彈性表面波諧振器以及梯型濾波器的製作方法

2023-07-22 02:23:51 1

專利名稱：彈性表面波諧振器以及梯型濾波器的製作方法
技術領域：
本發明涉及在IDT電極的彈性表面波傳播方向兩側配置反射器的彈性表面波諧振器以及採用該彈性表面波諧振器的梯型濾波器，尤其涉及對IDT電極實施交叉幅度加權 的彈性表面波諧振器以及採用該彈性表面波諧振器的梯型濾波器。
背景技術：
一直以來，在行動電話機等通信設備中，為了構成諧振器或濾波器，而廣泛應用了 彈性表面波諧振器。例如，在下述專利文獻1中公開了圖14所示的彈性表面波諧振器1001。彈性表面 波諧振器1001通過在壓電基板上形成圖示的電極構造而構成。該彈性表面波諧振器1001 是利用了與瑞利波(Rayleigh wave)相比電氣機械結合係數k2大的拉夫波(Love wave)的 彈性表面波諧振器。在彈性表面波諧振器1001中，在壓電基板上形成有IDT電極1002。IDT電極1002 具有母線(bus bar) 1003和與母線1003相對配置的母線1004。母線1003具有母線部 1003a，其在相對於表面波傳播方向呈θ角度的方向上傾斜並延伸；以及母線部1003b，其 以相對於彈性表面波傳播方向呈_ θ角度的方式延伸、且與母線部1003a相連。同樣，第2母線1004具有母線部1004a，其以相對於彈性表面波傳播方向呈-θ 角度的方式延伸；以及母線部1004b，其與母線1004a相連、且在相對於彈性表面波傳播方 向呈θ角度的方向上延伸。由母線部1003a、1003b、母線部1004a、1004b來構成大致菱形的形狀。多個電極指1005從母線部1003a、1003b向母線部1004a、1004b側延伸。此外，相 對於電極指1005的前端隔著間隙配置有虛設電極1006。虛設電極1006的一端與第2母線 1004連接，另一端經由上述間隙與電極指1005對置。同樣，配置有多個電極指1007，其一端與第2母線部1004連接，另一端向第1母 線1003側延伸。相對於電極指1007的前端，在電極指長度方向上隔著間隙配置有虛設電 極1008。虛設電極1008，一端與第1母線1003連接，另一端經由上述間隙與電極指1007對置。在彈性表面波傳播方向上，交替地配置有電極指1005和電極指1007。另外，在上 述IDT電極1002中實施交叉幅度加權，並通過該交叉幅度加權，使表面波傳播方向中心部 分的交叉幅度成為最大，隨著向表面波傳播方向外側，交叉幅度依次變小。在彈性表面波諧振器1001上，上述最小交叉幅度部分的交叉幅度為0。在表面波 傳播方向外側設置有僅存在虛設電極1006、1008的區域。彈性表面波諧振器1001的特徵為，如上所述地實施交叉幅度加權，且使經過上述 交叉幅度加權而獲得的包絡線A和母線部1003a、1003b、1004a、1004b的內側邊平行。換言 之，將母線部1003a 1004b的內側邊配置為與包絡線平行。即，母線部1003a 1004b的 內側邊相對於表面波傳播方向呈θ或-θ角度地進行傾斜。因此，難以產生非調和高次模式的共振，所以能夠降低寄生(spurious)。尤其，在專利文獻1中，上述包絡線和與該包絡線平行延伸的母線的內側邊之間的部分作為反射器發揮功能。因此，例如圖15中直線Ltl所 示，在已激勵的彈性表面波到達母線1003b的內側邊為止，例如與5個電極指交叉。因為該 5個電極指作為反射器發揮功能，所以能夠有效抑制寄生，並能夠實現小型化。專利文獻1 日本特開2000-286663號公報為了構成振蕩電路或濾波器等而採用彈性表面波諧振器。在構成濾波器電路的情 況下，大多連接多個彈性表面波諧振器。例如，在具有多個彈性表面波諧振器的梯型濾波器 中，至少1個彈性表面波諧振器與串聯臂連接，至少1個彈性表面波諧振器與並聯臂連接。 在梯型濾波器中，如果沒有充分提高串聯臂諧振器的反共振頻率的阻抗，則在通帶高頻側 的衰減量不充分大。另外，在並聯臂諧振器中，如果反共振頻率的阻抗不充分高，則有可能增大通帶中 的插入損失。但是，在專利文獻1所述的彈性表面波諧振器中，反共振頻率下的阻抗不充分大。 另外，還有在高於反共振頻率的頻率區域、例如反共振頻率的1.003倍左右的頻率下回波 損耗增大這樣的問題。因此，在將該彈性表面波諧振器用作並聯臂諧振器的梯型濾波器的 通帶高頻側，插入損失變大。

