一種晶圓清洗機的製作方法

2023-07-07 01:37:51

一種晶圓清洗機的製作方法
【專利摘要】本實用新型涉及半導體清洗設備技術領域，具體公開了一種晶圓清洗機，包括相連通的清洗通道和烘乾通道，該兩通道內設有連續的傳送裝置，用於傳送晶圓料盒連續的依次通過該兩通道，烘乾通道上設有送風裝置，用於向烘乾通道內送風，烘乾通道設有出口封閉裝置，包括控制器和與控制器連接的動力擋板、傳感器，動力擋板設於烘乾通道出口處，由控制器控制，能夠封閉和打開該出口，傳感器包括第一傳感器和第二傳感器，分別位於烘乾通道內和烘乾通道出口外，用於偵測在烘乾通道出口內、外的晶圓料盒。本實用新型能夠保證晶圓烘乾需求的情況下，降低烘乾用熱風的使用量，節約送風機電能，降低晶圓清洗機周圍環境的溫度，提高人員工作環境舒適度。
【專利說明】
一種晶圓清洗機
技術領域
[0001 ]本實用新型涉及半導體清洗設備技術領域。
【背景技術】
[0002]為了提高工作效率，現有晶圓清洗機都配套設有烘乾裝置，晶圓在清洗通道內經清洗後由傳送裝置傳送直接進入烘乾通道，利用熱風吹掃使之烘乾。烘乾通道內溫度在75-80度之間，烘乾通道出口為半封閉設計，出口處設有出料口，吹掃熱風通過烘乾通道後經出料口直接進入環境，使得清洗機周圍人員操作環境溫度較高，舒適度差，且吹掃的熱風利用率低，送風機電功耗大，造成能源浪費。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型要解決的技術問題是提供一種晶圓清洗機，能夠保證晶圓烘乾需求的情況下，降低烘乾用熱風的使用量，節約送風機電能，降低晶圓清洗機周圍環境的溫度，提高人員工作環境舒適度。
[0004]為解決上述技術問題，本實用新型所採取的技術方案是:一種晶圓清洗機，包括相連通的清洗通道和烘乾通道，該兩通道內設有連續的傳送裝置，用於傳送晶圓料盒連續的依次通過該兩通道，所述烘乾通道上設有送風裝置，用於向烘乾通道內送風，所述烘乾通道設有出口封閉裝置，包括控制器和與控制器連接的動力擋板、傳感器，所述動力擋板設於烘乾通道出口處，由所述控制器控制，能夠封閉和打開該出口，所述傳感器包括第一傳感器和第二傳感器，分別位於烘乾通道內和烘乾通道出口外，用於偵測在烘乾通道出口內、外的晶圓料盒；
[0005]所述第一傳感器偵測到晶圓料盒時，將其偵測信號發送至所述控制器，所述控制器控制動力擋板打開烘乾通道出口，所述第二傳感器偵測到晶圓料盒時，將其偵測信號發送至所述控制器，所述控制器控制動力擋板封閉烘乾通道出口。
[0006]所述動力擋板包括封閉板和與之固定連接的氣缸，所述氣缸驅動封閉板能夠向下運動，以封閉烘乾通道出口，所述氣缸驅動封閉板能夠向上運動，以打開烘乾通道出口。
[0007]所述封閉板為鋁箔，所述氣缸包括活塞杆，所述鋁箔通過連接件與所述活塞杆固定連接;所述連接件包括吊板和位於吊板下方的支板，所述支板與所述吊板均為長條狀，支板的頂部固定連接於吊板，所述吊板與所述活塞杆固定連接，所述鋁箔與所述支板焊接固定。
[0008]所述送風裝置為軸風機。
[0009]所述傳送裝置包括兩條平行且同步運行的動力傳送帶，對稱分布，貫穿所述清洗通道和烘乾通道。
[0010]動力擋板上在動力傳送帶的對應位置設有缺口，所述缺口的寬度大於動力傳送帶的帶寬，使得動力擋板封閉烘乾通道出口時，動力傳送帶能夠從該缺口穿過動力擋板。
[0011]採用上述技術方案所產生的有益效果在於:本實用新型晶圓清洗機利用封閉裝置自動封閉烘乾通道出口，使得烘乾通道內的熱風形成回流，在烘乾通道內延長停留時間，降低了送風裝置的送風量，提高了熱風的利用率;料盒需要經烘乾通道出口出料時，封閉裝置自動打開烘乾通道出口，同時烘乾通道內經冷卻的熱風大量吹出，新風補入烘乾通道內，保證烘乾效果;熱風在烘乾通道內具有更高的熱交換量，其吹出烘乾通道出口後，對晶圓清洗機周圍環境溫度的影響降低，提高人員工作環境舒適度。
