X線檢查裝置的製作方法
2023-07-05 15:48:56 4
專利名稱：X線檢查裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及用以對工業製品等進行透視檢查或CT檢查等的X線檢查裝置。
背景技術：
對工業製品等進行透視檢查的X線檢查裝置中，與X線發生裝置的X線源相對，配置有使影像增強器(以下簡稱為II)與CCD相機組合而成的X線檢測器。最近，利用使用有平板X線檢測器的X線檢查裝置，取代包括II、CCD相機的X線檢測器。
這些X線檢查裝置將平臺配置於X線源與X線檢測器之間，並將被測定物載置於其上，進行透視X線像的拍攝。
在X線檢查裝置的檢查中，通常，為了定位或調整測定倍率、調整測定角度而進行視場移動。視場移動是邊移動平臺邊拍攝被測定物的透視X線動態圖像，以此探測被測定物的檢查位置。繼而，發現檢查位置時視場移動停止，並在此狀態下觀察動態圖像。
在此，透視X線測定中，由於起因於X線發生裝置的原理而產生X線抖動，故而在由X線檢測器檢測抖動的X線並對其拍攝的透視X線像的慧形像差圖像數據(形成動態圖像的一個個圖像數據)中，含有閃爍噪聲。因此，使一個個透視X線像的慧形像差圖像依次顯示的動態圖像顯示中，可觀測到閃爍噪聲。
為了降低該閃爍噪聲，現有技術是將形成動態圖像的多個慧形像差圖像存儲於圖像緩衝存儲器中，並對所存儲的圖像數據與最新的慧形像差圖像數據進行平均化處理(取各像素的平均)而顯示。進行平均化處理後的平均化圖像數據，作為閃爍原因的噪聲成分被平均化而變得平坦。另一方面，動態圖像顯示中的慧形像差圖像數據的顯示更新速度下降。
例如，如圖8(a)所示，根據來自X線檢測器的拍攝信號依次生成慧形像差圖像數據1～4時，對每兩個慧形像差的慧形像差圖像數據進行平均化處理，則如圖8(b)所示，重複進行將兩個慧形像差的慧形像差圖像數據存儲於圖像緩衝存儲器中，通過這些平均化處理運算生成一個平均化圖像數據，並顯示該平均化圖像數據的處理。此時，在兩個慧形像差的慧形像差圖像數據的生成時間間隔，進行平均化圖像數據的更新，故而更新速度降低。進一步將更多慧形像差圖像數據平均化時，更新速度會相應降低，此結果導致無法顯示平均化圖像數據的連續動態圖像，而成為慧形像差發送動態圖像顯示。
此情形在使用平板X線檢測器作為X線檢測器時較為顯著。換言之，相比於使用II及CCD相機的X線檢測器，由於平板X線檢測器原本幀率(framerate)較小，故必然易於成為慧形像差發送顯示。
作為用以改善平均化處理而引起的更新速度下降的其他方法，也可以進行遞歸濾波器處理(參照如專利文獻1)。遞歸濾波器處理如圖8(c)所示，是通過對最新的慧形像差圖像數據，將某加權後的前次圖像數據(前次圖像數據自身也進一步接受其前次圖像數據的遞歸濾波器處理)與之進行加算並校正，以使閃爍噪聲降低的圖像處理方法。由此可以與原本慧形像差圖像數據的動態圖像顯示具有相同程度的更新速度，故在更新速度的降低方面，能夠通過遞歸濾波器處理而改善。
而且，透視X線測定中，從畫質提升角度而言，優選的是，使像素數儘可能多，而隨著像素數的增多，動態圖像顯示的負荷也增大，圖像數據的更新速度對應於像素數的增大而變慢。
為了改善動態圖像顯示的更新速度，將鄰接的多個像素視為一個像素，進行圖像數據生成的組合(binning)處理，以提高更新速度。(參照如專利文獻2)。
專利文獻1日本專利特開2000-316835號公報專利文獻2日本專利特開2001-231779號公報如上所述，通過對慧形像差圖像數據進行平均化處理，可以消除閃爍噪聲，但又產生更新速度降低的問題。