發明內容
本發明的目的是提供不僅能夠消除上述現有技術的缺點並抑制非調和高次模式 共振的寄生、還能夠充分提高反共振頻率下的阻抗的彈性表面波諧振器；和構成為將該彈 性表面波諧振器用作並聯臂諧振器並能夠降低通帶高頻側的插入損失的梯型濾波器。本發明的彈性表面波諧振器具備壓電基板；形成在上述壓電基板上的IDT電極； 以及設置在上述IDT電極的彈性表面波傳播方向兩側的一對反射器，其中，上述IDT電極具 備第1、第2母線；多個第1電極指，其從上述第1母線向第2母線延伸；多個第2電極指， 其從上述第2母線向上述第1母線側延伸；第1虛設電極，其相對於上述第1電極指的前端 經由間隙而對置，並與上述第2母線連接；以及第2虛設電極，其相對於上述第2電極指的 前端經由間隙而對置，且與上述第1母線連接。在本發明中為了具有隨著從上述IDT電極中的電極指交叉幅最大的部分向上述 彈性表面波傳播方向兩側、交叉幅度減少的交叉幅度加權部分，而對上述IDT電極實施交 叉幅度加權，為了將上述第1母線的上述第1電極指以及第2虛設電極所連接的邊配置成 與上述交叉幅度加權的包絡線相隔一定距離，而具有相對於彈性表面波傳播方向傾斜的傾 斜部分，為了將上述第2母線的上述第2電極指以及上述第1虛設電極所連接的邊配置成 與上述交叉幅度加權的包絡線相隔一定距離，而具有相對於彈性表面波傳播方向傾斜的傾 斜部分，在上述IDT電極的最外側電極指和上述反射器的IDT電極側電極指鄰接的部分，反 射器的電極指長度與IDT電極的該電極指長度和對置於該IDT電極的電極指前端的虛設電 極長度之和近似相等，在朝著彈性表面波傳播方向延伸的直線，從上述IDT電極的至少一 個電極指前端到達上述第1或第2母線的上述邊為止相交的電極指以及虛設電極數的總和 為N時，N是11以上，且上述一對反射器內的一個反射器所包含的電極指數量大致為N。最好，N為17以上，在此情況下，當彈性表面波諧振器被用作梯型濾波器的並聯臂諧振器時，可進一步提高反共振頻率下的阻抗，並能夠減小構成通帶右肩的頻率下的回波損耗。在本發明的彈性表面波諧振器中，上述N最好為30以下。由此，能夠有效地降低 在通帶高頻側端部附近的阻止頻帶上出現的紋波，並能夠提高抗功率性。本發明的梯型濾波器具有串聯臂諧振器和並聯臂諧振器，其中，上述串聯臂諧振 器以及並聯臂諧振器內的至少兩個諧振器由按照本發明所構成的彈性表面波諧振器組成。在本發明的梯型濾波器中，最好作為上述至少兩個彈性表面波諧振器，具有被配 置為表面波傳播方向平行的第1、第2彈性表面波諧振器，與上述第1、第2彈性表面波諧振 器的第1、第2母線的上述第1或第2電極指以及第2或第1虛設電極所連接的邊相反側的 外側邊傾斜為與上述包絡線具有一定距離，上述第2彈性表面波諧振器的第2母線位於與 上述第1彈性表面波諧振器的第1母線外側邊的彈性表面波傳播方向垂直的方向外側。由 此，能夠實現梯型濾波器的進一步小型化。(發明效果)在本發明的彈性表面波諧振器中，為了將第1母線的第1電極指以及第2虛設電 極所連接的邊配置成與交叉幅度加權的包絡線相隔一定距離，而具有該邊傾斜的傾斜部 分，第2母線的第2電極指以及第1虛設電極所連接邊也同樣具有傾斜部分，所以與專利文 獻1所述的彈性表面波諧振器相同地難以產生非調和高次模式的共振，從而能夠降低由此 導致的寄生。