運輸箱的製作方法
2023-12-12 07:22:52 1
專利名稱：運輸箱的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種半導體晶片的運輸載體，特別是關於一種存貯和運輸晶片的可密封的容器。
多年來，在半導體製造行業廣泛採用稱為運輸箱的可密封的附件，來實現在各生產階段之間和／或各設施之間半導體晶片的存貯和運輸。眾所周知，半導體晶片特別容易受到汙染物例如微粒的損害。因此，在半導體晶片被存貯和加工裝入電路的保潔室和其他環境條件下，為了消除汙染物的損害需要採取特別的防護措施。
目前一般採用SMIF(標準化機械接合面)式箱來為200MM或更小尺寸的晶片提供清潔密封的微環境。這種公知箱的結構實例參見US-4，532，970和4，534，389。這種SMIF箱通常具有透明的箱式外殼，外殼的下部帶有門框或限定一個敞開的底面的邊緣和一個可鎖住的門。所述門框夾緊在加工設備上，該加工設備上的一個門和關閉敞開的底面的下部SMIF箱門從外殼同時向下，進入所述加工設備內的密封的加工環境。在SMIF箱門內側的頂表面上形成有獨立的帶有晶片的H-條運輸載體，它與箱門同時向下，用於所述晶片的進入和加工。在這種小箱中，當存貯和運輸晶片時，晶片的重量直接作用在門上。
當前半導體製造行業越來越致力於利用較大和較重的晶片，特別是300MM的晶片。根據新的工業標準，用於運輸這種晶片的載體不是從箱體下面開門，而是從前面開門，通過前門放入和取出晶片。晶片的重量不再由門支撐，而是由包括透明塑料外殼(例如聚碳酸酯)和其他組件形成的容器支撐，容器是用產生低粒子的塑料(例如聚醚酮醚(POLYETHERETHERKETONE))注塑製成的。這種容器通常是由多個部件共同安裝在一起構成的。
在處理和加工半導體晶片過程中，產生的靜電是一直需要關注的問題，靜態放電會損害和毀壞半導體晶片。因此，必須採取措施使任何可能導致靜態放電的電位差儘可能小。常規的H-條運輸載體是由普通的靜態消散材料製成的，例如充填有聚醚酮醚(PEEK)和聚碳酸酯(PC)的碳。
用於300MM組件的新的工業標準要求機器界面，例如運動偶合在該組件的底面上，以便使該組件能夠重複性地和精確地與相關的加工設備對齊。這樣就允許機械手裝置將門安裝到該組件的前面、打開門和以一定精確度放入和取出水平放置的晶片。特別關鍵的是將晶片放置到特定的高度上和相應於設備機器界面定位，使晶片不會在機械手取出和放入晶片時遭到損害。
由於注塑中的不一致性，這些組裝的塑料散件存在不一致性，導致在這些部件之間存在開縫，每個單獨的部件的公差累積使組裝的組件的臨界尺寸可能產生不希望的變化。
公知的前面開門的300MM運輸箱由多個部件組成，包括在機器接合面和晶片支撐體之間的多個部件。這導致在製造運輸箱過程中很難保證在晶片平面和機器接合面之間具有可容許的公差。另外，這種組件具有一條接地的通路，從晶片架到機器接合面，途經幾個帶有螺釘的不同的部件。
300MM晶片在尺寸上和重量上都大於200MM晶片，因此需要利用結構更結實的運輸箱成批運輸晶片。一般對於200MM晶片的SMIF箱組件，通過抓住外殼上門框和門的接縫處的下邊緣，能夠人工運輸。為此，對於底部開口的運輸箱，在外殼的頂部設置了操作手柄。為了運輸300MM晶片的更大、更重的龐大組件，最好還提供側面手柄。對於特定的用途，可以利用機械手裝置移動300MM組件，無需安裝任何手動操作箱體的手柄等裝置，這時用自動提升凸緣代替人工的操作手柄。
此外，由於晶片易於受潮或受到粒子和其他汙物的汙染，應使進入箱體內部的入口數量儘可能少。儘量避免在塑料箱體的內部和外部之間存在通道或開裂，例如在固定件之處或在分立部件接縫之處。任何必要的通道必須被充分地密封。
