用於校準和/或校直通信信道的方法和裝置的製作方法

2023-09-21 06:31:00

專利名稱：用於校準和/或校直通信信道的方法和裝置的製作方法
技術領域：
本發明一般地涉及對校準和/或校直信道。信道被用於任意數量的器件或系統中，並且在許多這些應用中校準或校直信道是有益的。使用信道的一個非限定性示例是諸如用於測試電子器件的測試系統。
背景技術：
圖1示出了用於測試諸如半導體器件的電子器件的一示例性測試系統100的簡化框圖。例如，圖1的測試系統100可測試非單一晶片的管芯、單一管芯(封裝或未封裝)、或多晶片模塊。此系統100也可被配置成測試諸如印刷電路板的其它類型的電子器件。如圖所示，系統100可包括測試器102、通信連接104、探針頭107、和用於在測試器102與被測試電子器件(「DUT」)112之間傳送測試信號的探針卡108。測試系統100也可包括具有用於支承和移動DUT 112的可移動卡盤114的外殼106。探針卡的探針110接觸到DUT並由此與DUT形成電連接。
通信連接104(例如同軸電纜、光纖、無線鏈路等)、測試頭107以及探針卡110在測試器102與DUT 112的端子(未在圖1中示出)之間形成多個信道(未在圖1中示出)。測試器102生成測試數據，該測試數據經由這些信道(未在圖1中示出)傳送到DUT 112的端子(未在圖1中示出)。由DUT 112生成的響應數據經由其它這些信道(未在圖1中示出)反方向傳送回測試器102。在一些測試系統中，相同的信道被用於測試數據和響應數據。
圖2示出了被配置成測試具有兩個輸入端220和222與一個輸出端234的DUT112的一示例性測試器102的簡化框圖。例如，DUT 112可以是具有四個一位存儲單元的小存儲器。響應於兩位地址向輸入端220和222的輸入，DUT 112中的內部電路(未示出)通過輸出端子234輸出存儲在存儲單元中的、與地址相對應的一位數據。(當然，存儲器DUT通常具有多得多的地址輸入和多得多的數據輸出以及其它輸入和輸出。為了描述和討論起見，簡化圖2所示的DUT 112。)如圖2所示，測試器102包括生成輸入到DUT 112的輸入端220和222的測試圖的測試數據發生器202。在此示例中，每個測試圖由兩位數據構成。測試數據發生器202將測試圖輸出(204)到定時控制器206，該定時控制器206將測試圖中的每一位輸出(208、210)到驅動器212、214。驅動器212、214通過驅動通道216、218將測試圖驅動到輸入端220、222。如以上所討論的，儘管未在圖2中示出，但是通道216、218可包括經由諸如通信鏈路(例如圖1中的104)、測試頭(例如圖1中的107)、和探針卡(例如圖1中的108)的路徑。比較通道232(可包括與驅動通道216、218相同的路徑)將通過DUT 112響應測試圖所生成的輸出傳送到測試器102。(在本文中，用於將測試數據從測試器102傳送到DUT 112的信道(例如216)稱為「驅動通道」，而用於將響應數據從DUT 112傳送到測試器102的信道(例如232)稱為「比較通道」。應當注意在許多測試器中，通道可選擇性地設置成用作驅動通道或比較通道，或者同時用作驅動通道和比較通道。)比較器228將由DUT 112生成的輸出與輸入(226)到比較器228的期望響應作比較。結果採集/分析器230接收比較結果，並且也可分析該比較以確定DUT112是否正確地響應測試圖。測試數據發生器202也可與測試圖一起生成期望響應，且也將期望響應輸出(226)到定時控制器206。定時控制器206輸出(226)期望響應與比較信號224，該比較信號224在由DUT生成的響應數預期到達通道232上的比較器228時激活該比較器228。
如所期望的，圖2所示系統信號的定時通常是重要的。例如，對於測試圖的位而言，同時或在指定時差內到達DUT 112的輸入端220、222通常是重要的。作為另一示例，對於期望響應226與比較信號224而言，要同時或在響應數據從DUT112到達比較通道232的比較器228的指定時差內激活通常是重要的。在許多應用中，必須補償信號通過驅動通道216、218和比較通道232的傳播延遲中的差異。
圖3示出了圖2系統中信號的一示例性時序圖。在圖3所示的示例中，所有定時都相關於主時鐘302的上升沿，該主時鐘302可在定時控制器206或測試器102中的其它地方生成。當然，除主時鐘的上升沿之外的其它也可用作定時基準。如圖3所示，定時發生器206延遲測試圖的各個位的輸出208、210(參看圖2)達不同偏移量314、316，從而儘管通過驅動通道216、218的傳播延遲中存在偏差，仍使測試圖中的位同時或接近同時地到達DUT 112的輸入端220、222(參看圖2)。在圖3所示的示例中，輸入(208)到驅動器212的位(在圖3中通過脈衝304表示)延遲達時間偏移量314，而輸入(210)到驅動器214的位(在圖3中通過脈衝306表示)延遲達時間偏移量316。又如圖3所示，這使得位同時或接近同時地到達DUT 112的輸入端220、222。(輸入(208)到驅動器212並被驅動到驅動通道216的位到達輸入端220時在圖3中表示成脈衝304』；相似地，輸入(210)到驅動器214並被驅動到驅動通道218的位到達輸入端子222時在圖3中表示為脈衝306』。)當然，偏移量314可以是零。圖3中的偏移量318表示從時間基準(在本示例中，為主時鐘脈衝302的上升沿)到向比較器228提供期望響應數據226和比較信號224(參見圖2)的延遲。在圖3中，期望響應數據由脈衝308表示，而比較信號由脈衝312表示。如圖3所示，偏移量318被設置成比較信號(圖3中的脈衝312)與響應數據從DUT 112到達比較通道232上的比較器228同步。
偏移量314、316可被存儲在定時控制器206中的存儲表或陣列(未示出)中。此外，每個偏移量314、316和318可包括多個部分。例如，諸如圖1測試系統100的測試系統開始時在不用探針卡108的情況下進行校準，然後用探針卡108進行校直。因此，每個偏移量314、316和318可包括表示通過相應驅動或比較通道的從測試器102到測試頭107與探針卡108之間的接口(未示出)的一部分的延遲的校準延遲；以及表示通過探針卡的校直延遲。術語「校準」通常用來表示設定時延或時間偏移量以使得探頭107和探針卡108之間的接口的傳播延遲相等，而術語「校直」通常用來表示設定附加時延或偏移量以補償通過探針卡的傳播延遲的差異。然而，在本申請中，術語「校準」和「校直」被寬泛並同義地使用，以包括確定和/設定任何時延或偏移量，不管涉及了部分還是全部通道。術語「時延」和「偏移量」也被寬泛並同義地使用。