利用遞歸濾波器處理，可以解決閃爍噪聲與更新速度下降的問題，但是通過視場移動而使被測定物的透視X線像移動時，在顯示畫面上留有被測定物殘像，並產生圖像模糊。即使被測定物停止後許久(大於等於數秒)，圖像模糊仍持續，由於此期間成為等待時間，故出現對於視場移動的隨動性問題。
對於更新速度下降，可以通過組合處理，提高動態圖像更新速度。但是通過組合處理而使像素數實際減少的部分，解析度下降，並使畫質劣化。
如上所述，畫質提升與對於視場移動的隨動性是相反的課題，同時解決此兩個課題較為困難。
發明內容
因此，本發明的目的在於提供一種使用方便的X線檢查裝置，在此X線檢查裝置中，解決以下兩個相反的課題，即，一個是畫質改善，另一個是對於視場移動的隨動性的改善。
為了解決上述課題，本發明根據狀況，在以下兩者間切換，即以畫質優先而顯示動態圖像，或是以對於視場移動的隨動性優先而顯示動態圖像。
即，本發明的X線檢查裝置包括X線測定光學系統，該X線測定光學系統包括將透視用X線照射至被測定物的X線發生裝置，以及對被測定物的透視X線像進行拍攝的X線檢測器；慧形像差圖像數據生成部，根據由X線檢測器所拍攝的影像信號，對每一個慧形像差重複並生成透視X線像的慧形像差圖像數據；精密圖像數據生成部，將精密圖像數據生成用圖像數據存儲於圖像緩衝存儲器中，並使用所存儲的圖像數據與最新的透視X線像的慧形像差圖像數據，生成精密圖像數據；顯示裝置，顯示圖像數據；視場調整部，對被測定物與X線測定光學系統的位置關係進行調整，以使對被測定物的測定視場發生變動；視場變動判定部，判定測定視場有無變動；以及圖像模式切換部，當判定為視場有變動時，顯示慧形像差圖像數據，當判定為視場固定時，顯示精密圖像數據。
此處，作為X線檢測器，任何能夠將透視X線像作為影像信號而輸出的裝置均可，尤其是，使用幀率並不大的平板X線檢測器時，本發明的有效性較為顯著。
而且，存儲於圖像緩衝存儲器中的「精密圖像數據生成用圖像數據」，是在閃爍噪聲消除處理中所使用的圖像數據，較理想的是，與透視X線像的最新的圖像數據具有相同視場的圖像數據。具體而言，優選的是，將以與最新的慧形像差圖像數據相同視場在以前所拍攝的慧形像差圖像數據或者前次所生成的精密圖像數據作為「精密圖像數據生成時所使用的圖像數據」而存儲。
而且，視場調整部能夠通過改變被測定物與X線測定光學系統之間的相對位置關係而調整視場，因而如果是可將被測定物、X線發生裝置、以及X線檢測器中至少任一個進行的機構的話就可以。
另外，視場變動判定部可以在使視場發生變動時，根據從視場調整部發送的控制信號，對視場變動進行判定，也可以使用能夠檢測出視場調整部變動的傳感器(例如平臺位置傳感器)，對視場變動進行判定。
根據本發明，慧形像差圖像數據生成部根據來自X線檢測器的影像信號，對每一個慧形像差連續生成透視X線像的慧形像差圖像數據。各個慧形像差圖像數據含有閃爍噪聲。精密圖像數據生成部將精密圖像數據生成用圖像數據存儲於圖像緩衝存儲器中，並且使用所存儲的圖像數據與最新的透視X線像的慧形像差圖像數據，生成最新的精密圖像數據。此精密圖像數據經過平均化等，成為閃爍噪聲消除的圖像數據。另一方面，通過視場調整部而使對被測定物的測定視場產生變動，視場變動判定部對測定視場有無變動加以判定。
圖像模式切換部當判定為視場有變動時，顯示慧形像差圖像數據。換言之，在視場移動時，觀察者為了指定觀察部位，有最低限度的畫質便足夠，而另一方面，由於必須改良對於視場移動的隨動性，使得移動時不迷失目前的觀察部位，故而顯示慧形像差圖像數據生成部所生成的慧形像差圖像數據。
