能保持薄膜平面度的薄膜夾緊裝置的製作方法

2023-06-12 20:37:31

專利名稱：能保持薄膜平面度的薄膜夾緊裝置的製作方法
技術領域：
本發明通常涉及用於在檢查薄膜或帶狀型基底中使用的自動檢查.裝置中夾緊薄膜的薄膜夾緊裝置，更具體地說，涉及能夾緊薄膜同時保持需要的薄膜平面度以及薄膜上需要的光學聚焦而不損壞薄膜的薄膜夾緊裝置，從而在自動薄膜檢查過程中將由聚焦誤差引起的檢查誤差最小化。
背景技術：
近年來，薄膜或帶狀型基底(以下簡稱為「薄膜」)普遍地並且更適合用作各種半導體ICs(集成電路)，如用於LCD驅動器或存儲器的ICs的重要元件。根據最近這類薄膜的圖案寬度和厚度減小的趨勢，薄膜很容易彎曲或外表產生波紋。當使用薄膜檢查裝置檢查這類薄膜時，夾緊薄膜的同時可能產生彎曲或波紋外表，在這種情況下，對裝置的照相機來說，在薄膜上穩定地形成精確的光學聚焦幾乎是不可能的。當裝置對具有減小的電路圖案寬度和減小厚度的薄膜進行檢查時，在薄膜檢查方法中使用的大多數傳統裝置的檢查操作精確度降低。
另外，薄膜檢查裝置必須執行對具有不同大小的薄膜的檢查過程，因此有必要設計用於該裝置的薄膜夾具，以便薄膜夾具可自動移動到能提供適合於待檢薄膜的檢查區的所需位置。也需要薄膜夾具夾緊薄膜的同時保持夾緊薄膜的平面度。
在傳統的薄膜檢查裝置中，薄膜夾具通常不能保持薄膜平面度以及不合需要地使夾緊薄膜出現彎曲或波紋外表，即使夾具有能力夾持具有不同大小的薄膜。當薄膜夾具不適當地夾緊薄膜，同時使其彎曲或弄彎其外表時，檢查裝置的照相機由於在夾緊薄膜的彎曲或波紋部分產生的失真圖象，不能攝取夾緊薄膜的精確或清楚的圖象。因此，失真圖象能導致薄膜檢查裝置將薄膜的正常部分確定為有缺陷部分或將薄膜的有缺陷部分確定為正常部分。從而降低傳統薄膜檢查裝置的操作精確度。
為實現上述目的，本發明提供能保持薄膜平面度的薄膜夾緊裝置，包括固定單元，包括垂直放置的第一平板以及沿第一平板的上邊緣垂直延伸的第二平板，第一平板具有在所述第一平板的表面上沿第一平板的每個側邊緣且沿垂直方向向下延伸的導軌；第二平板具有沿所述第二平板的外邊緣形成的縱向孔，以及沿所述第二平板的外邊緣延伸同時從所述外邊緣向下凸出的第一接觸軌；驅動電機單元，包括電機以及第一轉軸，電機具有第一離合器並在預定部分安裝在所述第二平板的上表面上；第一轉軸從所述電機的第一離合器向下垂直延伸同時通過第二平板，具有在所述第一轉軸的外表面上形成的第一外螺紋，以及在所述第一轉軸的下端提供的第一傘齒輪；移動單元，包括第一和第二框架以及第三框架，第一和第二框架在第一平板的兩個側邊緣周圍的位置處與所述第二平板的下表面平行地水平延伸，具有在所述第一框架中形成的第一通孔以便容納第一轉軸，以及在所述第二框架中形成的第二通孔；第三框架使第一和第二框架彼此連接，並具有沿所述第三框架的外邊緣形成同時向上凸出以便面對所述第一接觸軌的第二接觸軌；夾具旋轉單元，包括第一和第二夾具旋轉杆以及第一和第二圓柱形致動器，該夾具旋轉杆具有相同的形狀，並且利用多個支撐塊，分別可旋轉地安裝在所述第二平板的外邊緣上表面和所述第三框架的下表面下；該圓柱形致動器分別在第一和第二夾具旋轉杆的端部提供，以便旋轉所述第一和第二夾具旋轉杆；夾具單元，包括多個夾具塊，具有相同的形狀並且安裝到所述第一和第二夾具旋轉杆上，以便將薄膜邊緣壓向所述第一和第二接觸軌來夾緊薄膜；及張力調整單元，包括旋轉致動器、第二轉軸以及聯接軸，旋轉致動器具有第二離合器並在預定部分安裝在第二平板的上表面上；第二轉軸從旋轉致動器的第二離合器垂直向下延伸同時順序通過第二平板以及第二框架的第二通孔，具有在所述第二轉軸的外表面上形成的第二外螺紋，以及在所述第二轉軸的下端提供的第二傘齒輪；聯接軸在其兩端提供分別與所述第一和第二傘齒輪嚙合的第三和第四傘齒輪，以便與第一和第二傘齒輪一起旋轉。