而且，在半導體晶片容器或箱內的任何位置不希望採用金屬的固定件或其他金屬部件。當金屬部件磨損或擦傷時，非常容易產生破壞性的微粒。在安裝組件時採用固定件容易引起磨損或擦傷。因此應避免使用金屬固定件或金屬部件組裝晶片運輸箱。
前開口式晶片運輸箱包括一個具有透明外殼的容器，和一個中央支撐結構，它帶有一個位於運輸箱底面上的機器接合面和在所述容器內向上延伸的用於支撐晶片的整體式晶片支撐柱。另外，上述外殼的側壁帶有凹進部分，其上具有與可拆卸手柄上的配合件相配合的配合件。這個手柄採用棘爪在箱體的側壁上的凹進部分內鎖定就位。將手柄附著在側壁上無需打通該箱體的內外壁。
本發明的特點和優點在於各部件不存在相對於機器接合面高度和晶片架上的晶片高度的公差累積現象。一般由多個部件形成上述的機器接合面高度和晶片高度，每個部件各帶有加工公差，當這些部件組裝成晶片運輸箱時，這些公差累積。這種現象將導致單個部件的較高的報廢率和／或組裝箱的平面的較高的報廢率。而本發明採用單個的集成部件形成機器接合面和晶片支撐件。
本發明的另一個優點是提供了無間斷的接地通道，從每個晶片支撐架延伸到所述的機器接合面。
本發明的又一個優點是承載晶片的中央支撐結構通過下開口安裝在外殼上，並且該中央支撐結構相對於所述外殼旋轉固定就位。這種固定不需用金屬固定件。
另外，中央支撐結構通過頂部並鎖定在外殼上，該頂部具有一個伸入外殼頂部開口內的安裝環和與中央支撐結構的頂部滑動配合併因此將中央支撐結構非旋轉地鎖定到外殼上的自動提升凸緣。這裡同樣無需金屬固定件。
本發明的又一個目的和優點是箱體內外之間的縫隙或開口採用例如高彈密封材料進行密封。這些縫隙或開口不象前門的形狀，由於它們是圓環形的，因此密封環為O形環。
本發明的另一目的和優點是在箱體上可以增加和卸下手柄，而且無需金屬安裝件或其他分立的固定件，也無需在箱體側壁上開口或留縫隙。
本發明的另一目的和優點是當需要清掃和／或維修更換部件時，易於拆卸零部件。
圖1是本發明的運輸箱體的透視圖，圖2是本發明的一個運輸箱實施例的容器箱體的透視圖，圖3是本發明的運輸箱門的內面板的實施例的透視圖，圖4是表示運輸箱各個組件的分解視圖，圖5是該運輸箱的容器部分的透視圖，圖6是引入結構的透視圖，
圖7是容器部分的外殼的底視圖，圖8是中央支撐結構的頂部平面視圖，圖9是沿圖8的剖線9-9剖開的剖視圖，圖10是沿圖7的剖線10-10剖開的剖視圖，圖11是中央支撐結構的頂部的前立面視圖，圖12是包括機械手凸緣的第二連接件的前立面視圖，圖13是沿圖8的剖線13-13剖開的剖視圖，圖14是手柄的前立面視圖，圖15是手柄的側立面視圖，圖16是具有容納手柄的凹進部分的外殼的側立面視圖，圖17是沿圖16的剖線17-17剖開的剖視圖，圖18是本發明又一實施例的立面視圖，集中表示手柄和容納手柄的凹進部分，圖19是沿圖18的剖線19-19剖開的剖視圖，圖20是沿圖18的剖線20-20剖開的剖視圖，圖21是手柄的又一實施例的箱體部分的側立面視圖，圖22是該手柄的側立面視圖，圖23是沿圖21的剖線23-23剖開的剖視圖，圖24是沿圖21的剖線24-24剖開的剖視圖。
現參照圖1、2和3，圖中晶片運輸箱用標號20表示，它主要包括一個容器部分22和一個門24。容器部分包括一個自動提升凸緣26和手動提升手柄28。門24上帶有手動打開的手柄30和一個鑰匙孔32，通過它自動操縱裝置能夠打開門。圖2表示容器部分和其敞開的內部36，在所述敞開的內部成批支撐和存放著多個晶片38。圖3表示門的側表面40。這種門帶有一對晶片減震器42，當門就位後，起到固定晶片和減震作用。晶片減震器由彈性注塑材料製成的柔性齒44。門24安裝在容器22上的門框46上，插銷48從門板50上伸縮，與門框46上的凹坑54相互嚙合。門24帶有圖中未示出的一對內部鎖定機構，它們各自獨立通過手動門手柄30或鑰匙孔32操作。圖3也表示一個加工設備55，它的自動操縱接合面56與晶片運輸箱20相互配合。
