狀況及噴頭組件62與側面101在Z軸上的高低差，以微調第二移動數據72,以提升噴頭組件62的作業效率、準確性及成膜厚度均勻的優點。
[0084]因此，作業人員可通過檢測組件9 了解目前塗布作業的情形，運算裝置7也可通過檢測組件9進行第一移動數據71及第二移動數據72的調整，進而提升塗布設備10的作業效率及操作便利性。[0085]其中，檢測組件9還包含照明組件92，照明組件92配置在第一攝影機91的一側，即照明組件92配置在基板100的上方，使照明組件92照亮基板100的上方、噴頭組件62及側面101處，以讓照明組件92提高噴頭組件62、基板100及側面101處的亮度，更方便第一攝影機91及第二攝影機91』攝影塗布作業的情形。
[0086]此外，本實用新型塗布設備10還包括進料區81及出料區82，第一 XY軸向移動機構2移動在進料區81及出料區82之間，使第一 XY軸向移動機構2用於輔助進料及出料的作業。
[0087]以上所述實施例僅是為充分說明本實用新型而所舉的較佳的實施例，本實用新型的保護範圍不限於此。本【技術領域】的技術人員在本實用新型基礎上所作的等同替代或變換，均在本實用新型的保護範圍之內。本實用新型的保護範圍以權利要求書為準。
【權利要求】
1.一種用於基板側面的塗布設備，所述基板具有一側面及一形狀中心，其特徵在於，該塗布設備包括: 一機座； 一第一 XY軸向移動機構，固定在該機座上； 一 Z軸向旋轉機構，連接在該第一 XY軸向移動機構上並跟隨該第一 XY軸向移動機構移動； 一第二 XY軸向移動機構，固定在該Z軸向旋轉機構上並跟隨該Z軸向旋轉機構旋轉； 一承載臺，連接在該第二 XY軸向移動機構上並跟隨該第二 XY軸向移動機構移動，所述基板定位於該承載臺；以及 一噴頭裝置，包含一 Z軸向移動機構及安裝在該Z軸向移動機構的一噴頭組件,該噴頭組件跟隨該Z軸向移動機構移動並對應所述側面配置； 其中，該第二 XY軸向移動機構帶動所述形狀中心與該Z軸向旋轉機構的軸心重疊，該第一 XY軸向移動機構調整該噴頭組件與所述側面之間的間隔距離。
2.根據權利要求1所述的用於基板側面的塗布設備，其特徵在於，還包括用以計算所述基板的所述形狀中心位置的一運算裝置，該運算裝置以所述形狀中心為基準產生出一第一移動數據及一第二移動數據。
3.根據權利要求2所述的用於基板側面的塗布設備，其特徵在於，其中該運算裝置與該第二 XY軸向移動機構電性連接並控制該第二 XY軸向移動機構沿著該第一移動數據移動，且依據該第一移動數據以使所述形狀中心與該Z軸向旋轉機構的軸心重疊。
4.根據權利要求2所述的用於基板側面的塗布設備，其特徵在於，其中該運算裝置與該第一 XY軸向移動機構電性連接並控制該第一 XY軸向移動機構沿著該第二移動數據移動，且依據該第二移動數據以調整該噴頭組件與所述側面之間的間隔距離。
5.根據權利要求1所述的用於基板側面的塗布設備，其特徵在於，還包括一進料區及一出料區，該第一 XY軸向移動機構移動在該進料區及該出料區之間。
6.根據權利要求1所述的用於基板側面的塗布設備，其特徵在於，還包括一檢測組件，該檢測組件對應該噴頭組件及所述基板配置。
7.根據權利要求6所述的用於基板側面的塗布設備，其特徵在於，其中該檢測組件安裝於該Z軸向移動機構並跟隨該Z軸向移動機構移動。
8.根據權利要求6所述的用於基板側面的塗布設備，其特徵在於，其中該檢測組件包括一第一攝影機及一第二攝影機，該第一攝影機對應所述基板的上方配置，該第二攝影機對應該噴頭組件及所述側面配置。
9.根據權利要求8所述的用於基板側面的塗布設備，其特徵在於，其中該檢測組件還包括一照明組件，該照明組件對應該噴頭組件及所述基板配置。
10.根據權利要求9所述的用於基板側面的塗布設備，其特徵在於，其中該第一攝影機、該第二攝影機及該照明組件安裝於該Z軸向移動機構並跟隨該Z軸向移動機構移動，該照明組件配置在該第一攝影機的一側。
【文檔編號】B05B15/10GK203778253SQ201420146046
【公開日】2014年8月20日 申請日期:2014年3月28日 優先權日:2014年2月27日
【發明者】喬鴻培, 李子勝, 蔡憲毅, 吳泰興, 陳厚權, 陳厚銘 申請人:揚博科技股份有限公司, 仕元機械股份有限公司