一種高粘度光刻膠無膠絲勻膠裝置的製作方法

2023-06-04 23:14:06 1

專利名稱：一種高粘度光刻膠無膠絲勻膠裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及屬半導體器件製造工藝技術領域，尤其涉及一種半導體器件工藝製程中，光刻勻膠工藝的一種杜絕勻膠時在矽片表面產生膠絲的裝置。
背景技術：
目前常規半導體器件製造工藝中光刻膠勻膠腔體裝置為勻膠腔體底座、勻膠腔體內心、勻膠腔體蓋三部分組成，勻膠腔體內心外側面為接近直線型平面，勻膠腔體蓋內側面為內彎曲弧面，勻膠腔體內心外側面與勻膠腔體蓋內側面間距處於上寬下窄的結構，這樣的結構導致排風在勻膠腔體底部及中下部位的抽速快，但在勻膠腔體的中上部分排風抽速較低，勻膠腔體內心頂部中心與勻膠腔體蓋中心間距大，會導致大部分排風從矽片上方和勻膠腔體蓋下方的中間部分流過，而矽片與勻膠腔體內心的間隙處排風量很小，導致光刻膠勻膠過程中所產生的膠絲無法被排風抽走，從而粘附在矽片邊緣，在目前常規勻膠腔體的基礎上如想消除或減輕矽片邊緣粘附的膠絲，只有加大排風總量，以便提高排風的抽速， 但排風量過大又會導致光刻膠勻膠後成膜的光阻的均勻差，導致矽片邊緣光阻厚，從而影響光刻工藝質量。因此急需一種改進的技術來解決現有技術中存在的問題。
發明內容本實用新型的目的是提供一種半導體器件製造工藝中高粘度光刻膠無膠絲勻膠
直ο本實用新型採用的技術方案是一種高粘度光刻膠無膠絲勻膠裝置，包括勻膠腔體底座，所述勻膠腔體底座頂部設有勻膠腔體蓋，所述勻膠腔體底座和勻膠腔體蓋之間設有勻膠腔體心體，所述勻膠腔體心體側面與勻膠腔體蓋內側內弧面平行，所述勻膠腔體心體的正上方設有勻膠遮擋環。所述勻膠腔體心體頂部中心與勻膠腔體蓋中心間距為1.4-1. 6cm，所述勻膠腔體心體側面與勻膠腔體蓋內側內弧面其間距為3. 0-3. 5cm，所述勻膠遮擋環厚度為 0. 60-0. 65cm、內直徑為 6. 5-7. Ocm、外直徑為10. 5-11. Ocm，所述勻膠遮擋環與勻膠時矽片的間距為0. 15-0. 25cm。本實用新型的優點是可以很大程度上減少排風的損失及加大排風在勻膠腔體中上部的抽速，也不會削弱排風在勻膠腔體底部及中下部的抽速，可以在不增加總排風量的基礎上有效的將勻膠過程生產的大部分膠絲抽走；在排風的作用下使矽片與膠絲遮擋環之間能形成較大的從矽片中心至矽片邊緣的風速流，光刻膠勻膠過程中生產的膠絲也就無法粘附在矽片邊緣，提高了操作的簡易性，也提高了光刻工藝質量。
以下結合附圖和具體實施方式
對本實用新型作進一步詳細描述。