而且，圖像模式切換部當判定視場無變動時，顯示精密圖像數據。即，視場變動終止而處於固定狀態時，無需視場隨動性，因而顯示畫質較好的圖像數據。
如上所述，根據視場是處於變動中，或是處於固定中的狀況，進行重視隨動性的顯示(慧形像差圖像顯示)，或者重視畫質的顯示(精密圖像模式)。
根據本發明，畫質良好的顯示與隨動性良好的顯示，可以根據狀況自動切換，因而成為使用方便的X線檢查裝置。
在上述發明中，精密圖像數據生成部也可以使用存儲於圖像緩衝存儲器中的精密圖像生成用圖像數據、以及最新的透視X線像的慧形像差圖像數據，進行遞歸濾波器處理或平均化處理。
此處，優選的是，在遞歸濾波器處理時，使用前次生成的精密圖像數據作為精密圖像生成用圖像數據，在平均化處理時，使用慧形像差圖像數據生成部生成的最近的多個慧形像差的慧形像差圖像數據作為精密圖像數據。
由此，之前的精密圖像數據或最近的慧形像差圖像數據，除非通過視場調整部而產生變動，否則視場相同，因此能夠獲得圖像模糊較少的精密圖像數據。
此時，進而精密圖像數據生成部當由視場變動判定部判定為測定視場有變動時，也可以廢棄存儲於圖像緩衝存儲器中的精密圖像生成用圖像數據。
由此，最新的慧形像差圖像數據，可以避免根據不同測定視場的圖像數據而生成精密圖像數據，故而能夠生成無圖像模糊的精密圖像。
而且，上述發明中也可以是，慧形像差圖像數據生成部當由視場變動判定部判定為測定視場有變化時，進行組合處理，生成慧形像差圖像數據；當判定為測定視場無變化時，不進行組合處理，生成慧形像差圖像數據。
由此，視場變動時，通過組合處理能夠進一步提高圖像的隨動性，在視場被固定以後，由通常的慧形像差圖像數據，能夠生成精密圖像。
圖1是表示本發明的一實施形態即X線檢查裝置的結構方塊圖。
圖2是圖1的X線檢查裝置的測定操作(顯示處理操作)的流程圖。
圖3是對圖1的X線檢查裝置在每個顯示處理中，顯示畫面以及圖像緩衝存儲器狀態的說明圖。
圖4是對顯示畫面所顯示的圖像例的說明圖。
圖5是表示本發明其他一實施形態即X線檢查裝置的結構方塊圖。
圖6是圖5的X線檢查裝置的測定操作(顯示處理操作)的流程圖。
圖7是對圖5的X線檢查裝置在每個顯示處理中，顯示畫面以及圖像緩衝存儲器狀態的說明圖。
圖8是對先前X線檢查裝置進行的平均化處理或者遞歸濾波器處理的說明圖。
1、2 X線檢查裝置11X線發生裝置12X線檢測器13X線測定光學系統14視場調整機構15控制系統16平臺17三維驅動機構21CPU22輸入裝置23顯示裝置24圖像緩衝存儲器31慧形像差圖像數據生成部32精密圖像數據生成部(遞歸濾波器處理用)33視場調整控制部34視場變動判定部35圖像模式切換部36存儲圖像數據消除部37精密圖像數據生成部(平均化處理用)具體實施方式
以下，利用圖式，就本發明的實施形態進行說明。再者，本發明並未限定於以下所說明的實施形態，在不脫離本發明宗旨的範圍內，各種形態自然也包含於本發明中。
(實施形態1)圖1是表示發明的一實施形態即X線檢查裝置的結構方塊圖。該X線檢查裝置1包括X線測定光學系統13，該X線測定光學系統13由X線發生裝置11以及X線檢測器12構成；視場調整機構14，對被測定物的測定視場進行調整；以及控制系統15，對裝置全體進行控制。
控制系統15包括通用的電腦裝置，將其硬體進一步分塊化說明，包括CPU21；鍵盤、滑鼠等輸入裝置22；液晶面板等顯示裝置23；以及存儲圖像數據的圖像緩衝存儲器24。
另外，將CPU21的處理功能分塊化說明，則分為慧形像差圖像數據生成部31；精密圖像數據生成部32；視場調整控制部33；視場變動判定部34；圖像模式切換部35；以及存儲圖像數據消除部36。
