真空設備的加熱裝置的製作方法
2023-06-11 20:25:51 2
專利名稱：真空設備的加熱裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種加熱裝置，特別是指一種真空設備的加熱裝置。
背景技術：
目前，最廣泛用來製備薄膜的方法當屬真空鍍膜技術。以真空鍍膜
技術中屬於物理氣相沉積(PVD)範疇的熱蒸鍍法、濺鍍法來說，其操作 原理就是在一真空腔體中，透過電阻加熱、電子束、離子束、雷射、熱 輻射、電漿、電弧等加熱方式，將鍍膜材料氣化成分子或原子，並沉積、 附著於目標基座表面上以形成薄膜。
不論是使用哪一種加熱設備，為使其能維持良好的加熱效率，且避 免因積附雜質而生汙染，加熱設備必須要定期進行清理、檢修等維護作 業，所以，本實用新型申請人將立設式加熱設備中的發熱體以插掛方式 定位，在拆裝時相當簡便，能增進維護便利性。
發明內容
本實用新型的目的在於提供一種加熱效率佳且維護便利的真空設備 的加熱裝置。
本實用新型的真空設備的加熱裝置，其能直立設置於該真空設備的 一腔體內部，並包含一座基座、 一個呈直立狀地設置於該基座的一表面 上的支撐齒條架及一面盤曲形發熱體。該盤曲形發熱體面對該基座的該 表面，且可脫離地插掛定位於該支撐齒條架上。
本實用新型的效果在於，利用該盤曲形發熱體具有可脫離地插掛定 位於該支撐齒條架上的設計，拆裝時相當簡易，具有良好的整體維護便 利性。
圖l是一立體分解圖，說明本實用新型真空設備的加熱裝置的一優選 實施例，其一導熱單元能勾掛於一基座的開口處，以遮覆住一位在該基
座中的盤曲形發熱體；
圖2是該優選實施例的一局部立體分解圖； 圖3是該優選實施例的一組合剖視圖。
具體實施方式
以下結合附圖及實施例對本實用新型進行詳細說明 如圖1~圖3所示，本實用新型真空設備的加熱裝置2的該優選實施 例，其直立設置於一真空設備(如電漿濺鍍系統)(圖中未示)的一腔體 內部，用來對一目標基板(如晶圓、玻璃等)進行加熱，以促進薄膜沉積、 附著效果；當然，該真空設備也可以是熱蒸鍍系統，該真空設備的加熱 裝置2便能用以使一蒸鍍材料受熱熔化、蒸發，同樣也能用以加熱一目 標基板，以促進薄膜沉積效果。有關電漿濺鍍或熱蒸鍍等真空鍍膜技術 的操作原理與其他設備，是該技術領域中具有通常知識的人所熟知的， 也非關本實用新型的技術特徵，不予詳述。
而該真空設備的加熱裝置2包含一呈直立式扁形矩方殼蓋狀的基座 21、兩直立地間隔容置於該基座21中的支撐齒條架22、 一容置於該基座 21中且可脫離地直立插掛定位於該兩支撐齒條架22上的盤曲形發熱體 23、兩分別可抽離地縱向貫穿該基座21並穿置入該兩支撐齒條架22的 一側部中的栓杆25，以及一能勾掛組合於該基座21的開口處以貼近地遮 覆住該盤曲形發熱體23的導熱單元24。
該基座21具有一矩形立壁211以及一自該立壁211周緣橫向延伸的 周壁212。該兩支撐齒條架22相平行地焊固於該基座21的立壁211內表 面上，每個撐齒條架22具有一固定於該基座21的立壁211內表面的直 立條221、多個縱向間隔排列於該直立條221遠離該立壁211的一側上且 其開口朝向該立壁211的橫U型卡齒222，以及多個與該多個卡齒222 呈交錯排列的卡槽223,因此，相鄰的卡齒222內部與卡槽223是相連通的。
該盤曲形發熱體23是縱橫盤繞成方盤狀，能利用相對該基座21的 立壁211內表面靠近或遠離的平移方式，移進入該基座21內並使其各橫 條準確、平穩地插掛於該兩支撐齒條架22的卡槽223中，或是，脫離該 兩支撐齒條架22的卡槽223以移出該基座21外(須於該兩栓杆25已先 抽離該兩支撐齒條架22的狀態下)。本實施例中，該盤曲形發熱體23是 一條電熱管，且其兩電源端分別位在該基座21的頂、底側處。有關電熱 管的通電生熱機制原理，為該技術領域中具有通常知識者所熟知，且非 本實用新型的技術特徵所在，不另詳述。