本發明的薄膜夾緊裝置夾緊薄膜，同時保持檢查區中所需的薄膜平面度，而不損壞薄膜或在薄膜上留下任何彎曲或波紋部分，從而允許薄膜檢查裝置的照相機在夾緊的薄膜上形成精確的光學聚焦，從而最小化由彎曲或波紋部分處產生的失真圖象所引起的聚焦誤差，繼而引起的檢查誤差。
具體實施例方式
現在將參考附圖，其中在不同圖中使用的相同的參考標號表示相同或相似的元件。


圖1是根據本發明實施例的能保持薄膜平面度的薄膜夾緊裝置的透視圖。圖2是圖1的薄膜夾緊裝置的側視圖。圖3是圖1的薄膜夾緊裝置的前視圖。圖4是包含在圖1的薄膜夾緊裝置中的夾具單元的分解透視圖。
如圖1至4所示，薄膜夾緊裝置100包括固定單元110、驅動電機單元120、移動單元130、可旋轉地安裝在薄膜夾緊裝置中以便面向固定單元110和移動單元130的夾具旋轉單元150、安裝到夾具旋轉單元150上並用於夾緊輸送到此的薄膜「F」的夾具單元170、以及用於將所需的張力應用到夾緊的薄膜「F」以便使夾緊的薄膜「F」的表面平整的張力調整單元190。
固定單元110包括垂直放置的第一平板112a、以及沿垂直放置的第一平板112a的上邊緣垂直延伸的第二平板112b。導軌114在第一平板112a的表面上沿第一平板112a的每個側邊垂直向下延伸，同時在水平放置的第二平板112b上提供縱向孔116和縱向第一接觸軌118。沿第二平板112b的外縱向邊緣形成縱向孔116以便孔116從第二平板112b的第一端周圍的位置延伸到第二端周圍的另一位置。以與孔116的相同的方式，縱向第一接觸軌118沿第二平板112b的外縱向邊緣從第二平板112b的第一端周圍的位置延伸到第二端周圍的另一位置。第一接觸軌118還從第二平板112b的外邊緣向下凸出預定的寬度。具有上述結構的固定單元110能將驅動電機單元120和移動單元130保持於其上。
驅動電機單元120由電機122和在垂直方向中從電機122向下延伸預定長度的第一轉軸124組成。電機122具有第一離合器(未示出)，並安裝在平板112b的第一端周圍預定部分的第二平板112b的上表面上。第一轉軸124從電機122的第一離合器的下端向下延伸，通過第二平板112b並平行於垂直放置的第一平板112a的表面而延伸。外部刻有螺紋的第一轉軸124的外表面上形成第一外螺紋128，並在其下端具有第一傘齒輪126。
移動單元130由第一、第二和第三框架132、134和136組成。第一和第二框架132和134在第二平板112b下從第一平板112a的兩個側邊緣周圍的位置水平地延伸某一長度。第三框架136使第一和第二框架132和134的外端彼此連接。將第一和第二框架132和134的內端分別與導塊138a和138b一體結合，並分別在導塊138a和138b處與第一平板112a的兩個導軌114可移動嚙合。在第一導塊138a中垂直形成第一通孔140，同時在第二導塊138b中垂直形成第二通孔142。電機單元120的第一轉軸124通過第一通孔140。在這種情況下，在第一通孔140的內部刻出螺紋，以形成與第一轉軸124的外螺紋128可移動地嚙合的第一內螺紋144。沿第三框架136的外縱向邊緣形成縱向第二接觸軌148，同時向上凸出預定寬度，從而面向第一接觸軌118。固定單元110和移動單元130將夾具旋轉單元150、夾具單元170和張力調整單元190保持在其上的預定位置。