構成X線測定光學系統13的X線發生裝置11包括透視X線照射用X線管。另外，X線檢測器12使用由X線轉換層以及附帶TFT電路基板構成的平板X線檢測器，將在X線轉換層所拍攝的透視X線像讀取至形成於TFT電路的每個像素電極，並作為影像信號而輸出。
視場調整機構14包括平臺16，用於載置被測定物S；以及三維驅動機構17，通過使平臺16移動於平臺面方向即二維XY方向，而調整檢查位置，並且通過使平臺16移動於垂直於平臺面的方向即Z方向，而調整測定倍率，該視場調整機構14通過視場調整控制部33而控制。通過該平臺16的移動，對被測定物S的透視X線進行視場調整。即，通過視場調整機構14與視場調整控制部33，作為視場調整部發揮功能。
以下就CPU21的各功能塊進行說明。慧形像差圖像數據生成部31根據從X線檢測器12發送而來的透視X線像的影像信號，連續進行數字圖像化處理，並控制生成慧形像差圖像數據Dn。具體而言，例如以8慧形像差/秒生成慧形像差圖像數據Dn。再者，所生成的一個個慧形像差圖像Dn中含有閃爍噪聲。
另外，慧形像差圖像數據生成部31在進行影像信號的數字圖像化處理時，為了提高處理速度，可以將鄰接的多個像素(例如2×2像素)視為一個像素，進行圖像處理的組合處理。是否進行組合處理，根據下述視場變動判定部34的判定結果而決定。
精密圖像數據生成部32在慧形像差圖像數據生成部31每次生成透視X線像的最新的慧形像差圖像數據Dn時，讀取前次精密圖像生成時所生成、並存儲於圖像緩衝存儲器24的精密圖像數據Cn-1，進行將最新的慧形像差圖像數據Dn以預先設定的比率加算至精密圖像數據Cn-1的圖像處理，並進行將所獲得的圖像數據作為最新的精密圖像數據Cn，存儲於圖像緩衝存儲器24中的處理(遞歸濾波器處理)。由此，精密圖像數據Cn在每次生成最新的慧形像差圖像數據Dn時進行更新。再者，初次生成精密圖像數據時，由於圖像緩衝存儲器24中並未存儲有前次的精密圖像數據，故而作為形式上存儲有空白慧形像差圖像D0而進行處理。過渡期間暫且殘留有閃爍噪聲，但隨即可形成清晰的精密圖像數據。
視場調整控制部33在操作者通過輸入裝置22而發出使平臺16在XY方向、或者Z方向上移動的指示時，控制三維驅動機構17，並控制使平臺16向期望的位置移動。
視場變動判定部34根據從視場調整控制部33發送至三維驅動機構17的驅動信號，對有無視場變動進行判定處理。即，當驅動信號發送時平臺16移動，故判定為視場處於變動中，當驅動信號未發送時，判定為視場處於固定中。
圖像模式切換部35根據視場變動判定部34的判定結果進行控制，當視場變動時，在顯示裝置23的畫面顯示慧形像差圖像數據Dn；當視場固定時，顯示精密圖像數據Cn。
存儲圖像數據消除部36根據視場變動判定部34的判定結果進行控制，當視場變動時，消除存儲於圖像緩衝存儲器24中的圖像數據。
其次，就該X線檢查裝置1的測定操作(顯示處理操作)進行說明。圖2是表示測定動作的流程圖。
將被測定物S載置於平臺16上，開始測定。通過對平臺16的控制信號進行監控，判定平臺16是處於移動中或是處於停止狀態(S101)。
當判定為平臺16停止時，使組合處理功能為OFF狀態(S102)，生成慧形像差圖像數據Dn(S103)。
繼而使遞歸濾波器為ON狀態(S104)，根據存儲於圖像緩衝存儲器24中的精密圖像生成用圖像數據(前次生成的精密圖像數據Cn-1)與最新的慧形像差圖像數據Dn，生成新的精密圖像數據Cn，並存儲(更新)於圖像緩衝存儲器24中(S105)。
