利用空氣平衡器進行收縮動作的定位裝置的製作方法

2023-10-11 06:14:29 4

專利名稱：利用空氣平衡器進行收縮動作的定位裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及考慮了安全性搭載在工具機或三維測量裝置等裝置上的進行收縮動作的定位裝置。
背景技術：
工具機或三維測量裝置能夠進行任意的定位控制，為了縮短加工時間或測量時間，進行高速驅動的情況也很多。考慮到安全性，這些裝置搭載有即使在驅動過程中也進行緊急停止的功能。除了在按壓緊急停止開關而通過手動使裝置緊急停止的情況 、由於伺服馬達的過負荷等導致裝置發出警報並自動停止的情況下裝置會緊急停止，在由於停電等導致失去電源等情況下，裝置也會緊急停止。作為通常的緊急停止方法，使所有的軸減速工作，通過施加制動保持位置並停止。但是，在工具機的各軸正在高速驅動過程中進行緊急停止的情況下，會由於慣性移動一定程度的距離，才能通過制動來停止，因此，不一定總能安全地停止。凡是加工過程中的工具機，就有可能發生工具與工件之間的碰撞，凡是測量過程中的三維測量裝置，就有可能發生探頭(probe)與測定物之間的碰撞。為了使裝置在上述高速驅動時的緊急停止的情況下也安全停止，提出了維持伺服馬達的控制，直至各軸完全停止的方法。圖24表示的是現有技術中緊急停止處理的流程圖。判斷是否是由於停電導致緊急停止，在緊急停止的情況下，從不間斷電源(uninterruptible power source、UPS)開始電源供給,維持各軸的控制進行減速停止,收縮至安全的位置，對所有的軸施加制動。然後通過停止所有軸的控制來完成緊急停止。該技術中，通過直至各軸完全停止之前維持伺服馬達的控制的方式在本來的驅動路徑的中途使各軸的控制停止後移動至安全的位置並使制動器工作。在由於停電等失去電源的情況下，通過從分開設置的不間斷電源(UPS)以及減速動作產生的再生能量接受一定時間的電源供給，使各軸的控制安全停止(參照日本特開平8-54914號公報、日本特開平8-227307號公報)。另外，在日本特開2006-177437號公報、日本特開2006-214536號公報中公開了如下技術在精密工具機或精密測定器等中，空氣平衡結構適用於補償在垂直軸上移動的可動部的自重的機構。如上述的日本特開平8-54914號公報以及日本特開平8-227307號公報中公開的那樣，在進行緊急停止的情況下，維持工具機或三維測量裝置等裝置的各軸的控制，在本來的驅動路徑的中途使各軸停止之後，移動至安全的位置，使制動器工作。在由於停電等失去電源的情況下，通過從分開設置的電池(不間斷電源)以及減速動作產生的再生能量接受一定時間的電源供給，使各軸安全停止。該方法在安全性、通用性上優異，另一方面，還需要設置高價的電池、再生電源的電路，為了配備再生電源的電路等，需要大規模的控制電路、電源電路的變更。另外，在例如由於加工程序的錯誤導致工具碰撞工件而發出過負荷警報的情況下，如果維持錯誤的工具路徑來停止，則損害增大。並且，在由於地震等從外部施加了超出各軸驅動力的大的加速度的情況下，還存在不能維持路徑的問題。

發明內容
因此，本發明的目的在於，鑑於上述以往技術的問題點，提供一種能夠不依賴外部動力地使垂直軸可靠地進行收縮動作的定位裝置。本發明的定位裝置具備驅動垂直軸的伺服馬達、控制該伺服馬達的控制裝置、以及抵消所述垂直軸的自重的空氣平衡器。該定位裝置還具有空氣供給源，該空氣供給源向所述空氣平衡器供給空氣；壓力調整裝置，該壓力調整裝置使用從所述空氣供給源供給的空氣調整所述空氣平衡器的壓力；空氣平衡器壓力變更部，該空氣平衡器壓力變更部用於當所述定位裝置由於緊急停止、停電或者其它操作導致所述伺服馬達的勵磁被解除時，對所述空氣平衡器的壓力進行變更，使所述垂直軸在避免追隨所述垂直軸移動的結構部分與其它結構物碰撞或者減少碰撞的方向移動。 根據本發明，通過將本來用於抵消垂直軸的自重而搭載的空氣平衡器也利用於緊急停止時的收縮動作，能夠以低價格提高定位裝置的安全性。所述空氣平衡器壓力變更部能夠通過空氣平衡器的壓力變化而產生所述伺服馬達的推力以上的力。根據該實施方式，由於空氣平衡器能夠容易地產生垂直軸的驅動力以上的推力，因此相比通過控制進行收縮動作，能夠實現更高速的收縮動作，而且，即使在由於地震等承受了超出控制的驅動力的外力的情況下，能夠進行安全的收縮動作的可能性也很高。所述空氣平衡器壓力變更部能夠是與空氣平衡器連接的壓力調整裝置。根據該實施方式，能夠通過空氣平衡器的壓力變化而產生所述伺服馬達的推力以上的力。所述空氣平衡器壓力變更部能夠由能夠存留一定量壓力比空氣平衡器的壓力高或者低的空氣的空氣箱和閥構成，該空氣箱能夠經由所述閥並通過配管而與所述空氣平衡器連接。如果持續改變空氣平衡器的壓力，則垂直軸無止境地運動，如果收縮動作過大，則還有可能有損安全性，因此希望收縮動作只移動確保安全所必要的距離。根據該實施方式，在緊急停止時，打開閥，直至空氣箱內成為與空氣平衡器相同的壓力，垂直軸進行收縮動作，但是不會移動得更遠，也就是，能夠使收縮動作為一定的距離。所述垂直軸具備制動裝置，該制動裝置在供給空氣壓力時使得制動器被解除，在釋放空氣壓力時使得制動器工作，向所述制動裝置供給的空氣從遠高於所述空氣平衡器的壓力的空氣源經由閥供給，所述閥具備放掉閥閉合時的剩餘壓力的排氣埠，並且能夠具備當所述閥閉合時使所述制動裝置的剩餘壓力經由閥的所述排氣埠流入所述空氣平衡器的管路。根據該實施方式，由於制動器在空氣被釋放時工作，因此即使在停電時也保持制動。即，通過固定垂直軸的可動部從而確保安全的制動器本來的作用也能夠兼具上述實施方式中的「空氣箱」的作用。