夾具旋轉單元150包括具有相同形狀的第一和第二夾具旋轉杆152a和152b，以及分別用於驅使第一和第二夾具旋轉杆152a和152b使它們在相對方向中旋轉的第一和第二圓柱形致動器154a和154b。通過多個支撐塊156a將第一夾具旋轉杆152a可旋轉地安裝在第二平板112b的外邊緣上表面上，同時通過多個第二支撐塊156b，將第二夾具旋轉杆152b可旋轉地安裝在移動單元130的第三框架136的下表面下方。沿第一夾具旋轉杆152a的上表面水平形成幾個第一支座表面158a，同時沿第二夾具旋轉杆152b的下表面水平形成幾個第二支座表面158b。以平均間隔在每個第一支座表面158a上形成多個第一定位孔160a，以及以平均間隔在每個第二支座表面158b上形成多個定位孔(未示出)。
將第一和第二圓柱形致動器154a和154b分別安裝在第二平板112b的下表面以及移動單元130的第一框架132的上表面。第一連杆162a、162b連接到第一和第二圓柱形致動器154a和154b的每一個上，並垂直地通過第二平板112b和第一框架132的相關的一個。將兩個第二連杆164a和164b的一端分別鉸接到第一連杆162a和162b的一端，並且其另一端分別連接到第一和第二夾具旋轉杆152a和152b。
夾具單元170安裝在第一和第二夾具旋轉杆152a和152b上，它包括若干具有相同形狀的第一緊固塊172a和172b，分別位於與支座表面158a和158b相對的第一和第二夾具旋轉杆152a和152b的圓形表面上，通過這種方式，以便第一和第二夾具旋轉杆152a和152b上的第一緊固塊172a和172b彼此相對。通過使用固定螺釘將幾個第二緊固塊174a和174b分別緊固到第一緊固塊172a和172b上，並且分別將相同數量的夾具塊176a和176b安裝到第二緊固塊174a和174b上。如上所述，由於第一緊固塊172a和172b分別位於第一和第二夾具旋轉杆152a和152b的圓形表面上，每個第一緊固塊172a和172b具有半圓形橫截面的線性槽178a、178b。通過使用固定螺釘分別將第二緊固塊174a和174b緊固到第一緊固塊172a和172b上，同時將其一個表面分別與第一和第二支座表面158a和158b緊密接觸。在其側面提供每一個具有水平裝配縫隙180a、180b的第二緊固塊174a和174b。在第二緊固塊174a和174b的每一個上垂直形成第一鎖孔184a，第一鎖孔184a分別從第二緊固塊174a和174b的上表面和下表面延伸以便第一鎖孔184a分別與水平裝配縫隙180a和180b連接。將兩個鎖定銷182a和182b分別插入第一鎖孔184a中。最好在每個第二緊固塊174a和174b的表面上形成定位球184，通過定位球，使每個第二緊固塊174a和174b與第一和第二支座表面158a和158b中的相關一個緊密接觸。當圍繞夾具旋轉杆152a和152b將第一緊固塊172a和172b緊固到第二緊固塊174a和174b時，分別將定位球184插入在夾具旋轉杆152a和152b的第一和第二支座表面158a和158b上形成的定位孔中所選擇的定位孔。這表示有可能根據需要沿第一和第二支座表面158a和158b改變成對裝配的第一和第二緊固塊172a、172b、174a和174b的位置。夾具塊176a和176b分別具有分別插入第二緊固塊174a和174b的水平裝配縫隙180a和180b中的裝配凸緣186a和186b。每個夾具塊176a和176b也具有從每個裝配凸緣186a和186b延伸的接觸壁187a、187b，以便接觸壁187a垂直地延伸到第二平板112b的縱向孔116中，以及接觸壁187b在移動單元130的第三框架136的內表面上垂直延伸。接觸凸緣188a和188b分別朝第一和第二接觸軌118和148的方向，從不具有裝配凸緣186a和186b的接觸壁187a和187b的端部延伸。在裝配到裝配縫隙180a和180b中的每個裝配凸緣186a和186b上形成第二鎖孔185a和185b，以便當將裝配凸緣186a和186b裝配到裝配縫隙180a和180b中時，第二鎖孔185a和185b分別與第一鎖孔184a對準。順序地將每個鎖定銷182a和182b插入第一鎖孔184a、184b和第二鎖孔185a和185b，以便將每個夾具塊176a和176b鎖定到每個第二緊固塊174a和174b中。沿每個接觸凸緣188a、188b的外邊緣附接有用橡膠製成的縱向接觸棒189a和189b。每個接觸棒189a和189b的長度等於每個接觸凸緣188a、188b的外邊緣的長度。