接著，將所生成的最新的精密圖像數據Cn顯示於顯示裝置23的畫面中(S106)。
以後，返回S101，重複處理。
另一方面，在S101中，當判定為平臺16處於移動中時，為了避免產生圖像模糊，而消除存儲於圖像緩衝存儲器24中的精密圖像生成用圖像數據(前次所生成的精密圖像數據Cn-1)(S107)。換言之，在數據處理上是將空白精密圖像數據CO加以存儲。
然後，為了進一步進行隨動性優先的處理，使組合處理功能為ON狀態(S108)，以進行組合處理，生成慧形像差圖像數據D′n(S109)。
接著，使遞歸濾波器為OFF狀態(S110)，由於未使用精密圖像數據C』n，故而未生成精密圖像數據C′n。圖像緩衝存儲器24中也未存儲有精密圖像數據C』n(使存儲有空白的精密數據CO)。
然後，將最新的慧形像差圖像數據D′n顯示於顯示裝置的畫面中(S111)。
以後返回S101，重複處理。
圖3是在平臺16停止後，重複進行圖2所說明的顯示處理時，對每次慧形像差圖像數據、存儲於圖像緩衝存儲器中的精密圖像數據、以及顯示於顯示裝置23的畫面中的圖像數據的一例的說明圖，圖4是顯示於顯示裝置23的畫面中的圖像例。此例中，在第7次顯示處理前使平臺移動，在第10次顯示處理前，使平臺停止。
此處說明是，通過遞歸濾波器處理，直至顯示閃爍噪聲消除的圖像為止，必須重複至少4次遞歸濾波器處理，此前顯示含有閃爍噪聲的臨時精密圖像數據，此後顯示穩定的精密圖像數據。
由操作者開始測定動作(顯示處理)，通過初次的顯示處理，生成最初的慧形像差圖像數據D1，在圖像緩衝存儲器24中存儲精密圖像數據C0(空白精密圖像數據)與由之前的慧形像差圖像數據D1進行遞歸濾波器處理所獲得的圖像數據C1。但是，由於圖像數據C1含有閃爍噪聲，因而是臨時精密圖像數據。在顯示裝置23中顯示臨時精密圖像數據C1。
同樣地，通過第2次顯示處理(第3次顯示處理)，生成慧形像差圖像數據D2(D3)，將臨時精密圖像數據C2(C3)存儲於圖像緩衝存儲器中，並且顯示於顯示裝置23中。
通過第4次顯示處理，生成慧形像差圖像數據D4。如果由存儲於圖像緩衝存儲器24中的精密圖像數據C3進行遞歸濾波器處理，由於已重複進行必要次數的遞歸濾波器處理，故而可獲得無閃爍噪聲的精密圖像數據C4。將此存儲於圖像緩衝存儲器24中，並在顯示裝置23的畫面中顯示最新的精密圖像數據C4。圖4(a)是表示此時的圖像例，顯示有無閃爍噪聲的精密圖像。
以後，第5次顯示處理(第6次顯示處理)中，慧形像差圖像數據D5(D6)進行精密圖像數據C5(C6)的更新。
在第7次顯示處理之前，平臺16移動時，為了提高對於變動的隨動性，使組合處理為ON狀態，通過組合處理而生成慧形像差圖像數據D′7。此時，存儲於圖像緩衝存儲器24中的精密圖像數據C6被消除，成為形式上存儲有空白精密圖像數據C0的狀態。而且，顯示裝置23的畫面中，顯示有慧形像差圖像數據D′7。圖4(b)是表示此時的圖像例，顯示含有閃爍噪聲並且由組合處理所形成的粗糙圖像。由於平臺在移動中，故而畫質在上述情形即足夠，且被測定物S的透視X線像能夠以良好隨動性而顯示。
第8次顯示處理(第9次顯示處理)中，生成慧形像差圖像數據D′8(D′9)，並對顯示裝置畫面中所顯示的圖像進行更新。
如果在第10次顯示處理以前，平臺移動停止，則組合處理成為OFF狀態，並生成通常的慧形像差圖像數據D10。在圖像緩衝存儲器24中存儲有形式上的精密圖像數據C0(空白精密圖像數據)與由之前的慧形像差圖像數據D10通過遞歸濾波器處理所獲得的精密圖像數據C10。但是，由於圖像數據C10含有閃爍噪聲，因而是臨時精密圖像數據。在顯示裝置23中顯示臨時精密圖像數據C10。