需要一種用於確定校準和/或校直偏移量的改進方法和裝置。

發明內容
在本發明一實施例中，校準基片將測試器的驅動通道與比較通道電連接在一起。脈衝、一串脈衝、或周期波形被驅動到各個驅動通道，該驅動通道在校準基片或基片的短路節點或求和結點上產生混合脈衝、一串混合脈衝、或混合波形。這些混合脈衝、一串混合脈衝、或混合波形從校準基片的求和結點分配到比較通道。求和結點也可連接到功率檢測電路。各個混合脈衝或混合波形是來自驅動通道的單個脈衝或波形的合成或求和。與驅動通道相關聯的時間偏移量被調節到混合脈衝的各個脈衝對齊或接近對齊。這可通過分別調節各個脈衝的定時來完成，以實現混合波形的最大功率譜密度。這些時間偏移量對驅動通道進行校準和/或校直，從而補償通過驅動通道的傳播延遲的差異。在實現驅動通道的對齊之後，隨後混合脈衝和混合波形可被測試器用作信號基準源，以校準比較通道的偏移量。


圖1示出一示例性測試系統。
圖2示出一示例性測試器和DUT。
圖3示出對應於圖2的測試器和DUT的一示例性時序圖。
圖4示出一示例性測試器和校準基片。
圖5示出圖4的測試器和校準基片的一部分，以及一組校準電路的示例性配置。
圖6示出用於對圖4和5的通道進行校準和/或校直的一示例性過程。
圖7a、圖7b以及圖8示出對應於圖4和圖5的測試器和校準基片的示例性時序圖。
圖9示出用於實現圖6的步驟604的一示例性過程。
圖10示出對應於圖4和5的另一示例性時序圖。
圖11示出圖4的測試器和校準基片的一部分以及一組校準電路的另一個示例性配置。
圖12示出圖4的測試器的一部分、測試頭、探針卡以及另一個示例性校準基片的一部分。
圖13示出一示例性探針卡。
圖14示出另一個示例性探針卡。
具體實施例方式
本說明書描述了本發明的各個示例性實施例和應用。然而，本發明並不限於這些示例性實施例和應用，或限於本文中所描述的示例性實施例和應用的操作方式。
圖4示出了一示例性校準基片412，該校準基片412可用來確定用於驅動和比較與示例性測試器401相關聯的通道的校準偏移量和/或校直偏移量。為了示例和討論的目的(且並非作為限制)，測試器401在圖4中被示為具有十八個通道。還是為了示例和討論且並非作為限制，測試器401被配置成對DUT進行測試，這些DUT是具有三個輸入端和兩個輸出端的只讀存儲器(ROM)。例如，ROM可具有四個兩位存儲單元，且輸入端可包括一個可讀端子和兩個地址端子；輸出端可包括兩個數據輸出端。在該示例中，測試器401的十八個通道被配置如下九個被配置成用於驅動三個DUT的輸入端的驅動通道；六個被配置成用於接收來自三個DUT的輸出端(未示出)的輸出的比較通道；以及三個未使用。因而通過這樣配置，測試器401能並行地測試三個DUT(未示出)。
如圖4所示，測試器401包括測試數據發生器402、定時控制器406以及結果採集/分析器430，這些一般類似於圖2中的同名元件。測試器401也包括控制器408和相關聯的存儲器410。控制器408可以是微處理器或在存儲於存儲器410的軟體(包括固件或微代碼)的控制下操作的微控制器，該存儲器410可包括但不限於基於半導體的存儲器、基於磁性的存儲器、基於光學的存儲器等任何類型的存儲器。或者，控制器408可用硬連線電路實現，或者是在微處理器或微控制器上運行的軟體和硬連線電路的組合。如圖所示，總線404提供測試器401內的數據通信。
如圖4所示，測試器通道被分成三組420、422和424，每一組都被配置成與一個DUT(未示出)通過接口連接。各個通道組420、422和424都包括六個通道三個驅動通道、兩個比較通道以及一個未使用通道。定時控制器406將由測試數據發生器402生成的測試數據圖輸出(412)到各個驅動通道的輸入端(圖4中標識為「A」)。定時控制器406將期望響應數據輸出(416)到各個比較通道中各個比較器的一個輸入端，並且定時控制器406還將比較信號輸出(414)到各比較器。(期望響應數據輸出和輸入在圖4中標識為「C」，而比較信號在圖4中標識為「B」。)結果採集/分析器430接收各個比較通道端部的各個比較器的輸出作為輸入419。(比較器的輸出和結果採集/分析器430的輸入在圖4中標識為「E」)。如以下將更詳細討論的，各個通道組420、422和424中的未使用通道可被配置成用作校準通道；即，未使用通道可被配置成向被用來校準通道組中的另一個通道的測試器401返回數據。在圖4所示的示例中，各個通道組420、422和424中的未使用通道被配置成用作校準通道，並且各個通道的輸出被輸入(418)到控制器408並在圖4中標識為「D」。然而，應當注意校準通道並非必需是未使用通道。例如，校準通道可以是通常在測試期間用來提供電源或接地的通道、對應於未使用探針的通道、比較通道、或者對應於DUT上不要求校準或者用單獨步驟或過程進行校準的輸入和/或輸出端的通道。在本文中，術語「校準通道」被寬泛地用來表示任一這種通道，或任何可用來向用於校準另一通道的測試器401返回數據的通道。類似地，術語「校準探針」被寬泛地用來表示對應於任一這種校準通道的探針。
在圖4所示的示例中，校準基片412包括三組校準電路426、428和430，它們分別對應於測試器401中的各個通道組420、422和424。
圖5示出了校準基片412的部分視圖，以及一組校準電路426和相應測試器通道組420的詳細視圖。另兩組校準電路428和430可進行類似的配置並連接到另兩個測試器通道組422和424，這兩個通道組422和424可類似於圖5中通道組420的配置。
