石英晶體電參數測試系統的製作方法
2023-10-30 01:57:37 4
石英晶體電參數測試系統的製作方法
【專利摘要】一種石英晶體電參數測試系統包括：計算機，發出控制信號；信號發生器，根據控制信號產生第一正弦信號至第四正弦信號；第一π網絡，連接到第一石英晶體的兩端並接收第一正弦信號；第二π網絡，連接到第二石英晶體的兩端並接收第二正弦信號；第一混頻及幅值檢測電路至第四混頻及幅值檢測電路，分別輸出第一差頻信號至第四差頻信號；第一鑑相電路，輸出第一差頻信號與第三差頻信號之間的第一相位差；第二鑑相電路，輸出第二差頻信號和第四差頻信號之間的第二相位差；模擬數字轉換器，接收第一相位差和第二相位差，將第一相位差和第二相位差轉換為數位訊號並將所述數位訊號輸入到計算機。
【專利說明】石英晶體電參數測試系統
【技術領域】
[0001]本發明涉及石英晶體電參數測試技術，更具體地講，涉及一種雙通道石英晶體電參數測試系統。
【背景技術】
[0002]石英晶體諧振器(以下簡稱石英晶體)是一種廣泛應用於通信、計算機、電子儀表、家用電器等各個領域的元件。隨著電子信息產業的飛速發展，尤其是數字電子技術的廣泛應用，石英晶體的市場需求快速增長，石英晶體生產行業發展迅速，因此對石英晶體電參數的測試精度及效率均提出了更高的要求。
【發明內容】
[0003]為克服上述問題，提供一種石英晶體電參數測試系統，該系統可包括:計算機，發出控制信號；信號發生器，根據計算機發出的控制信號產生具有預定頻率的第一正弦信號至第四正弦信號；第一 η網絡，連接到第一石英晶體的兩端，並接收第一正弦信號；第二 ^網絡，連接到第二石英晶體的兩端，並接收第二正弦信號；第一混頻及幅值檢測電路，其第一輸入端接收第一 η網絡的輸出信號，其第二輸入端接收第四正弦信號，其第一輸出端輸出與第一 η網絡的輸出 信號的幅值成比例的第一直流信號，其第二輸出端輸出第一 η網絡的輸出信號與第四正弦信號之間的第一差頻信號；第二混頻及幅值檢測電路，其第一輸入端接收第二 η網絡的輸出信號，其第二輸入端接收第四正弦信號，其第一輸出端輸出與第二 η網絡的輸出信號的幅值成比例的第二直流信號，其第二輸出端輸出第二 η網絡的輸出信號與第四正弦信號之間的第二差頻信號；第三混頻及幅值檢測電路，其第一輸入端接收第三正弦信號，其第二輸入端接收第四正弦信號，其第一輸出端輸出與第三正弦信號的幅值成比例的第三直流信號，其第二輸出端輸出第三正弦信號與第四正弦信號之間的第三差頻信號；第四混頻及幅值檢測電路，其第一輸入端接收第三正弦信號，其第二輸入端接收第四正弦信號，其第一輸出端輸出與第三正弦信號的幅值成比例的第四直流信號，其第二輸出端輸出第三正弦信號與第四正弦信號之間的第四差頻信號；第一鑑相電路，接收第一差頻信號和第三差頻信號，並輸出第一差頻信號與第三差頻信號之間的第一相位差；第二鑑相電路，接收第二差頻信號和第四差頻信號，並輸出第二差頻信號和第四差頻信號之間的第二相位差；模擬數字轉換器，接收第一相位差和第二相位差，將第一相位差和第二相位差轉換為數位訊號並將所述數位訊號輸入到計算機。
[0004]第三正弦信號與第一正弦信號可同頻但不同相，第三正弦信號與第二正弦信號可同頻但不同相。
[0005]第四正弦信號的頻率與第一正弦信號、第二正弦信號和第三正弦信號的頻率之間可存在預定的頻率差。