參見圖4，這是運輸箱詳細結構和各種組件的立面視圖。容器部分22主要由外殼58和中央支撐結構60構成。
外殼58的頂部64具有一個開口70、一個帶有下開口70的底面68、一個敞開的前側72、一個左側壁74、一個右側壁76，它們都帶有朝內凹進的凹坑78式的手柄接收部分。這個凹坑朝內突出，但是在容器的內部74和外部之間沒有裂縫、開口或開孔。這些側壁是連續的和牢固的。手柄接收部分包括形成在側壁上的內凹平面區80。
中央支撐結構60包括一底面，它構形成板狀的設備配合面並具有三個包括運動偶合聯接的接合結構88。一對晶片支撐柱92與設備配合面86整體形成，每個柱包括多個支架94，這對支架限定了一個晶片接收區95。每個支架帶有晶片存放部分96。晶片支撐柱92與頂部100也整體形成，頂部100上的橫跨件101在支撐柱92的頂部98之間延伸，其上包括一個第一連接件104。
中央支撐結構60向上伸入外殼58的下開口70內部，第一連接件向上穿過外殼58頂部64上的開口66。第二連接件106滑入第一連接件104，將中央支撐結構60保持在外殼內。第二連接件106為凸緣形狀，與自動提升手柄108整體形成。外殼還包括第一嚙合件112，它是支撐結構嚙合區113的一部分，與在中央支撐結構60上的外殼嚙合區115的第二嚙合件114相互嚙合。這些相互嚙合件也起到將中央支撐結構固定到外殼內部的作用。第一O形環118在中央支撐結構的頂部100和外殼的頂部64之間嚙合形成密封。類似地，第二O形環120實現在設備配合面86和架子底面68之間的密封。參見圖5，圖中示出拆去了門24的運輸箱20敞開的內部36和各種內部結構。這個特定的實施例採用引入結構122，該引入結構與在側壁74、76上的內表面130上的導軌124、126相互嚙合形成整體。如圖6所示，每個引入結構採用窄長的嚙合件136安裝在導軌124、126內。引入結構122帶有齒138，由這些齒形成了槽140，它們基本上與晶片支撐柱92的架子94上形成的槽142平行並且相關。當手動插入晶片(而不是自動插入)時，一般需要用引入結構引導，當將多個晶片逐一送入和從運輸箱取出時，引入結構122也可以展開支撐每個晶片。
從圖4、5和圖8可以清楚看出，中央支撐結構的下部包括一個設備配合面86，它具有一個平坦的頂部表面170和一個過渡到較低平面176的臺階174。應注意，這個較低平面面對外殼58底部68上的朝內延伸的部分180，這個朝內延伸的部分180並不象弦那樣均勻地延伸經過下面的公用環形開口70；一個嵌入部分184允許中央支撐結構60滑動旋轉調整位置，脫離其完全校直的位置，以便將第二嚙合件插入在架子上的第一嚙合件112的中間位置。中央支撐結構60可以部分地旋轉到圖5所示的位置。
參見圖4、8、11和12，圖中示出了在中央支撐結構60的頂部100和外殼58之間連接的一些部件和組件的細節。頂部100帶有一對第一連接件104，它的橫截面為T形，這從圖11可看出。第一連接件104與第二連接件106中的同樣具有T形橫截面的槽186相互嚙合，並插入其中，第二連接件106是自動提升凸緣108的一部分。當中央支撐結構60插入外殼58就位並旋轉到適當的校直的位置上後，頂部100的套環或軸頸環188延伸經過開口66，並且面對著限定所述開口的內邊緣190。較小的O形環118嵌入所述軸頸環188上的O形槽194內，並在內邊緣190處與外殼形成密封。圖11中的點劃線表示外殼58的頂部64面對著中央支撐結構60的頂部的軸頸環188的關係。因此，當第二連接件106與第一連接件104相互嚙合時，外殼58的頂部64被夾在所述第一連接件106和中央支撐結構的頂部之間。通過圖4所示的在外殼58頂部的頂表面203上的定位器或定位螺母202，可將第二連接件106鎖定到第一連接件104上。此外，螺釘206穿過自動升降凸緣108和第二連接件106，然後套入第一連接件上的螺孔208內。這種螺釘不採用金屬材料，可選用適當的尼龍材料。