空氣驅動的制動器在制動器內部或者中途的配管中存留有高壓的空氣(剩餘壓力)，當制動器工作時，該空氣被排出。利用被排出的空氣，暫時提高空氣平衡器的壓力，來進行垂直軸的收縮動作，因此，能夠在制動器工作的條件下確實地(由於沒有電信號處理，因此停電時也可以)使垂直軸進行收縮動作。能夠除了所述垂直軸之外還有至少一個直線軸或者旋轉軸,該直線軸或者旋轉軸具備制動裝置，該制動裝置在供給空氣壓力時使得制動器被解除，在釋放空氣壓力時使得制動器工作，各個閥同時開閉，並且具備當閉合閥時使各個制動器的剩餘壓力經由所述排氣埠流入空氣平衡器的管路。根據該實施方式，在軸為多個的情況下，通過使從各個軸的制動器排出的剩餘壓力的空氣都被導入空氣平衡器，在制動器工作時向空氣平衡器輸送更多的空氣，由此，垂直軸的收縮動作更加高速，而且收縮時產生的力也增大。能夠使連接所述制動裝置與所述閥的空氣配管的至少一個是能夠在配管內存留空氣的結構。
根據該實施方式，為了進一步加快垂直軸的收縮動作，有必要進一步增多在制動器工作時向空氣平衡器輸送的空氣的流量。而且，由於存留在制動器與閥之間的空氣配管中的空氣經由閥的排氣埠流入空氣平衡器，因此該空氣配管越長或者越粗則空氣的量越增加。在空氣配管的中途連接箱並蓄積空氣也能得到相同效果。所述垂直軸的制動裝置能夠為如下結構在使制動器工作時排出的空氣的管路中安裝有節流閥，通過限制所述排出的空氣的流速，使垂直軸的制動器的工作時間延遲。根據該實施方式，在由於停電導致空氣源(壓縮機)停止的情況下，空氣平衡器的壓力成為零。即使在該情況下，支撐自重的量的保持力對於垂直軸的制動器也是必要的，具有非常強力的保持力。因此，如果垂直軸的制動器的動作迅速，則存在垂直軸的收縮動作在不充分的位置停止的可能性。為了解決該問題，只有垂直軸通過在制動器的管路中增設節流閥使制動器工作延遲，從而能夠獲取垂直軸收縮充分的距離的時間。而且，如果在垂直軸高速進行收縮動作過程中通過制動器進行鎖定，那麼衝擊傳遞給可動部、制動器，有可能導致裝置的故障、精度惡化，但是通過使垂直軸的制動延遲，則能夠防止。所述閥能夠為電磁閥，該電磁閥的電源為接通時，向制動裝置供給空氣，制動器被解除，電磁閥為斷開時，制動器工作。根據該實施方式，向各軸的制動器的空氣供給通過電磁閥進行電控制，只要是在電源OFF時制動器工作的方式，制動器即使在停電時也工作，因此，停電後垂直軸自動進行收縮動作。所述空氣平衡器能夠與精密減壓閥的二次側連接，進行壓力調整，使得所述空氣平衡器的壓力恆定。根據該實施方式，如果抵消垂直軸的自重的空氣平衡器的壓力發生變動，則成為伺服馬達的負荷，因此，為了總是保持恆定壓力，需要精密減壓閥，該精密減壓閥作為即使失去電源也保持相同壓力設定值的裝置即使在停電時也有效。並且，能夠相對於垂直軸的收縮動作迅速地使空氣平衡器室的壓力穩定。本發明的定位裝置通過具備以上所述的結構，能夠提供不依賴外部動力地確實使垂直軸進行收縮動作的定位裝置。


本發明的上述以及其它目的和特徵根據參照附圖進行的以下的實施方式的說明得以明確。這些圖分別如下。圖I是表示作為本發明所涉及的定位裝置的一個例子的工具機的圖。圖2是表示作為本發明所涉及的定位裝置的一個例子的三維測量裝置的圖。圖3是說明工具或測量探頭處於不能通過垂直軸從工件或被測定物收縮的姿勢的圖。圖4A以及圖4B是表示在本發明的定位裝置的第一實施方式中搭載的垂直軸的一個例子的主視圖以及側視圖。圖5是表示圖4B的A-A剖面的圖。
圖6是表示空氣平衡器室內的壓力與空氣平衡器的驅動力之間的關係的一個例子的圖。圖7是說明本發明的定位裝置的第二實施方式的圖。圖8是說明圖7的定位裝置中的閥通過其截止栓的位置將空氣箱與空氣源連接的狀態的圖。圖9是說明圖7的定位裝置中的閥通過其截止栓的位置將空氣箱與空氣平衡器室連接的狀態的圖。圖10是說明本發明的定位裝置的第三實施方式的圖。圖IlA以及圖IlB是圖10的B-B剖視圖，是說明圖10的定位裝置中的制動裝置分別處於制動器解除時以及制動器工作時的狀態的圖。圖12是說明圖10的定位裝置中的制動閥打開、處於正在驅動工具機或三維測量裝置的狀態的圖。圖13是說明圖10的定位裝置中的制動閥閉合、工具機或三維測量裝置處於緊急停止的狀態的圖。圖14是說明作為本發明所涉及的定位裝置的一個例子的、搭載有三個直線軸的三維測量裝置的第四實施方式的圖。圖15是說明作為本發明所涉及的定位裝置的一個例子的、搭載有三個直線軸的三維測量裝置的第五實施方式的圖。圖16是表示在圖15中記載的定位裝置(搭載有三個直線軸的三維測量裝置)中沒有變更配管、但是追加了空氣箱的、第五實施方式的一個變形例子的圖。圖17是通過流程圖說明從對定位裝置開始緊急停止的處理直至制動為止必需的順序的圖。圖18是表示在圖16中表示的定位裝置(搭載有三個直線軸的三維測量裝置)追加了節流閥56的第五實施方式的又一變形例子的圖。圖19是說明圖12或者圖13中表示的制動閥構成為電磁閥、並且處於該電磁閥打開狀態的圖。圖20是說明圖19的制動用的電磁閥閉合、制動器正在工作的狀態的圖。圖21是表示在本發明的定位裝置的第六實施方式中搭載的垂直軸的一個例子的首1J視圖。圖22是說明收縮動作的距離、可動部的速度、空氣平衡器的驅動力以正弦波形變化的圖形。圖23是說明精密減壓閥與空氣平衡器連接狀態下的、收縮工作、速度、驅動力的變化的圖形。圖24是現有技術中緊急停止的流程圖。