[0006]在測量第一石英晶體和第二石英晶體的電參數時，首先將第一石英晶體和第二石英晶體分別替換成短路片，計算機控制四通道信號發生器分別調節第一正弦信號和第二正弦信號的相位，使得第一 H網絡的輸出信號與第三正弦信號之間的相位差為零，並且使得第二 H網絡的輸出信號與第三正弦信號之間的相位差為零；然後移除短路片，將第一石英晶體的兩端連接到第一 H網絡，將第二石英晶體的兩端連接到第二 H網絡，同時計算機控制四通道信號發生器分別調節第一正弦信號、第二正弦信號和第三正弦信號的頻率，使得第一正弦信號、第二正弦信號和第三正弦信號總是保持同頻，且幅值關係和相位關係保持不變，第四正弦信號的頻率始終與第一正弦信號、第二正弦信號和第三正弦信號的頻率存在預定的頻率差；當第一 H網絡的輸出信號與第三正弦信號之間的相位差再次為零時，此時四通道信號發生器輸出的第一正弦信號、第二正弦信號或第三正弦信號的頻率為第一石英晶體的串聯諧振頻率；當第二 H網絡的輸出信號與第三正弦信號之間的相位差再次為零時，此時四通道信號發生器輸出的第一正弦信號、第二正弦信號或第三正弦信號的頻率為第二石英晶體的串聯諧振頻率。
[0007]在調節第一正弦信號至第四正弦信號的頻率的過程中，計算機以預定的時間間隔按照預定的頻距控制四通道信號發生器輸出的第一正弦信號至第四正弦信號的頻率從低到高變化。
[0008]模擬數字轉換器接收第一直流信號至第四直流信號，將第一直流信號至第四直流信號轉換為數位訊號並將所述數位訊號輸入到計算機；計算機根據第一直流信號和第三直流信號的幅值、第三正弦信號的幅值以及第一石英晶體的串聯諧振頻率計算第一石英晶體的串聯電阻、靜態電容、動態電容和動態電感，根據第二直流信號和第四直流信號的幅值、第三正弦信號的幅值以及第二石英晶體的串聯諧振頻率計算第二石英晶體的串聯電阻、靜態電容、動態電容和動態電感。
[0009]第一 網絡可包括:第一電阻器；第二電阻器，與第一電阻器並聯；第三電阻器，連接在第一電阻器和第二電阻器之間，第一電阻器和第三電阻器之間的節點連接到四通道信號發生器以接收第一正弦信號；第四電阻器，與第二電阻器並聯；第五電阻器，與第四電阻器並聯；第六電阻器，連接在第四電阻器和第五電阻器之間，第五電阻器和第六電阻器之間的節點連接到第一混頻及幅值檢測電路的第一輸入端，第一石英晶體連接在第二電阻器和第三電阻器之間的節點與第四電阻器和第六電阻器之間的節點之間。
[0010]第二 網絡可包括:第七電阻器，連接到四通道信號發生器；第八電阻器，與第七電阻器並聯；第九電阻器，連接在第七電阻器和第八電阻器之間，第七電阻器和第九電阻器之間的節點連接到四通道信號發生器以接收第二正弦信號；第十電阻器，與第八電阻器並聯；第十一電阻器，與第十電阻器並聯；第十二電阻器，連接在第十電阻器和第十一電阻器之間，第十一電阻器和第十二電阻器之間的節點連接到第二混頻及幅值檢測電路的第一輸入端，第二石英晶體連接在第八電阻器和第九電阻器之間的節點與第十電阻器和第十二電阻器之間的節點之間。
[0011]四通道信號發生器可以是直接數字頻率合成器。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0012]通過結合附圖，從下面的實施例的描述中，本發明這些和/或其它方面及優點將會變得清楚，並且更易於理解，其中:
[0013]圖1是根據本發明的石英晶體電參數測試系統的框圖；[0014]圖2是根據本發明的石英晶體電參數測試系統的第一 π網絡的結構圖；