同樣地，通過第11次顯示處理(第12次顯示處理)，生成慧形像差圖像數據D11(D12)，將臨時精密圖像數據C11(C12)存儲於圖像緩衝存儲器24中，並且顯示於顯示裝置23中。
進而，通過第13次顯示處理，生成慧形像差圖像數據D13，由於已重複進行必要次數的遞歸濾波器處理，因而可以獲得無閃爍噪聲的精密圖像數據C13。圖4(c)是表示此時的圖像例，顯示無閃爍噪聲的精密圖像。
通過以上處理操作，在利用平臺移動而改變視場期間，能夠對變動具有良好隨動性的動態圖像進行顯示，而在平臺成為停止狀態，視場被固定以後，由於能夠顯示遞歸濾波器處理產生的精密圖像，因此可以根據狀況而實現最佳的顯示模式，並可以作為使用方便的X線檢查裝置。
(實施形態2)上述X線檢查裝置1，是在生成精密圖像數據時進行遞歸濾波器處理，也可以替代此方法，通過平均化處理而生成精密圖像數據。
圖5是說明由平均化處理而生成精密圖像數據的X線檢查裝置2的結構的方塊圖。圖5中，構件與圖1相同的構件給予相同的符號，並省略說明。
進行平均化處理的X線檢查裝置2包括執行平均化處理而生成精密圖像數據的精密圖像數據生成部37，以取代執行遞歸濾波器處理而生成精密圖像數據的精密圖像數據生成部32。
精密圖像數據生成部37實施控制，在慧形像差圖像數據生成部31每次生成透視X線像的最新的慧形像差圖像數據Dn時，與該最新的圖像數據Dn一同，使用存儲於圖像緩衝存儲器24中的慧形像差圖像數據Dn-4、Dn-3、Dn-2、Dn-1(「精密圖像數據生成時所使用的圖像數據」)，進行平均化處理(求出各像素的平均值)，生成新的精密圖像數據Cn，並將所生成的最新的精密圖像數據Cn與最新的圖像數據Dn一同存儲於圖像緩衝存儲器24中。此時，將超過圖像緩衝存儲器24的存儲容量的慧形像差圖像數據加以存儲時，從舊的慧形像差圖像數據開始廢棄。而且，平臺停止後，在圖像緩衝存儲器24中未存儲有必要數量的慧形像差圖像數據時，例如也可以存儲有作為形式上空白慧形像差圖像數據D0，而形式上進行平均化處理。
該Dn-1是之前(前次)生成的慧形像差圖像數據，Dn-2是Dn-1的前一次所生成的慧形像差圖像數據，Dn-3是Dn-2的前一次所生成的慧形像差圖像數據，Dn-4是Dn-3的前1次所生成的慧形像差圖像數據。此處，為方便起見，最新的圖像數據Dn與所存儲的4慧形像差的慧形像差畫像數據Dn-4、Dn-3、Dn-2、Dn-1進行平均化處理，存儲的慧形像差圖像數據數越增加，越可以減少閃爍噪聲。但是，由於必須具有相應的存儲容量，因此根據所要求的畫質，使其為適當的存儲容量。
圖6是表示X線檢查裝置2的測定操作的流程圖。與圖2不同的部分是S204(圖2中為S104)及S210(圖2中為S110)，總之是將遞歸濾波器處理換為平均化處理，處理流程相同。
圖7與圖3同樣地，是在平臺16停止後，重複進行圖6所示流程圖的顯示處理時，對每次慧形像差圖像數據、存儲於圖像緩衝存儲器24中的精密圖像數據、以及顯示於顯示裝置23的畫面中的圖像數據的一例的說明圖。
平均化處理中，作為存儲於圖像緩衝存儲器24中的圖像數據，與圖3不同的是，含有精密圖像數據Cn，並且含有多個慧形像差最近的慧形像差圖像數據Dn-4、Dn-3、Dn-2、Dn-1，除此而外基本上與圖3相同。
如此，進行平均化處理時，與遞歸濾波器處理的例子同樣，在利用平臺移動而改變視場期間，能夠進行對變動具有良好隨動性的動態圖像顯示；而在平臺成為停止狀態，視場被固定後，能夠顯示平均化處理產生的精密圖像，因此根據狀況，可以實現最佳的顯示模式，並可以作為使用方便的X線檢查裝置。