張力調整單元190包括轉動致動器192、第二轉軸193和聯結軸194。轉動致動器具有第二離合器(未示出)，並安裝在第二平板112b的第二端周圍的第二平板112b預定部分上表面上。第二轉軸193從轉動致動器192的第二離合器的下端向下延伸，並在平行地延伸到垂直放置的第一平板112a的表面前，順序通過第二平板112b和第二導塊138b的第二通孔142。在第二轉軸193的外表面上刻有外部螺紋以形成第二外螺紋195，以及在第二通孔142的內部刻螺紋以形成與第二轉軸193的外部螺紋195可移動嚙合的第二內螺紋146。將第二傘齒輪196安裝到第二轉軸193的下端。將聯接軸194水平地放在第一和第二轉軸124和193的下端之間，以便使第一和第二轉軸124和193彼此連接。將第三傘齒輪197安裝到聯接軸194的第一端，並與第一傘齒輪126嚙合，同時將第四傘齒輪198安裝到聯接軸194的第二端並與第二傘齒輪196嚙合。
下面將描述具有上述結構的薄膜夾緊裝置100的操作效果。
圖5a和5b是表示薄膜夾緊裝置100的操作的前視圖。在開始使用設備100的薄膜夾緊過程前，在預定位置安排若干照相機(未示出)，在該位置，照相機有效地檢查已經輸送到夾緊裝置100前部的薄膜「F」。在完成照相機的布置後，將薄膜「F」水平地輸送給設備100同時保持垂直放置。在這種情況下，考慮到薄膜「F」的寬度，設備100的操作員必須適當地相對於固定單元110移動移動單元130，從而確保在開始薄膜輸送操作前，兩個單元110和130間有適當間隙。為將移動單元130移動到相對於固定單元110的所需的低位置，在將第一轉軸124連接到電機122的第一離合器後的方向中旋轉驅動電機單元120的電機122。在這種情況下，從轉動致動器192的第二離合器斷開第二轉軸193。由於電機122的旋轉動作，旋轉第一轉軸124，將第一轉軸124的旋轉力經第一和第三傘齒輪126和197主要傳送到聯接軸194。此後，經第二和第四傘齒輪198和196，將旋轉力從聯接軸194傳送到第二轉軸193，以便旋轉第二轉軸193。因此，由於第一和第二轉軸124和193的旋轉，向下移動移動單元130。
將移動單元130全部移動到相對於固定單元110的所需低位置後，將薄膜「F」水平地輸送到固定單元110和移動單元130間的間隙中。在這種情況下，將薄膜的上邊緣插在第一接觸軌118和上接觸凸緣188a的邊緣之間，並將薄膜的下邊緣插在第二接觸軌148和下接觸凸緣188b的邊緣之間。如上所述，在將薄膜「F」完全輸送到固定單元和移動單元110和113間的間隙中後，操作第一和第二圓柱形致動器154a和154b，以分別使上連杆162a向下移動以及使下連杆162b向上移動，以便使兩個第一連杆162a和162b牽引兩個第二連杆164a和164b。因此兩個第二連杆164a和164b分別在相反方向中旋轉第一和第二夾具旋轉杆152a和152b，以便使具有橡膠接觸棒189a和189b的接觸凸緣188a和188b的邊緣分別移向第一和第二接觸導118和148。從而由第一接觸軌118和具有橡膠接觸棒189a的接觸凸緣188a夾緊薄膜「F」的上邊緣，同時由第二接觸軌148和具有橡膠接觸棒189b的接觸凸緣188b夾緊薄膜「F」的下邊緣。在本發明的薄膜夾緊裝置中，最好這樣設計第一圓柱形致動器154a，以便致動器154a能提供高於第二圓柱形致動器154b的傳動壓力。