[0015]圖3是根據本發明的石英晶體電參數測試系統的第二 π網絡的結構圖。
【具體實施方式】
[0016]以下，參照附圖來詳細說明本發明的實施例。
[0017]當石英晶體諧振時，石英晶體表現出純阻抗性質，石英晶體只有阻抗分量，而石英晶體的容抗分量和感抗分量之和為零，因此石英晶體兩端的相位差為零。根據石英晶體的諧振特性，可測試石英晶體的串聯諧振頻率以及其它電參數(例如串聯電阻、靜態電容、動態電容和動態電感)。石英晶體的串聯諧振頻率、串聯電阻、靜態電容、動態電容和動態電感是石英晶體的等效電路中的電參數。
[0018]圖1是根據本發明的石英晶體電參數測試系統的框圖。
[0019]參照圖1，石英晶體電參數測試系統包括計算機1、四通道信號發生器2、第一 π網絡31、第二 π網絡32、第一混頻及幅值檢測電路41、第二混頻及幅值檢測電路42、第三混頻及幅值檢測電路43、第四混頻及幅值檢測電路44、第一鑑相電路51、第二鑑相電路52以及模擬數字轉換器(ADC) 6。
[0020]計算機I將控制信號發送到四通道信號發生器2。四通道信號發生器2根據計算機I發送的控制信號產生具有預定頻率的四路正弦信號(即，第一正弦信號T1至第四正弦信號T4)。四通道信號發生器2可以是直接數字頻率合成器(DDS)。
[0021]第一 網絡31連接到第一石英晶體Y1的兩端，第二 π網絡32連接到第二石英晶體Y2的兩端。第一 H網絡31接收四通道信號發生器2產生的第一正弦信號T1，第一正弦信號T1用作第一 π網絡31的激勵信號。第二 π網絡32接收四通道信號發生器2產生的第二正弦信號T2，第二正弦信號Τ2用作第二 π網絡32的激勵信號。第三正弦信號T3用作比較信號，第四正弦信號T4用作參考信號。第一正弦信號T1可與第三正弦信號T3同頻但不同相，第二正弦信號T2可與第三正弦信號T3同頻但不同相。第四正弦信號T4的頻率可與第一正弦信號T1、第二正弦信號T2和第三正弦信號T3的頻率之間存在預定的頻率差(例如頻率差為10.7MHz)。
[0022]第一混頻及幅值檢測電路41具有第一輸入端(本振信號輸入端)和第二輸入端(參考信號輸入端)，第一輸入端接收本振信號，第二輸入端接收參考信號，並且具有兩個輸出端，第一輸出端輸出與接收的本振信號的幅值成比例的直流信號，第二輸出端輸出所接收的本振信號與參考信號之間的差頻信號。第二混頻及幅值檢測電路42至第四混頻及幅值檢測電路44具有類似的結構，這裡不再重述。
[0023]第一混頻及幅值檢測電路41的第一輸入端(L端)連接到第一 π網絡31的第一輸出端以接收作為本振信號的第一 η網絡31的輸出信號，第二輸入端(H端)接收作為參考信號的第四正弦信號Τ4。第一混頻及幅值檢測電路41的第一輸出端輸出與第一 π網絡31的輸出信號的幅值成比例的第一直流信號I1，第二輸出端輸出第一 η網絡31的輸出信號與第四正弦信號T4之間的第一差頻信號匕。
[0024]第二混頻及幅值檢測電路42的第一輸入端連接到第二 π網絡32的第一輸出端以接收作為本振信號的第二 η網絡32的輸出信號，第二輸入端接收作為參考信號的第四正弦信號T4。第二混頻及幅值檢測電路42的第一輸出端輸出與第二 π網絡32的輸出信號的幅值成比例的第二直流信號I2，第二輸出端輸出第二 H網絡32的輸出信號與第四正弦信號T4之間的第二差頻信號F2。