具體實施例方式在進行工具機的加工或者三維測量裝置的測量時，工具或者測量探頭以垂直的姿勢被固定的裝置很多。這樣的裝置只要使垂直軸向上方瞬時收縮，則能夠安全停止的可能性很大。在使用空氣平衡器作為抵消垂直軸的自重的機構的情況下，通過改變該空氣平衡器的壓力能夠瞬時產生很大的力。這被利用為緊急停止時的垂直軸的收縮動作。在作為緊急停止時改變空氣平衡器的壓力的方法而在各軸的制動器中利用空氣壓力的裝置中，能夠利用該制動器的排氣。考慮到安全性，通常制動器在沒有動力的狀態下也能夠持續工作，因此，空氣壓力式的制動器為如下方式在解除制動時被供給空氣壓力，在制動器進行工作時，釋放空氣壓力。使制動器工作的空氣壓力通過電磁閥來0N/0FF。通過將在各軸的制動器進行動作的瞬間從制動器釋放的空氣壓力引導向垂直軸的空氣平衡器室，在制動器工作的瞬間，空氣平衡器室的壓力增高，垂直軸向上方運動。另外，為了防止在垂直軸充分收縮之前垂直軸的制動器本身制動，在垂直軸的制動器配管中安裝有節流閥，能夠使制動器的動作(空氣壓力釋放時間)遲於其它軸。只要是該方式，就能夠不依賴於外部動力、也不追加新的控制迴路地在制動器進行動作的條件下可靠地使垂直軸進行收縮工作。另外，由於新追加的部件僅為配管和節流閥，因此價格非常低，並且，也容易配備到裝置上。圖I表示的是作為定位裝置的一個例子的工具機。圖I中所示的工具機是搭載有X軸2、Y軸4以及Z軸6的正交三軸結構。而且，Y軸4上固定有安裝工具10的主軸8。Z軸6是在鉛直方向延伸的垂直軸。在底座I上配置X軸2，在該X軸2上配置有Z軸6。工件12固定於該Z軸6。在Y軸4的前端朝向鉛直方 向下方安裝有主軸8。能夠通過X軸2和Y軸4使工具10相對於工件12在水平面兩軸方向移動。而且，通過Z軸6使工具10相對於工件12相對移動。X軸2、Y軸4、Z軸6上分別搭載的制動器(X軸制動器3、Y軸制動器5、Z軸制動器7)是用於通過固定裝置的可動部來確保安全的機構。尤其是在通過直線馬達(線性馬達)驅動各軸的裝置中，如果該直線馬達的控制停止，則成為各軸輕易進行動作的狀態，因此，在裝置的安全方面，制動器是必需的。但是，即使搭載有制動器，在工具機的各軸處於驅動時制動器工作的狀況下，裝置的各軸不一定總是安全停止。在工具機加工工件12的過程中，存在產生工具10與工件12的碰撞的可能性。根據碰撞的程度，會由於碰撞產生工具10或工件12的破損,有時還會導致主軸8或工具機本身損壞。即使在工具機的各軸驅動過程中也使各軸安全停止的方法之一為使各軸瞬時收縮至不會發生碰撞的位置後通過制動器使各軸停止。在圖I的工具機的軸結構中，工具10的姿勢總是垂直(鉛直方向朝下)，不會發生變化。因此，只要使垂直軸、也就是固定有工件12的Z軸6向下收縮充分的距離，工具10與工件12之間的間隔距離增大，就不會產生碰撞。
圖2表示的是作為定位裝置的一個例子的三維測量裝置。圖2中的三維測量裝置是搭載有X軸2、Y軸4、Z軸6的正交三軸結構。Z軸6是鉛直方向的垂直軸，在該Z軸6上，測量探頭14朝向鉛直方向下方地進行安裝。在底座I上配置Y軸4，在該Y軸4上配置X軸2。測定物16固定在X軸2上。能夠通過X軸2和Y軸4使測定物16相對於測量探頭14在水平面兩軸方向相對移動。而且，通過Z軸6使測量探頭14相對於測定物16在鉛直方向移動。X軸2、Y軸4、Z軸6上分別搭載的制動器(X軸制動器3、Y軸制動器5、Z軸制動器7)是用於通過固定裝置的可動部來確保安全的機構。尤其是在通過直線馬達驅動各軸的裝置中，如果該直線馬達的控制停止，則成為各軸輕易進行動作的狀態，因此，在裝置的安全方面，制動器是必需的。對於三維測量裝置而言，如果在測量過程中緊急停止，也存在測量探頭14與測定 物16碰撞產生破損、或者由於碰撞導致三維測量裝置的精度惡化的可能性。圖2的三維測量裝置的垂直軸、也就是Z軸6的搭載位置不同於圖I的工具機的情況，通過使該Z軸6向上(鉛直向上)收縮能夠增大測量探頭14與測定物16之間的間隔距離，因此能夠使三維測量
裝置安全停止。圖I的工具機或圖2的三維測量裝置有時為如下軸結構不僅能夠進行任意的定位，而且能夠通過旋轉軸任意地改變角度(姿勢)。圖3表示的是在垂直軸的驅動方向上不能進行收縮的例子。在工具10或者測量探頭14以朝向正側面的姿勢對圖3中所示形狀的工件12或者測定物16進行加工或者測量的情況下，無論垂直軸向上、下哪個方向收縮都會產生碰撞。因此，圖3中所示的工具10或測量探頭14為通過垂直軸不能從工件12或被測定物16收縮的姿勢，該情況下，有必要使工具10或測量探頭14從工件12或被測定物16在水平方向收縮。另外，圖3中所示工件12或被測定物16具備不能通過垂直軸從工具10或測量探頭14收縮的形狀。姿勢和形狀的組合可以考慮到多種，例如傾斜的凹形狀加工等，因此，為了進行對應於所有這些組合的收縮動作，不僅僅機械結構複雜，而且控制的面也非常複雜。但是，對於實際使用的工具機或三維測量裝置而言，圖I或圖2這樣的、工具10或測量探頭14的姿勢被固定在垂直方向的軸結構的情況居多。另外，即使是姿勢能夠自由改變的軸結構，在實際的加工和測量中，也是以垂直姿勢使用居多。於是，在本發明中將軸的收縮動作限定為垂直方向(鉛直方向)的收縮動作，目的在於提供一種定位裝置，特別是能夠容易進行搭載有空氣平衡器的垂直軸的收縮動作。使用圖4A (主視圖)以及圖4B (側視圖)說明在本發明的定位裝置的第一實施方式中搭載的垂直軸的一個例子。該定位裝置是可動部21相對於固定部20在鉛直方向(上下方向)移動的結構。壓力調整裝置46與空氣源(壓縮機)44連接，來自空氣源44的壓縮空氣經由空氣配管60向壓力調整裝置46供給。供給到壓力調整裝置46的壓縮空氣經由與空氣平衡器連接的配管70向空氣平衡器供給。關於該空氣平衡器，使用圖5進行說明。來自控制裝置40的對壓力調整進行指令的電信號經由用於壓力調整的信號線80輸入壓力調整裝置46，控制壓力調整裝置46的動作。