液滴噴出方法、電光學裝置的製造方法和電子儀器的製作方法
2023-07-09 18:33:06 2
專利名稱：液滴噴出方法、電光學裝置的製造方法和電子儀器的製作方法
技術領域：
本發明涉及液滴噴出方法、電光學裝置的製造方法和電子儀器。
背景技術：
已經想出從噴墨頭等向基板上噴出液滴，而在其基板上形成薄膜的液滴噴出方式來製造電光學裝置。作為電光學裝置，有液晶裝置、有機電致發光裝置(以下稱有機EL(Electronic Luminescent電致發光)裝置)、等離子體顯示裝置等的顯示裝置。
另外，在近幾年，構成這些電光學裝置的基板在大型化，在有關的大型基板中，要求利用液滴噴出方式來高精細和高精度來繪圖薄膜(圖案形成)。
作為這樣的液滴噴出方式，已知按照噴頭的每一次的噴出相當的液滴量，通過調整理論上的墨水噴出位置，使噴在每一個繪圖對象區域的墨水量恆定的方式(例如，參照日本國特許第3332812號公報)。
然而，上述的液滴噴出方式是只考慮使繪圖對象區域的墨水的噴出量恆定的方式，並沒有考慮這個繪圖對象區域的墨水滴的彈落位置。
從而，在這種噴出方式中，存在對繪圖對象區域的墨滴彈落位置產生偏差或噴在繪圖對象區域的墨水厚度產生微小的不均勻而導致品質降低的危險。
發明內容
本發明是鑑於上述的問題而進行的，其目的在於，提供一種不會產生膜厚不均勻，而配合繪圖對象區域而彈落適量的液滴，可以進行高精度、且高品質繪圖可能的液滴噴出方法、電光學裝置的製造方法和電子儀器。
有關本發明的液滴噴出方法、電光學裝置的製造方法和電子儀器中，為了解決上述的問題採用了如下方法。
本發明的第一形態是液滴噴出方法，其特徵在於對基板上的由圍堰(bank)所包圍的繪圖對象區域，一邊使噴頭掃描一邊以一定間隔噴出液滴時，在繪圖對象區域的沿著圍堰以外的繪圖對象區域，設置不噴出液滴的非噴出處。
根據本發明的第一形態，將不噴出液滴的非噴出處配置在形成繪圖對象區域的沿著圍堰外周側以外的中央側，所以，不會產生具有其沿著圍堰的微小凹坑的波紋，而將適量的液體沒有遺漏地塗敷在繪圖對象區域內，並且，可以使膜厚均勻化。即，膜厚上不會產生不均勻，而配合繪圖對象區域彈落適量的液滴，可以進行高精度、且高品質的繪圖。
在本發明的第一形態中，例如，繪圖對象區域是矩形，通過至少在繪圖對象區域的長邊方向的沿著圍堰以外的繪圖對象區域裡設置非噴出處，可以良好地謀求膜厚的均勻化。
在本發明的第一形態中，通過分散配置非噴出處，在沿著圍堰外周側以外的中央側分散配置非噴出處，所以，可以謀求膜厚的進一步的均勻化。
在本發明的第一形態中，將非噴出處配置在平行於繪圖對象區域的長邊方向、且繪圖對象區域長邊方向的沿著圍堰以外的繪圖對象區域，所以，可以良好地謀求膜厚的均勻化。
本發明的第二形態是液滴噴出方法，其特徵在於對基板上的圍堰所包圍的繪圖對象區域，一邊使噴頭掃描一邊以一定間隔噴出液滴時，在繪圖對象區域的沿著圍堰以外的繪圖對象區域，設置和其他處不同液滴量的噴出處。
根據本發明的第二形態，也可以謀求膜厚的均勻化。
在本發明的第二形態中，繪圖對象區域是矩形，並通過至少在繪圖對象區域長邊方向的沿著圍堰以外的所述繪圖對象區域，設置和其他處不同液滴量的噴出處，可以良好地謀求膜厚的均勻化。
在本發明的第二形態中，通過分散配置所述的和其他處不同液滴量的噴出處的方式，可以良好地謀求膜厚的均勻化。
在本發明的第二形態中，通過將不同液滴量噴出處配置在平行於所述繪圖對象區域的所述長邊方向、且繪圖對象區域的長邊方向的沿著圍堰以外的繪圖對象區域，可以良好地謀求膜厚的均勻化。