[0025]第三混頻及幅值檢測電路43的第一輸入端接收第三正弦信號T3,第二輸入端接收作為參考信號的第四正弦信號T4。第三混頻及幅值檢測電路43第一輸出端輸出與第三正弦信號T3的幅值成比例的第三直流信號I3，第二輸出端輸出第三正弦信號T3與第四正弦信號T4之間的第二差頻/[目號F3。
[0026]第四混頻及幅值檢測電路44的第一輸入端接收第三正弦信號T3，第二輸入端接收作為參考信號的第四正弦信號T4。第四混頻及幅值檢測電路44第一輸出端輸出與第三正弦信號T3的幅值成比例的第四直流信號I4，第二輸出端輸出第三正弦信號T3與第四正弦信號T4之間的第四差頻信號F4。
[0027]第一鑑相電路51接收第一差頻信號F1和第三差頻信號F3，並輸出第一差頻信號F1與第三差頻信號F3之間的第一相位差P」第二鑑相電路52接收第二差頻信號F2和第四差頻信號F4,並輸出第二差頻信號F2和第四差頻信號F4之間的第二相位差P2。
[0028]ADC6接收第一相位差P1和第二相位差P2，將第一相位差P1和第二相位差P2轉換為數位訊號並將所述數位訊號輸入到計算機I。
[0029]第一直流信號I1反映了第一 π網絡31的輸出信號的幅值(第一直流信號I1與第一 π網絡31的輸出信號同頻)，第二直流信號I2反映了第二 π網絡32的輸出信號的幅值(第二直流信號I2與第二 η網絡32的輸出信號同頻)，第三直流信號I3和第四直流信號I4反映了作為比較信號的第三正弦信號T3的幅值。第一差頻信號F1是第一 π網絡31的輸出信號與作為參考信號的第四正弦信號T4之間的頻率差，第二差頻信號F2是第二η網絡32的輸出信號與作為參考信號的第四正弦信號T4之間的頻率差。第三差頻信號F3和第四差頻信號F4均為第三正弦信號T3與第四正弦信號T4之間的頻率差。
[0030]在測量石英晶體的電參數時，先將被測晶體(第一石英晶體Y1和第二石英晶體Y2)替換成短路片，計算機I控制四通道信號發生器2分別調節第一正弦信號T1和第二正弦信號丁2的相位，使得第一 π網絡31的輸出信號與第三正弦信號T3之間的相位差為零，並且使得第二 η網絡32的輸出信號與第三正弦信號T3之間的相位差為零。然後移除短路片，將第一石英晶體Y1插入第一 η網絡31( S卩，將第一石英晶體Y1的兩端連接到第一 π網絡31)，將第二石英晶體Y2插入第二 π網絡32 (即，將第二石英晶體Y2的兩端連接到第二η網絡32)，同時計算機I控制四通道信號發生器2分別調節第一正弦信號T1、第二正弦信號T2和第三正弦信號T3的頻率，使得它們總是保持同頻，且幅值關係和相位關係保持不變，第四正弦信號T4的頻率始終與其它三路信號的頻率存在預定的頻率差(例如頻率差為
10.7MHz)。當第一 網絡31的輸出信號與第三正弦信號T3之間的相位差再次為零時，此時四通道信號發生器2輸出的第一正弦信號T1、第二正弦信號T2或第三正弦信號T3的頻率為第一石英晶體Y1的串聯諧振頻率；當第二 η網絡32的輸出信號與第三正弦信號T3之間的相位差再次為零時，此時四通道信號發生器2輸出的第一正弦信號T1、第二正弦信號T2或第三正弦信號T3的頻率為第二石英晶體Y2的串聯諧振頻率。
[0031]在調節第一正弦信號T1至第四正弦信號T4的頻率的過程中，計算機I可以以預定的時間間隔，按照預定的頻距(頻距通常為石英晶體的目標串聯諧振頻率的百萬分之一至百萬分之三十，即，Ippm至30ppm)，控制四通道信號發生器2輸出的第一正弦信號T1至第四正弦信號T4的頻率從低到高變化。
