燈單元的製作方法

2023-10-28 17:44:07

專利名稱：燈單元的製作方法
技術領域：
本發明涉及被使用於半導體製造或薄膜電晶體製造的退火裝置的燈單元。
背景技術：
在半導體製造或薄膜電晶體製造中，使用具有燈單元的退火裝置，該 燈單元具備閃光燈。例如在矽晶圓表層形成(離子注入的不純物活性化)
淺擴散層(pn接合)的工序中，使用上述燈退火裝置。
在上述退火工序中，尤其是要避免離子注入了的不純物的外形壓潰或 所形成的圖案揮發等的問題，且必須得到不純物的良好活性化狀態。
另外，在液晶顯示面板用的薄膜電晶體製造上，也必須確實且均勻地 使被形成於基板上的半導體膜活性化。尤其是在利用玻璃基板的情形，在 實現該退火處理的同時，必須防止對基板的過度加熱而抑制基板的伸縮或 "翹曲"的發生。
此種退火裝置所具備的閃光燈及觸發構件所構成的燈單元，例如被記 載於專利文獻l中。
圖9是表示專利文獻1所記載的燈單元1的說明圖。圖9 (a)是表示 沿著閃光燈2的長度方向的剖面圖，圖9 (b)是表示沿著相對於閃光燈2 的長度方向垂直的方向的剖面圖(圖9 (a)的B-B剖面圖)。
燈單元1是由閃光燈2與觸發構件3所構成。閃光燈2是在例如石英玻璃所構成的棒狀發光管25的被密閉的內部26，封入例如氙(Xe)氣體所構成的發光氣體。並且，在棒狀的發光管25的內部26，相對配置有以在其中心軸延伸的方式被連接於棒狀的引線21，22上的一對電極23， 24。被連接於各電極23， 24的引線21， 22從發光管25的長度方向的兩端突出。
在閃光燈2的發光管25的外面，沿著發光管25的長度方向配設有如由鎢所構成的棒狀導體34作為觸發構件3。在該棒狀導體34的兩端，將導體34固定於閃光燈2的帶子5巻繞設於發光管的外周面。
圖10是表示點亮閃光燈2的燈點燈裝置的電路構成例。
閃光燈2的電極23， 24被連接於燈點燈電路50，而構成觸發構件3的導體34被連接於觸發點燈電路53。
燈2在開始點燈之前，在被連接於電極23， 24的電容器C上，從充電器51經由點燈電流控制用阻抗52施加電壓，儲存能量。燈2點燈時，通過從觸發點燈電路53嚮導體34施加電壓，在閃光燈2的電極23， 24間產生絕緣擊穿，使得被儲存在電容器C的能量立即被輸入閃光燈2。
如此地，通過點亮閃光燈2，成為在短時間內就可得到具有極高放射亮
度的放射光的閃光點燈狀態。
專利文獻l:日本特開2001-185088號公報

發明內容
作為近期人們的期望，例如在矽晶圓表層形成(離子注入的不純物活性化)淺擴散層(pn接合)的工序中，有將被形成在矽晶圓表層的擴散層的部分更淺地形成的期望。為此，考慮通過使閃光燈2的閃光脈衝寬比有技術還短，從而對例如矽晶圓表層的被加熱的層僅在比現有技術更淺的位置進行加熱。
由於即使縮短脈衝寬，形成擴散層所必需的放射輝度也幾乎相同，因而成為使向電容器充電的充電電壓上升。
若使用現有的燈單元1而使電容器的充電電壓由現有的值上升，則在
導體34施加觸發電壓之前，會在電極23， 24與觸發構件3即導體34之間產生絕緣擊穿，而電流在一方的電極與觸發構件3之間流動，有此電流沿著發光管25外面流動的情形。如此地，通過電流在觸發構件3與另一方的電極之間流動，會使得燈2開始點燈，而在電容器上會產生無法施加至所期望的充電電壓的問題。
本發明是為了解決上述的問題而完成的，本發明的目的是在於提供一種燈單元，該燈單元可抑制燈開始點燈前在電極與觸發構件之間的絕緣擊穿，而且可確實地進行閃光點燈。
在本發明中，如下地解決上述課題。(1) 一種燈單元，包括由一對電極、將該電極設於內部的發光管所
構成的閃光燈，以及設於上述發光管的外部的觸發用導體，其特徵為在