本發明的第三形態是電光學裝置的製造方法，其特徵在於利用了所述液滴噴出方法。
根據本發明的第三形態，通過所述液滴噴出方法，在基板上高精度地形成繪案，來可以製造有機EL裝置、等離子體顯示裝置、液晶裝置等的電光學裝置。從而，根據本發明，以低價可以提供對大的畫面的全體，可以顯示高精細、高品質圖像的電光學裝置。例如，將成為有機EL裝置的構成要素的發光材料和空穴輸送材料等可以塗敷成高精細的像素圖案。
本發明的第四形態是電子儀器，其特徵在於，具備通過所述電光學裝置製造方法來製造的電光學裝置。
根據本發明的第四形態，可以以低價提供可以高精細顯示高品質圖像的電子儀器。特別是，本發明可以以低價提供可以顯示高品位圖像的電子儀器。
圖1是表示液滴噴出裝置構成的立體圖。
圖2是表示液滴噴出裝置的控制裝置功能的框圖。
圖3A、3B、3C，是表示沒有應用有關本發明的液滴噴出方法的情況之映像的模式平面圖。
圖4A、4B是表示應用有關本發明的液滴噴出方法的情況之映像的模式平面圖。
圖5是表示沒有應用有關本發明的液滴噴出方法的情況之映像的模式平面圖。
圖6A、6B是表示應用有關本發明的液滴噴出方法的情況之映像的模式平面圖。
圖7A、7B、7C和7D是表示有關本發明的有機EL裝置製造工序的截面圖。
圖8是利用製造工序來製造的顯示裝置的電路圖。
圖9是表示顯示裝置像素區域的平面結構的放大平面圖。
圖10A、10B和10C是表示具備顯示裝置的電子儀器的立體圖。
具體實施例方式
下面，結合圖說明本發明的液滴噴出方法、電光學裝置的製造方法和電子儀器。
(液滴噴出裝置)圖1是表示液滴噴出裝置的構成的立體圖。
此液滴噴出裝置1利用於有關本發明實施方式的液滴噴出方法。液滴噴出裝置1作為主要構成要素，備有作為有關本發明的控制機構的控制裝置2；噴頭組3；和載物臺4。液滴噴出裝置1通過控制裝置2控制噴頭組3和載物臺4的動作，向載置在載物臺4的基板5噴出液滴，在此基板5上，形成規定的圖案。
控制裝置2是根據有關本發明的液滴噴出方法來控制噴頭組3，由此，控制液滴噴出的時間。在噴頭組3固定有攝象機3b。此攝象機3b利用於載置在載物臺4的基板5的調整和位置矯正。另外，在下面的說明中，噴頭組3的配置方向作為X方向，另外，基板5的輸送方向作為Y方向，另外，XY平面內的面內旋轉方向作為θ方向。
噴頭組3由排列成1列的多個噴頭3a所構成。從基臺6垂直設置的支柱7、7之間，以在X方向橫跨載物臺4的方式，架設有X方向軸8。在其X方向軸8上，移動可能地設有噴頭組3。固定在噴頭組3的攝象機3b和噴頭組3一起移動。在構成噴頭組3的每一個噴頭3a上，向著基板5穿設著多個液滴噴出用的噴嘴(例如，180個的噴嘴穿設成一列)。
噴頭3a具有儲備液狀體的腔；連通在其腔的噴嘴；和從噴嘴作為液滴噴出其腔內儲備的液狀體的液滴噴出機構而構成。在本例子中，液滴噴出機構是設在噴頭3a的壁面的壓電元件(壓電元件)。在這樣構成的噴頭3a中，根據供給在壓電元件的所要的電壓波形，使噴頭3a的壁面變形而腔內的容積在變化，從噴嘴噴出規定量的液滴。供給在壓電元件的電壓波形，根據後面要敘述的液滴噴出數據來生成。
另外，作為噴頭3a的液滴噴出機構，除了利用上述的壓電元件(機電變換體)方式以外，還可以採用例如，利用了作為能量產生元件的電、熱變換體的方式；叫做帶電控制型或加壓振動型的連續方式；靜電吸引方式；利用雷射等的電磁波的照射熱作用來噴出液狀體的方式等。