[0032]ADC6還接收第一直流信號I1至第四直流信號I4，將第一直流信號I1至第四直流信號I4轉換為數位訊號並將所述數位訊號輸入到計算機I。計算機I根據第一直流信號I1和第三直流信號I3的幅值、第三正弦信號T3的幅值以及第一石英晶體Y1的串聯諧振頻率計算第一石英晶體Y1的串聯電阻、靜態電容、動態電容和動態電感等電參數；計算機I根據第二直流信號I2和第四直流信號I4的幅值、第三正弦信號T3的幅值以及第二石英晶體Y2的串聯諧振頻率計算第二石英晶體Y2的串聯電阻、靜態電容、動態電容和動態電感等電參數。
[0033]第一 JI網絡31和第二 31網絡32可以是純阻抗網絡。下面描述第一 π網絡31和第二 η網絡32的具體結構。圖2是根據本發明的石英晶體電參數測試系統的第一 π網絡的結構圖，圖3是根據本發明的石英晶體電參數測試系統的第二 π網絡的結構圖。
[0034]參照圖2，第一 π網絡31包括:第一電阻器R1;第二電阻器R2，與第一電阻器R1並聯；第三電阻器R3,連接在第一電阻器R1和第二電阻器R2之間，第一電阻器R1和第三電阻器R3之間的節點連接到四通道信號發生器2以接收第一正弦信號Tl ;第四電阻器R4，與第二電阻器R2並聯；第五電阻器R5，與第四電阻器R4並聯；第六電阻器R6，連接在第四電阻器R4和第五電阻器R5之間，第五電阻器R5和第六電阻器R6之間的節點(即，第一 η網絡31的輸出端)連接到第一混頻及幅值檢測電路41的第一輸入端。第一石英晶體Y1連接在第二電阻器R2和第三電阻器R3之間的節點與第四電阻器R4和第六電阻器R6之間的節點之間。電阻器1^、1?2、1?3以及電阻器1?4、1?5、1?6構成兩個對稱π型電阻網絡。Va是輸入的激勵信號(例如四通道信號發生器2產生的第一正弦信號Tl)，Vb是第一 π網絡31的輸出信號，它們都是矢量電壓信號。例如，第一電阻器至第六電阻器的各個電阻值為R1 = R5 =159 Ω，R2 = R4 = 14.2 Ω，R3 = R6 = 66.2 Ω。當第一石英晶體Y1諧振時,第一石英晶體Y1表現出純阻抗性質，第一石英晶體Y1隻有阻抗分量，而第一石英晶體Y1的容抗分量和感抗分量之和為零，因此的第一 η網絡31兩端的相位差為零。根據石英晶體的諧振特性，可測試石英晶體的串聯諧振頻率。
[0035]類似地，參照圖3，第二 π網絡32包括:第七電阻器R7，連接到四通道信號發生器
2;第八電阻器R8，與第七電阻器&並聯；第九電阻器R9，連接在第七電阻器R7和第八電阻器R8之間，第七電阻器R7和第九電阻器R9之間的節點連接到四通道信號發生器2以接收第二正弦信號Τ2 ;第十電阻器Rltl,與第八電阻器R8並聯；第十一電阻器R11,與第十電阻器Rltl並聯；第十二電阻器R12，連接在第十電阻器Rltl和第十一電阻器R11之間，第十一電阻器R11和第十二電阻器R12之間的節點(即，第二 η網絡32的輸出端)連接到第二混頻及幅值檢測電路42的第一輸入端。第二石英晶體Y2連接在第八電阻器R8和第九電阻器R9之間的節點與第十電阻器Rltl和第十二電阻器R12之間的節點之間。電阻器R7、R8、R9以及電阻器R10>Rn、R12構成兩個對稱η型電阻網絡。例如，第七電阻器至第十二電阻器的各個電阻值為R7=R11 = 159 Ω , R8 = R10 = 14.2 Ω，R9 = R12 = 66.2 Ω。當第二石英晶體 Y2 諧振時，第二石英晶體Y2表現出純阻抗性質，第一石英晶體Y2隻有阻抗分量，而第二石英晶體Y2的容抗分量和感抗分量之和為零，因此的第二 H網絡32兩端的相位差為零。根據石英晶體的諧振特性，可測試石英晶體的串聯諧振頻率。