上述發光管的外部，沿著連結上述一對電極的軸，至少在該電極極間的整個全長，設置具有介質性的觸發管，將該觸發管內作成比大氣壓還要減壓狀態，或是在內部封入惰性氣體，在該觸發管內，設置上述電極間的空間部分區域上的長度比上述電極間距離短的導體，而將該導體的至少一部分配置於上述電極之上。亦即，橫跨將設有電極的區域在發光管的徑向延長的區域上及將電極間的空間部分在發光管的徑向延長的區域上配置導體，而將該導體的上述電極間的空間部分的區域上的長度，作成在上述電極間距離以下。
(2)在上述(1)中，將上述導體配置於上述電極之上除了電極間的空間部分之上以外的區域。亦即，僅在將設有電極的區域在發光管的徑向延長的區域上配置上述導體，而在將電極間的空間部分在發光管的徑向延長的區域上不配置上述導體。
在本發明中，可獲得以下的效果。(l)在發光管的外部，沿著連結上述一對電極的軸，至少該電極極間的整個全長，設置具有介質性的觸發管，將該觸發管內作成比大氣壓還要減壓狀態，或是在內部封入惰性氣體，在該觸發管內，設置上述電極間的空間部分的區域上的長度比上述電極間距離短的導體，而將該導體的至少一部分配置於上述電極之上，因而可增大在電極與導體之間的絕緣擊穿所需的能量，而可抑制燈開始點燈之前的電極與觸發構件之間的絕緣擊穿。另外，根據該導體的長度而可變更上述絕緣擊穿所需的能量大小，由此，可將所期望的電位施加於被連接在電極的電容器。
另外，在電極間的整個全長，設置具有介質性的觸發管，因而可使觸發管與電極的距離靠近，另外，在電極與導體之間，可介設觸發管的厚和觸發管內部的減壓狀態或惰性氣體。
所以，在燈開始點燈時，若有電壓被施加於導體，則在內部具有導體的觸發管具有介質性，因而電位施加於觸發管，而有電流從高電位側的電極流入與其接近的觸發管，又可向靠近觸發管的低電位側的電極流入電流。
亦即，通過使一對電極與觸發管靠近，可容易地完成燈開始點燈時的絕緣擊穿，可確實地進行利用閃光燈的閃光點燈，使得被儲存在電容器的所期望的能量立即被輸入閃光燈，而以所期望的脈衝寬可得到具有極高放射強度的放射光。
(2)將上述導體配置於上述電極之上除了電極間的空間部分之上以外的區域。由此，可進一步抑制燈開始點燈之前的電極與觸發構件之間的絕緣擊穿，另外，利用在電極間所發生的放電所產生的光，不會被上述導體所妨礙，而可有效地利用來自燈的光。


圖1 (a)至圖1 (c)是表示本發明的第1實施例的燈單元的說明圖。
圖2是表示本發明的第2實施例的燈單元的說明圖。
圖3是表示比較例1的燈單元的說明圖。
圖4是表示比較例2的燈單元的說明圖。
圖5是表示實驗1的實驗條件的說明圖。
圖6是表示實驗1的實驗結果的說明圖。
圖7是表示實驗2的實驗結果的說明圖。
圖8是表示實驗3的實驗結果的說明圖。
圖9是表示現有的燈單元的說明圖。
圖IO是表示現有的燈單元的燈點燈裝置的構成例的圖。
符號說明
1:燈單元；2:閃光燈；21: —方的引線；22:另一方的引線；
23:陽極；24:陰極；25:發光管；26:發光管的內部；3:觸發構件
31:觸發管；32:觸發管的內部；33:密封部；34:導體；35:箔
736:外部引線；41:第1支撐體；42:第2支撐體；Ll: 一對電極(陽極及陰極)的相對的電極間距離；L2:發光管的長度方向的全長；L3:發光管的外徑；L4:發光管的內徑；L5:觸發管長度方向的全長；L6:觸發管的外徑；L7:觸發管的內徑；L8:觸發管內部的導體的長度方向的全長；
L9:配設於觸發管內部的導體的前端與陽極的前端的發光管在管軸方向延伸的距離
L10:將相對的電極間的空間部分沿發光管徑向延伸的區域上的發光管外面的部分的觸發管的長度
具體實施例方式
用圖1來說明本發明的第1實施例。