緊急停止開關42是用於通過手動緊急停止的開關，若按壓該開關，則控制裝置40的控制停止，成為緊急停止狀態。關於圖4A以及圖4B中所示的定位裝置的第一實施方式，進一步使用表示圖4B的A-A剖面的圖5進行說明。垂直軸的可動部21是鬥形形狀，是在該可動部21的內表面插入了具有長方體形狀的固定部20的結構。可動部21與固定部20接觸的面是軸承面22。通過在該軸承面採用例如空氣軸承，從而使可動部21相對於固定部20保持數y m的間隔被支撐(參照圖21)。該空氣軸承的軸承面還具有密封流體的功能，因此，由固定部20與可動部21包圍的空間成為密閉結構。為了將該密閉結構的空間作為空氣平衡器使用，空氣平衡器室23經由與空氣平衡器連接的空氣配管70而與壓力調整裝置46連接。壓力調整裝置46經由空氣配管60與空氣源(壓縮機)44連接，能夠任意調整空氣平衡器室23的壓力(即，壓力調整裝置46構成「空氣平衡器壓力變更部」)。該結構中，通 過調整壓力調整裝置46使得空氣平衡器室23的壓力與可動部21的重量均衡，從而能夠抵消可動部21的自重。該可動部21能夠通過直線馬達等驅動裝置(未圖示)進行在鉛直方向(上下方向)定位的驅動，通過空氣平衡器能夠在接近無負載的狀態下進行驅動。而且，這樣的結構在之前作為在先技術文獻提供的日本特開2006-177437號公報以及日本特開2006-214536號公報中公開。5中所示定位裝置的第一實施方式中，「空氣平衡器壓力變更部」如上所述由壓力調整裝置46構成。例如，圖4A的緊急停止開關42被按壓時，通過從控制裝置40向壓力調整裝置46發送改變壓力的信號，空氣平衡器室23內的壓力變化，垂直軸進行收縮工作。這樣，該實施方式中，通過利用空氣平衡器來進行垂直軸的收縮動作，能夠不另外追加裝置地以低價格提高定位裝置的安全性。如上所述，在能產生遠大於通常伺服馬達的力的方面，利用空氣平衡器來進行垂直軸的收縮動作的方式也具有優點。通過更大的力進行收縮動作時，即使是重量(慣性)大的可動部21也能更加高速地收縮，有助於防止可動部21碰撞。圖6是表示空氣平衡器室23內的壓力與空氣平衡器的驅動力之間的關係的一個例子的圖。設垂直軸的可動部的重量為lOOKg，空氣平衡器室23的截面積(可動部由於空氣壓力承受向上方向的力的面積)為500cm2，那麼，如果空氣平衡器室23的壓力(表壓)為0. 2Kgf/cm2 (=0. 02MPa),則將可動部21推上去的力為0. 2X500=100 (Kgf),與可動部21
的重量均衡。在將可動部21推上去的力與可動部21的重量均衡的狀態下，空氣平衡器的驅動力為零，通過在該狀態下進行通常的由伺服馬達進行的位置控制，則可動部21的自重、空氣平衡器的驅動力不會成為馬達的負荷。這樣，如圖6所示，空氣平衡器僅比大氣壓(絕對壓力下約為l.OKgf/cm2)提高20%壓力，具有能夠產生IOOKgf這樣大的力的優點。設搭載於垂直軸上的驅動機構(例如直線馬達)的最大推力為5kgf，那麼，如果使空氣平衡器中壓力變化為0. OlKgf/cm2以上，則能夠容易地產生最大推力以上的力。例如，在使靜止的IOOKg的可動部收縮IOmm的情況下，在最大推力為5kgf時，需要0. 2秒。另一方面，如果通過空氣平衡器產生20kgf，則能夠將上述可動部收縮IOmm縮短至0. I秒。通過空氣平衡器產生20kgf的力時的壓力為0. 24kgf/cm2，相對於原來的空氣平衡器壓力僅變化20%壓力，就能夠得到相比控制驅動裝置的情況使收縮時間減半這樣的效果。另外，在由於地震等對裝置施加了大的加速度的情況下，會很容易地施加超出控制的最大推力的力，有時依靠電控制不再能夠進行可動部的收縮工作。這種情況下，只要是能夠以更大的力進行收縮動作的空氣平衡器，就能夠避免可動部的碰撞，或者使碰撞的損害為最小限度。此處，針對通過電控制和空氣平衡器進行的可動部的收縮動作進行補充說明。壓力的傳播速度為音速，但是實際上，由於裝置中使用的中途管路的阻力等，流量會受到限制，因此，估計空氣平衡器的壓力達到最大為止需要0. I秒(如果中途配管充分粗且短，則接近音速)。
另一方面，通過電控制能夠瞬時產生最大推力，因此如果通過推力的上升時間進行比較，則確實是通過電控制進行的可動部的收縮動作快於通過空氣平衡器進行的可動部的收縮動作。但是，如同圖6的說明，收縮動作的時間還依賴於最大推力，因此，收縮的距離越長,則最大推力大的空氣平衡器越有利。實際上，與各種條件都存在關係，但是，在通常使用的工具機或三維測量裝置等裝置中，如果可動部的收縮距離為5 10mm以上，則空氣平衡器快(換言之，收縮動作的時間短)。在5中所示的定位裝置的第一實施方式中，在緊急停止時，空氣平衡器室23的壓力設定本身通過壓力調整裝置46發生了改變，因此，只要不使空氣平衡器室23的壓力還原，可動部的收縮動作就會持續。因此，在改變空氣平衡器室23的壓力而進行恆定距離的收縮動作之後，必須按照使空氣平衡器室23恢復到原來壓力這樣的順序從控制裝置40向壓力調整裝置46輸出信號。因此，來自控制裝置40的對壓力調整進行指令的電信號經由用於壓力調整的信號線80輸入壓力調整裝置46，壓力調整裝置46的動作受到控制。使用圖7說明本發明的定位裝置的第二實施方式中搭載的垂直軸的一個例子。該實施方式中進行恆定距離的收縮動作。壓力調整裝置46與空氣平衡器室23經由與空氣平衡器連接的空氣配管70連接。壓力調整裝置46經由空氣配管60與空氣源44連接。閥48經由空氣配管61與空氣源44連接，閥48與空氣平衡器室23經由與該空氣平衡器室23連接的空氣配管71連接。另外，閥48經由空氣配管62與空氣箱50連接。