而且，在本發明中，從上述IDT電極的至少一個電極指前端向彈性表面波傳播 方向延伸的直線到達第1或第2母線的上述邊為止相交的電極指以及虛設電極數的總和為 N時，N是11以上，且一對反射器內的一個反射器所包含的電極指數量大致為N，所以能夠 充分提高反共振頻率下的阻抗。由此，在採用本發明的彈性表面波諧振器構成的梯型濾波器中，當將上述彈性表 面波諧振器用作串聯臂諧振器時，可提高反共振頻率的阻抗，所以能夠充分增大通帶高頻 側的衰減量。另外，還能夠降低通帶高頻側的回波損耗。此外，在將上述彈性表面波諧振器 用作並聯臂諧振器時，能夠充分減小通帶中的插入損失。由此，能夠提供具有良好濾波器特 性的梯型濾波器。


圖1是示意地表示本發明一實施方式的壓電諧振器的俯視圖。圖2是用於說明圖1所示的彈性邊界波諧振器的主要部分的電極構造的部分切掉 放大俯視圖。圖3是用於說明圖1所示的實施方式的彈性表面波元件的層疊構造的示意正面剖 視圖。圖4(a)和(b)是實驗例以及比較例的表示各彈性表面波諧振器的阻抗頻率特性 以及相位頻率特性的圖。圖5(a)和(b)是實施方式以及比較例的各彈性表面波諧振器的表示阻抗特性的 阻抗史密斯圓圖以及表示回波損耗頻率特性的圖。圖6 (a)和(b)是N = 13以及N = 17時的彈性表面波諧振器的表示阻抗特性的 阻抗史密斯圓圖以及表示回波損耗頻率特性的圖。
圖7 (a)和(b)是N = 17、N = 21以及N = 30時的彈性表面波諧振器的表示阻抗 特性的阻抗史密斯圓圖以及表示回波損耗頻率特性的圖。圖8 (a)和(b)是N = 30以及N = 70時的表示彈性表面波諧振器的阻抗頻率特 性以及相位頻率特性的圖。圖9 (a)和(b)是N = 30以及N = 70時的彈性表面波諧振器的表示阻抗特性的 阻抗史密斯圓圖以及表示回波損耗頻率特性的圖。圖10是使N變化時的反共振頻率下的阻抗變化的圖。圖11是作為本發明其它實施方式的梯型濾波器的示意俯視圖。圖12是示出圖11所示的梯型濾波器的電路結構的圖。圖13是示出圖11所示的梯型濾波器的濾波特性的圖。圖14是示出現有彈性表面波諧振器一例的俯視圖。圖15是示出圖14所示的彈性表面波諧振器的主要部分的部分切掉俯視圖。符號說明1...彈性表面波諧振器2...壓電基板3. . . IDT 電極4、5···反射器6.· · SiO2膜27. . . SiN 膜11...第 1 母線12···第 2 母線11a、12a···邊13...第1電極指14...第2虛設電極15···第2電極指16...第1虛設電極21...梯型濾波器22···壓電基板B...包絡線BUB2...包絡線部分Sl S7···串聯臂諧振器Pl P3. · ·並聯臂諧振器L1、L2···電感
具體實施例方式以下，參照附圖來說明本發明的具體實施方式
，由此會更加清楚。圖1是示出本發明一實施方式的彈性表面波諧振器的俯視圖。彈性表面波諧振器 1具有壓電基板2。在本發明中，壓電基板2由切割角126°的LiNbO3基板構成。不過，壓 電基板2可以由LiTaO3或石英等其它壓電單結晶形成，或者可以由鈦酸鋯酸鉛系陶瓷這樣的壓電陶瓷形成。在壓電基板2上形成圖1所示的電極構造。即，形成了 IDT電極3和配置在IDT 電極3的表面波傳播方向兩側的反射器4、5。在圖1中省略圖示，但如圖3所示，為了覆蓋 包含上述IDT電極3的電極構造，而按照此順序來層疊SiO2膜6以及SiN膜7。 本實施方式的彈性表面波諧振器1的特徵在於由IDT電極3以及反射器4、5構成 的電極構造。即，IDT電極3具有第1母線11和配置為與第1母線11對置的第2母線12。多 個第1電極指13從第1母線11的內側邊Ila向第2母線12延伸。相對於第1電極指13 的前端，隔著間隙配置有第1虛設電極14。