在已經完全夾緊薄膜「F」的上、下邊緣後，有必要使夾緊的薄膜「F」的表面變平並在檢查過程中保持薄膜「F」的表面平面度。為確保夾緊的薄膜「F」上的平面，在將第二轉軸193連接到旋轉致動器192的第二離合器後的方向中旋轉旋轉致動器192。在這種情況下，在開始旋轉致動器192的操作之前，從電機122的第一離合器斷開第一轉軸124。由於旋轉致動器192的旋轉動作，主要旋轉第二轉軸193，順序地通過第二傘齒輪196、第四傘齒輪198、聯接軸194、第三傘齒輪197以及第一傘齒輪126，將第二轉軸193的旋轉力傳送到第一旋轉軸124，從而旋轉第一轉軸124。因此，在相對於固定方向的向下方向中進一步移動移動單元130，從而拉緊由固定單元110和移動單元130夾緊的薄膜「F」，因此保持夾緊的薄膜「F」的表面平面度。在如上所述已經拉緊和整平薄膜的表面後，執行使用照相機的薄膜檢查過程。
如上所述，本發明提供能夾緊薄膜同時保持薄膜平面度的薄膜夾緊裝置。薄膜夾緊裝置包括固定單元；驅動電機單元；移動單元；可旋轉地安裝在薄膜夾緊裝置中的夾具旋轉單元，以便面向固定單元和移動單元；安裝到夾具旋轉單元並用於夾緊輸送到此的薄膜的夾具單元；以及用於將所需的張力提供給夾緊的薄膜以便弄平夾緊薄膜表面的張力調整單元。薄膜夾緊裝置有效地夾緊薄膜，同時在夾緊薄膜的檢查區中保持薄膜平面度而不損壞薄膜或在薄膜上留下任何彎曲或波紋部分，從而允許薄膜檢查裝置的照相機在夾緊的薄膜上形成精確的光學聚焦，從而最小化由在彎曲或波紋部分生成的失真圖象引起的檢查誤差，進而最小化自動薄膜檢查過程中的聚焦誤差。
另外，構成夾具旋轉單元的第一和第二圓柱形致動器的設計使得第一和第二圓柱形致動器具有適合於更有效的拉緊夾緊薄膜的不同傳動壓力。
在夾具單元中，通過使用鎖定銷，將每個夾具塊提供的裝配凸緣鎖定到兩個第二緊固塊的每一個上，以及沿每個夾具塊的接觸凸緣的邊緣附接有橡膠接觸棒，以便每個夾緊塊的橡膠接觸棒完全與分別在固定單元和移動單元處提供的第一和第二接觸軌的相關的一個緊密接觸。因此，該裝置提供增強的薄膜夾緊效果並且合乎需要地弄平夾緊薄膜的表面。
儘管為了示例性目的已經描述過本發明的優選實施例，本領域的技術人員將意識到在不脫離由附加權利要求書公開的本發明的範圍和精神的情況下可能做出各種改變、增加和取代。
權利要求
1.一種能保持薄膜平面度的薄膜夾緊裝置，包括固定單元，包括垂直放置的第一平板，具有導軌，導軌在所述第一平板的表面上沿第一平板的每個側邊緣，在垂直方向中向下延伸；以及沿第一平板的上邊緣垂直延伸的第二平板，具有沿所述第二平板的外邊緣形成的縱向孔，以及沿所述第二平面的外邊緣延伸同時從所述外邊緣向下凸出的第一接觸軌；驅動電機單元，包括電機，具有第一離合器並在預定部分安裝在所述第二平板的上表面上；以及第一轉軸，從所述電機的第一離合器向下垂直延伸，同時穿過第二平板，具有在所述第一轉軸的外表面上形成的第一外螺紋，以及在所述第一轉軸的下端提供的第一傘齒輪；移動單元包括第一和第二框架，在第一平板的兩個側邊緣周圍的位置處與所述第二平板的下表面平行地水平延伸，具有在所述第一框架中形成的第一通孔以便容納第一轉軸，以及在所述第二框架中形成的第二通孔；以及第三框架，使第一和第二框架彼此連接，具有沿所述第三框架的外邊緣形成同時向上凸出以便面對所述第一接觸軌的第二接觸軌；夾具旋轉單元，包括第一和第二夾具旋轉杆，具有相同的形狀，並且利用多個支撐塊分別可旋轉地安裝在所述第二平板的外邊緣的上表面和所述第三框架的下表面下；以及第一和第二圓柱形致動器，分別在第一和第二夾具旋轉杆端部提供，以便旋轉所述第一和第二夾具旋轉杆；夾具單元，包括多個夾具塊，具有相同的形狀並且安裝到所述第一和第二夾具旋轉杆以便將薄膜邊緣壓向所述第一和第二接觸軌從而夾緊薄膜；及張力調整單元包括旋轉致動器，具有第二離合器並在預定部分安裝在第二平板的上表面上；第二轉軸，從旋轉致動器的第二離合器垂直向下延伸，同時順序穿過第二平板以及第二框架的第二通孔，具有在所述第二轉軸的外表面上形成的第二外螺紋，以及在所述第二轉軸的下端提供的第二傘齒輪；以及聯接軸，在其兩端提供分別與所述第一和第二傘齒輪嚙合的第三和第四傘齒輪，以便與第一和第二傘齒輪一起旋轉。