參見圖5，第一測試器通道組420由分別用於驅動驅動通道514、516和518的三個驅動器508、510和512構成，這些驅動通道被用來將數據驅動到DUT(未示出)。輸入到驅動器508、510和512的是輸入502、504和506，如圖5所示，這些輸入502、504和506接收由測試發生器402生成並由定時發生器406輸出的測試數據(參見圖4)。又如圖5所示，第一測試器通道組420也包括兩個比較通道544和546，這些比較通道544和546被用來接收由DUT(未示出)響應於測試數據產生的響應數據。比較通道544和546包括分別由比較信號556和568激活的比較器550、552。期望響應數據560、562分別輸入到各個比較器550和552。又如圖5所示，第一測試通道組420也包括不用來測試DUT的通道548，並且在此示例中，未使用通道548被配置成將檢測器536的輸出返回到測試器401的校準通道。
再次參看圖5，在校準基片412上或內部的第一組校準電路426包括用於接觸驅動通道514、516和518的端部的三個輸入端520、522和524，這些驅動通道514、516和518由其輸入為502、504和506的驅動器508、510和512來驅動。校準基片412通過任選電阻528將輸入端520、522和524連接到輸出端538、540，這些任選電阻528可調節尺寸以在輸入到緩衝器532的求和結點530上減小或消除脈衝反射和/或按比例決定電壓的大小。從各個輸入端520、522、524到各個輸出端538、548以及到緩衝器532的導電路徑的長度可通過按需包括Z字形或曲線526變成長度相等或延遲接近相等，以使路徑長度相等或者接近相等，從而延遲相等或接近相等。
如圖5所示，可進行濾波(580)的緩衝器532的輸出534被連接到檢測器536，該檢測器536的輸出端被連接到校準輸出端542，該校準輸出端542被連接到未使用/校準通道548。對應於未使用/校準通道558的採集塊554的配置可採用多種方式，並且也可取決於檢測器536的輸出配置。例如，檢測器536可以是功率檢測器，並且如果檢測器536在求和結點530輸出與功率成比例的模擬DC電壓，則採集塊548可以是DC電壓測量電路。檢測器536可包括輸出與求和結點530處的功率成比例的數字的A/D轉換器。在該情形中，採集塊554可以是並聯或串聯數字交織的。應當注意檢測器536並非必需是功率檢測器。例如，當混合脈衝中的各個脈衝對齊時，混合脈衝的上升和下降沿處於最大斜度且脈衝寬度最小。因此，檢測任一或全部這些混合脈衝特性的任何檢測器可被用來檢測各個脈衝的對齊。
如上所述，除了未使用通道之外的其它通道也可被配置成用作校準通道，因而可略去圖5中的未使用/校準通道548，且檢測器536的輸出端被連接到比較通道544或546之一、或者在校準期間可用的任何其它通道，以向測試器401返回校準數據。如果比較通道544或546之一被配置成為校準通道，則可包括開關(未示出)以在檢測器536與求和結點530之間開關比較通道544或546。
應當描述的另一替代方案包括在除校準基片412之外的位置上實現檢測器536。例如，檢測器536可全部或部分地實現為在測試器401的控制器408上運行的軟體。此軟體可被配置成檢測脈衝中的功率或者脈衝的邊沿斜度或寬度。
如上所述，緩衝器532的輸出可任選地進行過濾，例如通過被配置成從緩衝器532的輸出中選擇或移除特定DC或諧波分量的高通或帶通濾波器580。取決於檢測器類型和脈衝或周期波形，可通過選擇性地測量DC上的功率或周期波形的諧波上的功率來獲得改進的功率靈敏度。應當注意元件532、580和536的精確定位並非關鍵，並且這些元件可設置在如圖5所示的校準基片上、圖1的探針卡106上、圖1的測試頭107上、圖1的測試器102上、或在其它地方。
校準基片412的輸入端520、522和524以及輸出端538、540和542可與探針卡的探針(類似於圖1中的探針110和探針卡108)進行暫時接觸，在該情況下探針卡的探針表示驅動通道514、516、518；比較通道544、546；以及未使用/校準通道548的端部。在此情形中，校準基片412可被用來對從測試器到探針的端部的測試器通道(驅動和比較)進行校準和/或校直。或者，如果已經對部分通道進行了校準和校直，則校準基片412可被用來對尚未進行校準或校直的部分通道進行校準或校直。例如，測試器通道可在開始時從測試器到測試頭(例如圖1中的107)與探針卡(例如圖1中的108)之間的接口進行校準，並且校準的結果作為定時偏移量存儲在定時控制器406中。在此情形中，校準基片412可被用來確定附加時間偏移量(例如，如上所述)以校直測試器通道的對應於探針卡的一部分。然而，校準基片412的輸入端520、522、524和輸出端538、540、542不需要連接到探針卡的探針，但是可連接到沿著測試器通道的任一點，且可用來對通道的任意部分進行校準和/校直。例如，校準基片的端子可被連接到測試頭(例如圖1中的107)。(如上所述，術語「校準」和「校直」在本說明書中被寬泛且同義地用來包括任何時延或偏移量的確定或設定，不管涉及的是通道的一部分還是全部。)校準基片412可由任何類型的基片製成，該基片可支承諸如跡線、電阻器、濾波器、檢測器、終端等電氣元件。這種基片的示例包括但不限於半導體晶片、印刷電路板、陶瓷材料等。另外，電氣元件可全部或部分地設置在基片表面和/或基片內部。此外，校準基片412可在校準期間設置在卡盤(參見圖1)上，然後可移除校準晶片412並用一個或多個DUT來替代。或者，校準基片412可設置在位於例如探針(未示出)的外殼(例如圖1的106)內的第二卡盤(未示出)上。
圖6示出了校準基片412被用來校準測試器401的驅動通道和比較通道的示例性過程。圖6將參考與圖5所示的測試通道組420和校準電路426相對應的驅動通道514、516和518、比較通道544和546以及未使用通道/校準通道548進行討論。然而，圖6所示的過程也適用於測試通道組422和424與校準電路428和430。甚至，可在各個測試通道組420、422和424的驅動和比較通道上同時執行圖6的過程。應當顯而易見，測試通道組420、422和424各自對應於一個DUT(未示出)，即各個測試通道組420、422以及424被配置成在校準和/或校直之後測試一個DUT(未示出)。因而，在圖4-6所示的示例中，校準電路426、428、430的每一組都被配置成對對應於一個DUT的測試通道組420、422、424進行校準或校直。因此，校準基片412被配置成基於每個DUT對測試通道進行校準和校直。當然，這種逐個DUT配置是任選的。另外，每個DUT有三個驅動通道、兩個比較通道以及一個未使用通道的具體配置也是任選地，並且事實上為了討論目的進行了簡化。大部分DUT需要多得多的驅動和比較通道。圖6中示出的過程適用於驅動和比較通道的任何配置。