控制裝置40進行閥48的開閉控制和壓力調整裝置46的控制。壓力調整裝置46僅用於使空氣平衡器室23的壓力與可動部21的重量均衡的目的，與緊急停止時的動作無關。如圖8所示，圖7的閥48具有截止栓49，由與空氣源44連接的路徑、與空氣箱50連接的路徑、與空氣平衡器室23連接的路徑這三條路經構成。與空氣箱50連接的閥48在圖2中所示軸結構的裝置的驅動時通過使截止栓49位於圖8中所示的位置來如圖8所示地連接空氣箱50和空氣源44，因此，空氣箱50內為高壓。緊急停止開關42被按壓時，來自該緊急停止開關42的信號經由信號線81輸入控制裝置40。於是，接收到該信號的控制裝置40將指令信號經由信號線82輸入閥48。閥48中的截止栓49根據該指令信號移動，因此，閥48截斷來自空氣源44的高壓空氣的供給，如圖9所示地連接空氣箱50和空氣平衡器室23。空氣箱50內的高壓空氣經由閥48、與空氣平衡器連接的空氣配管71流入空氣平衡器室23。通過該流入的空氣，空氣平衡器室23的壓力暫時提高，但是隨著可動部21的收縮動作，空氣平衡器室23的壓力還原，可動部21的收縮動作在進行恆定距離後結束。例如，如果空氣箱50的容量為0. IL (升)，空氣源44的壓力為0. 62Mpa(絕對壓力0. 72Mpa)，那麼，使用上述的空氣平衡器室23的值，當空氣箱50的空氣膨脹為6倍體積(=0. 6L)時，壓力下降為六分之一，與原來的空氣平衡器室23的壓力同為0. 02Mpa (絕對壓力0. 12Mpa)。因此，空氣平衡器室23中流入膨脹的體積量的空氣0. 5L (從膨脹後的體積減去原來箱的體積後的值的體積)，可動部21隻上升體積增加量的10mnin圖7的實施方式是使空氣箱50內壓力高於空氣平衡器室23、使可動部21在鉛直方向朝上收縮的情況，但是如果取消閥48與空氣源44的連接，則驅動時的空氣箱50的壓力為大氣壓。該情況下，空氣箱50的壓力低於空氣平衡器室23，因此使可動部在鉛直方向朝下收縮(其結果為，與圖I中所示軸結構的裝置對應)。但是，由於空氣平衡器室23與空氣箱50之間的壓力差小(約為0. 2Mpa)，因此使垂直軸通過收縮動作下降IOmm時 的空氣箱50的容量需要為3L。這樣，垂直軸的朝下的收縮存在空氣箱50的容量增大這樣的缺點。使用圖10說明本發明的定位裝置的第三實施方式中搭載的垂直軸的一個例子。制動裝置25安裝在可動部21側，制動器導軌26安裝在固定部20側。制動器為通過空氣壓力工作的方式，制動裝置25經由與制動器連接的空氣配管72與制動閥52連接。空氣源44的空氣經由分支配管、即空氣配管63向壓力調整裝置46和制動閥52供給。另夕卜，制動閥52經由與空氣平衡器連接的空氣配管71與空氣平衡器室23連接。壓力調整裝置46經由與空氣平衡器連接的配管70與空氣平衡器室23連接。控制裝置40進行制動閥52的開閉和壓力調整裝置46的壓力控制。來自控制裝置40的指令信號經由制動器的信號線83輸入制動閥52。來自控制裝置40的對壓力調整進行指令的信號經由用於壓力調整的信號線80輸入壓力調整裝置46。另外，通過按壓緊急停止開關42而經由信號線81向控制裝置40輸入緊急停止信號。而且，關於制動閥52的動作，使用圖12、圖13在後文敘述。使用圖IlA以及圖IlB說明圖10的定位裝置中的制動裝置處於制動器解除時以及制動器工作時的狀態。從空氣源44經由制動閥52向制動裝置25供給充分高壓的空氣後，如圖IlA所示，壓力作用在缸體27內的活塞28，彈簧29縮短，制動器被解除。反之，空氣從缸體27內被排出時，如圖IlB所示，活塞28通過彈簧29的力被推出，通過活塞28上配備的制動塊30將制動器導軌26從兩側挾住，從而使制動器工作。該方式的優點在於即使由於停電等導致作為空氣源44的壓縮機停止，也能通過彈簧29的力保持制動器。另外，如圖IlA所示，之所以在制動器導軌26的左右配置缸體27、活塞28、彈簧29的組合從而使制動裝置25為左右對稱的結構，是為了通過對制動器導軌26從左右以相同的力挾持從而不會在制動器工作時對軸承施加大的力。尤其是參照圖5所述的空氣軸承是摩擦接近於零的理想軸承，並且軸承的剛性相比滾動軸承等較低，因此在制動器工作時負荷不會施加在軸承上，因此，在該制動裝置中是所希望的軸承。使用圖12說明圖10的定位裝置中的制動閥52打開、處於正在驅動工具機或三維測量裝置的狀態。制動閥52具有截止栓53，由與空氣源44連接的路徑、與制動裝置25連接的路徑、與空氣平衡器室23連接的路徑這三條路徑構成，按照該截止栓53的位置，三條路徑中只有兩條路徑相互連通。在裝置驅動時，閥為打開狀態，排氣埠 59—側由截止栓53堵塞，與空氣源44連接的路徑和與制動裝置25連接的路徑連通。此時，從空氣源44向制動裝置25供給高壓空氣，制動器被解除。使用圖13說明圖10的定位裝置中的制動閥閉合、工具機或三維測量裝置處於緊急停止的狀態。在緊急停止時，閥為閉合狀態，截止栓53處於堵塞空氣源44側的位置，與制動裝置25連接的路徑和與空氣平衡器室23連接的路徑連通。在該狀態下，制動裝置25側的剩餘壓力從排氣埠放掉，存留在制動裝置25側的高壓空氣經由排氣埠 59流向壓力低的空氣平衡器室23。最終向制動裝置25供給的空氣壓力下降至與空氣平衡器相同，壓力充分下降，因此，制動器工作。從具有存留空氣的容積的意義上講，制動裝置25內的缸體27的空間和將制動閥52與制動裝置25連接起來的空氣配管72 (參照圖10)相當於圖7中所示定位裝置(第二實施方式)中的空氣箱50，基於相同原理，在緊急停止時垂直軸進行收縮動作。也就是，在圖10中所示的定位裝置(第三實施方式)中，該制動裝置25為如下結構除了固定垂直軸 的可動部21這一本來作用之外，還兼具向空氣平衡器室23供給用於進行收縮動作的空氣的作用。