另外，上述的噴頭組3是由排列成1列的多個噴頭3a所構成的，但不限於這些。例如，也可以是對每一個噴頭3a的噴嘴的穿設間隔(節距)，在X方向偏離1/2節距的噴頭3a，排列成2列。或著，也可以使噴頭3a對X方向傾斜規定角度配置。在這些構成中，以小於噴嘴的穿設間隔噴出液滴成為可能。
載物臺4具有載置基板5的載置部4a；使此載置部4a在XY平面上的面內旋轉可能的底座部4b而構成。在載置部4a設有定位用的銷(省略圖示)。在底座部4b上設有編碼器4c。此編碼器4c讀取沿著基臺6的Y方向設置的直線刻度15的刻度，根據其讀取結果，檢測出Y方向的載物臺4的位置。直線刻度15的刻度可以設定為米單位，也可以設定為DPI單位。
並且，載物臺4構成為沿著垂直於X方向敷設的Y方向軸9可以移動。作為使載物臺4向Y方向移動的輸送機構，在本例子中利用了線形電動機。此線形電動機具有排列在Y方向軸9上的永久磁鐵10；固定設在載物臺4的底座部4b下側的多個線圈(省略圖示)而構成。這些多個線圈是沿著Y方向、且接近永久磁鐵10而排列在板11上。
基板5是本實施方式中形成圖案的對象物。作為基板5的材料，可以利用玻璃等的透明基板，但是，不要求透明性的情況下，可以採用金屬板等。另外，此基板5的尺寸，橫、縱尺寸可以超過1M。
作為形成在基板5上的圖案，可以舉出具有RGB色的濾色器所形成的像素圖案或形成TFT電路情況的金屬配線等。
例如，由基板5構成有機EL裝置的情況下，由發光材料或空穴輸送材料等所構成的像素圖案是用此液滴噴出裝置1來形成。
控制裝置2是電連接上述的液滴噴出裝置1的每一個構成要素的裝置，是總線來連接CPU(Central Processing Unit中央處理器)、ROM、RAM、輸入輸出用的界面(inter face)、振蕩電路等的所謂的電子計算機。這樣的控制裝置2按照預先所輸入的程序，總括控制液滴噴出裝置1。
下面，結合圖2說明控制裝置2的詳細構成。圖2是為了說明控制裝置2之功能的框圖。
控制裝置2具有液滴噴出數據設定值輸入部(第一輸入機構)20；噴頭設定值輸入部(第二輸入機構)22；CAD數據操作部(CAD數據製作機構)24；位映像數據製作部(位映像數據製作機構)26；位映像處理部28；液滴噴出數據製作部(製作機構)30；液滴噴出數據傳輸部(傳輸機構)32；開關組34；噴頭驅動部38；噴頭驅動控制部40；頭位置檢測部42；液滴噴出時間控制部44。在此，液滴噴出時間控制部44是對噴出液滴的時間進行變更的部分。
液滴噴出數據設定值輸入部20是具有設定下述的功能即，設定基板5的尺寸、將基板5作為多個片(區域)切出的片的尺寸、鄰接片的節距(相互間隔)、像素(圖案)的排列、像素的個數、像素的尺寸(像素的縱、橫的大小)、鄰接像素的節距(相互間隔)。噴頭設定值輸入部22具有設定下述的功能即，設定為了形成像素所必要的液滴量、為了形成像素所必要的噴頭組3和基板5之間的總線數(相對移動動作的次數)、所使用上述噴頭組3的噴頭3a的配置。
CAD數據操作部24具有生成在基板5上應該形成的圖案的、成為設計圖的CAD數據的功能，並由用於輸入圖形信息(矢量數據、圖形的屬性等的數據)的輸入機構；和具有圖形處理功能的工作站等構成。在此，CAD數據可以是DPI類單位來生成，也可以以米的單位來生成。
位映像數據製作部26具有將原數據變換為CAD上所要求的分解能的位映像數據的功能。位映像處理部28進行考慮噴頭3a的個數、配置、和液滴彈落在基板5的直徑的、按照電路模型的細線化要求來變更位映像數據製作部26所製作的位映像數據的處理。