即，與第1電極指13的前端隔著間隙，配置有在 第1電極指13的延長方向上延伸的第1虛設電極14。第1虛設電極14的一端與第2母線 12的內側邊12a連接，另一端隔著上述間隙與第1電極指13對置。同樣，從第2母線12的內側邊12a向第1母線11側配置第2電極指15。配置第 2虛設電極16，使其與第2電極指15的前端隔著間隙對置。第2虛設電極16的一端與第 1母線11的內側邊Ila連接，另一端隔著上述間隙與第2電極指15的前端對置。另外，上述IDT電極3進行交叉幅度加權。在IDT電極3的彈性表面波傳播方向、 即與電極指13、15的延伸方向垂直的方向上進行加權，以使在IDT電極3的中心交叉幅度 成為最大，並隨著向彈性表面波傳播方向兩端，交叉幅度依次變小。因此，包圍交叉幅度區域的包絡線B內的接近第1母線11側的包絡線部分B 1，隨 著從IDT電極3的中央向左側，而逐漸向接近第2母線12側的包絡線部分B2靠近，同樣， 隨著從IDT電極3的中心向圖1的右側，而逐漸向位於第2母線12側的包絡線部分B2靠 近。相反，即使針對第2包絡線部分B2，在彈性表面波傳播方向中心，位於與彈性表面 波傳播方向垂直的方向最外側，並隨著接近彈性表面波傳播方向兩端，而向第1包絡線部 分Bl靠近。另一方面，具有第1母線的邊Ila傾斜的傾斜部分llal、lla2，第1母線11的內側 邊Ila和上述第1母線11側的包絡線部分Bl側之間的距離大致恆定。同樣，第2母線12 的內側邊12a也具有傾斜部分12al、12a2。傾斜部分12al、12a2與上述包絡線部分B2平行延伸。因此，在IDT電極3中，與專利文獻1所述的彈性表面波諧振器1001的情況相同， 在交叉幅度區域的與彈性表面波垂直的方向外側的區域中作為反射器發揮功能的虛設電 極及電極指部分的長度變短。由此，針對彈性表面波的群速度方向作為上述反射器發揮功 能的區域傾斜，所以難以產生非調和高次模式的共振。從而，能夠減輕由非調和高次模式的 共振而引起的寄生。反射器4、5分別具有兩端短路的多個電極指4a、5a。電極指4a、5a與IDT電極3 的電極指13、15平行延伸。在上述IDT電極3的彈性表面波傳播方向最外側的電極指和反射器4、5的IDT電 極3側的電極指4a、5a鄰接的部分中，電極指4a、5a的長度和IDT電極側的鄰接電極指13、 15的長度與在該電極指13、15的前端對置的第2或第1虛設電極14、16的長度之和大致相等。
本實施方式的彈性表面波諧振器1的特徵在於，第1、第2母線11、12的內側邊 lla、12a具有相對於如上所述地進行交叉幅度加權的包絡線的包絡線部分Bl或包絡線部 分B2大致平行延伸的傾斜部分IlalUla2U2al、12a2，所以能夠抑制非調和高次模式的寄 生，以及如圖2所示，在朝著彈性表面波傳播方向延伸的直線L，從至少一個電極指13、15的 前端到達第1母線11或第2母線12的內側邊Ila或內側邊12a為止相交的電極指以及虛 設電極的數量的總和為N的情況下，N是11以上，且反射器4、5內的一個反射器所包含的 電極指4a、5a數大致為N。由此，能夠充分提高反共振頻率的阻抗。另外，能夠改善在構成 用作梯型濾波器的串聯臂諧振器及並聯臂諧振器的梯型濾波器時的通帶高頻側的特性，並 減輕回波損耗。根據具體實驗例來對其進行說明。