圖1是表示第1實施例的燈單元1的說明圖。圖1 (a)是表示沿著燈單元1所具備的閃光燈2的長度方向的剖面圖，圖1 (b)是表示沿著垂直於燈單元1所具備的閃光燈2的長度方向的方向的剖面圖(圖1 (a)的A-A剖面圖)。圖1 (c)是表示構成圖1 (a)的燈單元1的閃光燈2與觸發構件3的支撐構造的說明圖。在圖1中，在與圖9所示的部位相同的部位標註同一符號。
在本實施例中，如圖1 (a)及圖1 (b)所示，燈單元1是由閃光燈2與觸發構件3所構成。
閃光燈2在例如石英玻璃所構成的棒狀發光管25的被密閉的內部26，封入例如氙(Xe)氣體所構成的稀有氣體作為發光氣體。另外，在棒光管25的內部26，以沿其中心軸延伸的方式，相對配置有被連接於棒狀引線21， 22的一對電極(陽極23及陰極24)。被連接於各電極(陽極23及陰極24)的棒狀引線21， 22，從發光管25的長度方向的兩端突出。
該引線21， 22是例如由鎢(W)所形成。另外，設於一方的引線21前端的陽極23例如由鎢(W)所形成，而設於另一方的引線22前端的陰極24例如由含有鋇 鋁酸鹽(Ba*Al203)的鉤(W)所形成。
在直管狀發光管25的外面，設有與沿著該外面並行的觸發構件3。
該觸發構件3是由具有例如石英玻璃那樣的介質性的構件所構成的直管狀觸發管31，及以在該觸發管31的中心軸延伸的方式設置的例如鴿(W)所構成的導體34所構成。在觸發管31的一端(在圖1 (a)中，觸發管31的陰極24側的端部)，形成有密封部33。觸發管31的密封部33，是由作成熔融狀態使之壓潰的壓緊密封法(匕。y於、乂一，法)來形成從觸發管31的一端所延伸的例如石英玻璃的管體。在密封部33的內部，埋設有電連接導體34與外部引線36的例如鉬(Mo)所構成的金屬箔35。
另外，如圖l (c)所示，第1支撐體41與第2支撐體42分別被抵接於發光管25的外面，及觸發管31的外面，而燈單元1是通過第1支撐體41與第2支撐體42被推壓並夾持。
另外，該觸發管31的密封部33，也可以通過基於在作成熔融狀態下對內部減壓的所謂的收縮密封法(、乂二y y夕、乂一》法)來形成從觸發管31的一端延伸的例如石英玻璃的管體。
另外，觸發管31的密封部33，也可以不埋設金屬箔35，而將加熱的中間玻璃(介於導體34與觸發管31中間的線膨脹係數的玻璃)直接巻繞在導體34的外周，焊接密封於石英玻璃上的遞級密封法(,P —亍:y K、乂一乂W去)。
如此地，被密封的觸發管31的內部32，例如作成被減壓至0.01Torr以下的狀態，或是封入例如10Torr以上的氮(N2)氣體那樣的惰性氣體。
觸發構件3的觸發管31是橫跨於設有一對電極即陽極23及陰極24的區域上(亦即將設有電極23， 24的部分在發光管的徑向延長的區域)，及電極間(距離L1)的空間部分上(亦即將電極間的空間部分在發光管的徑向延長的區域)，至少其全長全面與發光管25抵接而並行地配設於發光管25外面的部分。
另外，設於觸發管31的內部32的導體34，在本實施例中，導體34的電極23， 24間的空間部分的區域上的長度為一對電極23， 24間距離L1的一半以下，配設於電極間(距離L1)的空間部分上(亦即將電極間的空間部分在發光管的徑向延長的區域)及設有一方的電極(例如電極24)的區域上(亦即，將設有電極的部分在發光管的徑向延長的區域上)。
另外，導體34的長度並不限定於上述長度，電極23， 24間的空間部分的區域上的長度作成比電極間距離L1短就可以，主要為根據絕緣擊穿所
必需的能量大小等適當地選定。
圖2是本發明第2實施例的燈單元1的說明圖，表示沿著燈單元1所具備的閃光燈2的長度方向的剖面圖。沿著垂直於閃光燈2的長度方向的方向的剖面圖與圖1 (b)同樣。