液滴噴出數據製作部30是考慮液滴彈落時的直徑以便成為所要的圖案尺寸，來製作液滴噴出數據(二進位的系列數據)。在此，此液滴噴出數據包括對應噴頭組3的每一個噴嘴設置的每一個液滴噴出機構的數相對應的點數的記錄數據。
液滴噴出數據傳輸部32具有將液滴噴出數據製作部30所輸出的液滴噴出數據，向噴頭組3的液滴噴出機構傳輸的功能。開關組34由多個開關構成，所述多個開關設在液滴噴出數據傳輸部32與噴頭組3之間，並一對一地對應連接在噴頭組3所包含的多個的每一個驅動部，並根據由液滴噴出數據傳輸部32所傳輸的記錄數據而設定為接通、斷開狀態。
噴頭驅動部38和噴頭組3成一體化，例如，可以是線形電動機，使噴頭組3向垂直於基板5的輸送方向移動。噴頭驅動控制部40，根據省略圖示的高位控制器的指示，驅動控制噴頭驅動部38。
頭位置檢測部42具有檢測出基板5被固定的載物臺4的位置的變位量、即基板5上的噴頭組3的相對位置的功能。此頭位置檢測部42相當於上述的編碼器4c。液滴噴出時間控制部44，根據頭位置檢測部42的檢測輸出來生成並輸出規定其施加在每一個噴頭3a的壓電元件上的電壓波形的產生時間的鎖存信號(LAT信號)。此鎖存信號傳輸到開關組34。開關組34的每一個開關是由於液滴噴出數據傳輸部32所傳輸過來的液滴噴出數據和鎖存信號而被控制為接通/斷開狀態。並且，由每一個開關來控制每一個噴頭3a的壓電元件的驅動時間，控制每一個噴頭3a的液滴噴出時間。
下面，說明本實施方式液滴噴出裝置1來噴出液滴的液滴噴出方法。這個液滴的噴出主要是由液滴噴出裝置1的液滴噴出時間控制部44中所執行。
圖3A、3B、3C和圖5是分別表示沒有應用有關本發明的液滴噴出方法的情況的映像的模式平面圖。圖4A、4B和圖6A、6B是分別表示應用有關本發明的液滴噴出方法的情況的噴出狀態的映像的模式平面圖。
液滴噴出裝置1對作為基板上形成繪圖對象的像素G，一邊使噴頭3a向一個方向掃描，一邊按照每一個規定噴出間隔的噴出時間，噴出液滴。由此，由形成像素G的圍堰(省略圖示、參照圖7)所包圍的繪圖對象區域A中，根據位映像數據彈落液滴。
在此，噴頭3a決定每一次噴出的液滴量。如圖3A所示，如果對應繪圖對象區域A的所有噴出時間中噴出液滴而噴在全體像素G內，則容易產生液滴量過多或不足的現象。因此，例如，如果液滴量過多的情況下，規定時間中進行調整而減少每一滴的液滴噴出量、或一部分液滴變為非噴出狀態而省去像素G內的液滴的彈落等，有必要調整繪圖對象區域A內的液滴量。
作為液滴的非噴出狀態，省去像素G內的彈落的情況下，如圖3B所示，使不噴出液滴的非噴出處N向繪圖對象區域A片側偏離，則其部分的液滴量減少，膜厚上也產生偏差。
並且，如圖3C所示，如果使非噴出處N沿著形成繪圖對象區域A的圍堰分散，則雖然其適當量的液滴被分散，但是，此種情況下，容易產生在沿著圍堰液滴彈落後所形成的膜表面，具有微小凹坑的波紋。
因此，在本發明的液滴噴出方法中，如圖4A所示，沿著圍堰外周側的中央側，製作設置了繪圖對象區域A內的非噴出處N的位映像數據。此時，存在多個非噴出處N的情況下，優選為分散配置它們。在繪圖對象區域A中，通過使非噴出處N分散在除了沿著圍堰外周側的中央側，適量的液滴沒有遺漏地塗敷在繪圖對象區域A內而形成膜厚均勻的像素G。