(實驗例1)作為壓電基板2，在切割角126° LiNbO3基板上形成厚度為220nm的SiO2膜。之後， 在SiO2膜上除去電極形成部分，形成抗蝕劑圖案，並進行刻蝕，除去電極形成部分的SiO2 膜。然後，全面地形成電極形成用金屬膜。作為電極形成用金屬膜，形成從上依次以AlCu/ Ti/Pt/NiCr的順序層疊這些金屬或合金而成的層疊金屬膜。厚度為AlCu/Ti/Pt/NiCr = 1 OOnm/10nm/80nm/lOnm。另夕卜，由IDT電極3中的電極指間距決定的波長為4 μ m，佔空比為 0. 5。IDT電極3中的電極指的對數為88對，使最大交叉幅度部分中的交叉幅度為80 μ m,使 最小交叉幅度部分中的交叉幅度為8 μ m。另外，使位於第1、第2電極指前端的間隙寬度、 即間隙的與彈性表面波傳播方向垂直方向的尺寸為0. 4μ m。在IDT電極3中央的第1、第 2虛設電極14、16的長度為0，處於IDT電極3的彈性表面波傳播方向兩端的虛設電極的長 度與虛設電極的個數成比例，在第2虛設電極的個數共計為17個時，是7.4μπι。關於反射 器4、5，由電極指間距決定的波長為4μπι，佔空比為0.5。另外，反射器4、5中的電極指個數 與IDT電極3的N相同。反射器4、5的電極指開口長與IDT電極3的彈性表面波傳播方向 端部的開口長、即交叉幅度和虛設電極長度2倍的總和同一尺寸。為了覆蓋上述IDT電極以及反射器，而形成IOOOnm厚度的SiO2膜，此外為了調整 頻率，還形成50nm厚度的SiN膜7。關於上述彈性表面波諧振器的製造方法，在IDT的電極指對數為88對的構造中， 製造了上述N為5個、11個、19個的各彈性表面波諧振器。為了比較，還製造了上述N為0 的彈性表面波諧振器。對如上所述獲得的各彈性表面波諧振器的共振特性進行測定。圖4(a)以及(b)示出上述N為0個、5個、11個以及19個的各彈性表面波諧振器 的阻抗頻率特性以及相位頻率特性。另外，圖5(a)以及(b)是N為0個、5個、11個以及19個的各彈性表面波諧振器 的表示頻率特性的阻抗史密斯圓圖以及表示回波損耗的頻率特性的圖。此外，在圖4以及圖5中用實線示出N = 19時的結果、用虛線示出N=Il時的結 果、用單點劃線示出N = 5時的結果、用二點劃線示出N = 0時的結果。由圖4(a)、(b)以及圖5(a)、(b)可知，與N為0或5的情況相比，在N = 11以及 N= 19的情況下，可充分提高反共振頻率中的阻抗。另外可知，與N為0或5的情況相比， 在N = 11以及N = 19的情況下，能夠減小回波損耗。此外還可知，在N = 19的情況下，與 N= 11的情況相比，能夠減小回波損耗。
(實驗例2)與實驗例1不同點是，IDT電極3中的電極指的對數為111對，IDT電極3中的交 叉幅最大部分的交叉幅度為100 μ m，最小交叉幅度部分中的交叉幅度為 ομπι。另外，製造 了 N為13個、17個、21個、30個以及70個的各彈性表面波諧振器。為了比較，製作出N為 0的彈性表面波諧振器。其它的點與實驗例1相同。圖6 (a)、(b)是N = 13時和N = 17時的彈性表面波諧振器的表示頻率特性的阻 抗史密斯圓圖以及表示回波損耗的頻率特性的圖。在圖6(a)、(b)中，用實線示出N= 13時的結果，用虛線示出N = 17時的結果。由圖6(a)、(b)可知，與N = 13的情況相比，在N = 17的情況下，能夠進一步減小 回波損耗。因此，根據前述圖5(b)以及上述圖6(b)的結果，優選N為17以上，由此可知， 能夠進一步減小回波損耗。此外，如圖7(a)、(b)所示，在N= 17、N = 21以及N = 30的情況下、即N = 17 30的範圍內，幾乎沒有特性差。另外，圖8 (a)、(b)示出N = 30以及N = 70時的各彈性表面波諧振器的阻抗頻率 特性以及相位頻率特性。圖9 (a)、(b)是N = 70以及N = 30時的各彈性表面波諧振器的 表示阻抗特性的阻抗史密斯圓圖以及表示回波損耗頻率特性的圖。由圖8(a)、(b)以及圖9(a)、(b)可知，與N為30個的情況相比，當N= 70時，如 箭頭C所示，在925 935MHz附近紋波(ripple)增大。因此，例如在用作梯型濾波器的並 聯臂諧振器的情況下，由於該紋波的增大，而有可能導致抗功率性降低。從而，為了降低上 述紋波，最好使N為30以下。