[0036]根據本發明的雙通道石英晶體電參數測試系統採用四通道信號源、雙鑑相通道進和雙通道 採樣，具有兩路獨立的石英晶體電參數測試電路，可以同時測量兩個晶體；測試系統中H網絡引入的雜散電抗導致的相移可以通過信號發生器主動校正。由於採用兩路獨立的測試電路，所以可以提高石英晶體電參數的測試效率，使得測試系統可以同時適應石英晶體生產的不同環節，相位的主動偏移較準方式有利於提高石英晶體電參數的測試精度。
[0037]雖然本發明是參照其示例性的實施例被具體描述和顯示的，但是本領域的普通技術人員應該理解，在不脫離由權利要求限定的本發明的精神和範圍的情況下，可以對其進行形式和細節的各種改變。
【權利要求】
1.一種石英晶電參數測試系統，包括: 計算機，發出控制信號； 信號發生器，根據計算機發出的控制信號產生具有預定頻率的第一正弦信號至第四正弦信號； 第一網絡，連接到第一石英晶體的兩端，並接收第一正弦信號； 第二 η網絡，連接到第二石英晶體的兩端，並接收第二正弦信號； 第一混頻及幅值檢測電路，其第一輸入端接收第一 η網絡的輸出信號，其第二輸入端接收第四正弦信號，其第一輸出端輸出與第一 η網絡的輸出信號的幅值成比例的第一直流信號，其第二輸出端輸出第一 η網絡的輸出信號與第四正弦信號之間的第一差頻信號；第二混頻及幅值檢測電路，其第一輸入端接收第二 η網絡的輸出信號，其第二輸入端接收第四正弦信號，其第一輸出端輸出與第二 η網絡的輸出信號的幅值成比例的第二直流信號，其第二輸出端輸出第二 η網絡的輸出信號與第四正弦信號之間的第二差頻信號；第三混頻及幅值檢測電路，其第一輸入端接收第三正弦信號，其第二輸入端接收第四正弦信號， 其第一輸出端輸出與第三正弦信號的幅值成比例的第三直流信號，其第二輸出端輸出第三正弦信號與第四正弦信號之間的第三差頻信號； 第四混頻及幅值檢測電路，其第一輸入端接收第三正弦信號，其第二輸入端接收第四正弦信號，其第一輸出端輸出與第三正弦信號的幅值成比例的第四直流信號，其第二輸出端輸出第三正弦信號與第四正弦信號之間的第四差頻信號； 第一鑑相電路，接收第一差頻信號和第三差頻信號，並輸出第一差頻信號與第三差頻信號之間的第一相位差； 第二鑑相電路，接收第二差頻信號和第四差頻信號，並輸出第二差頻信號和第四差頻信號之間的第二相位差； 模擬數字轉換器，接收第一相位差和第二相位差，將第一相位差和第二相位差轉換為數位訊號並將所述數位訊號輸入到計算機。
2.根據權利要求1所述的石英晶電參數測試系統，其中，第三正弦信號與第一正弦信號同頻但不同相，第三正弦信號與第二正弦信號同頻但不同相。
3.根據權利要求2所述的石英晶電參數測試系統，其中，第四正弦信號的頻率與第一正弦信號、第二正弦信號和第三正弦信號的頻率之間存在預定的頻率差。