從圖4、5和圖8可以清楚地看出設備配合面86的形態，它包括一個由設備嚙合區88形成的運動偶合90。參見圖13，這是關於這種結構的橫截面圖，下表面220包括一對形成一凹槽225的斜面222和224，它與圖中未示出的設備的部分球形的表面相互嚙合。或者，中央支撐結構60的配合面部分包括三個部分球形的表面，共同工作的設備包括由斜面形成的槽。或者，設備配合面86包括能夠與相關的設備相配合的另外的造形和特徵。
參見圖2、14、15、16和17，圖中展示了可拆卸的手動提升手柄28的結構和組件的細節。該手柄包括把手240和外殼嚙合部件242。這種外殼嚙合部件的彈性部分244上帶有卡銷246和制動塊248。卡銷246的楔形部分250便於將手柄安裝到凹槽78中，並且能夠在外殼58上的第二嚙合結構254下面旋轉。所述的第二嚙合結構254包括一對形狀如導向條的朝內延伸的部件255，當所述的手柄處於在凹槽78內的鎖定位置時，導向條與手柄嚙合部件242上的延伸件258相對應。在這個鎖定位置，卡銷246和制動塊248是處於導向條255的相對端上。凹槽78由一個平坦的表面262和與該表面整體構成的圓環形凹槽的環形壁264及外殼表面所圍成。這個導向件255與所述的環形壁264形成一個整體，並且從所述環形壁264伸出。這種結構為簡易安裝放置手柄28到凹槽78內的操作提供了便利條件，如圖16所示，首先將導向件255的向外延伸部分過渡性定位，然後沿著順時針方向轉動帶有第一嚙合結構的手柄，帶有卡銷246的延伸件258在導向件帶動下轉動，直到卡銷246卡入其靜止位置269為止，在該位置上制動器248也處於其相關的靜止位置270。
顯然，當需要清掃或存取時，或者選擇自動操作無需使用手柄時，這種特殊結構設計非常易於拆卸和安裝手柄。另外這種設計不影響運輸箱內外之間的組件的整體性。換句話說，無需採用側壁上開口、開縫或緊固措施來實現手柄到所述外殼的連接。
下面參照圖18，嚙合結構275如圖所示可以採用另一個可拆卸手柄的實施例形式。這個實施例也利用一個在側壁上朝內延伸的凹槽78，在所述凹槽的底部具有一個平坦的部分262。一個槽壁或邊緣274圍繞著該凹槽，它與平坦的部分262和側壁274共同形成所述的凹槽。四個調整片構成的第一嚙合件276從凹槽壁274朝內延伸。手動提升手柄28包括把手240和嚙合部分254，後者由平坦部分277和帶有卡銷284的彈性柔韌件組成。手柄28插入凹槽78內，於是彈性件280處於四個調整片276的中間位置，然後手柄滑動到左邊，促使卡銷在調整片作用下滑動，直到達到其如圖18所示的鎖定位置。同樣，這種結構設計不破壞運輸箱側壁的整體性，即不會分離箱體內外形成薄弱點。還可以利用其他結構設計達到同樣的目的，例如手柄帶有卡銷式嚙合件。卡銷的採用提高了放置和拆卸手柄操作的靈活性，例如根據操作人的需要，允許改變不同尺寸的手柄。
外殼的材料最好採用聚醚酮醚(POLYETHERIMIDE)或聚碳酸酯等經過注塑製成。中央支撐結構也最好整體注塑製成，可以在碳纖維中填入PEEK或類似材料，最好具有靜態耗散特性。手柄可以採用聚碳酸酯或聚醚酮醚注塑製成。包括自動提升手柄的頂部第二連接件也可以由填入PEEK的碳纖維或其他靜態耗散的注塑材料製成。
將門安裝定位的機構可以有多種選擇，例如美國Anthony C．Bonora等人的US-4，995，430專利中所示的機構或其他類似的機構。
參見圖19和20，這是圖18的外殼和手柄部件的截面視圖。這裡卡銷284包括斜坡形的部件250，起協助嚙合件276插入的作用。參見圖21、22、23和24，表示手柄和外殼上與手柄相互適配部件的結構的補充實施例。在這個特定實施例中，卡銷300是由外殼的側壁上的凹平面304伸出，這個卡銷一般包括一對帶有角度的或斜坡形的部件308，它們的大小必須與相關的帶有圓形開孔314的第二嚙合件312相互匹配。