如上所述，在彈性表面波諧振器1中，通過使N為11以上，可充分提高反共振頻率 中的阻抗，由此，在用作梯型濾波器的串聯臂諧振器的情況下，可充分增加通帶高頻側的衰 減量，在用作並聯臂諧振器的情況下，可抑制通帶中的插入損失增大。另外可知，在N為17以上的情況下，與反共振頻率相比，能夠降低高頻側的通帶附 近的回波損耗，並能夠獲得濾波器特性進一步良好的梯型濾波器。此外如上所述可知，使N為30以下，由此與反共振頻率相比，能夠降低高頻側中的 紋波，從而，優選在用作並聯臂諧振器的情況下，能夠降低梯型濾波器的通帶高頻側端部附 近的頻帶外的紋波。因此，由本發明獲得的彈性表面波諧振器優選用作梯型濾波器的並聯臂諧振器及 串聯臂諧振器。圖10是示出使上述N變化時的彈性表面波諧振器的反共振頻率中的阻抗變化圖。 由圖10可知，在N為11以上時，能夠充分增大阻抗，特別是N為15以上、最好為17以上時， 能夠進一步提高反共振頻率中的阻抗。(梯型濾波器的實施方式)圖11是用於說明作為本發明其它實施方式的梯型濾波器的示意俯視圖。在圖11 的斜線部形成圖1所示的電極構造。本實施方式的梯型濾波器用作中心頻率為897. 5MHz、 通帶為880-915MHZ頻帶的GSM發送用濾波器。此外在圖11中，省略了在前述彈性表面波 諧振器中形成的SiO2膜以及SiN膜的圖示。不過，在採用本發明的彈性表面波諧振器以及 該彈性表面波諧振器來構成的梯型濾波器中，未必形成有SiO2膜6及SiN膜7。
如圖11所示，在梯型濾波器21中，在壓電基板22上形成有串聯臂諧振器S1、S2、S3、S4、S5、S6、S7。另外，在壓電基板22上還形成有並聯臂諧振器Pl P3。這些串聯臂諧 振器Sl S7、並聯臂諧振器Pl P3如圖12所示地進行連接，形成梯型濾波器21。此外， 圖12中的電感L1、L2由插入並聯臂諧振器PI、P2與接地電位之間的電感元件或通過布線 而形成的電感部分構成。同樣，即使插入並聯臂諧振器P3與接地電位之間的電感L2，也由 另外連接的電感元件或通過布線而形成的電感部分構成。在如上所述的梯型濾波器21中，採用依據本發明而構成的彈性表面波諧振器，來 構成串聯臂諧振器Sl S7以及並聯臂諧振器Pl P3，所以能夠充分提高各彈性表面波諧 振器的反共振頻率中的阻抗。因此，能夠改善通帶高頻側的衰減特性，並且能夠減輕通帶高 頻側的衰減區域中的回波損耗。由此，能夠實現良好的濾波器特性。圖13是示出上述梯型濾波器的濾波器特性的圖。在圖13中，如箭頭D所示可知， 通帶右肩中的濾波器特性是良好的。另外，在通帶高頻側中，如箭頭E所示可知，能夠獲得 充分的衰減量。(變形例)此外，在上述實施方式的彈性表面波諧振器1中，形成一個交叉幅度加權部分，該 部分是交叉幅度隨著從最大交叉幅度部分向彈性表面波傳播方向兩側而減少的部分，不過 也可以在彈性表面波傳播方向上配置多個這樣的交叉幅度加權部分。換言之，當將實施彈 性表面波諧振器1中的上述交叉幅度加權的部分設為1個周期時，也可以按照具有多個周 期的方式設置交叉幅度加權部分。另外，在上述彈性表面波諧振器1中，第1、第2母線的邊lla、12a具有傾斜部分 Ilal、lla2、12al、12a2，在傾斜部分llal、12al和傾斜部分lla2、12a2之間設置未傾斜的部 分，不過也可以不設置該未傾斜的部分。即，可形成邊lla、12a，使其僅具有從最大交叉幅度 部分向彈性表面波傳播方向兩側延伸的兩個傾斜部分。此外，在上述實施方式的彈性表面波諧振器1中，為了改善頻率溫度特性，而層疊 SiO2膜6，但也可以通過形成SiO2以外的絕緣膜，從而同樣地減輕頻率溫度係數。另外，為 了調整頻率，而層疊SiN膜7，但也可以通過形成SiN膜7以外的絕緣膜或金屬膜等，由此進 行頻率調整。此外，這些SiO2膜或SiN膜並非必須形成。另外，在上述實施方式的彈性表面波諧振器1中，實施交叉幅度加權，以使在彈性 表面波傳播方向中央交叉幅度最大，並隨著向兩側而交叉幅度變小，不過這樣的交叉幅度 加權也可形成多個周期。另外，在上述實施方式中，反射器4、5實施了電極指長度沿著彈性表面波傳播方 向變化的交叉幅度加權，不過也可以是電極指長度一定的正規型反射器。