除此外，在本發明的液滴噴出方法中，如圖4B所示，除了繪圖對象區域A的沿著圍堰的外周側的至少沿著長邊方向的中央側，製作設置了非噴出處N的位映像數據。其包括在繪圖對象區域A的沿著圍堰外周側的短邊方向，設置非噴出處N的情況。例如，繪圖對象區域A內的以矩陣狀配置的噴出處(位映像數據製作部)中，和中央側的圍堰的長邊方向近似平行的1列或多列全部變為非噴出處N的情況。由於通過在繪圖對象區域A的中央側設置了沿著圍堰長度方向的非噴出處N，不容易產生液滴彈落後所形成的膜表面的波紋，位映像數據的製作或噴出控制不複雜，所以是容易的。
另外，在液滴彈落後形成的膜表面上產生波紋的現象，是不限於繪圖對象區域A為俯視圖上矩形形狀的情況，也產生在對具有如圖5所示外形的區域，沿著圍堰配置非噴出處N的情況。
並且，此種情況下，如圖6A和圖6B所示，也通過將非噴出處N分散在除了沿著圍堰外周側的中央側，可以謀求液滴彈落後所形成的膜的膜厚均勻化。
這樣，根據本實施方式，將不噴出液滴的非噴出處N配置在除了形成繪圖對象區域A的沿著圍堰外周側的中央側，所以，可以避免沿著圍堰液滴彈落後所形成的膜表面上具有微小凹坑的波紋的產生。因此，沒有遺漏地在繪圖對象區域A內塗敷適量的液滴，且可以使膜厚均勻化。
即，不會產生膜厚不均勻而配合繪圖對象區域A可以將適量液滴噴在像素G，可以進行高精度且高品質的繪圖。
並且，在除了沿著圍堰外周側的中央側，分散配置非噴出處N，所以可以謀求膜厚的進一步的均勻化。
另外，作為繪圖對象區域A內的液滴量調整方法，說明了設置非噴出處N的方法，但在非噴出處N地點，通過比其他噴出處給以少量液滴的方式，也可以進行繪圖對象區域A內的液滴量調整(不同噴出量處M)。根據這種方法，比不給以液滴的情況還不容易產生繪圖對象區域A內所形成的膜表面的波紋。
進一步地，在繪圖對象區域A內的液體量少的情況下，對至今為止所說明的非噴出處N，通過比其他噴出處給以多的量的液滴的(不同噴出量處M)方式，也可以進行繪圖對象區域A內的液體量調整。除此外，通過分別組合不噴出液滴、噴出少量液滴、噴出多量液滴的方式，也可以進行液體量調整。
(電光學裝置)下面，結合圖說明利用上述的液滴噴出方法而製造的電光學裝置的一例。在本實施方式中，作為電光學裝置的一例，舉出有機EL裝置來進行說明。
圖7A、7B、7C和7D是表示有關本發明的有機EL裝置製造工序的截面圖。
如圖7D所示，有機EL裝置201，具有在透明基板204上形成像素電極202，在每一個像素電極202之間，從箭頭G方向看圍堰205時為格子狀形成的構成。
在作為這些繪圖對象區域A的格子狀凹部中，形成空穴注入層220，並以從箭頭G方向看時為帶狀排列等的成為規定排列的方式，在每一個格子狀凹部中形成R色發光層203R、G色發光層203G、B色發光層203B。並且，在其上形成對置電極213。叫做TFD(Thin Film Diode薄膜二極體)元件的2端子型的有源元件來驅動上述的像素電極202的情況下，上述的對置電極213從箭頭G方向看時，形成為帶狀。另一方面，叫做TFT(ThinFilm Transistor薄膜電晶體)的3端子型的有源元件來驅動上述的像素電極202的情況下，上述的對置電極213形成為單一的面電極。
由每一個像素電極202和每一個對置電極213所夾件的區域為一個像素像元，R、G、B的3色的像素像元成為一個單元而形成一個像素。
控制通過每一個像素像元的電流的方法，使多個像素像元中的所希望的像素像元選擇性地發光，由此，在箭頭H方向，可以顯示所希望的完全彩色像。