該兩栓杆25用以確保該盤曲形發熱體23能更加穩固無憂地插掛於 該兩支撐齒條架22上。每一栓杆25具有一能插穿該基座21的周壁212 的上邊部並繼續朝下串插入該多卡齒222與該多卡槽223中的直桿身 251，以及一同體設置於該直桿身251頂端且勾抵於該周壁212的上邊部 外表面上的勾持部252。因此，當該盤曲形發熱體23插掛於該兩支撐齒 條架22上時，將該兩栓杆25自該基座21外部以分別朝下插穿入該兩支 撐齒條架22中，能防止該盤曲形發熱體23不當脫離該兩支撐齒條架22; 當欲將該盤曲形發熱體23移出時，則握持該兩栓杆25的勾持部252處 並予向上抽拉,使該兩栓杆25的直桿身251完全抽離該兩支撐齒條架22, 便得以順利將該盤曲形發熱體23拆離該兩支撐齒條架22。
該導熱單元24具有一能全面地貼近並遮覆該盤曲形發熱體23的矩 方形導熱板241、四排呈方形地焊接固定於該導熱板241面對該盤曲形發 熱體23的一表面上的掛勾242,以及四排呈方形地固設於該基座21的立 壁211內表面上且分別對應該四掛勾242的嵌掛塊243。每一嵌掛塊243 的頂面凹設一插槽244,所相對應的該掛勾242的一端部可脫離地插置入 該插槽244中，用以，該導熱板241便能平穩地吊掛定位並遮覆住該盤 曲形發熱體23，或是能輕鬆拆離以使該盤曲形發熱體23外露。本實施例 中，該導熱板241為能發揮極佳熱導效果的浪板結構。
因此，進行加熱作業時，通電使該盤曲形發熱體23工作生熱，在該 基座21的周邊屏蔽作用下，能有效抑制該盤曲形發熱體23所生熱能的
6逸散、損失，讓熱能有效地經由熱輻射、熱對流等途徑而傳遞至該導熱
板241,再經由該導熱板241將熱能迅速傳導至目標基板或蒸鍍材料予以 加熱，整體能達到極佳的加熱效率。
另一方面，進行維護作業時，先將該導熱板241 (連同掛勾242 )與 該兩栓杆25拆卸下，再將該盤曲形發熱體23拆離支撐齒條架22並移出 該基座21夕卜，便能進行各部件的清潔、效能檢測或汰換更新等維護動作， 之後，則依序將該盤曲形發熱體23、該兩栓杆25與該導熱板241等重新 組回就可以了，整體能達到拆裝簡易、維護便利等效果。
歸納上述，本實用新型的真空設備的加熱裝置2,整體能達到加熱效 率佳且維護^_利等效果，所以確實能達到本實用新型的目的。
權利要求1.一種真空設備的加熱裝置，其直立設置於該真空設備的一腔體內部，並包含一座基座以及一面設置於該基座上的盤曲形發熱體，其特徵在於還包含一個呈直立狀地設置於該基座的一表面上的支撐齒條架，該盤曲形發熱體面對該基座的該表面，且可脫離地插掛定位於該支撐齒條架上。
2. 根據權利要求1所述真空設備的加熱裝置，其特徵在於該基座具 有一塊立壁、及一塊橫向延伸設置於該立壁周緣的周壁，該支撐齒條架 容置於該基座中且直立固定於該立壁內表面上，該盤曲形發熱體容置於 該基座中。
3. 根據權利要求2所述真空設備的加熱裝置，其特徵在於還包含一 個可抽離地縱向插穿設置於該支撐齒條架中的^f全杆，該支撐齒條架具有 一才艮固設於該基座的立壁內表面的直立條、多個縱向間隔排列設置於該 直立條遠離該立壁的一側上且其開口朝向該立壁的橫U型卡齒、以及多 個與該多個卡齒呈交錯排列的卡槽，該盤曲形發熱體插掛定位於所述多 個卡槽中，該栓杆可抽離地縱向串插設置於卡齒與卡槽中。
4. 根據權利要求3所述真空設備的加熱裝置，其特徵在於該栓杆具 有一個能插穿該基座的周壁以朝下穿置入卡齒與卡槽中的直桿身，以及 一個設置於該直桿身頂端且勾抵於該周壁的外表面上的勾持部。
5. 根據權利要求1至4任一項所述真空設備的加熱裝置，其特徵在於 還包含一個導熱單元，該導熱單元具有一塊能全面遮覆該盤曲形發熱體 的導熱板、 一個設置於該導熱板面對該盤曲形發熱體的一表面上的掛勾、 以及一個設置於該基座的該表面上且其頂面凹設一插槽的嵌掛塊，該掛 勾的一端部可脫離地插置入該嵌掛塊的插槽中。
6. 根據權利要求5所述真空設備的加熱裝置，其特徵在於該導熱單 元的導熱寺反為 一浪4反。
7.根據權利要求6所述真空設備的加熱裝置，其特徵在於該盤曲形 發熱體為電熱管。
專利摘要一種真空設備的加熱裝置，直立設置於該真空設備的一腔體內部，其包含一座基座、一個呈直立狀地設置於該基座的一表面上的支撐齒條架以及一面盤曲形發熱體。該盤曲形發熱體面對該基座的該表面，且可脫離地插掛定位於該支撐齒條架上本實用新型整體具有極佳加熱效率與維護便利性。
文檔編號C23C14/26GK201158700SQ20082000185
公開日2008年12月3日 申請日期2008年1月17日 優先權日2008年1月17日
發明者汪明義, 黃泳釗 申請人:北儒精密股份有限公司