圖6所示的過程可全部或部分地實現為通過控制器408來執行的軟體。或者，圖6所示的過程可用硬連線電路或軟體與硬連線電路的組合來實現。此外，圖6所示的過程可完全自動化，且除了啟動此過程之外不需要用戶的幹預。或者，圖6的過程可完全由用戶手動實現、或可通過部分自動部分手動地來實現。
首先，校準基片412被置於卡盤(例如圖1中的114)上、且其端子(例如520、522、524、538、540以及542)與探針卡的探針(例如圖1的探針卡108的探針110)相接觸。然後，在圖6的步驟602，一個脈衝、一串脈衝、或周期波形被同時驅動到驅動通道514、516和518的每一個中。在此示例中，一串脈衝被驅動到各個驅動通道，但是可選擇將一個脈衝驅動到各個驅動通道，或者可將一波形驅動到各個驅動通道。
測試數據發送器402可生成脈衝，這些脈衝通過定時控制器406輸出到驅動器508、510和512的輸入端502、504和506。一串脈衝等效於將一方波驅動到驅動通道514、516和518的每一個中。如圖5所示，脈衝在輸入端520、522和524處接收，在求和結點530處結合，並輸入到緩衝器532。如上所述，任選電阻528可被調整尺寸以與驅動通道514、516和518以及緩衝器532的阻抗相匹配，但對於測試器應用一般不作要求。又如上所述，可包括Z字形或曲線526，從而用於所有輸入信號的、通過校準基片412到緩衝器532的電通路具有相同的長度。緩衝器532可包括例如用於信號或阻抗標定的放大器，或者可略去緩衝器532。緩衝器532的輸出534是對驅動到驅動通道514、516和518的脈衝進行求和所構成的混合波形。
圖7a示出可能出現在緩衝器532的輸出534上的一示例性混合脈衝710。圖7a也示出了輸入到驅動器508、510、512並驅動三個驅動通道514、516和518的示例性脈衝輸入502、504、506脈衝704輸入到驅動器508並被驅動到驅動通道514；脈衝706被驅動到驅動通道516；以及脈衝708被輸入(506)到驅動器、並被驅動到驅動通道518。在圖7a中，脈衝704、706和708被示為與主時鐘脈衝702一致，該主時鐘脈衝702是在測試器401內生成、作為基準的系統時鐘。因而，在圖7a中，脈衝704、706和708被示為是輸入到驅動器508、510和512的輸入502、504和506。圖7a中示出了隨後在緩衝器532的輸出534上短暫出現的混合脈衝710的一個示例。應當顯而易見，混合脈衝710是緩衝器532的輸出534上的重疊且扭斜脈衝704、706和708的合成。因為通過驅動通道514、516和518的傳播延遲存在偏差，所以在緩衝器532的輸出處脈衝704、706和708是扭斜的。如圖7b所示，在一串這種脈衝714、716、718、720被驅動到驅動通道514、516、518的每一個時(示例性脈衝序列714，其每一個可類似於圖7a所示的脈衝704被輸入(502)到驅動器508且被驅動到驅動通道514；示例性脈衝序列716，其每一個可類似於圖7a所示的脈衝706被輸入(504)到驅動器510且被驅動到驅動通道516；以及示例性脈衝序列716，其每一個可類似於圖7a所示的脈衝708)，則在緩衝器532的輸出534上出現一串混合脈衝722、724、726、728。(一串主時鐘脈衝712也在圖7b中示出。)再參看圖6，因為脈衝在步驟602被驅動到了驅動通道514、516和518，所以在步驟604對驅動通道進行校準和/或校直。驅動通道514、516和518可通過在與驅動通道514、516和518的每一個相關聯的定時控制器406內調節時間偏移量，直到緩衝器532的輸出534的重疊扭斜脈衝對齊來進行校準或校直。例如，如圖8所示，脈衝706在輸入(504)到驅動器510之前由定時控制器406延遲一時延814(從主時鐘702的上升沿開始)，而脈衝708在輸入(506)到驅動器512之前延遲一時延816。在圖8所示的示例中，輸入(502)到驅動器508的脈衝704不延遲，儘管它也可進行延遲。又如圖8所示，偏移量814和816被選擇成將形成混合脈衝710的三個脈衝704、706和708在緩衝器532的輸出534對齊，從而形成對齊的混合脈衝710。時延814和816以及用於脈衝704的時延(在圖8所示的示例中為零)可被存儲在定時控制器406中，並在測試DUT(未示出)時使用。此時可對驅動通道514、516和518進行校準和/或校直。
注意如圖8所示，混合脈衝710並未完全理想對齊，因為在一些情形中，可能並不需要或不可能完全對齊脈衝。然而，混合脈衝710中的脈衝越對齊，則定時偏移量就越精確。
圖9示出了圖6的步驟604對驅動通道514、516、518進行校準和/校直的一示例性方法。在步驟902，定時控制器406上要進行校準或校直的偏移量被設置成對於所有驅動通道514、516和518相同。例如，偏移量可被設置成零。在步驟904，單驅動通道被選擇成要進行校準或校直的驅動通道。
在步驟906，確定混合脈衝710(圖7a)的功率。緩衝器532的輸出534要輸入其中的檢測器536可以是功率表。例如，檢測器536可確定從緩衝器532輸出(534)的混合脈衝710序列的均方根(RMS)電壓。或者，檢測器536可確定混合脈衝710序列的峰值均方或峰值均方根電壓。作為另一個替代方案，檢測器536可向測試器401的控制器408返回混合脈衝的各種可能電壓參數的測量結果(該測量結果可被數位化)，該測試器401可根據由檢測器536獲得的測量結果確定混合脈衝的峰值均方或峰值均方根電壓。眾所周知，RMS電壓對應於功率。(如上所述，緩衝器532的輸出534可由任選濾波器580濾波。)因為僅需要進行一相對功率測量，所以檢測器可有選擇的是一簡單方波整形和平均電路。例如，混合波形電壓可通過檢測器536使用一模擬混頻器來形成方波形狀，該模擬混頻器生成具有兩倍頻率和一直流分量的交流電信號。該交流電信號可使用低通濾波器來消除，或者可將交流電信號轉換成數字振幅數據。混合信號中的功率對應於直流分量或數位化交流分量。不管檢測器536如何配置，檢測器536都可任選地包括圖1測試器的控制器408所需的模數轉換器。