圖1為本實用新型的結構示意圖。[0010]其中1、勻膠腔體底座，2、勻膠腔體心體，3、勻膠腔體蓋，4、勻膠遮擋環。
具體實施方式
實施例1如
圖1所示，本實用新型的一種高粘度光刻膠無膠絲勻膠裝置，包括勻膠腔體底座1，所述勻膠腔體底座1頂部設有勻膠腔體蓋3，所述勻膠腔體底座1和勻膠腔體蓋3之間設有勻膠腔體心體2，所述勻膠腔體心體2頂部中心與勻膠腔體蓋3中心間距為1. 4cm, 所述勻膠腔體心體2側面與勻膠腔體蓋3內側內弧面平行，其間距為3. 0cm，所述勻膠腔體心體2的正上方設有勻膠遮擋環4，所述勻膠遮擋環4厚度為0. 60cm、內直徑為 6. 5cm、 外直徑為10. 5cm，所述勻膠遮擋環4與勻膠時矽片的間距為0. 15cm。本實用新型為避免矽片在勻高粘度光刻膠時矽片邊緣粘附膠絲，採用減小勻膠腔體心體2頂部中心與勻膠腔體蓋3中心間距及勻膠腔體心體2外側弧面與勻膠腔體蓋3內側內弧面間距，這樣的結構可以很大程度上減少排風的損失及加大排風在勻膠腔體中上部的抽速，也不會削弱排風在勻膠腔體底座1及中下部的抽速，可以在不增加總排風量的基礎上有效的將勻膠過程生產的大部分膠絲抽走，同時在勻膠腔體心體2頂部放置勻膠遮擋環4，使勻膠遮擋環4內圓與勻膠腔體心體2頂部外圓孔相扣，使勻膠遮擋環4與勻膠腔體心體2構成一個可易拆分的整體，勻膠遮擋環4與勻膠腔體心體2結合處處於封閉狀態，調整光刻膠勻膠時矽片與勻膠遮擋環4的間距，在排風的作用下使矽片與勻膠遮擋環4之間能形成較大的從矽片中心至矽片邊緣的風速流，光刻膠勻膠過程中生產的膠絲也就無法粘附在矽片邊緣，同時也使得光刻膠在勻膠過程中所產生的未被排風抽走的膠絲粘附在勻膠遮擋環4上，每勻完20-30片矽片後取出勻膠遮擋環4，清理掉外粘附的膠絲，再繼續使用， 提高了操作的簡易性。實施例2如
圖1所示，本實用新型的一種高粘度光刻膠無膠絲勻膠裝置，包括勻膠腔體底座1，所述勻膠腔體底座1頂部設有勻膠腔體蓋3，所述勻膠腔體底座1和勻膠腔體蓋3之間設有勻膠腔體心體2，所述勻膠腔體心體2頂部中心與勻膠腔體蓋3中心間距為1. 5cm, 所述勻膠腔體心體2側面與勻膠腔體蓋3內側內弧面平行，其間距為3. 3cm，所述勻膠腔體心體2的正上方設有勻膠遮擋環4，所述勻膠遮擋環4厚度為0. 63cm、內直徑為 6. 8cm、 外直徑為10. 8cm，所述勻膠遮擋環4與勻膠時矽片的間距為0. 20cm。實施例3如
圖1所示，本實用新型的一種高粘度光刻膠無膠絲勻膠裝置，包括勻膠腔體底座1，所述勻膠腔體底座1頂部設有勻膠腔體蓋3，所述勻膠腔體底座1和勻膠腔體蓋3之間設有勻膠腔體心體2，所述勻膠腔體心體2頂部中心與勻膠腔體蓋3中心間距為1. 6cm, 所述勻膠腔體心體2側面與勻膠腔體蓋3內側內弧面平行，其間距為3. 5cm，所述勻膠腔體心體2的正上方設有勻膠遮擋環4，所述勻膠遮擋環4厚度為0. 65cm、內直徑為 7. 0cm、 外直徑為11. 0cm，所述勻膠遮擋環4與勻膠時矽片的間距為0. 25cm。
權利要求1.一種高粘度光刻膠無膠絲勻膠裝置，包括勻膠腔體底座，所述勻膠腔體底座頂部設有勻膠腔體蓋，所述勻膠腔體底座和勻膠腔體蓋之間設有勻膠腔體心體，其特徵在於所述勻膠腔體心體側面與勻膠腔體蓋內側內弧面平行，所述勻膠腔體心體的正上方設有勻膠遮擋環。
2.根據權利要求1所述的一種高粘度光刻膠無膠絲勻膠裝置，其特徵在於所述勻膠腔體心體頂部中心與勻膠腔體蓋中心間距為1. 4-1. 6cm，所述勻膠腔體心體側面與勻膠腔體蓋內側內弧面其間距為3. 0-3. 5cm,所述勻膠遮擋環厚度為0. 60-0. 65cm、內直徑為 6. 5-7. 0cm、外直徑為10. 5-11. 0cm，所述勻膠遮擋環與勻膠時矽片的間距為0. 15-0. 25cm。
專利摘要本實用新型涉及一種高粘度光刻膠無膠絲勻膠裝置，包括勻膠腔體底座，所述勻膠腔體底座頂部設有勻膠腔體蓋，所述勻膠腔體底座和勻膠腔體蓋之間設有勻膠腔體心體，其特徵在於所述勻膠腔體心體的正上方設有勻膠遮擋環，所述勻膠腔體心體側面與勻膠腔體蓋內側內弧面平行，其間距為3.0-3.5cm，所述勻膠腔體心體頂部中心與勻膠腔體蓋中心間距為1.4-1.6cm，所述勻膠遮擋環與勻膠時矽片的間距為0.15-0.25cm。本實用新型的優點是可以減少排風的損失及加大排風在勻膠腔體中上部的抽速，在不增加總排風量的基礎上有效的將勻膠過程生產的大部分膠絲抽走；光刻膠勻膠過程中生產的膠絲也就無法粘附在矽片邊緣，提高了操作的簡易性和光刻工藝質量。
文檔編號B05C11/06GK202174043SQ20112023256
公開日2012年3月28日 申請日期2011年7月4日 優先權日2011年7月4日
發明者薛治祥, 錢清友, 顏呈祥 申請人:江蘇捷捷微電子股份有限公司