【附圖說明】

[0012]圖1是本實用新型晶圓清洗機的結構不意圖；
[0013]圖2是圖1的右視圖；
[0014]圖3是本實用新型出口封閉裝置的系統框圖；
[0015]圖4是本實用新型出口封閉裝置的一種實施例的結構示意圖。
[0016]其中，1、傳送裝置;2、清洗通道;3、烘乾通道;4、送風裝置;5、氣缸;6、封閉板;7、第一傳感器;8、第二傳感器;9、料盒;1、控制器;11、動力傳送帶;51、吊板;52、支板;61、缺口。
【具體實施方式】
[0017]為了解決現有晶圓清洗機烘乾用熱風利用率低、能耗高、人員操作環境溫度高等技術問題，本實用新型公開了一種晶圓清洗機，通過採用烘乾通道出口設自動封閉裝置的技術手段，能夠提高熱風利用率、節約電能和熱能、改善人員操作環境。
[0018]為了能夠更加清楚地描述本實用新型，下面結合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進一步詳細的說明。
[0019]—種晶圓清洗機，見圖1和圖2，包括相連通的清洗通道2和烘乾通道3，清洗通道2和烘乾通道3均由機罩與工具機圍成前後開口的通道，其前部為清洗通道2，內設噴淋清洗裝置，其後部為烘乾通道3。該兩通道內設有連續的傳送裝置I，用於傳送晶圓料盒9連續的依次通過該兩通道。烘乾通道3上設有送風裝置4，用於向烘乾通道3內送熱風，送風裝置4為軸風機，其送風管道連通於烘乾通道3頂部的送風口，風向在烘乾通道3內由上自下對晶圓吹掃，之後主要經烘乾通道3出口排出。
[0020]烘乾通道3設有出口封閉裝置，見圖1-3，包括控制器10和與控制器10連接的動力擋板、傳感器，動力擋板設於烘乾通道3出口處，由控制器10控制，能夠封閉和打開該出口，傳感器包括第一傳感器7和第二傳感器8，分別位於烘乾通道3內和烘乾通道3出口外，用於偵測在烘乾通道3出口內、外的晶圓料盒9;
[0021]工作狀態時，晶圓料盒9經傳送裝置I傳送向烘乾通道3出口靠近，第一傳感器7偵測到晶圓料盒9時，將其偵測信號發送至控制器10，控制器10控制動力擋板打開烘乾通道3出口，晶圓料盒9經烘乾通道3出口出離烘乾通道3，待晶圓料盒9完全離開烘乾通道3出口，晶圓料盒9繼續遠離烘乾通道3靠近第二傳感器8，第二傳感器8偵測到晶圓料盒9時，將其偵測信號發送至控制器10，控制器10控制動力擋板封閉烘乾通道3出口。
[0022]出口封閉裝置技術原理與日常使用的感應自動門原理相同，控制器10和傳感器採用常用的感應自動門控制系統的控制器和傳感器，如PLC控制器、紅外傳感器。
[0023]第一傳感器7適宜固定在烘乾通道3內機罩上，靠近烘乾通道3出口。第二傳感器8適宜固定在烘乾通道3外工具機上。
[0024]見圖3和圖4，動力擋板包括封閉板6和與之固定連接的氣缸5，氣缸5驅動封閉板6能夠向下運動，以封閉烘乾通道3出口，氣缸5驅動封閉板6能夠向上運動，以打開烘乾通道3出口。
[0025]封閉板6為鋁箔，氣缸5包括活塞杆，鋁箔通過連接件與活塞杆固定連接;連接件包括吊板51和位於吊板51下方的支板52，支板52與吊板51均為長條狀，支板52的頂部固定連接於吊板51，吊板51與活塞杆固定連接，鋁箔與支板52點焊焊接固定。支板52為兩個，對稱分布，作為骨架支撐鋁箔呈展開狀，作為封閉板6使用。
[0026]鋁箔質量小，具有柔性，其對烘乾通道3出口不會形成密閉，在阻擋熱風的同時，保證一定的通風量，使烘乾通道3內風向較為穩定，防止出現強亂流。