該結構的優點在於，不再需要如圖7中所示定位裝置(第二實施方式)那樣另外準備用於垂直軸的收縮動作的空氣箱50。本來，制動裝置25是作為固定可動部21的安全裝置所不可缺少的裝置。在不僅垂直軸承受重力影響，尤其是驅動裝置為直線馬達的情況下，如果在沒有制動器的狀態下馬達的勵磁中斷，則會輕易地產生運動，因此，從安全上講，制動器是必需的。本發明的定位裝置的結構以在垂直軸上搭載有空氣平衡器室23為前提，但是，在使用空氣的裝置中使用的制動器通常是空氣驅動，大多採用圖11的結構的制動器。因此，本發明的定位裝置的特徵在於，不是為了可動部(垂直軸)的收縮動作而採用空氣驅動的制動器，而是在搭載有空氣平衡器室23的裝置中本來就搭載有上述的空氣驅動的制動器，因此將該制動器用於其收縮動作。另外，制動裝置25兼作空氣箱50的另一個優點在於，在制動器工作的時刻，垂直軸肯定進行收縮動作。只要是搭載有制動器的垂直軸，只要按壓緊急停止開關42，就成為制動器工作的迴路。通常，考慮到安全，制動器在由於停電等即使在失去電源時也能使裝置停止，因此，在停電時，制動器也工作。使用圖14說明作為本發明所涉及的定位裝置的一個例子的、搭載有三個直線軸的三維測量裝置的第四實施方式。三維測量裝置搭載有X軸2、Y軸4、Z軸6這三個直線軸。在作為垂直軸的Z軸6上搭載有與圖5同樣的空氣平衡器，而且在X軸2、Y軸4、Z軸6上分別搭載有圖11中所示的制動器和圖12、圖13中所示的制動閥52 (X軸制動閥52x、Y軸制動閥52y、Z軸制動閥52z)。而且，這三個制動閥52x、52y、52z的排氣埠通過通用的空氣配管(與空氣平衡器連接的配管71)與空氣平衡器室23連接。在緊急停止時，控制三個制動閥52x、52y、52z全部為同時閉合的狀態(圖13)。而且，控制裝置40 (參照圖10)控制X軸制動閥52x、Y軸制動閥52y、Z軸制動閥52z的開閉動作。與只具有垂直軸的圖10的定位裝置相比，圖14的三維測量裝置搭載有三個制動器(X軸制動器3、Y軸制動器5、Z軸制動器7)，在緊急停止時，各制動器的排壓從排氣埠被排出，從而通過與空氣平衡器連接的空氣配管71流入空氣平衡器室23的空氣的流量也成為三倍。如針對圖7的定位裝置(第二實施方式)在上文說明的那樣，在通過空氣平衡器使垂直軸向上收縮IOmm的情況下，需要0. IL的空氣箱，但是難以如圖10的定位裝置(第三實施方式)那樣只通過一個制動器和制動器配管來得到0. IL的容量。於是，通過匯總三個軸的量，從而使得單軸的每個制動器約為33cc，成為能夠實現的容量。另外，在圖14的三維測量裝置中，對於三個制動器(X軸制動器3、Y軸制動器5、Z軸制動器7)使用了三個制動閥52x、52y、52z，但是在緊急停止時以外的裝置的運用上，如果沒有必要使各個制動器3、5、7獨立地工作，則可以只通過一個閥來使X軸、Y軸、Z軸的制動器同時進行動作。使用圖15說明作為本發明所涉及的定位裝置的一個例子的、搭載有三個直線軸的三維測量裝置的第五實施方式。三維測量裝置搭載有X軸2、Y軸4、Z軸6這三個直線軸。定位裝置是與圖2中所 示裝置相同的結構。在該實施方式的定位裝置中，也如上所述，制動器內和制動器配管的容量對於通過空氣平衡器進行可動部的收縮動作是重要的。空氣驅動式的制動器如果僅用於本來的制動器動作，則沒有必要考慮在配管中的壓力損失(由於空氣在制動器解除過程中、工作過程中不流動，因此沒有壓力損失)，因此，通常使用內徑較細的空氣配管。例如，如果制動器的配管的內徑為￠2. 5mm,長度為2m,那麼，其容積為10cc。關於圖11中的左右缸體27的有效容積，兩側共計為3cc的容積。於是，將制動器的配管的容積和左右缸體27的有效容積相加，則每軸為13cc，三軸總計也只有39cc。於是，如圖15所示，使X軸2、Y軸4、Z軸6各軸制動器的配管72x』、72y』、72z』增粗且增長,使內徑為4. Omm,長度為2. 5mm。該情況下,每軸為40cc,三軸總計為120cc,成為超過所述的必要容量0. IL的容量。而且，符號72x』表示與X軸制動器連接的粗長的空氣配管、72y』表示與Y軸制動器連接的粗長的空氣配管、72z』表示與Z軸制動器連接的粗長的空氣配管。圖16表示在圖15中表示的定位裝置(搭載有三個直線軸的三維測量裝置)中沒有變更配管、但是追加了空氣箱54的、第五實施方式的一個變形例子。如圖15所示那樣通過使制動器的配管72x』、72y』、72z』增粗增長來增加容積的方法雖然價格低，但是根據裝置不同，也存在沒有容納配管的空間的情況。因此，可以更直接地通過在制動器的配管的中途安裝空氣箱54來增加容積。在圖16中，在與Y軸4的制動器連接的空氣配管72y的中途追加有80cc的空氣箱54。該空氣箱54的80cc的容量和原有的39cc的容量相加總共119cc，成為超過必要容量的0. IL的容量。使用圖17的流程圖說明從對定位裝置開始緊急停止的處理直至制動為止的必要順序。各軸的制動器的閥同時開閉。因此，各軸的制動器同時工作。此處的問題在於至垂直軸的制動器工作為止的時間與至垂直軸的收縮動作結束為止的時間之間的關係。如圖17的流程圖所示，在垂直軸的收縮動作結束以後垂直軸的制動器進行工作是正確的順序。以下，根據各步驟進行說明。步驟SA100 :對各軸進行的控制停止，制動閥閉合。步驟SA102 :垂直軸以外的制動器工作，制動器的排壓流入空氣平衡器。