在圖2中，觸發構件3的觸發管31是與圖l所示的同樣，橫跨在設有一對電極即陽極23及陰極24的部分上以及電極間(距離LO的空間部分上，至少其全長全面與發光管25抵接，並行地配設於發光管25外面的部 分。
另外，設於觸發管31的內部32的導體34，在本實施例中，配設於設 有一方的電極(例如電極24)的區域上(亦即，將設有電極的部分在發光 管的徑向延伸的區域)。亦即，設於觸發管31的內部32的導體34配設在 不位於相對的電極23， 24之間(距離L1)的空間部分上。
其他構成與圖1所示的第1實施例同樣，在例如石英玻璃所構成的棒 狀發光管25的被密閉的內部26，封入有例如氙(Xe)氣體所構成的稀有 氣體作為發光氣體。另外，在棒狀發光管25的內部26，以沿其中心軸延伸 的方式，相對配置有被連接於棒狀引線21， 22的一對電極(陽極23及陰 極24)。被連接於各電極(陽極23及陰極24)的棒狀引線21， 22從發光 管25的長度方向的兩端突出。
以下列舉第l，第2實施例的燈單元的數值例。
發光管25的長度方向的全長L2是580mm，電極23， 24間距離L1是 500mm。發光管25的外徑L3是13mm，發光管25的內徑L4是10.5mm， 封入發光管25的內部26的氙(Xe)氣體為450Torr。
觸發管31的長度方向的全長L5是540mm，觸發管31的外徑L6為 4mm，觸發管31的內徑L7為2mm。
配置於觸發管31的內部32的導體34的前端與陽極23在管軸方向的 距離L9，在第1實施例為250mm，而在第2實施例為550mm。
上述的第1、第2實施例的燈單元1是在具備的退火裝置中，如圖1 (c) 所示，閃光燈2的發光管25與觸發構件3的觸發管31，通過被抵接於發光管25的外面的第1支撐體41及被抵接於觸發管31的外面的第2支撐體42 被推壓夾持，未圖示的燈2電源電連接於閃光燈2的一對電極(陽極23及 陰極24)，在設於觸發構件3的觸發管31的內部32的導體34，電連接有 未圖示的觸發電源。
另外，燈2在點燈之前，所期望的電壓由未圖示的燈2的電源被施加 於設在電極與未圖示的燈2電源之間的未圖示的電容器上，從而儲存能量。
燈2在點燈時，通過由未圖示的觸發電源於導體34上施加電壓，使得 電壓被施加於觸發管31，經由觸發管31在一對電極23， 24間產生絕緣擊 穿，會把被儲存在未圖示的電容器的能量立即被輸入閃光燈2。通過輸入該 能量，使得被封入於發光管25的內部26的例如氙(Xe)氣體所構成的發 光氣體被激勵。如此地通過使閃光燈2進行燈2點亮，在短時間內成為可 得到具有極高放射亮度的放射光的閃光點燈狀態。
在第l，第2實施例中，將上述電極23， 24間的空間部分的區域上的 導體34的長度，作為上述電極間距離L1的一半以下，而由於將該導體34 的至少一部配置於上述電極之上，因而可延伸電極23， 24與導體34的絕 緣距離。
所以，在燈2點燈前，可增大電極23， 24與導體34之間的絕緣擊穿 所需要的能量。亦即，可抑制在燈2點燈前在電極23， 24與觸發構件3之 間的絕緣擊穿，因而可抑制在電極23， 24與觸發構件3之間電流流動。由 此可將所期望的電位施加於電極23， 24的未予圖示的電容器。
尤其是，如後述的實驗2的圖7的實驗結果所示，通過將設於觸發管 31的內部32的導體34，作成電極23， 24間距離Ll的一半以下長度，從而在燈2點燈前，可增大電極23， 24與導體34之間的絕緣擊穿所需要的能量。
尤其是，如第2實施例那樣，通過將導體34僅配設於設有一方的電極 的區域上，可更增加燈2在點燈前電極23， 24與導體34之間的絕緣擊穿 所需的能量。另外，上述導體34不會妨礙到利用在電極間所發生的放電所 產生的光。所以，可有效率地利用來自燈的光。