權利要求
一種彈性表面波諧振器，具備壓電基板；形成在上述壓電基板上的IDT電極；以及設置在上述IDT電極的彈性表面波傳播方向兩側的一對反射器，其中，上述IDT電極具備第1母線、第2母線；多個第1電極指，其從上述第1母線向第2母線延伸；多個第2電極指，其從上述第2母線向上述第1母線側延伸；第1虛設電極，其相對於上述第1電極指的前端經由間隙而對置，並與上述第2母線連接；以及第2虛設電極，其相對於上述第2電極指的前端經由間隙而對置，且與上述第1母線連接，對上述IDT電極實施交叉幅度加權，以具有隨著從上述IDT電極中的電極指交叉幅度最大的部分向上述彈性表面波傳播方向兩側、交叉幅度減少的交叉幅度加權部分，具有相對於彈性表面波傳播方向傾斜的傾斜部分，以使上述第1母線的上述第1電極指以及第2虛設電極所連接的邊配置成與上述交叉幅度加權的包絡線相隔一定距離，具有相對於彈性表面波傳播方向傾斜的傾斜部分，以使上述第2母線的上述第2電極指以及上述第1虛設電極所連接的邊配置成與上述交叉幅度加權的包絡線相隔一定距離，在上述IDT電極的最外側電極指和上述反射器的IDT電極側電極指鄰接的部分，反射器的電極指長度與IDT電極的該電極指長度和對置於該IDT電極的電極指前端的虛設電極長度之和大致相等，在向彈性表面波傳播方向延伸的直線，從上述IDT電極的至少一個電極指前端到達上述第1母線或第2母線的上述邊為止相交的電極指以及虛設電極的數量的總和為N時，N是11以上，且上述一對反射器內的一個反射器所包含的電極指的數量大致為N。
2.根據權利要求1所述的彈性表面波諧振器，其中， N是17以上。
3.根據權利要求1或2所述的彈性表面波諧振器，其中， N是30以下。
4.一種梯型濾波器，具有串聯臂諧振器和並聯臂諧振器，其中，上述串聯臂諧振器以及並聯臂諧振器內的至少兩個諧振器由權利要求1 3中任意1 項所述的彈性表面波諧振器構成。
5.根據權利要求4所述的梯型濾波器，其中，作為上述至少兩個彈性表面波諧振器，具有被配置為表面波傳播方向平行的第1彈性 表面波諧振器、第2彈性表面波諧振器，與上述第1彈性表面波諧振器、第2彈性表面波諧振器的第1母線、第2母線的上述第 1電極指或第2電極指以及第2虛設電極或第1虛設電極所連接的邊相反側的外側邊傾斜 為與上述包絡線具有一定距離，上述第2彈性表面波諧振器的第2母線位於與上述第1彈 性表面波諧振器的第1母線外側邊的彈性表面波傳播方向正交的方向外側。
全文摘要
本發明提供能夠充分提高反共振頻率下的阻抗、可改善構成梯型濾波器時的濾波器特性的彈性表面波諧振器。彈性表面波諧振器(1)，對IDT電極(3)進行交叉幅度加權，使交叉幅度隨著向彈性表面波傳播方向外側而減少，第1母線(11)的內側邊(11a)具有相對於第1母線(11)側的包絡線部分(B1)相隔一定距離配置的傾斜的傾斜部分(11a1、11a2)，第2母線的內側邊(12a)具有與第2母線(12)側的包絡線部分(B2)相隔一定距離配置的傾斜部分(12a1、12a2)，在向彈性表面波傳播方向延伸的直線從至少一個電極指(13、15)的前端到達第1或第2母線的邊(11a、12a)為止相交的電極指以及虛設電極的總和為N時，N是11以上。
文檔編號H03H9/64GK101821944SQ20088011081
公開日2010年9月1日 申請日期2008年8月1日 優先權日2007年10月18日
發明者田中伸拓 申請人:株式會社村田製作所