真空泵用的保護網和具備其的真空泵的製作方法

2023-06-16 02:57:36 2

專利名稱：真空泵用的保護網和具備其的真空泵的製作方法
技術領域：
本發明涉及真空泵用的保護網和具備其的真空泵，特別是涉及能夠充分提高保護網相對於固定用槽的緊固強度且充分抑制大氣從吸氣口衝入泵內時的保護網向泵內側的撓曲的真空泵用的保護網和具備其的真空泵。
背景技術：
一直以來，在以渦輪分子泵為首的高速旋轉型真空泵中，在其吸氣口裝配有異物侵入防止用的保護網，使得異物不從在殼體上端部的凸緣部內側形成的吸氣口侵入泵設備內的旋轉體。在前述凸緣部為ISO規格的凸緣的情況下，由於空間的問題，保護網不能通過螺絲緊固而固定於吸氣口部位。另外，保護網，若沒有規定強度，則在大氣從吸氣口衝入泵內時有可能撓曲至泵內側而與旋轉葉片等泵內設備接觸，從而使泵故障產生。因此，對保護網要求規定的強度。在這樣的情況下，作為真空泵用的保護網和該保護網向吸氣口部位的固定構造的第I現有技術，例如有如圖6至圖8(a)、(b)所示的構造。圖6顯示在周緣部形成有沿著該周緣部的周緣邊沿Ia的金屬絲網1，圖7顯示具備周緣部的周緣板部2a和架設於該周緣板部2a的內側的十字狀肋部2b的金屬制的增強板2。真空泵用的保護網由將作為該分體零件形成的金屬絲網I和增強板2重合且適當地施行點焊而使這兩個零件為一體的複合零件形成。圖8 (a)、(b)顯示作為金屬絲網I和增強板2的複合零件形成的保護網3向吸氣口 4的部位的固定構造。在真空泵中的殼體5上部的凸緣部6內側凹設有環狀的固定用槽
7。由上述複合零件構成的保護網3，周緣邊沿Ia與周緣板部2a的重合部被嵌入固定用槽7，進而環狀的擋圈8被壓入，保護網3被固定於吸氣口 4的部位。在固定於該吸氣口 4的部位的保護網3的正下方的真空泵內，具備伸展設置於轉子9的旋轉葉片10(圖8(a))。另外，圖9顯示真空泵用的保護網和該保護網的向吸氣口部位的固定構造的第2現有技術。在該現有技術中，真空泵用的保護網11由一個零件實現，該保護網11中的凸邊部的部分以所需角度傾斜狀地立起而形成傾斜狀凸邊部11a。該傾斜狀凸邊部11a，其高度h形成為與固定用槽7的嵌入寬度(圖9中的上下方向寬度)對應的高度，不使用擋圈而將該傾斜狀凸邊部Ila的部分壓入固定用槽7，由此，該傾斜狀凸邊部Ila與固定用槽7緊密嵌合，保護網11被固定於吸氣口 4的部位。在大氣從吸氣口 4衝入泵內時，傾斜狀凸邊部Ila產生如圖9中假想線所示的變形傾向，該傾斜狀凸邊部Ila的上緣部與固定用槽7內的上表面緊密相接而防止保護網11的落下，並且，抑制該保護網11撓曲至泵內側。作為與如上所述的真空泵用的保護網相關聯的現有技術，例如已知如下真空泵。該現有技術為，通過螺絲緊固將殼體基部固定於構成渦輪分子泵型真空泵的基體的基座的下方凸緣部。在殼體中央部的旋轉軸的上端安裝有轉子，旋轉葉片向著殼體的內周側具有一定間隔地以放射狀伸展設置於該轉子。另一方面，在殼體的內周側，環狀的間隔件以層疊狀配設為多段，基部被夾持在各間隔件之間的固定葉片向著轉子側延伸設置。這樣，旋轉葉片和固定葉片分別交替地從內側和外側重疊而構成渦輪機構。保護網為了裝配於吸氣口部位而在周圍形成有環狀的板(環)，該環狀的環部被夾持在殼體上部的臺階部與最上段間隔件之間而保持於吸氣口部位(例如，參照專利文獻I)。專利文獻1:日本特開平11-247790號公報。