步驟SA104 :垂直軸的收縮動作結束。步驟SA106 :垂直軸的制動器工作。 但是，根據上述的收縮動作的原理，在制動器的閥閉合的同時，垂直軸的收縮動作開始，同時制動器也工作，因此，在收縮動作的途中，制動器工作。如圖6所說明的那樣，由於空氣平衡器產生很大的力，因此如果制動器的保持力弱，則空氣平衡器的力大於該保持力，存在即使制動器正在工作也繼續進行收縮動作的可能性。但是，考慮到垂直軸的制動器這一用途，即使在停電時空氣源停止、空氣平衡器完全失效的狀況下，也要求垂直軸的制動器具有支撐可動部的重量IOOKg的保持力。因此，垂直軸的制動器保持力是強力，只要垂直軸的制動器工作，垂直軸就不能進行收縮動作。另外，如果在可動部的收縮動作中途由於強力的制動將可動部鎖定，那麼，由於急停止導致大的衝擊作用在可動部和制動器上。這有時也會成為裝置精度惡化、制動器故障 的原因，因此需要在確實使垂直軸的收縮結束之後使垂直軸的制動器工作的機構。圖18表示在圖16中表示的定位裝置(搭載有三個直線軸的三維測量裝置)追加了節流閥56的第五實施方式的又一變形例子。該節流閥56被稱作速度控制器，能夠將流速控制為一定量以下。此處所謂的限制流速是指限制每單位時間流過的空氣的流量。通過該節流閥56，在垂直軸(Z軸6)的制動器的閥(Z軸制動閥52z)關閉後，限制從制動器的缸體27 (參照圖11)流出的空氣的流速。限制空氣的流速後，缸體27內的壓力隨時間經過而逐漸降低，因此，能夠延遲通過彈簧29按壓活塞28使制動器工作的時間。由於作為垂直軸的Z軸6以外的軸、即X軸2以及Y軸4的制動用配管中沒有設置這種節流閥56，因此制動閥(X軸制動閥52x、Y軸制動閥52y)閉合後，制動器馬上工作，並且，制動器的排壓(排氣)流入空氣平衡器室23。通過採用該方式，能夠確實地在垂直軸(Z軸6)的收縮動作完成後使該垂直軸(Z軸6)的制動器工作，因此，能夠實現上述的圖17的流程圖的流程。而且，節流閥56的安裝位置如圖18所示那樣越接近垂直軸(Z軸6)的制動器則制動器配管內的空氣的大部分用於垂直軸的收縮動作，因此不會造成浪費。使用圖19說明本發明的定位裝置中使用的制動閥52 (參照圖12、圖13)構成為電磁閥、並且處於該電磁閥打開狀態(制動器被解除的狀態)。圖19中所示的制動用的電磁閥52a通常向內部搭載的線圈52b通電來進行閥52c的開閉。對該線圈52b通電後，固定鐵心52d成為電磁鐵，為了吸引可動部鐵心52e，閥52c在圖19中靠左，排氣埠 52f關閉。同時，空氣源44與制動裝置25的管路連通，如虛線箭頭所示，空氣從空氣源44向制動器供給，制動器被解除。圖20表示圖19的制動用的電磁閥52a閉合、制動器工作的狀態。切斷向線圈52b的電源後，由於固定鐵心52d失去磁力，因此通過內置的彈簧52g使得閥52c在圖20中被拉回到靠右側。閥52c處於圖20中所示位置後，制動裝置25的排壓經由排氣埠 52f流入空氣平衡器室23。失去電源後，電磁閥52a必定成為圖20所示的狀態，因此停電時的電磁閥52a成為閥閉合的狀態。因此，即使在由於停電等動力、控制裝置等的信號全部被切斷的狀態下，電磁閥52a也閉合，垂直軸必定進行收縮動作。這意味著圖17的流程圖中所示的緊急停止的一系列流程不需要電源地自動執行，能夠實現可靠性非常高的垂直軸的收縮動作。使用圖21說明在本發明的定位裝置的第六實施方式中搭載的垂直軸的一個例子。從空氣源44經由配管75向設在可動部21的配管76供給空氣。向空氣軸承供給的空氣被排入空氣平衡器室23內。另外，該空氣源44經由空氣配管73向垂直軸的制動用電磁閥52a供給空氣。該制動用電磁閥52a經由制動用的空氣配管72與制動器連接。另夕卜，制動用電磁閥52a的排氣埠經由配管74與空氣平衡器室23連接。精密減壓閥58的二次側58d經由配管78與空氣平衡器室23連接。制動用電磁閥52a的排氣埠經由配管74與空氣平衡器連接。符號76是空氣軸承的配管。符號77表示從空氣軸承(向空氣平衡器室23)的排氣。符號78是連接空氣平衡器與精密減壓閥(58)的二次側(58d)的配管。
關於所述的停電時的垂直軸的收縮動作，控制空氣平衡器的壓力的壓力調整裝置
46(例如圖10中表示的壓力調整裝置46)在停電時也保持空氣平衡器的壓力這一前提是必要的。在停電的同時將空氣平衡器室23的空氣排放這樣的壓力調整裝置46不能進行垂直軸的收縮動作。作為具有不使用電力地將壓力保持恆定的功能的壓力調整裝置46，具有精密減壓閥58。精密減壓閥58從一次側58b取入高壓空氣，手動轉動調整把手58a，從二次側58d輸出調壓後的空氣，這是通常的使用方法。但是，在如圖5中所示的定位裝置那樣的通過空氣軸承密封空氣平衡器的情況下，由於從密封部分總有空氣(空氣軸承的排氣)向空氣平衡器室23供給，因此，不需要如圖21那樣向精密減壓閥58的一次側58b供給空氣。S卩，可以將一次側58b堵塞。該情況下的精密減壓閥58進行從精密減壓閥58的排氣埠 58c排放空氣平衡器的多餘空氣的動作，使得二次側58d的空氣壓力恆定。能夠精密控制二次側58d的壓力的類型、尤其是稱為「精密減壓閥」，用於如空氣平衡器那樣不允許稍微的壓力變化的用途。而且，在作為可動部的垂直軸的重量變動那樣的裝置中，在該精密減壓閥58的調整把手58a上安裝步進馬達(未圖示)，能夠根據垂直軸的重量自動控制二次側58d的壓力，使得垂直軸的馬達負荷為最小。步進馬達在其分解能的範圍內即使切斷電源也能保持位置，因此，精密減壓閥58的壓力設定得以維持。停電時，壓縮機等空氣源44也停止，但是並非供給壓力馬上為零，可以認為通過壓縮機主體、途中配管中存留的空氣能夠至少供給幾秒。因此，剛停電後的空氣平衡器室23至少在幾秒內通過精密減壓閥58保持為一定壓力。圖17的流程圖中表示的緊急停止時的垂直軸的收縮動作的流程在廣2秒結束，垂直軸的制動器工作以後，即使空氣平衡器壓力完全為零，可動部的位置也不會移動。