在步驟908，改變在步驟904選擇的驅動通道的定時偏移量，這將改變脈衝輸入到所選通道的驅動器的時間，而這又將改變混合脈衝710的形狀(通過改變混合脈衝710中脈衝的對齊)。在步驟910，再次確定混合脈衝的功率(此時因偏移量在步驟908的變化而變化)。在步驟912，確定混合脈衝中的功率是否到達峰值功率。如果沒有，則再次在步驟908改變在步驟904選定的驅動通道的時間偏移量，並且再次在步驟916確定混合脈衝的功率。(在步驟908可任選地在功率變化的方向上改變時間偏移量；即，如果功率減小則減小時間偏移量，而如果功率增大則增大時間偏移量。)重複在步驟908改變偏移量和在步驟910讀取功率的步驟，直到在步驟912獲得混合脈衝710的峰值功率，然後在步驟914確定是否已校準了所有驅動通道。如果沒有，則在步驟904選擇新的驅動通道，並重複步驟906、908、910和912，直到在混合信號710中獲得新選驅動通道的對應於峰值功率的偏移量。在獲得所有驅動通道的偏移量之後，圖9的過程結束。或者，圖9的過程可被重複兩次或多次(在不重複步驟902的情況下)。取決於初始扭斜量的大小，將圖9的過程重複兩次或多次(在不重複步驟902的情況下)會改進偏移量的精度和解析度。
再參看圖6，在驅動通道已在步驟604進行校準和/或校直之後，在步驟606對比較通道544和546進行校準和/或校直。圖10示出了對比較通道544和546進行校準和/或校直的一示例性方法。圖10示出了在步驟604進行校準或校直時的主時鐘702與輸入(502、504、506)到驅動器508、510和512的脈衝704、706和708。結果形狀1002和1006被放大成能明顯看出是各個脈衝的求和。在理想情況下將不會呈現放大的階梯狀上升沿和下降沿。通過使比較信號556對齊比較器550來選擇用於比較通道544的、從主時鐘702開始的時間偏移量1010，該比較器550在其輸入具有混合脈衝1002。類似地，通過使比較信號568對齊比較器552來選擇用於比較通道546的、從主時鐘702開始的時延偏移量1012，該比較器552在其輸入具有混合脈衝1006。時延偏移量1010和1012被存儲在定時控制器406中。
如上所述，圖6的過程可全部或部分地實現為在控制器408上執行的軟體，其中圖6的過程包括圖9所示的對驅動通道進行校準或校直的過程、以及以上參照圖10所討論的對比較通道進行校準或校直的過程。(或者，圖6所示的過程可用硬連線電路或軟體與硬連線電路的組合實現。)例如，控制器408可在總線404上發送控制信號，這使測試數據發生器402生成如以上參照圖6的步驟602所討論的脈衝序列。然後，控制器408可在總線404上發送控制信號，這使定時控制器406將驅動通道514、516和518的時延偏移量設置成與以上參照圖9的步驟902討論的相同的值。然後如以上參照圖9的步驟904所討論的，控制器408可選擇要進行校準的驅動通道。被配置成檢測如以上所討論的混合脈衝序列的RMS電壓或其它測量結果的檢測器536可數位化混合脈衝710的RMS電壓讀數，並經由備用通道548將該數位化讀數發送到控制器408。然後，控制器408可存儲此數位化RMS電壓讀數，該數位化RMS電壓讀數與由緩衝器532輸出(534)的混合脈衝710中的功率成比例，也如上所述。然後，控制器408可在總線404上發送控制信號，這使定時控制器406改變選定驅動通道的延遲時間偏移量，如以上參照步驟908所述。然後，在步驟910，控制器408可讀取由緩衝器532輸出(534)的結果混合脈衝710的RMS電壓(該電壓與功率成比例)，並重複步驟908和910直到在步驟912檢測到峰值功率讀數。峰值功率可由控制器408通過檢測器536檢測到的RMS電壓讀數的變化來確定，該檢測器536示出了從遞增讀數到遞減讀數的變化。控制器408可重複步驟904、906、908、910和912來校準每一個驅動通道，直到在步驟914確定已校準了所有驅動通道。如上所述，控制器408可被編程為重複圖9的過程兩次或多次，以對各個驅動通道確定的偏移量中獲得更大的精度。可在各比較通道544、546中的比較器550、552與控制器408之間構成連接(圖4或5中未示出)，從而控制器408能使比較信號556、568與如以上參照圖6的步驟606討論的在比較器544、546上出現的混合脈衝1002、1006自動對齊。
如上所述，圖5所示的校準電路僅僅是示例性的。圖11示出了校準電路426的另一個示例性配置416』。在圖11中，與圖5一樣，輸入端520、522和524接收到的信號在求和結點530求和，並經由輸出端538和540向比較通道544和546輸出混合信號。然而，圖11中略去了緩衝器532和檢測器536。在圖11所示的示例中，由檢測器536執行的功能用在測試器401的控制器408(參見圖4)上運行的軟體、置於測試器401中的硬體、或軟體和硬體的組合來實現。因此，不需要校準通道548，所以也將其從圖1中略去。檢測器(未在圖11中示出、但在測試器401中實現)分析比較通道544或546之一上的混合信號，但可以其它方式配置成像如上所述的檢測器536一樣起作用。校準電路426』通常可如圖6-10所述地操作。
