帶有晶棒定位裝置的矽單晶爐的製作方法
2023-12-10 16:22:02 1
專利名稱：帶有晶棒定位裝置的矽單晶爐的製作方法
技術領域：
本發明涉及CZ法拉制單晶棒設備部件，特別是一種帶有晶棒定位裝置的矽單晶爐。
背景技術：
現有生產領域使用的矽單晶爐，一般是單個上爐筒及拉晶系統，零部件數量繁多且不易加工製造，還會導致晶棒直接暴露在空氣中容易氧化汙染，所以上爐筒下方配備了獨立的隔離閥。業內目前通常的做法是在矽單晶爐在上爐筒下方開口處配備了晶棒晶棒定位組件。
實用新型內容本實用新型的目的在於提供一種結構緊湊，零部件數量少且容易加工製造，可實現晶棒有效定位的帶有晶棒定位裝置的矽單晶爐。本實用新型帶有晶棒定位裝置的矽單晶爐，包括上爐筒；減速器組件，所述減速器組件設置在所述上爐筒外側，所述減速器組件與所述上爐筒連接；晶棒定位組件，所述減速器組件通過所述晶棒定位組件與所述上爐筒連接；直流減速電機，所述直流減速電機與所述減速器組件連接。所述減速器組件設置在所述上爐筒外側的非下開口部位。所述減速器組件的數量為三個，所述的三個減速器組件依次通過軟軸相互連接。所述軟軸與所述減速器組件之間還設有聯軸器。在所述晶棒定位組件與所述上爐筒的連接端還設有石墨耳座。所述直流減速電機的數量為一個。本實用新型帶有晶棒定位裝置的矽單晶爐摒棄了原先帶有晶棒定位裝置的矽單晶爐在上爐筒下方開口處配備了晶棒晶棒定位組件，利用設置在上爐筒外側的減速器組件可實現晶棒有效定位，並且結構緊湊，零部件數量少且容易加工製造。
圖1為本實用新型帶有晶棒定位裝置的矽單晶爐結構示意圖；圖2為本實用新型帶有晶棒定位裝置的矽單晶爐結構俯視剖示圖；本實用新型帶有晶棒定位裝置的矽單晶爐附圖中附圖標記說明1-上爐筒2-減速器組件3-直流減速電機4-晶棒定位組件 5-軟軸6-聯軸器7-石墨耳座
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型帶有晶棒定位裝置的矽單晶爐作進一步詳細說明。如圖1、圖2所示，本實用新型帶有晶棒定位裝置的矽單晶爐，包括上爐筒1 ；減速器組件2，減速器組件2設置在上爐筒1外側，減速器組件2與上爐筒1連接；晶棒定位組件4，減速器組件2通過晶棒定位組件4與上爐筒1連接；直流減速電機3，直流減速電機3與減速器組件2連接。減速器組件2設置在上爐筒1外側的非下開口部位。減速器組件2的數量為三個，的三個減速器組件2依次通過軟軸5相互連接。軟軸5與減速器組件2之間還設有聯軸器6。在晶棒定位組件4與上爐筒1的連接端還設有石墨耳座7。直流減速電機3的數量為一個。本實用新型帶有晶棒定位裝置的矽單晶爐摒棄了原先矽單晶爐在上爐筒下方開口處配備了晶棒晶棒定位組件4，利用設置在上爐筒外側的減速器組件可實現晶棒有效定位，並且結構緊湊，零部件數量少且容易加工製造。以上已對本實用新型創造的較佳實施例進行了具體說明，但本實用新型並不限於實施例，熟悉本領域的技術人員在不違背本發明創造精神的前提下還可作出種種的等同的變型或替換，這些等同的變型或替換均包含在本申請的範圍內。
權利要求1.帶有晶棒定位裝置的矽單晶爐，其特徵在於，包括上爐筒；減速器組件，所述減速器組件設置在所述上爐筒外側，所述減速器組件與所述上爐筒連接；晶棒定位組件，所述減速器組件通過所述晶棒定位組件與所述上爐筒連接；直流減速電機，所述直流減速電機與所述減速器組件連接。
2.根據權利要求1所述的帶有晶棒定位裝置的矽單晶爐，其特徵在於，所述減速器組件設置在所述上爐筒外側的非下開口部位。
3.根據權利要求2所述的帶有晶棒定位裝置的矽單晶爐，其特徵在於，所述減速器組件的數量為三個，所述的三個減速器組件依次通過軟軸相互連接。
4.根據權利要求3所述的帶有晶棒定位裝置的矽單晶爐，其特徵在於，所述軟軸與所述減速器組件之間還設有聯軸器。
5.根據權利要求1所述的帶有晶棒定位裝置的矽單晶爐，其特徵在於，在所述晶棒定位組件與所述上爐筒的連接端還設有石墨耳座。
6.根據權利要求1所述的帶有晶棒定位裝置的矽單晶爐，其特徵在於，所述直流減速電機的數量為一個。
專利摘要本實用新型帶有晶棒定位裝置的矽單晶爐，包括上爐筒；減速器組件，所述減速器組件設置在所述上爐筒外側，所述減速器組件與所述上爐筒連接；晶棒定位組件，所述減速器組件通過所述晶棒定位組件與所述上爐筒連接；直流減速電機，所述直流減速電機與所述減速器組件連接。本實用新型帶有晶棒定位裝置的矽單晶爐摒棄了原先矽單晶爐在上爐筒下方開口處配備了晶棒晶棒定位組件，利用設置在上爐筒外側的減速器組件可實現晶棒有效定位，並且結構緊湊，零部件數量少且容易加工製造。
文檔編號C30B15/00GK202297845SQ20112037727
公開日2012年7月4日 申請日期2011年10月9日 優先權日2011年10月9日
發明者楊永錄, 葛亮, 賀賢漢 申請人:上海漢虹精密機械有限公司