本發明還可以在不脫離本發明的基本原理或發明主題的前提下以各種不同形式實施；因此，可認為本發明並不局限於上面結合附圖所描述的實施例，也就是說，本發明的保護範圍不取決於上面的實施例描述，而是由後面所附的權利要求書確定。
權利要求
1．一種晶片的運輸箱，帶有一個頂部、一個底部和敞開的內部，還有一個用於插入和取出晶片的前開口，該箱體包括A)一個外殼，帶有一個左側壁、一個右側壁、一個前開口和具有至少一個下開口的底面；B)一個中央支撐結構，包括至少兩個承載晶片的晶片支撐架柱，在軸線上為對正的疊放關係，一個整體形成的與下部設備配合的部件穿過下開孔，所述的晶片支撐結構安放在外殼的敞開的內部，並且限定了晶片接收區域；C)一個門，用於關閉運輸箱的前開口。
2．根據權利要求1所述的運輸箱，其特徵在於外殼具有頂部和底部，所述的頂部和底部之一具有一個可接收中央支撐結構的開口，其中中央支撐結構通過這個開口安裝到所述的運輸箱內。
3．根據權利要求2所述的運輸箱，其特徵在於所述的開口位於外殼的底部，其中外殼包括第一嚙合件，中央支撐結構帶有一個包括設備配合部分的整體設備配合面；而設備配合部分具有一個整體的第二嚙合件，它與第一嚙合件相互匹配，從而使中央支撐結構固定到所述的外殼上。
4．根據權利要求1所述的運輸箱，其特徵在於中央支撐結構帶有一個外殼嚙合部分，外殼帶有一個與上述外殼嚙合部分適配的部件，使外殼和支撐結構嚙合件相嚙合，並且通過相互旋轉實現相互鎖定，從而固定中央支撐結構到外殼上。
5．根據權利要求1所述的運輸箱，還包括一個從箱體朝上伸出的自動拾取凸緣，它直接與中央支撐結構相嚙合。
6．根據權利要求1所述的運輸箱，其特徵在於中央支撐結構與外殼在頂部相吻合，並且靠近在底面上的下開口。
7．根據權利要求1所述的運輸箱，還包括一對可旋轉地與外殼嚙合和脫離的手柄，它們從外殼的左側和右側伸出。
8．根據權利要求7所述的運輸箱，其特徵在於一對手柄與外殼的嚙合而無需利用任何穿透所述側壁的開口。
9．一種晶片運輸箱，具有一個敞開的內部和一個前開口，用於插入和取出晶片，該箱體包括A)一個外殼，其頂部帶有一個開孔，其底部帶有一個圓形的開口，以及一個敞開的內部，B)一個整體的中央支撐結構，具有一個頂部和一個帶有設備配合面的底部，所述中央支撐結構與外殼在上述開孔和底部的開口處吻合，中央支撐結構的下表面面向設備配合面，C)一個門，用於關閉前開口。
10．根據權利要求9所述的運輸箱，其特徵在於所述開孔基本上是圓形，運輸箱還包括實現在外殼和中央支撐結構的頂部之間密封的所述開孔的第一彈性密封件。
11．根據權利要求10所述的運輸箱，其特徵在於底部的開口基本上是圓形的，運輸箱還包括實現在外殼和中央支撐結構的底部之間密封的所述底部開孔的第二彈性密封件。
12．根據權利要求9所述的運輸箱，還包括一對晶片支撐柱，它位於箱體內部，並且與該中央支撐結構整體形成。
13．根據權利要求9的運輸箱，還包括第一O形環，用於實現外殼和該頂部件的密封。
14．根據權利要求9的運輸箱，其特徵在於中央支撐結構的下部和外殼是旋轉固定在一起的。
15．一種晶片運輸箱，包括一個頂部、一個底部、一個帶有門形開口的前側、一個左側壁、一個右側壁、一個可關閉上述門形開口的門和一對手柄，其中左側壁和右側壁各帶有一個第一嚙合結構，每個手柄帶有可滑動地與所述第一嚙合結構之一相互嚙合和脫離的匹配的第二嚙合結構，從而使每個手柄能夠放置在所述運輸箱的左和右側壁上和從其上拆卸，無需在所述左和右側壁上開口。
16．根據權利要求15的運輸箱，其特徵在於每個第一嚙合結構和每個相應的匹配的第二嚙合結構包括一個卡銷，它使第一嚙合結構和第二嚙合結構能夠滑動嚙合，並且鎖定在一起。
17．根據權利要求16的運輸箱，其特徵在於第二嚙合結構沿著一旋轉方向與第一嚙合結構滑動嚙合。