圖12示出了一示例性實施例，其中校準電路至少部分地置於探針卡1208上，該探針卡1208一般類似於圖1中的探針卡108。圖12示出了示出第一通道組420的圖4的測試器401的部分視圖。通道514、516、518、544、546和548連接並穿過測試頭1207，該測試頭1207一般類似於圖1中的測試頭107。通道514、516、518、544、546和548從測試頭1207連接到探針卡1208。探針卡1208的探針1250被設置成接觸DUT(未示出)的輸入端，且探針卡1208的探針1252在測試DUT期間設置成接觸DUT的輸出端。在校準期間，探針1250接觸校準基片1212的輸入端1220，而探針1252接觸校準基片1212的輸出端1222。穿過探針卡1208的電連接1214使驅動通道514、516和518與探針1250電連接，而電連接1244使比較通道544和546與探針1252電連接。在此示例中，探針1254是用於校準的校準探針，並且它被放置成接觸校準基片上的校準輸出端1224。(如上所述，校準通道通常可以是用來在測試期間提供電源或接地的通道；對應於未使用探針的通道；比較通道；對應於不需要校準或用單個步驟或過程校準的DUT的輸入和/或輸出端；或用於向用來校準另一個通道的測試器401返回數據的任意通道。類似地，「校準探針」可以是對應於任一這種校準通道的探針。)如圖12所示，校準探針1254通過緩衝器1232、濾波器1280和檢測器1236連接到校準通道548。(檢測器1236可包括模數檢測器(未示出)從而其輸出是數字格式)。校準基片1212包括求和結點1230(該求和結點可類似於圖5和11的求和結點580)，該求和結點組合來自輸入端1220的信號，並向輸出端1222和校準輸出端1224輸出該混合信號。一組探針1250、1252和1254，電連接1214和1244，以及電路元件1232、1280和1236可包括在測試器401(參見圖4)的各個通道組中(例如420、422和424)。電阻1228與Z字形或曲線1226一般可類似於圖5中的電阻528與Z字形或曲線526，且用於相同的目的。校準基片1212一般可類似於校準基片412。緩衝器1232、濾波器1280以及檢測器1236一般也可類似於圖5中的同名元件。
如圖所示，圖12所示的實施例一般可類似於圖5，其不同之處在於電路元件1232、1280和1236設置於探針卡上。(如上所述，圖5中的通道514、516、518、546和548可通過探針卡(圖5中未示出)連接到校準基片412)。因此，圖12所示的實施例一般可進行如圖6-10所示方法的操作。
探針卡1208也可包括用於存儲使用本文描述的校準技術確定的時延或偏移量的存儲器1290。輸入/輸出埠1292提供了到存儲器1290的入口。僅作為一示例，對通過探針卡的電連接1214和1244進行校直的時間偏移量可使用本文所描述的校準技術來確定，並存儲在存儲器1290中。然後，在探針卡連接到測試頭1207並要用來測試DUT時，時間偏移量可通過輸入/輸出端1292加載到測試器401。加載可通過測試通道或通過諸如專用通信鏈路的其它手段。
當然，圖12所示的實施例僅僅是示例性的，並且電路元件1232、1280和1236可置於其它位置。例如，緩衝器1232、濾波器1280、和/或檢測器1236的一個或多個可置於校準基片1212、測試器401、或另一實體(未示出)。
圖13示出了一示例性多基片探針卡1308，該探針卡在圖12中可被用作探針卡1208(或在圖14中用作探針卡1208』)。如圖所示，探針卡1308包括具有用於與測試頭(例如1207)電連接的焊盤1302的印刷電路板1304。用於接觸DUT(未示出)的探針1312置於探針頭基片1310上，該探針頭基片1310可以是陶瓷基片。(探針1312也可包括用於接觸校準基片的一個或多個校準探針(例如，探針1312可包括諸如圖12中的1250、1252和1254的探針)。)包括柔性電連接1314的插入機構1306使印刷電路板1304與探針頭基片1310電連接。支架(未示出)可將探針頭基片1310固定到印刷電路板1304。電連接(未在圖13中示出)形成經由印刷電路板1304從焊盤1302到插入機構1306、經由插入機構到探針頭基片1310、以及經由探針頭基片1310到探針1312的電通路。美國專利No.5,974,662中公開了類似的探針卡配置，該專利通過引用全部結合於此。校準電路元件(例如，緩衝器1232、濾波器1280、和/或檢測器1236)的全部或任意部分可置於圖13的探針卡1308的任一基片1304、1306或1312上。類似地，存儲器1290也可置於任一基片1304、1306或1312上。
圖14示出了類似於圖12所示實施例的一示例性實施例，其不同之處在於用於在測試DUT期間向DUT(未示出)供電的測試器通道1448可被配置成在校準期間用作校準通道。圖14的測試頭1207和校準基片1212與圖12的相同名稱和標號的元件相同。測試通道組420』和探針卡1208』基本上與圖12的相同名稱和標號的元件相同。
在圖14中，測試通道組420』不包括未使用通道(圖12的548)。然而，圖14示出了在測試DUT期間用於從電源1408向DUT(未示出)供電的電源通道1448。(注意用於供電的通道與用於提供接地連接的類似通道將通過圖5和11所示實施例中的測試器401來提供，但是為了簡便未在這些示圖中示出。還要注意用於提供接地連接的其它通道與其它電源通道可被包括在圖14所示的實施例中，但為了簡便也未示出。)在測試DUT(未示出)期間，測試器401中的開關1402和探針卡1208』上的開關1404被設置成有經由通道1448和探針卡1208』從電源1408到探針1454的連接，該探針1454接觸DUT(未示出)上的電源端。然而，在校準期間，測試器401中的開關1402被設置成切換到校準採集塊1456(其輸出1470向測試器401的控制器408(參見圖4)提供輸入1418)的電源通道1448，而探針卡1208』上的開關1404被設置成將探針1454連接到探針卡1208』上的緩衝器1232、過濾器1280以及檢測器1236。(探針卡1208』也可包括存儲器1290(參見圖12)與其它電路元件。)探針1454接觸校準輸出端1224。因而在校準期間，電源通道1448和電源探針1454被用來向測試器401返回校準數據(在此情形中電源通道1448也被配置成為校準通道，而源電探針1454也被配置成為校準探針)。如圖14所示，不將電源通道1448用作校準端，而是可將比較通道544或546(和穿過探針卡1208』的對應電連接1244)之一配置成在校準驅動通道期間用作校準通道。在校準期間或部分校準期間未使用的任何測試器通道也可被配置成在校準期間用作校準通道。注意圖14所示的實施例可進行圖6-10所示的操作。