例如，如下所示的製造方法來可以製造上述的有機EL裝置201。即，如圖7A所示，在透明基板204的表面，形成叫做TFE元件或TFT元件的能動元件後，進一步形成像素電極202。作為形成方法，例如，可以利用光刻法、真空蒸鍍法、濺射法、熔溶膠(pyrosol)法等。
作為像素電極202的材料，可以利用ITO(Indium Tin Oxide銦錫氧化物)、氧化錫、氧化銦與氧化鋅的複合氧化物等。
接著，如圖7A所示，利用眾所周知的圖案形成方法、例如利用光刻法來形成隔壁即圍堰205，通過此圍堰205填埋每一個透明像素電極202的交接處。由此，可以提高對比度，可以防止發光材料的混色，可以防止像素與像素之間的光的洩露。作為圍堰205材料，只要對EL發光材料的溶劑具有耐久性的就沒有特別的限定，但是，氟代烴氣體等離子體處理的特氟隆(註冊商標)化可能的、例如，叫做丙烯樹脂、環氧樹脂、感光性聚醯亞胺的有機材料為好。
接著，塗敷作為功能性液狀體的空穴注入層用材料之前，對透明基板204進行氧氣和氟代烴氣體等離子體的連續等離子體處理。由此，聚醯亞胺表面變為疏水化、ITO表面變為親水化等來控制微細地圖案形成用的基板側的溼潤性。作為等離子體產生裝置，可以利用真空中產生等離子體的裝置，也可以利用大氣中產生等離子體的裝置。
接著，如圖7A所示，從圖1所示的液滴噴出裝置1的噴頭3a噴出空穴注入層材料的液滴258，在每一個像素電極202上，進行塗敷而形成圖案。此液滴258的噴出，利用有關本發明的液滴噴出方法來進行。從而，液滴258正確地彈落(噴)在圍堰205所包圍的、作為所要繪圖對象區域的噴出區域即每一個濾色器元件形成區域內，以均勻的膜厚來沒有偏差地均勻塗敷。其塗敷後，在真空(1託)中、室溫、20分鐘的條件下，去除溶劑。然後，在大氣中，200℃(熱板上)、通過10分鐘的熱處理來形成和發光層材料不相溶的空穴注入層220。在上述條件中的膜厚為40nm。
接著，如圖7B所示，每一個濾色器元件形成區域內的空穴注入層220上，塗敷作為功能性液狀體的有機EL發光材料的R發光層用材料和作為功能性液狀體的有機EL發光材料的G發光層用材料。在此，每一個發光層用材料也是從圖1所示的液滴噴出裝置1的噴頭3a噴出液滴258而彈落在每一個濾色器元件形成區域。並且，該液滴258的噴出也是利用有關本發明的液滴噴出方法來進行，所以，每一個液滴258正確地噴在濾色器元件形成區域內，以均勻的膜厚沒有偏差地均勻塗敷。
塗敷發光層用材料後，在真空中(1託)、室溫、20分鐘的條件下，去除溶劑。接著，在氮氣氣氛中、150℃、4小時的熱處理來共軛化後形成R色發光層203R和G色發光層203G。由上述的條件中的膜厚是50nm。由熱處理來共軛化的發光層是不溶於溶劑的。
另外，形成發光層之前，也可以對空穴注入層220進行氧氣和氟代烴氣體等離子體的連續等離子體處理。由此，在空穴注入層220上形成氟化合物層，離子化電位變高而空穴注入效率增加，可以提供發光效率高的有機EL裝置。
接著，如圖7C所示，在每一個像素像元內的R色發光層203R、G色發光層203G和空穴注入層220上，重疊而形成作為功能性液狀體的EL發光材料的B色發光層203B。由此，在形成R、G、B的3色的基礎上，填埋R色發光層203R和G色發光層203G與圍堰205之間的高度差(階梯)而可以使其平坦化。由此，可以可靠防止上下電極間的短路。通過調整B色發光層203B的膜厚，B色發光層203B在R色發光層203R與G色發光層203G之間的層疊結構中，起著電子注入輸送層的作用，不發出B色的光。