18．根據權利要求16的運輸箱，其特徵在於第二嚙合結構沿著基本上為直線的方向與第一嚙合結構滑動嚙合。
19．根據權利要求15的運輸箱，其特徵在於每個第一嚙合結構包括一個在每個相應的左和右側壁上向內凹進的凹槽。
20．一種晶片運輸箱，包括一個頂部、一個底部、一個帶有門形開口和敞開的內部的前側、一個具有封閉的左側壁和右側壁的外殼、一個可關閉上述門形開口的門和一對手柄，其中左側壁和右側壁各帶有一個第一嚙合結構，每個手柄帶有可滑動地與所述第一嚙合結構之一相互嚙合和脫離的匹配的第二嚙合結構，它帶有一個卡銷，從而使每個手柄能夠安置在所述運輸箱的左和右側壁上和從其上拆卸，無需採用分離的固定件。
21．一種運輸箱，包括A)一個頂部帶有開孔的外殼，其正面帶有前開口，用於接收和取出晶片，和一個敞開的內部；B)一個用於關閉敞開的正面的門；C)一個中央支撐結構，包括多個晶片支撐柱，位於所述敞開的內部，和一個整體的頂部件在所述開口處與外殼相互嚙合；D)一個自動拾取手柄固定在所述開口的所述頂部上，並且在外殼上面延伸。
22．根據權利要求21的運輸箱，其特徵在於外殼包括一個底部開口，中央支撐結構還有一個位於底部開口處的向下的設備配合面。
23．據權利要求22的運輸箱，其特徵在於在外殼的底部開口處固定所述中央支撐結構。
24．根據權利要求23的運輸箱，其特徵在於設備配合面是與晶片支撐柱整體形成的。
25．一種組合運輸箱，包括一個箱體，其上帶有一個敞開的內部和用於插入和取出晶片的前開口，一個封閉的左側壁和右側壁，這個箱體還有一個設備配合面，它與至少一個晶片支撐柱整體形成，所述設備配合面和晶片支撐柱是與左側壁和右側壁分開注塑製成的，所述運輸箱體還包括關閉上述前開口的門。
26．根據權利要求25的組合運輸箱，其特徵在於箱體部分包括一個透明的外殼，其底部具有下開口，所述設備配合面固定到外殼的下開口上。
27．根據權利要求26的組合運輸箱，其特徵在於外殼的頂部具有一個開孔，該運輸箱還包括一個延伸到該開孔內的頂部，它與晶片支撐柱整體形成。
28．根據權利要求27的組合運輸箱，還包括安裝在頂部和外殼之間的所述開孔處的彈性密封件。
29．根據權利要求27的組合運輸箱，還包括一個自動提升凸緣，它與頂部相連接，該提升凸緣朝上伸出外殼。
30．根據權利要求26的組合運輸箱，其特徵在於外殼的下開口圓周上帶有第一嚙合部分，中央支撐結構帶有相應的第二嚙合部分，第一嚙合部分和第二嚙合部分旋轉地嚙合，使中央支撐結構被固定到外殼上。
31．根據權利要求30的箱體，還包括圍繞著下開口的圓環形彈性密封件，實現中央支撐結構與外殼的密封。
32．根據權利要求26的箱體，其特徵在於晶片支撐柱和設備配合面組裝在外殼的下開口處。
33．一種組合晶片容器，包括A)一個外殼，帶有一個頂部、一個底部，其正面帶有前開口，用於接收和取出晶片，和一個敞開的內部；B)一個用於關閉敞開的正面的門；C)一個中央支撐結構，包括多個晶片支撐柱，位於所述敞開的內部，和一個整體形成的面朝下的設備配合面，與外部設備相互配合，所述中央支撐結構由靜態耗散材料注塑製成，使晶片支撐帶有到設備配合面的直接的傳導通路。
全文摘要
一種箱體,帶有可操縱和可關閉的門,和中央支撐結構,它具有一個暴露在箱體底面上的設備配合面,與中央支撐結構整體形成的晶片支撐柱從箱體內朝上延伸,用於支撐晶片。本發明的一個優點和特色是從每個晶片支撐架到設備配合面提供了直接無間斷的接地通路。此外,外殼的側壁上的凹進部分帶有可與手柄上的嚙合件相互適配的嚙合件,手柄可拆卸,利用卡銷將手柄旋轉鎖定到箱體側壁上的相應位置上。
文檔編號H01L21/673GK1205297SQ98115700
公開日1999年1月20日 申請日期1998年7月10日 優先權日1997年7月11日
發明者D·L·奈瑟斯, D·J·克拉姆波蒂, G·W·波雷斯, T·M·烏爾施米德 申請人:氟器皿有限公司