儘管在本文中已描述了本發明的多個示例性實施例和應用，但是並非旨在將本發明限定於這些示例性實施例和應用、或本文所述的示例性實施例和應用的操作方法。例如，上述任一信道可任選地被配置成為驅動通道或比較通道或者兩者。作為另一個示例，不使用備用通道來向測試器401返回檢測器536的輸出，而是可將比較信道(例如544、546)用來向測試器401返回檢測器536的輸出。或者，其它的電源或接地通道(被配置成向DUT供電或接地的通道)可被用來向測試器401返回檢測器536的輸出。作為另一示例，檢測器536可在沿比較通道的任一點設置，包括設置在測試器中的比較器上。作為又一示例，圖4中的測試器401可被配置成一次測試任意數目的DUT或任何類型的DUT。作為再一示例，圖中所示的方波或矩形波脈衝可用任意形狀的脈衝代替。作為另一示例，通道不需要基於每個DUT進行校準或校直。作為又一示例，在一個或多個DUT與測試器之間設置接口的任意類型探針卡或接觸器可被用作圖12中的探針卡1208。
權利要求
1.一種確定與機器的通信信道相關聯的時延的方法，所述方法包括將所述機器的多個第一驅動通道電連接在一起；將第一信號驅動到所述第一驅動通道；監視包括所述第一信號的組合的第一混合信號；以及調節與所述第一驅動通道之一相關聯的時延，直到所述第一混合信號顯示出指示所述第一混合信號內所述第一信號的改進對齊的特性。
2.如權利要求1所述的方法，其特徵在於，所述調節步驟還包括調節與各個所述第一驅動通道相關聯的時延，直到所述第一混合信號顯示出指示構成所述第一混合信號的所述第一信號的改進對齊的特性。
3.如權利要求2所述的方法，其特徵在於，還包括將所述驅動步驟、所述監控步驟和所述調節步驟重複多次。
4.如權利要求2所述的方法，其特徵在於，所述第一混合信號的所述特性對應於所述第一混合信號的峰值功率。
5.如權利要求2所述的方法，其特徵在於，所述第一混合信號的所述特性對應於所述第一混合信號的峰值均方電壓或峰值均方根電壓測量結果的其中之一。
6.如權利要求1所述的方法，其特徵在於，每個所述第一信號都包括一個脈衝。
7.如權利要求6所述的方法，其特徵在於，每個所述第一信號都包括一串脈衝。
8.如權利要求1所述的方法，其特徵在於，還包括將多個第二驅動通道電連接在一起；將第二信號驅動到所述第二驅動通道；監控包括所述第二信號的組合的第二混合信號；以及調節與所述第二驅動通道之一相關聯的時延，直到所述第二混合信號顯示出指示所述第二混合信號內所述第二信號的改進對齊的特性。
9.如權利要求8所述的方法，其特徵在於所述第一驅動通道被配置成向要測試的第一電子器件提供測試數據，以及所述第二驅動通道被配置成向要測試的第二電子器件提供測試數據。
10.如權利要求9所述的方法，其特徵在於，還包括將所述第一混合信號電連接到所述機器的多個第一比較通道；調節與所述第一比較通道之一相關聯的時延，以使與所述第一比較通道之一相關聯的比較器的比較信號與所述第一混合信號對齊。
11.如權利要求10所述的方法，其特徵在於，還包括調節與各個所述第一比較通道相關聯的時延，以使與各個所述第一比較通道相關聯的比較器的比較信號與所述第一混合信號對齊。
12.如權利要求10所述的方法，其特徵在於，還包括將所述第二混合信號電連接到所述機器的多個第二比較通道；以及調節與所述第二比較通道之一相關聯的時延，以使與所述第二比較通道之一相關聯的比較器的比較信號與所述第二混合信號對齊。
13.如權利要求12所述的方法，其特徵在於，還包括調節與各個所述第二比較通道相關聯的時延，以使與各個所述第二比較通道相關聯的比較器的比較信號與所述第二混合信號對齊。
14.如權利要求1％所述的方法，其特徵在於，所述第一比較通道被配置成響應於經由所述第一驅動通道向所述第一電子器件提供的所述測試數據，接收由所述第一電子器件生成的響應數據，以及所述第二比較通道被配置成響應於經由所述第二驅動通道向所述第二電子器件提供的所述測試數據，接收由所述第二電子器件生成的響應數據。
15.如權利要求8所述的方法，其特徵在於，每個所述第二信號都包括一個脈衝。
16.如權利要求15所述的方法，其特徵在於，所述第二信號包括一串脈衝。
17.如權利要求1所述的方法，其特徵在於，還包括將所述第一混合信號電連接到所述機器的多個第一比較通道；調節與所述第一比較通道之一相關聯的時延，以使與所述第一比較通道之一相關聯的比較器的比較信號與所述第一混合信號對齊。
18.如權利要求17所述的方法，其特徵在於，還包括調節與各個所述第一比較通道相關聯的時延，以使與各個所述第一比較通道相關聯的比較器的比較信號與所述第一混合信號對齊。
19.如權利要求1所述的方法，其特徵在於，所述機器是用於測試電子器件的測試器。
20.如權利要求19所述的方法，其特徵在於，所述電子器件是半導體器件。
21.一種校準基片，包括多個第一輸入端，被設置成接收來自機器的多個第一驅動通道的輸入；第一緩衝器，其中所述第一輸入端電連接到所述第一緩衝器的輸入；第一檢測器，它被配置成接收所述第一緩衝器的輸出作為輸入；以及第一輸出端，電連接到所述第一檢測器的輸出端、並被配置成與所述機器的一通道電連接。
22.如權利要求21所述的校準基片，其特徵在於，還包括多個附加第一輸出端，它們各自電連接到所述第一緩衝器的所述輸入、並被配置成與所述機器的多個第一比較通道電連接。
23.如權利要求22所述的校準基片，其特徵在於，還包括多個第二輸入端，被設置成接收來自所述機器的多個第二驅動通道的輸入；第二緩衝器，其中所述第二輸入端電連接到所述第二緩衝器的輸入端；第二檢測器，它被配置成接收所述第二緩衝器的輸出作為輸入；以及第二輸出端，電連接到所述第二檢測器的輸出端、並被配置成與所述機器的一通道電連接。
24.如權利要求23所述的校準基片，其特徵在於，還包括多個附加第二輸出端，它們各自電連接到所述第二緩衝器的所述輸出、並被配置成與所述機器的多個第二比較通道電連接。
25.如權利要求24所述的校準基片，其特徵在於所述第一驅動通道被配置成向要測試的第一電子器件提供測試數據，以及所述第二驅動通道被配置成向要測試的第二電子器件提供測試數據。
26.如權利要求25所述的校準基片，其特徵在於所述第一比較通道被配置成響應於經由所述第一驅動通道提供給所述第一電子器件的所述測試數據，接收由所述第一電子器件生成的響應數據，以及所述第二附加比較通道被配置成響應於經由所述第二驅動通道提供給所述第二電子器件的所述測試數據，接收由所述第二電子器件生成的響應數據。
27.如權利要求21所述的校準基片，其特徵在於，將所述第一輸入端連接到所述第一緩衝器的所述輸入的電通路具有相等的長度。