因此，通過具備精密減壓閥58，從空氣壓力的觀點可以說即使在停電時也能確實執行垂直軸的收縮動作。在通過空氣軸承這樣的無摩擦的軸承保持的可動部21中，如果瞬間改變密閉空間、即空氣平衡器室23的壓力，則空氣平衡器進行作為空氣彈簧的舉動。如果垂直軸的可動部21完全沒有衰減要素，則收縮動作的距離、可動部21的速度、空氣平衡器的驅動力以正弦波變化，成為圖22的圖形所示的相位關係。由圖22可知，由於在收縮距離最大時可動部21的速度為零，因此,為了使垂直軸的制動器在該瞬間工作，看似通過圖18的節流閥56延遲制動器的工作時間即可。但是，在設正弦波的周期為T秒時，由於實際上T=O. 3、. 6秒，是很短的時間，因此，所述的施加制動的時刻為T/2=0. 15、. 3秒後，瞅準該瞬間使制動器工作是非現實的。另外，在T/2秒後的時亥IJ，空氣平衡器的驅動力為朝下最大，從該點上也可以說也不優選該狀態下使制動器工作。在如圖21的定位裝置那樣其精密減壓閥58與空氣平衡器室23連接的狀態下，可動部的收縮動作的距離和可動部的速度和空氣平衡器的驅動力如圖23的圖表所示。如上所述，精密減壓閥58總是在抑制空氣平衡器的壓力變化的方向進行動作。因此，精密減壓閥58作為壓力變動的衰減要素髮揮作用，因此，T』秒後，垂直軸的收縮動作、速度、驅動力都穩定(成為變動少的平穩的值)。由於實際的T』為0. 5^2. 0秒，因此調整圖18的節流閥56使垂直軸的制動器的工作延遲2. 0秒以上即可。這樣的調整並不是特別困難。由於通過暫時改變空氣平衡器的壓力來執行的是收縮動作，因此，也可以認為使空氣平衡器的壓力保持恆定的減壓閥會妨礙可動部的收縮動作。可動部的收縮動作中最重要的是空氣平衡器的壓力(驅動力)的上升，可以說收縮速度由該壓力(驅動力)的上升決 定。通過比較圖22的圖形和圖23的圖形可知，緊急停止剛剛開始後的舉動完全相同，沒有看到有無減壓閥58帶來的影響。這是由於減壓閥58的響應速度略遲於壓力變化，但是幾乎不會由於該響應的延遲導致減壓閥58妨礙可動部的收縮動作。因此，即使減壓閥與空氣平衡器連接，也可以認為收縮動作沒有問題地進行。如上所述，本發明的定位裝置通過限定為垂直軸的驅動方向、尤其是朝上方向的垂直軸的收縮動作，能夠不附加高價裝置地簡單地實現可靠性高的緊急停止時的垂直軸的收縮動作。另外，原理上講，能夠以大於馬達的驅動力的力進行驅動工作，在這方面也比現有的方式優異。
權利要求
1.一種定位裝置，其具備驅動垂直軸的伺服馬達、控制該伺服馬達的控制裝置、以及抵消所述垂直軸的自重的空氣平衡器，該定位裝置的特徵在於， 具有: 空氣供給源，該空氣供給源向所述空氣平衡器供給空氣； 壓力調整裝置，該壓力調整裝置使用從所述空氣供給源供給的空氣調整所述空氣平衡器的壓力；以及 空氣平衡器壓力變更部，該空氣平衡器壓力變更部用於當所述定位裝置由於緊急停止、停電或者其它操作導致所述伺服馬達的勵磁被解除時，對所述空氣平衡器的壓力進行變更，使所述垂直軸在避免追隨所述垂直軸移動的結構部分與其它結構物碰撞或者減少碰撞的方向移動。
2.根據權利要求I所述的定位裝置，其特徵在於， 所述空氣平衡器壓力變更部通過空氣平衡器的壓力變化來產生所述伺服馬達的推力以上的力。
3.根據權利要求I所述的定位裝置，其特徵在於， 所述空氣平衡器壓力變更部是與空氣平衡器連接的壓力調整裝置。
4.根據權利要求I所述的定位裝置，其特徵在於， 所述空氣平衡器壓力變更部由能夠存留一定量壓力比空氣平衡器的壓力高或者低的空氣的空氣箱和閥構成，該空氣箱經由所述閥並通過配管而與所述空氣平衡器連接。
5.根據權利要求I所述的定位裝置，其特徵在於， 所述垂直軸具備制動裝置，該制動裝置在供給空氣壓力時使得制動器被解除，在釋放空氣壓力時使得制動器工作，向所述制動裝置供給的空氣從遠高於所述空氣平衡器的壓力的空氣源經由閥供給， 所述閥具備放掉閥閉合時的剩餘壓力的排氣埠，並且具備當所述閥閉合時使所述制動裝置的剩餘壓力經由閥的所述排氣埠流入所述空氣平衡器的管路。
6.根據權利要求5所述的定位裝置，其特徵在於， 除了所述垂直軸之外還有至少一個直線軸或者旋轉軸，該直線軸或者旋轉軸具備制動裝置，該制動裝置在供給空氣壓力時使得制動器被解除，在釋放空氣壓力時使得制動器工作，各個閥同時開閉，並且具備當閉合閥時使各個制動器的剩餘壓力經由所述排氣埠流入空氣平衡器的管路。
7.根據權利要求6所述的定位裝置，其特徵在於， 連接所述制動裝置與所述閥的空氣配管的至少一個是能夠在配管內存留空氣的結構。
8.根據權利要求5至7中任一項所述的定位裝置，其特徵在於， 所述垂直軸的制動裝置為如下結構在使制動器工作時排出的空氣的管路中安裝有節流閥，通過限制所述排出的空氣的流速，使垂直軸的制動器的工作時間延遲。
9.根據權利要求5至7中任一項所述的定位裝置，其特徵在於， 所述閥為電磁閥，該電磁閥的電源為接通時，向制動裝置供給空氣，制動器被解除，電磁閥為斷開時，制動器工作。
10.根據權利要求I所述的定位裝置，其特徵在於， 所述空氣平衡器與精密減壓閥的二次側連接，進行壓力調整，使得所述空氣平衡器的壓力恆定。
全文摘要
本發明涉及利用空氣平衡器進行收縮動作的定位裝置。定位裝置在由於緊急停止、停電、其它操作使得伺服馬達的勵磁被解除時，使用從空氣供給源供給的空氣變更用於抵消由該伺服馬達驅動的垂直軸的自重的空氣平衡器的壓力，使該垂直軸移動。
文檔編號B23Q5/58GK102950501SQ20121027340
公開日2013年3月6日 申請日期2012年8月2日 優先權日2011年8月18日
發明者蛯原建三 申請人:發那科株式會社