發明內容
發明要解決的問題。在第I現有技術中，由於保護網由將作為分體零件形成的金屬絲網和增強板重合後的複合零件形成，因而成本高。另外，向吸氣口部位的固定構造通過將使金屬絲網側的周緣邊沿和增強板側的周緣板部重合後的扁平形狀部分嵌入固定用槽且此後壓入擋圈而進行。因此，保護網相對於固定用槽的緊固強度容易變得不足，從吸氣口衝入泵內的大氣的勢導致，有可能保護網向泵內側的撓曲量變大而與泵內設備接觸，並且，也有可能向固定用槽的嵌入部脫落而保護網落下。在第2現有技術中，將傾斜狀凸邊部的高度h形成為與固定用槽的嵌入寬度對應的高度，將該傾斜狀凸邊部的部分壓入固定用槽，由此，使該傾斜狀凸邊部與固定用槽緊密嵌合而將保護網固定至吸氣口部位。因此，傾斜狀凸邊部的傾斜角度和高度h的尺寸管理等困難，另外，將傾斜狀凸邊部壓入固定用槽而使該傾斜狀凸邊部與固定用槽緊密嵌合的作業也伴有相當的難度，由於這樣的點，招致成本高。在專利文獻I所記載的現有技術中，在殼體的內周側，環狀的間隔件以層疊狀配設為多段，關於保護網，其環狀的環部被夾持在最上段間隔件與殼體上部的臺階部之間而固定於吸氣口部位。因此，在保護網的更換時等，在需要保護網的拆卸的情況下，需要將殼體基部相對於基座的下方凸緣部的螺絲緊固解開而拔出殼體等麻煩的作業。於是，為了通過以同一塊作為具有所需強度的保護網而謀求該保護網的成本降低、充分提高保護網相對於固定用槽的緊固強度、抑制大氣從吸氣口衝入泵內時的保護網向泵內側的撓曲、防止向泵內設備的接觸並防止保護網的落下、保護網向吸氣口部位的安裝容易且拆卸也變得容易，產生了應該解決的技術問題，本發明以解決該問題為目的。用於解決問題的技術方案。本發明是為了達成上述目的而提出的，技術方案I記載的發明提供以下真空泵用的保護網:為通過將形成於保護網的周緣部的邊沿嵌入凹設在真空泵的吸氣口的內周部的固定用槽並進一步將擋圈壓入前述固定用槽而將前述保護網張緊設置在前述吸氣口部位的真空泵用的保護網，在前述邊沿的各處，使被前述擋圈卡止的卡止部相對於前述邊沿以大致直角豎立設置。依照該構成，在邊沿的各處相對於該邊沿以大致直角豎立設置的卡止部被擋圈卡止，保護網相對於固定用槽的緊固強度變得充分牢固。所以，在大氣從吸氣口衝入泵內時，抑制了保護網向泵內側的撓曲，並且防止了保護網的落下。技術方案2記載的發明提供以下真空泵用的保護網:在技術方案I記載的發明中，前述保護網具備金屬絲網部和架設於前述邊沿的內側的增強用的肋部，並且，前述金屬絲網部和前述肋部由同一塊部件形成。
依照該構成，通過使金屬絲網部和增強用的肋部為一體而形成保護網，從而提高保護網自身的強度，更可靠地抑制大氣從吸氣口衝入泵內時的保護網向泵內側的撓曲。技術方案3記載的發明提供具備技術方案I或2記載的真空泵用的保護網的真空慄。依照該構成，相對於固定用槽的緊固強度充分牢固且保護網自身的強度也提高的保護網張緊設置在吸氣口部位。所以，可靠地抑制了大氣從吸氣口衝入泵內時的保護網向泵內側的撓曲。發明的效果。技術方案I記載的發明，能夠充分提高保護網相對於固定用槽的緊固強度。結果，能夠抑制大氣從吸氣口衝入泵內時的保護網向泵內側的撓曲，能夠防止向泵內設備的接觸，並且能夠防止保護網的落下。另外，由於不是將相對於邊沿以大致直角豎立設置的卡止部自身壓入固定用槽而使該卡止部與固定用槽緊密嵌合，因而具有保護網向吸氣口部位的安裝容易且拆卸也變得容易的優點。