作為形成如上述的B色發光層203B的形成方法，例如，作為溼法可以採用一般的旋轉塗敷法或可以採用和R色發光層203R、G色發光層203G形成法相同的噴墨法。
然後，如圖7D所示，通過形成對置電極213，可以製造出作為目標的有機EL裝置201。對置電極213分別為面電極的情況下，例如，Mg、Ag、Al、Li等作為材料，利用叫做真空蒸鍍法、濺射法等的成膜法來可以形成。另外，對置電極213為帶狀電極的情況下，利用光刻法等對已形成膜的電極層進行圖案形成來可以形成。
根據以上所說明的有機EL裝置201的製造方法，可以從液滴噴出裝置1的噴頭3a作為液滴噴出空穴注入層用材料和每一個發光層用材料，而彈落在每一個濾色器元件形成區域內。從而，根據本製造方法，空穴注入層用材料或每一個發光層用材料，在圍堰205內，以均勻的膜厚均勻塗敷，其結果，可以簡便地製造出在大畫面全體可以高精細顯示高品質圖像的大畫面有機EL裝置201。
另外，本實施方式的有機EL裝置的製造方法中，利用液滴噴出裝置1，利用噴頭3a的液滴噴出來形成R、G、B的每一個顏色像素像元，所以，沒有必要經過像利用光刻法的方法的複雜工序，也不會浪費材料。
下面，結合圖8和圖9說明本實施方式的EL裝置的電路構成。
圖8是表示用圖7A至圖7D所示的製造方法來製造的作為有機EL裝置構成要素的顯示裝置的一部分的電路圖。圖9是表示圖8中所示的顯示裝置的像素區域的平面結構的放大平面圖。
在圖8中，顯示裝置501是利用作為有機EL裝置的EL顯示元件的有源矩陣型顯示裝置。此顯示裝置501，在透明的顯示基板502上，具有多個掃描線503、對這些掃描線503交叉方向延伸的多個信號線504、在這些信號線504並列延伸的多個共同供給線505，各自配線的構成。並且，在掃描線503與信號線504的交叉點，設有像素區域501A。
對信號線504，設有具有移位寄存器、電平移位、視頻線、模擬開關的數據側驅動電路507。對掃描線503，設有具有移位寄存器和電平移位的掃描側驅動電路508。在每一個像素區域501A，設有通過掃描線503供給掃描信號的開關薄膜電晶體509；通過這些開關薄膜電晶體509存儲和保持信號線504所供給的圖像信號的存儲電容cap；由此存儲電容cap所保持的圖像信號供給在柵極電極的電流薄膜電晶體510；通過此電流薄膜電晶體510電連接在共同供給線505時，從共同供給線505流進驅動電流的像素電極511；被夾在此像素電極511與反射電極512之間的發光元件513。
根據這樣的構成，如果驅動掃描線503而開關薄膜電晶體509變為接通，則此時的信號線504的電位保持在存儲電容cap。按照此存儲電容cap的狀態，決定電流薄膜電晶體510的接通·斷開狀態。通過電流薄膜電晶體510的通道，從共同供給線505向像素電極511通過電流，進一步通過發光元件513向反射電極512通過電流。
由此，發光元件513發出與這些通過的電流量相應的光。
像素區域501A如去掉反射電極512和發光元件513狀態的作為顯示裝置501的放大平面圖的圖9所示，平面狀態是其長方形的像素電極511的四個邊被信號線504、共同供給線505、掃描線503和省略圖示的其他像素電極511用的掃描線503來包圍配置的。
如此構成的顯示裝置501，利用上述的有機EL裝置的製造方法來製造的，所以，比較低價、且大的畫面全體中可以高精細來顯示高品質的圖像。
(電子儀器)下面，說明具備上述實施方式的電光學裝置的電子儀器。圖10A是表示行動電話機一例的立體圖。