再者，上述兩個實施形態的說明中，均使用平板X線檢測器，也可以適用在使用將II與CCD相機組合而成的X線檢測器等情形。而且，上述實施形態中對X線透視裝置加以說明，本發明也可以適用於X線CT裝置。
本發明能夠根據視場處於變動中或是處於固定中的狀態，而在切換顯示形態的X線檢查裝置中利用。
權利要求
1.一種X線檢查裝置，其特徵在於，包括X線測定光學系統，該X線測定光學系統包括將透視用X線照射至被測定物的X線發生裝置，以及對被測定物的透視X線像進行拍攝的X線檢測器；慧形像差圖像數據生成部，根據由X線檢測器所拍攝的影像信號，對每一個慧形像差重複並生成透視X線像的慧形像差圖像數據；精密圖像數據生成部，將精密圖像數據生成用圖像數據存儲於圖像緩衝存儲器中，並使用所存儲的圖像數據與最新的透視X線像的慧形像差圖像數據，生成精密圖像數據；顯示裝置，顯示圖像數據；視場調整部，對被測定物與X線測定光學系統的位置關係進行調整，以使對被測定物的測定視場發生變動；視場變動判定部，判定對測定視場有無變動；以及圖像模式切換部，當判定為視場有變動時，顯示慧形像差圖像數據，當判定為視場固定時，顯示精密圖像數據。
2.如權利要求1所述的X線檢查裝置，其特徵在於精密圖像數據生成部通過使用存儲於圖像緩衝存儲器中的精密圖像生成用圖像數據、以及最新的透視X線像的慧差圖像數據，進行遞歸濾波器處理或平均化處理，生成精密圖像數據。
3.如權利要求2所述的X線檢查裝置，其特徵在於精密圖像數據生成部在通過視場變動判定部而判定為測定視場有變動時，廢棄存儲於圖像緩衝存儲器中的精密圖像生成用圖像數據。
4.如權利要求1所述的X線檢查裝置，其特徵在于慧形像差圖像數據生成部當由視場變動判定部判定為測定視場有變動時，進行組合處理，生成慧形像差圖像數據；當判定為測定視場無變動時，不進行組合處理，生成慧形像差圖像數據。
5.如權利要求1所述的X線檢查裝置，其特徵在於視場調整部包括視場調整機構；以及視場調整控制部，其控制視場調整機構。
6.如權利要求5所述的X線檢查裝置，其特徵在於視場調整機構，包括平臺，用於載置被測定物；以及三維驅動機構，通過使平臺移動於平臺面方向，而調整檢查位置，並且通過使平臺移動於垂直於平臺面的方向，而調整測定倍率。
7.如權利要求6所述的X線檢查裝置，其特徵在於視場調整控制部控制三維驅動機構，使平臺向期望的位置移動。
8.如權利要求7所述的X線檢查裝置，其特徵在於視場變動判定部根據從視場調整控制部發送至三維驅動機構的驅動信號，對有無視場變動進行判定處理。
全文摘要
一種使用方便的X線檢查裝置，解決畫質提升與對於視場移動的隨動性的相反課題。X線檢查裝置包括X線測定光學系統，其由X線發生裝置以及X線檢測器構成；慧形像差圖像數據生成部，根據由X線檢測器所拍攝的影像信號，對每個慧形像差重複並生成透視X線像的慧形像差圖像數據；精密圖像數據生成部，將精密圖像數據生成用圖像數據存儲於圖像緩衝存儲器中，並使用所存儲的圖像數據與最新的透視X線像的慧形像差圖像數據，生成精密圖像數據；顯示裝置，顯示圖像數據；視場調整部，對被測定物與X線測定光學系統的位置關係進行調整，以使對被測定物的測定視場產生變動；視場變動判定部，對測定視場有無變動加以判定；以及圖像模式切換部，當判定為視場有變動時，顯示慧形像差圖像數據，當判定為視場固定時，顯示精密圖像數據。
文檔編號G01N23/02GK1928537SQ20061009900
公開日2007年3月14日 申請日期2006年7月12日 優先權日2005年9月7日
發明者立澤嘉浩 申請人:株式會社島津製作所