另外，第1，第2實施例的燈單元1，通過將導體34設於具有介質性 的觸發管31的內部32，在電極23， 24與導體34之間，可介設觸發管31 的厚度，及觸發管31的內部32的減壓狀態或惰性氣體。
第1，第2實施例的燈單元1，在燈2點燈時，當電壓施加於導體34 時，則由於在內部32具有導體34的觸發管31具有了介質性，因而有電位 立即施加於觸發管31，可將被儲存在被連接於閃光燈2的電極23， 24的電 容器內的所期望的能量立即輸入閃光燈2，而可得到以所期望的脈衝寬具有 極高放射強度的放射光。
尤其是，如後述的實驗1的圖6的實驗結果所示，通過在觸發管31的 內部32封入惰性氣體，在燈2點燈前，就可增大電極23， 24與導體34之 間的絕緣擊穿所需要的能量。
另外，第l，第2實施例的燈單元2，是通過將觸發管31的長度作成 與一對電極23， 24間距離L1至少等同，則可使觸發管31與一對電極(陽 極23及陰極24)的距離接近。
所以，在燈2點燈時，通過電壓被施加於導體34而有電位施加於觸發 管31，則電流從高電位側的電極23流向靠近該電極的觸發管31，另外電流沿著觸發管31在發光管25的內部26的長度方向流動，在此基礎上可使 電流流入接近於觸發管31的低電位側的電極24。亦即，通過使一對電極 23， 24與觸發管31靠近，則易於實現燈2點燈時的絕緣擊穿，而確實地可 進行利用閃光燈2的閃光點燈。
為了表示上述本發明的燈單元1的效果，使用以下的本發明的燈單元1 與比較例l， 2來進行以下的實驗1 3。
圖3表示上述比較例1的構成。
圖3與上述圖1、圖2同樣，是沿著燈單元1所具備的閃光燈2的長度 方向的剖面圖，在與圖l、圖2所示相同的部位標註相同的符號。
圖3所示的燈單元，將構成觸發構件3的導體34在發光管25的管軸 方向的長度作成比電極間距離L1長。
亦即，觸發構件3的觸發管31橫跨在設有一對電極即陽極23及陰極 24的區域上及電極間(距離L1)的空間部分的區域上，即發光管25外面 的部分，至少其全長全面與發光管25抵接並行地配設。
另外，設於觸發管31的內部32的導體34，與上述觸發管31同樣，橫 跨於設有一對電極即陽極23及陰極24的區域上及電極間(距離L1)的空 間部分的區域上，至少其全長全面配設於發光管25外面的部分。
圖4表示上述比較例2。
圖4與上述圖1、圖2同樣，是沿著燈單元1所具備的閃光燈2的長度 方向的剖面圖，在與圖l、圖2所示的部位相同的部位標註同一符號。
圖4所示的燈單元，是將構成觸發構件3的觸發管31在發光管25的 管軸方向的長度作成電極間距離L1的一半以下，而將導體34的長度作成與觸發管31同樣的長度。 (1)實驗l
在實驗1中，針對於未具有觸發管的現有的燈單元(參照圖9)與具有 觸發管的燈單元來比較耐電壓性。
亦即，作為現有的燈單元1，將觸發構件3設於閃光燈2的發光管25 的外面，以構成圖9所示的現有的燈單元1。另外，作為具有觸發管的燈單 元l，作為將觸發構件3設於發光管25外面的本實施例，構成圖2所示的 燈單元1。
使用於實驗1的閃光燈2準備在發光管25的內部26封入氙(Xe)氣 體的樣品。具體而言，準備圖5 (a)所示的氙(Xe)氣體的封入量不相同 的3種類閃光燈A C。
閃光燈A:氙氣體的封入量300Torr
閃光燈B:氙氣體的封入量450Torr
閃光燈C:氙氣體的封入量600Torr
閃光燈A C是除了氙氣體的封入量以外具有以下的共通的構成。 發光管25:石英玻璃(全長L2=580mm，內徑L4=10.5mm，外徑 L3=13mm)
-陰極24:含有鋇*鋁酸鹽的鉬 陽極23:鎢