在圖10A中，符號1000是表示行動電話機主體，符號1001是表示由上述實施方式的電光學裝置所構成的顯示部。
圖10B是表示手錶型電子儀器之一例的立體圖。在圖10B中，符號1100表示手錶主體，符號1101表示由上述實施方式的電光學裝置所構成的顯示部。
圖10C是表示文字處理器、個人計算機等的攜帶型信息處理裝置之一例的立體圖。在圖10C中，符號1200表示信息處理裝置，符號1202表示鍵盤等的輸入部，符號1204表示信息處理裝置的主體，符號1206表示由上述實施方式的電光學裝置所構成的顯示部。
在圖10A、圖10B和圖10C中所示的電子儀器，具備上述實施方式的電子儀器，所以，即使顯示部變為大畫面，在其顯示部可以高精細來顯示高品質的圖像。
另外，本發明的技術範圍不限於上述的實施方式，不脫離本發明宗旨的範圍內，可以加以種種變更；在實施方式中舉出的具體的材料或層構成等只不過是一例，可以適當變更。例如，在上述實施方式中，作為電光學裝置的一例舉出了有機EL裝置，但本發明不是限定於此，在等離子體顯示裝置、液晶裝置等的各種電光學裝置中，可以應用本發明；在濾色器的著色材料的塗敷等方面，也可以適用本發明。另外，有關本發明的液滴噴出方法的形成物不限於像素等，也可以利用有關本發明的液滴噴出方法來形成配線圖案、電極、各種半導體元件等。
權利要求
1.一種液滴噴出方法，其中對基板上的圍堰所包圍的繪圖對象區域，一邊使噴頭掃描一邊以一定間隔噴出液滴時，在所述繪圖對象區域的沿著所述圍堰以外的所述繪圖對象區域，設置不噴出液滴的非噴出處。
2.根據權利要求1所述的液滴噴出方法，其中所述繪圖對象區域是矩形，至少在所述繪圖對象區域長邊方向的沿著所述圍堰以外的所述繪圖對象區域，設置所述非噴出處。
3.根據權利要求1或2所述的液滴噴出方法，其中分散配置所述非噴出處。
4.根據權利要求2所述的液滴噴出方法，其中將所述非噴出處配置在平行於所述繪圖對象區域的所述長邊方向、且所述繪圖對象區域的所述長邊方向的沿著所述圍堰以外的所述繪圖對象區域。
5.一種液滴噴出方法，其中對基板上的圍堰所包圍的繪圖對象區域，一邊使噴頭掃描一邊以一定間隔噴出液滴時，在所述繪圖對象區域的沿著所述圍堰以外的所述繪圖對象區域，設置了和其他處不同液滴量的噴出處。
6.根據權利要求5所述的液滴噴出方法，其中所述繪圖對象區域是矩形，至少在所述繪圖對象區域長邊方向的沿著所述圍堰以外的所述繪圖對象區域，設置和其他處不同液滴量的噴出處。
7.根據權利要求5或6所述的液滴噴出方法，其中分散配置所述和其他處不同液滴量的噴出處。
8.根據權利要求6所述的液滴噴出方法，其中將所述和其他處不同液滴量的噴出處配置在平行於所述繪圖對象區域的所述長邊方向、且所述繪圖對象區域的所述長邊方向的沿著所述圍堰以外的所述繪圖對象區域。
9.一種電光學裝置的製造方法，其中利用權利要求1至8所述的任意一種液滴噴出方法。
10.電子儀器，其中具備權利要求9所述的電光學裝置製造方法來製造的電光學裝置。
全文摘要
在基板上形成像素的繪圖對象區域內，使噴頭一邊掃描一邊隔一定間隔噴出液滴。除了包圍繪圖對象區域的沿著圍堰外周側以外的中央側，設置向繪圖對象區域不噴出液滴的非噴出處。
文檔編號B41J2/07GK1772485SQ200510118
公開日2006年5月17日 申請日期2005年11月2日 優先權日2004年11月8日
發明者長江信明 申請人:精工愛普生株式會社