技術方案2記載的發明，除了技術方案I記載的發明的效果之外，還具有以下優點:不是將保護網作為將作為分體零件形成的金屬絲網和增強板重合後的複合零件而形成，而是以同一塊成為所需強度，由此，能夠謀求保護網的成本降低。技術方案3記載的發明具有以下優點:相對於固定用槽的緊固強度充分牢固且保護網自身的強度也提高的保護網張緊設置在吸氣口部位，由此，能夠可靠地抑制大氣從吸氣口衝入泵內時的保護網向泵內側的撓曲，能夠防止由於保護網與旋轉葉片等泵內設備接觸而導致的泵故障。


圖1是作為本發明的一個實施例顯示的真空泵的縱截面圖。圖2是適用於本發明的實施例所涉及的真空泵用的保護網的保護網的平面圖。圖3是圖2的保護網中的卡止部部分的放大圖，(a)是從正面方向觀察的立體圖，(b)是從側面方向觀察的立體圖。圖4是在將圖2的保護網緊固於固定用槽時使用的擋圈的平面圖。圖5是將圖2的保護網的向吸氣口部位的固定構造省略一部分而顯示的橫截面圖。圖6是第2現有技術中的金屬絲網的平面圖。圖7是同上現有技術中的增強板的平面圖。圖8是顯示同上現有技術中的保護網的向吸氣口部位的固定構造的圖，(a)是顯示固定構造的整體的橫截面圖，(b)是放大顯示圖(a)中的保護網的向固定用槽的緊固部分的橫截面圖。圖9是顯示第2現有技術中的保護網的向固定用槽的緊固部分的橫截面圖。
具體實施例方式本發明為了達成通過以同一塊作為具有所需強度的保護網而謀求該保護網的成本降低、充分提高保護網相對於固定用槽的緊固強度、抑制大氣從吸氣口衝入泵內時的保護網向泵內側的撓曲、防止向泵內設備的接觸並防止保護網的落下、保護網向吸氣口部位的安裝容易且拆卸也變得容易的目的，為通過將形成於保護網的周緣部的邊沿嵌入凹設於真空泵的吸氣口的內周部的固定用槽並進一步將擋圈壓入前述固定用槽而將前述保護網張緊設置在前述吸氣口部位的真空泵用的保護網，通過在前述邊沿的各處使被前述擋圈卡止的卡止部相對於前述邊沿以大致直角豎立設置而實現。實施例1。以下，參照圖2至圖5，說明本發明的優選實施例。此外，在圖4和圖5中，與前述圖8(a)、(b)中的構成要素相同或均等的部件，以與前述相同的符號表示，省略重複的說明。圖1是本發明所涉及的真空泵的縱截面圖。在圖1中，真空泵100具備框體130，其具有吸氣口 110和排氣口 120。在該框體130內，在上部設有渦輪分子泵部140，在其下方設有圓筒形的螺紋槽泵部150，並且形成有排氣通路240，其穿過該渦輪分子泵部140內和該螺紋槽泵部150內且將前述吸氣口 110和前述排氣口 120連通而成。前述排氣通路240更具體地形成為:使前述渦輪分子泵部140的後述相對置的轉子170的外周面與前述框體130的內周面之間的間隙和前述螺紋槽泵部150的後述圓筒轉子210的外周面與定子230的內周面之間的間隙相互連通，並且，使前述渦輪分子泵部140側的間隙上端側與前述吸氣口 110連通且將前述螺紋槽泵部150側的間隙下端側連通至前述排氣口 120。前述渦輪分子泵部·140由在固定設置於旋轉軸160的鋁合金制的轉子170的外周面突出設置的許多旋轉葉片180、180……和在前述框體130的內周面突出設置的許多固定葉片190、190……的組合構成。前述螺紋槽泵部150由前述渦輪分子泵部140中的轉子170的下端部的圓筒轉子210和定子230構成，定子230與該圓筒轉子210的外周具有小間隙地對置，設置有與該小間隙一起形成前述排氣通路240的一部分而成的螺紋槽220。