.電極23， 24間距離L1: 500mm
另外，使用於實驗1的觸發構件，準備了棒狀的鎢作為僅由用於構成 現有的燈單元1的導體所構成的觸發構件3。另外，作為用於構成與上述本實施例比較的燈單元1的觸發構件3，準
備將棒狀的鎢所構成的導體34封入於內部32的石英玻璃所構成的觸發管 31。
具體而言，如圖5 (b)所示地，準備了 1種現有的觸發構件(現有例) 和觸發管31的內部進行了減壓或封入氙氣體的3種觸發構件。 ，現有例無觸發管31
'觸發構件a:觸發管31的內部32為減壓狀態(0.01Torr)
'觸發構件b:觸發管31的內部32為氙氣體OOOTorr)
觸發構件c:觸發管31的內部32為氙氣體(450Torr)
現有例的觸發構件導體34為鉤棒(全長520mm，外徑lmm)
觸發構件a:導體34為鎢棒(外徑lmm)
'觸發構件b:導體34為鎢棒(外徑lmm)
'觸發構件c:導體34為鎢棒(外徑lmm)
觸發構件a c的導體34是僅配置於設有一方的電極的區域上，構成 未配置於電極23， 24間距離Ll的空間部分的區域上(L9為550mm的觸
發構件)。
另外，觸發構件a c的觸發管31是上述比較例1所示的觸發管，具 有以下共通的構成。
,蟲發管31:石英玻璃(全長L5=540mm，內徑L7=2mm，外徑L6=4mm) '金屬箔35:鉬箔
在實驗1中，將具有上述導體34及觸發管31的燈單元配置於包圍燈 罩的黑暗部位，對於這些燈單元逐漸提高施加於電容器容量為200" F的電容器的充電電壓，而在未將電壓施加於觸發構件3的狀態下，測定在電極
23， 24間產生絕緣擊穿時的電壓。將該測定結果表示於圖6。
如圖6所示，對於燈單元A C的任一種，可知具有觸發管31的燈單
元l都有優良的耐電壓性。
尤其是也表示具有將氙氣體封入於觸發管31的觸發管b及c的燈單元
有優良的耐電壓性。 (2)實驗2
在實驗2中，本發明的燈單元1，加以比較變更使從沿配置於觸發管 31的內部32的導體34的前端在發光管徑向延伸的線，至沿陽極23前端在 發光管徑向延伸的線為止在發光管25的管軸方向延伸的距離(圖1所示的 L9)變化時的耐電壓性。
在實驗2中，準備了上述距離L9為0mm (導體34為橫跨於設有陽極 23及陰極24的區域上及電極間的空間部分的區域上所配設的圖3的比較例 1)， 250mm (圖1所示的第1實施例的燈單元)，375mm， 500mm (在位於 沿徑向延伸電極23， 24間的空間部分的區域上的發光管25外部的部分， 未配設有導體34的燈單元)，550mm (圖2所示的第2實施例的燈單元) 的本發明的5種燈單元。
各燈單元具有以下的共通的構成。

發光管25:石英玻璃(全長L2=580mm，內徑L4=10.5mm，外徑 L3=13mm)
.發光管25的內部26: 450Torr 陰極24:含有鋇*鋁酸鹽的鉬 陽極23:鎢
*電極23， 24間距離L1: 500mm

導體34:鉤棒(外徑4mm)
'觸發管31:石英玻璃(內徑L7二2mm，外徑L6:4mm) .觸發管31的內部32:氙氣體(450Torr) *金屬箔35:鉬箔
在實驗2中，將各燈單元配置於包圍燈罩的黑暗部位，對於各燈單元1， 逐漸上升施加於電容器容量為200 ix F的電容器的充電電壓，在未施加電壓 於觸發構件3的狀態下，測定在電極23， 24間產生絕緣擊穿時的電壓。將 該測定結果表示於圖7。
如圖7所示，從沿觸發管31的前端在發光管徑向延伸的線一直到沿陽 極23的前端在發光管徑向延伸的線在發光管25沿管軸向延伸的距離L9越 大越可提高耐電壓性，尤其是距離L9為250mm以上，亦即，通過將導體 34的電極23， 24間的空間部分的區域上的長度作成一對電極23， 24間距 離L1的一半以下，就可提高耐電壓性。