2.如權利要求1所述的薄膜夾緊裝置，其特徵在於，所述縱向孔從所述平板的第一端周圍的位置延伸到第二端周圍的另一位置，所述第一接觸軌從所述第二平板的第一端周圍的位置延伸到第二端周圍的另一位置。
3.如權利要求1所述的薄膜夾緊裝置，其特徵在於，為所述第一和第二框架在其端部提供有分別由所述第一平板的導軌引導的導塊，所述第一和第二通孔分別具有第一和第二內螺紋，以便與第一和第二轉軸的第一和第二外螺紋嚙合。
4.如權利要求1所述的薄膜夾緊裝置，其特徵在於所述第一和第二夾具旋轉杆沿其上和下表面分別具有若干第一和第二支座表面，以及以平均間隔在每個第一支座表面上形成的多個第一定位孔，以及以平均間隔在每個第二支座表面上形成的多個第二定位孔；以及將所述第一和第二圓柱形致動器分別安裝在所述第二平板的下表面以及所述第一框架的上表面上，並且具有第一連杆，連接到所述第一和第二圓柱形致動器的每一個上，並垂直地通過第二平板和第一框架中相關的一個，而且具有第二連杆，在其第一端鉸接到第一連杆以及在其第二端連接到第一和第二夾具旋轉杆的相關一個上。
5.如權利要求4所述的薄膜夾緊裝置，其特徵在於，通過以下裝置，將所述夾具塊安裝到所述第一和第二夾具旋轉杆上第一緊固塊，每個緊固塊表面上具有半圓形截面的凹槽，以便第一緊固塊分別位於與第一和第二支座表面相對的第一和第二夾具旋轉杆的圓形表面上；以及第二緊固塊，通過使用固定螺釘，緊固到所述第一緊固塊上，同時其一個表面分別與第一和第二支座表面緊密接觸，以及在每個第二緊固塊的側面上形成裝配縫隙以便保持所述夾具塊中的相關一個；以及每個所述夾具塊包括裝配凸緣，插入第二緊固塊的裝配縫隙的相關一個中；接觸壁，從所述裝配凸緣延伸以便垂直延伸入縱向孔或在所述第三框架的內表面上垂直延伸；以及接觸凸緣，向第一和第二接觸軌的相關一個的方向，從所述接觸壁的端部延伸以便與所述第一和第二接觸軌合作而夾緊薄膜。
6.如權利要求5所述的薄膜夾緊裝置，其特徵在於，在所述第二緊固塊的表面上提供定位球，以便插入從第一和第二定位孔中選擇的一個中。
7.如權利要求5所述的薄膜夾緊裝置，其特徵在於，在每個第二緊固塊上處形成第一鎖孔以便與裝配縫隙相通，在裝配到裝配縫隙中的裝配凸緣處形成第二鎖孔以便第二鎖孔與第一鎖孔對準，將鎖定銷順序地插入第一鎖孔和第二鎖孔，並且沿接觸凸緣的外邊緣附接有由橡膠製成的接觸棒，該接觸棒同時從接觸凸緣的所述外邊緣的第一端延伸到第二端。
全文摘要
本發明公開了能夾緊薄膜同時保持薄膜平面度的薄膜夾緊裝置。薄膜夾緊裝置包括可旋轉地安裝在薄膜夾緊裝置中的固定單元、驅動電機單元、移動單元、夾具旋轉裝置、夾具單元以及張力調整單元。薄膜夾緊裝置有效地夾緊薄膜同時在夾緊的薄膜的檢查區中保持薄膜平面度而不損壞薄膜或在薄膜上留下任何彎曲或波紋，從而允許薄膜檢查裝置的照相機在夾緊的薄膜上形成精確地光學聚焦，從而最小化由在彎曲或波紋部分產生的失真圖象引起的檢查誤差，進而最小化彎曲或波紋部分導致自動薄膜檢查過程中出現的聚焦誤差。薄膜夾緊裝置最好用在通過使用照相機檢查薄膜或帶狀型基底，如TAB和COF的過程中。
文檔編號H01L21/67GK1477692SQ0312258
公開日2004年2月25日 申請日期2003年4月21日 優先權日2002年8月20日
發明者崔鉉鎬, 柳根洪, 炳鉉任 申請人:崔鉉鎬