該螺紋槽220形成為隨著向下方行進而深度變淺。另外，該定子230被固定於前述框體130的內表面。而且，前述螺紋槽220的下端在前述排氣通路240的最下遊側與前述排氣口 120連通。另外，在前述旋轉軸160的中間部，固定有設在電動機框體250內的感應電動機等高頻電動機260的電動機轉子260a。該旋轉軸160由磁軸承支承，在上部和下部設有保護軸承 270、270。接著,說明圖1所示的真空泵的動作。通過前述高頻電動機260的驅動,從前述吸氣口 110流入的氣體處於分子流或接近分子流的中間流狀態，其氣體分子通過前述渦輪分子泵部140的旋轉的、前述旋轉葉片180、180……和從前述框體13突出設置的前述固定葉片190、190……的作用而沿向下方向被施加運動量，伴隨著該旋轉葉片180、180……的高速旋轉，氣體向下遊側壓縮移動。另外，壓縮移動的氣體，在前述螺紋槽泵部150中，被引導至旋轉的前述圓筒轉子210和沿著具有小間隙地形成的前述定子230隨著行進至下遊而深度變淺的前述螺紋槽220，被壓縮至粘性流狀態且流動於前述排氣通路240內，從前述排氣口 120排出。接著，說明本實施例所涉及的真空泵用的保護網的構成。在圖2至圖4中，本實施例中的保護網12，通過對I塊金屬板施行蝕刻處理，從而以在周緣部具備邊沿12a的金屬絲網部12b和架設於前述邊沿12a的內側的增強用的十字狀肋部12c成為一體的同一塊形成。在金屬絲網部12b，以例如蜂窩狀穿孔有許多六角孔。在前述邊沿12a的各處,被後述擋圈卡止的卡止部12d如圖3(a)、(b)所示相對於該邊沿12a以大致直角豎立設置。在前述蝕刻處理時，形成從邊沿12a突出至外方的突出部，將該突出部相對於邊沿12a以大致直角彎折，由此形成卡止部12d。如圖2所示，卡止部12d在保護網12的周緣部形成為:以2個為一組的四組分別隔開等間隔。圖4顯示擋圈8。擋圈8 —部分被切口，在其切口部8a形成有適當的間隙。接著，使用圖5說明如上所述構成的真空泵用的保護網的向吸氣口部位的固定和作用。在邊沿12a的外緣，卡止部12d相對於該邊沿12a以大致直角豎立設置。將這樣的邊沿12a嵌入凹設於吸氣口 4的內周部的固定用槽7，進而將擋圈8壓入該固定用槽7。此時，擋圈8以形成於其切口部8a的部分的間隙縮減的方式被壓入固定用槽7，由此產生擴開傾向，該擴開傾向起作用，從而將卡止部12d進一步壓入，具備該卡止部12d的邊沿12a被牢固地緊固於固定用槽7。通過這樣的具備卡止部12d的邊沿12a部分的向固定用槽7的緊固形態，保護網12被固定於吸氣口 4的部位。另外，關於保護網12，通過將金屬絲網部12b和增強用肋部12c—體地形成，保護網12自身也強度提高。所以，在大氣從吸氣口 4衝入泵內時，充分抑制了保護網12向泵內側的撓曲，並且防止了保護網12的落下。如前所述，卡止部12d在保護網12的周緣部形成為以2個為一組的四組分別隔開等間隔，該四組的部分的卡止部12d由擋圈8壓入而緊固於固定用槽7。另外，由於不是將卡止部12d自身壓入固定用槽7而使該卡止部12d與固定用槽7緊密嵌合而緊固，而是用擋圈8將卡止部12d壓入而緊固，因而僅進行擋圈8的安裝或拆卸導致保護網12向吸氣口4部位的安裝和拆卸變容易。