4.根據權利要求3所述的石英晶電參數測試系統，其中，在測量第一石英晶體和第二石英晶體的電參數時，首先將第一石英晶體和第二石英晶體分別替換成短路片，計算機控制四通道信號發生器分別調節第一正弦信號和第二正弦信號的相位，使得第一 η網絡的輸出信號與第三正弦信號之間的相位差為零，並且使得第二 η網絡的輸出信號與第三正弦信號之間的相位差為零； 然後移除短路片，將第一石英晶體的兩端連接到第一 η網絡，將第二石英晶體的兩端連接到第二 η網絡，同時計算機控制四通道信號發生器分別調節第一正弦信號、第二正弦信號和第三正弦信號的頻率，使得第一正弦信號、第二正弦信號和第三正弦信號總是保持同頻，且幅值關係和相位關係保持不變，第四正弦信號的頻率始終與第一正弦信號、第二正弦信號和第三正弦信號的頻率存在預定的頻率差； 當第一 η網絡的輸出信號與第三正弦信號之間的相位差再次為零時，此時四通道信號發生器輸出的第一正弦信號、第二正弦信號或第三正弦信號的頻率為第一石英晶體的串聯諧振頻率；當第二 π網絡的輸出信號與第三正弦信號之間的相位差再次為零時，此時四通道信號發生器輸出的第一正弦信號、第二正弦信號或第三正弦信號的頻率為第二石英晶體的串聯諧振頻率。
5.根據權利要求4所述的石英晶電參數測試系統，其中，在調節第一正弦信號至第四正弦信號的頻率的過程中，計算機以預定的時間間隔按照預定的頻距控制四通道信號發生器輸出的第一正弦信號至第四正弦信號的頻率從低到高變化。
6.根據權利要求4所述的石英晶電參數測試系統，其中，模擬數字轉換器接收第一直流信號至第四直流信號，將第一直流信號至第四直流信號轉換為數位訊號並將所述數位訊號輸入到計算機， 計算機根據第一直流信號和第三直流信號的幅值、第三正弦信號的幅值以及第一石英晶體的串聯諧振頻率計算第一石英晶體的串聯電阻、靜態電容、動態電容和動態電感，根據第二直流信號和第四直流信號的幅值、第三正弦信號的幅值以及第二石英晶體的串聯諧振頻率計算第二石英晶體的串聯電阻、靜態電容、動態電容和動態電感。
7.根據權利要求1所述的石英晶電參數測試系統，其中，第一η網絡包括:第一電阻器；第二電阻器，與第一電阻器並聯；第三電阻器，連接在第一電阻器和第二電阻器之間，第一電阻器和第三電阻器之間的節點連接到四通道信號發生器以接收第一正弦信號；第四電阻器，與第二電阻 器並聯；第五電阻器，與第四電阻器並聯；第六電阻器，連接在第四電阻器和第五電阻器之間，第五電阻器和第六電阻器之間的節點連接到第一混頻及幅值檢測電路的第一輸入端， 第一石英晶體連接在第二電阻器和第三電阻器之間的節點與第四電阻器和第六電阻器之間的節點之間。
8.根據權利要求1所述的石英晶電參數測試系統，其中，第二η網絡包括:第七電阻器，連接到四通道信號發生器；第八電阻器，與第七電阻器並聯；第九電阻器，連接在第七電阻器和第八電阻器之間，第七電阻器和第九電阻器之間的節點連接到四通道信號發生器以接收第二正弦信號；第十電阻器，與第八電阻器並聯；第十一電阻器，與第十電阻器並聯；第十二電阻器，連接在第十電阻器和第十一電阻器之間，第十一電阻器和第十二電阻器之間的節點連接到第二混頻及幅值檢測電路的第一輸入端， 第二石英晶體連接在第八電阻器和第九電阻器之間的節點與第十電阻器和第十二電阻器之間的節點之間。
9.根據權利要求1所述的石英晶電參數測試系統，其中，四通道信號發生器是直接數字頻率合成器。
【文檔編號】G01R27/02GK103983854SQ201410183468
【公開日】2014年8月13日 申請日期:2014年4月30日 優先權日:2014年4月30日
【發明者】王豔林, 李 東, 劉桂禮 申請人:北京信息科技大學