28.如權利要求21所述的校準基片，其特徵在於，還包括設置於所述第一輸入端與所述第一緩衝器的所述輸入之間的多個電阻。
29.如權利要求28所述的校準基片，其特徵在於，調整所述電阻的大小並設置成匹配所述驅動通道的阻抗。
30.如權利要求21所述的校準基片，其特徵在於，還包括被設置成對所述第一緩衝器的所述輸出進行濾波的電子濾波器。
31.如權利要求21所述的校準基片，其特徵在於，所述機器是測試器。
32.一種包括用於使所述機器執行一設定測試器通道的時延的方法的指令的機器可讀介質，所述方法包括將第一信號驅動到多個第一驅動通道；接收與包括所述第一信號的組合的第一混合信號相對應的第一數據；調節與所述第一驅動通道之一相關聯的時延，直到所述第一數據指示所述第一混合信號內所述第一信號的改進對齊。
33.如權利要求32所述的機器可讀介質，其特徵在於，所述調節步驟還包括調節與各個所述第一驅動通道相關聯的時延，直到所述第一數據指示所述第一混合信號內所述第一信號的改進對齊。
34.如權利要求32所述的機器可讀介質，其特徵在於，還包括將所述驅動步驟、所述接收步驟和所述調節步驟重複多次。
35.如權利要求32所述的機器可讀介質，其特徵在於，所述第一數據對應於所述第一混合信號的功率。
36.如權利要求32所述的機器可讀介質，其特徵在於，所述第一數據對應於所述第一混合信號的均方根電壓測量結果。
37.如權利要求32所述的機器可讀介質，其特徵在於，每個所述第一信號都包括一個脈衝。
38.如權利要求32所述的機器可讀介質，其特徵在於，每個所述第一信號都包括一串脈衝。
39.如權利要求32所述的機器可讀介質，其特徵在於，所述方法還包括將第二信號驅動到多個第二驅動通道；接收與包括所述第二信號的組合的第二混合信號相對應的第二數據；調節與所述第二驅動通道之一相關聯的時延，直到所述第二數據指示所述第二混合信號內所述第二信號的改進對齊。
40.如權利要求39所述的機器可讀介質，其特徵在於所述第一驅動通道被配置成向要測試的第一電子器件提供測試數據，以及所述第二驅動通道被配置成向要測試的第二電子器件提供測試數據。
41.如權利要求39所述的機器可讀介質，其特徵在於，所述方法還包括調節與多個第一比較通道的比較信號相關聯的時延，以使所述比較信號與所述第一比較通道中比較器上的所述第一混合信號對齊。
42.如權利要求39所述的機器可讀介質，其特徵在於，每個所述第二信號都包括一個脈衝。
43.如權利要求42所述的機器可讀介質，其特徵在於，每個所述第二信號都包括一串脈衝。
44.一種探針卡，包括被設置成接觸要測試的電子器件的端子的多個探針；用於使所述探針中的數個電連接到測試信號源的裝置；以及被配置成處理包括校準信號的組合的混合信號的電路，所述校準信號在所述探針卡上從所述測試信號源接收並經由所述探針之一被驅動到一校準基片的輸入端，所述混合信號經由被設置成與所述校準基片的輸出端接觸的校準探針在所述探針卡上接收。
45.如權利要求44所述的探針卡，其特徵在於，所述校準探針包括被設置成與要測試的電子器件的端子相接觸的所述多個探針之一。
46.如權利要求44所述的探針卡，其特徵在於，所述探針卡包括備用探針，所述備用探針不對應於所述要測試的電子器件的接觸端子。
47.如權利要求44所述的探針卡，其特徵在於，所述電路包括被配置成檢測所述混合信號的功率電平的檢測器。
48.如權利要求47所述的探針卡，其特徵在於，所述電路包括被配置成接收所述混合信號、並向所述檢測器輸出所述混合信號的緩衝器。
49.如權利要求48所述的探針卡，其特徵在於，所述電路包括一濾波器，所述濾波器被設置於所述緩衝器與所述檢測器之間，並被配置成對從所述緩衝器輸出的所述混合信號進行濾波和向所述檢測器輸出所述經濾波的混合信號。
50.如權利要求44所述的探針卡，其特徵在於，所述電路包括被配置成檢測所述混合信號的邊沿的檢測器。
51.如權利要求50所述的探針卡，其特徵在於，所述電路包括被配置成接收所述混合信號並向所述檢測器輸出所述混合信號的緩衝器。
52.如權利要求51所述的探針卡，其特徵在於，所述電路包括一濾波器，所述濾波器被設置於所述緩衝器與所述檢測器之間，並被配置成對從所述緩衝器輸出的所述混合信號進行濾波和向所述檢測器輸出所述經濾波的混合信號。
53.如權利要求44所述的探針卡，其特徵在於，所述電路包括被配置成對所述混合信號進行緩衝的緩衝器。
54.如權利要求44所述的探針卡，其特徵在於，所述電路包括被配置成對所述混合信號進行濾波的濾波器。
55.如權利要求54所述的探針卡，其特徵在於，所述濾波器僅通過所述混合信號的選定諧波分量。
56.如權利要求54所述的探針卡，其特徵在於，所述濾波器移除所述混合信號的選定諧波分量。
57.如權利要求44所述的探針卡，其特徵在於，還包括被配置成存儲表示所述探針卡的校直偏移量的數據的數據存儲器件。
58.如權利要求44所述的探針卡，其特徵在於，還包括其中存儲有表示所述探針卡的校直偏移量的數據的數據存儲器件。
59.如權利要求44所述的探針卡，其特徵在於用於電連接的所述裝置包括多個基片，以及所述電路被設置在所述基片的其中之一上。
60.一種探針卡，包括被設置成接觸要測試的電子器件的端子的多個探針；用於將所述探針中的數個電連接到測試信號源的裝置；被設置成存儲表示所述探針卡的校直偏移量的數據的數據存儲器件。
61.如權利要求60所述的探針卡，其特徵在於，表示所述探針卡的校直偏移量的數據被存儲在所述數據存儲器件中。
全文摘要
一連串脈衝可被驅動到各個驅動通道，各個驅動通道在緩衝器的輸出端生成一連串混合脈衝。各個混合脈衝是由驅動到驅動通道的各個脈衝構成。可調節與驅動通道相關聯的時間偏移量，直到混合脈衝中的各個脈衝對齊或接近對齊。這些時間偏移量對驅動通道進行校準和/或校直，從而補償通過驅動通道的傳播延遲的偏差。混合脈衝可經由比較通道反饋到測試器，且可使與用於各個比較通道的比較信號相關聯的偏移量與混合脈衝對齊，這可校準和/或校直比較脈衝。
文檔編號G01R31/28GK101048780SQ200580028048
公開日2007年10月3日 申請日期2005年7月11日 優先權日2004年7月9日
發明者C·A·米勒 申請人:佛姆法克特股份有限公司