如上所述，在本實施例涉及的真空泵用的保護網和具備其的真空泵中，不是把保護網12作為將作為分體零件形成的金屬絲網和增強板重合後的複合零件而形成，而是以同一塊一體地形成金屬絲網部12b和增強用的十字狀肋部12c而成為所需強度，由此，能夠謀求保護網12的成本降低。能夠充分提高保護網12相對於固定用槽7的緊固強度。結果，能夠抑制大氣從吸氣口 4衝入泵內時的保護網12向泵內側的撓曲，能夠防止由於保護網12與旋轉葉片等泵內設備接觸而導致的泵故障，並且能夠防止保護網12的落下。由於不是將相對於邊沿12a以大致直角豎立設置的卡止部12d自身壓入固定用槽7而使該卡止部12d與固定用槽7緊密嵌合，因而保護網12向吸氣口 4部位的安裝容易且拆卸也變得容易。此外，只要不脫離本發明的精神，本發明能夠作出各種改變，而且，本發明當然還及於該改變的內容。產業上的可利用性。能夠廣泛地適用於以下條件不可缺少的氣體吸入機構整體:通過以同一塊作為具有所需強度的保護網，從而謀求該保護網的成本降低，充分提高保護網相對於固定用槽的緊固強度，抑制大氣從吸氣口衝入氣體吸入機構內時的保護網向氣體吸入機構內側的撓曲，防止向氣體吸入機構內設備的接觸，並且防止保護網的落下，保護網向吸氣口部位的安裝容易且拆卸也變得容易。
符號說明
1金屬絲網
2增強板
3保護網(現有)
4吸氣口
5殼體
6凸緣部
7固定用槽
8擋圈
9轉子
10旋轉葉片
11保護網(現有)
12保護網 12a邊沿
12b金屬絲網部 12c肋部 12d卡止部 100真空泵
110吸氣口
120排氣口
130框體 140渦輪分子泵部 150螺紋槽泵部 160旋轉軸 170轉子 180旋轉葉片 190固定葉片 210圓筒轉子 220螺紋槽
230定子 240排氣通路 250電動機框體 260高頻電動機 260a電動機轉子 270保護軸承。
權利要求
1.一種真空泵用的保護網，通過將形成於保護網的周緣部的邊沿嵌入凹設在真空泵的吸氣口的內周部的固定用槽並進一步將擋圈壓入所述固定用槽而將所述保護網張緊設置在所述吸氣口部位，其特徵在於，在所述邊沿的各處，使被所述擋圈卡止的卡止部相對於所述邊沿以大致直角豎立設置。
2.根據權利要求1所述的真空泵用的保護網，其特徵在於，所述保護網具備金屬絲網部和架設於所述邊沿的內側的增強用的肋部，並且，所述金屬絲網部和所述肋部由同一塊部件形成。
3.一種真空泵，其特徵在於，具備根據權利要求1或2所述的真空泵用的保護網。
全文摘要
通過以同一塊作為具有所需強度的保護網，從而謀求該保護網的成本降低，充分提高保護網相對於固定用槽的緊固強度，抑制大氣從吸氣口衝入泵內時的保護網向泵內側的撓曲，防止向泵內設備的接觸並且防止保護網的落下，保護網向吸氣口部位的安裝容易且拆卸也變得容易。為通過將形成於保護網(12)的周緣部的邊沿(12a)嵌入凹設在吸氣口(4)的內周部的固定用槽(7)並進一步將擋圈(8)壓入固定用槽(7)而將保護網(12)張緊設置在吸氣口(4)的部位的真空泵用的保護網，在前述邊沿(12a)的各處，使被擋圈(8)卡止的卡止部(12d)相對於邊沿(12a)以大致直角豎立設置。
文檔編號F04B37/16GK103201520SQ20118005501
公開日2013年7月10日 申請日期2011年7月28日 優先權日2010年11月24日
發明者奧寺智, 坂口祐幸 申請人:埃地沃茲日本有限公司