[0027]傳送裝置I包括兩條平行且同步運行的動力傳送帶11，對稱分布，貫穿清洗通道2和烘乾通道3。動力擋板的封閉板6上在動力傳送帶11的對應位置設有缺口 61，缺口 61的寬度大於動力傳送帶11的帶寬，使得動力擋板封閉烘乾通道3出口時，動力傳送帶11能夠從該缺口 61穿過封閉板6。動力傳送帶11包括電機和齒輪傳送帶，由電機驅動齒輪傳送帶運動。
[0028]本實施例晶圓清洗機經使用檢驗，改進前原來由兩部軸風機送風，改進後停用一部軸風機也能滿足矽片自動烘乾，節約了能耗，環境溫度明顯降低。
[0029]以上對本實用新型進行了詳細介紹，本實用新型中應用具體個例對本實用新型的實施方式進行了闡述，以上實施例的說明只是用於幫助理解本實用新型，應當指出，對於本技術領域的技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可對本實用新型進行若干改進，這些改進也落入本實用新型權利要求的保護範圍內。
【主權項】
1.一種晶圓清洗機，包括相連通的清洗通道(2)和烘乾通道(3)，該兩通道內設有連續的傳送裝置(1)，用於傳送晶圓料盒(9)連續的依次通過該兩通道，所述烘乾通道(3)上設有送風裝置(4)，用於向烘乾通道(3)內送風，其特徵在於，所述烘乾通道(3)設有出口封閉裝置，包括控制器(10)和與控制器(10)連接的動力擋板、傳感器，所述動力擋板設於烘乾通道(3)出口處，由所述控制器(10)控制，能夠封閉和打開該出口，所述傳感器包括第一傳感器(7)和第二傳感器(8)，分別位於烘乾通道(3)內和烘乾通道(3)出口外，用於偵測在烘乾通道(3)出口內、外的晶圓料盒(9); 所述第一傳感器(7)偵測到晶圓料盒(9)時，將其偵測信號發送至所述控制器(10)，所述控制器(10)控制動力擋板打開烘乾通道(3)出口，所述第二傳感器(8)偵測到晶圓料盒(9)時，將其偵測信號發送至所述控制器(10)，所述控制器(10)控制動力擋板封閉烘乾通道(3)出口。2.根據權利要求1所述的一種晶圓清洗機，其特徵在於，所述動力擋板包括封閉板(6)和與之固定連接的氣缸(5)，所述氣缸(5)驅動封閉板(6)能夠向下運動，以封閉烘乾通道(3)出口，所述氣缸(5)驅動封閉板(6)能夠向上運動，以打開烘乾通道(3)出口。3.根據權利要求2所述的一種晶圓清洗機，其特徵在於，所述封閉板(6)為鋁箔，所述氣缸(5)包括活塞杆，所述鋁箔通過連接件與所述活塞杆固定連接;所述連接件包括吊板(51)和位於吊板(51)下方的支板(52)，所述支板(52)與所述吊板(51)均為長條狀，支板(52)的頂部固定連接於吊板(51)，所述吊板(51)與所述活塞杆固定連接，所述鋁箔與所述支板(52)焊接固定。4.根據權利要求1所述的一種晶圓清洗機，其特徵在於，所述送風裝置(4)為軸風機。5.根據權利要求1所述的一種晶圓清洗機，其特徵在於，所述傳送裝置(I)包括兩條平行且同步運行的動力傳送帶(11)，對稱分布，貫穿所述清洗通道(2)和烘乾通道(3)。6.根據權利要求5所述的一種晶圓清洗機，其特徵在於，動力擋板上在動力傳送帶(11)的對應位置設有缺口(61)，所述缺口(61)的寬度大於動力傳送帶(11)的帶寬，使得動力擋板封閉烘乾通道(3)出口時，動力傳送帶(11)能夠從該缺口(61)穿過動力擋板。
【文檔編號】F26B3/04GK205718209SQ201620568623
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年6月14日
【發明人】王會敏, 何京輝, 李立偉, 張立濤, 張穩, 尚玉曉
【申請人】邢臺晶龍電子材料有限公司