另外，將設於觸發管31的內部32的導體34，僅配置於設有一方的電 極的區域上，構成未配置於電極23， 24間距離L1的空間部分的區域上(L9 為500mm及圖2所示的550mm的燈單元)，由此，可提高燈2在點燈前電 極23， 24與導體34之間的耐電壓性。另外，如此地構成，上述導體34也 不會妨礙利用在電極間發生的放電所產生的光。(3)實驗3
在實驗3中，變更觸發管31的長度來比較燈2的點燈性。 亦即，在被連接於電極23， 24的電容器上施加6KV的充電電壓的本 發明的燈單元l中，在使一對電極(陽極23及陰極24)的相對的電極23， 24間(距離Ll)的空間部分上的發光管25外面部分的觸發管31的長度(圖 4所示的L10)予以變更時，比較通過將電壓施加於觸發管31的燈2的點 燈性。
在實驗3中，將相對的電極23， 24間的空間部分沿發光管25的徑向 延長的區域的觸發管31的長度L10為0mm (亦即，觸發管31配設於將相 對的電極23， 24間的空間部分沿發光管25的徑向延伸的區域以外的區域 的燈單元)，250mm(亦即，觸發管31配設於將相對的電極23， 24間的空 間部分沿發光管的徑向延伸的區域的一半的燈單元，圖4所示的燈單元)， 375mm， 500mm (亦即，觸發管31配設於將相對的電極23， 24間的空間 部分沿發光管的徑向延伸的區域的全長的燈單元)，550mm(亦即，觸發管 31配設於將相對的電極23，24間的空間部分沿發光管的徑向延長的區域的 全長的燈單元1，另外，觸發管31的50mm位於將電極23， 24所配設的 區域沿發光管的徑向延伸的區域上的圖3所示的燈單元)的5種燈單元。
另外，配設於觸發管31的內部32的導體34，配設在觸發管31的內部 32的其長度方向的大約全長。
各燈單元1是具有以下共通的構成。

發光管25:石英玻璃(全長L2=580mm，內徑L4=10.5mm，外徑L3=13mm)
*發光管25的內部26: 450Torr 陰極24:含有鋇'鋁酸鹽的鉬 陽極23:鎢
-電極23， 24間距離L1: 500mm

導體34:鎢棒(外徑-lmm)
*觸發管31:石英玻璃(內徑L7二2mm，外徑L6=4mm) 觸發管31的內部32:氙氣體(450Torr) *金屬箔35:鉬箔
在實驗3中，將各燈單元配置於包圍在燈罩的黑暗部位，對於各燈單 元1，在將6KV的充電電壓施加於電容器容量為200 u F的電容器的狀態， 將15KV電壓施加於觸發構件31時作為試行次數1次，調查試行次數合計 IO次中，有閃光燈2進行發光的次數(發光次數)有幾次。將其結果表示 於圖8。
如圖8所示，觸發構件3的觸發管31，在將電極23， 24間的空間部分 沿徑向延伸的區域上的發光管25外面的部分，通過至少與其全長全面抵接， 在10次試行中，可實現燈2 10次全部點燈。由此，觸發管31的長度在電 極23， 24間的距離L1以上較佳。
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權利要求
1. 一種燈單元，包括由一對電極、將該電極設於內部的發光管所構成的閃光燈，以及設於上述發光管的外部的觸發用導體，其特徵為在上述發光管的外部，沿著連結上述一對電極的軸，至少在該電極間的整個全長，設置具有介質性的觸發管，將該觸發管內作成比大氣壓還減壓的狀態，或是在內部封入惰性氣體，在該觸發管內，設置上述電極間的空間部分區域上的長度比上述電極間距離短的導體，而將該導體的至少一部分配置於上述電極之上。
2. 如權利要求1所述的燈單元，其特徵為，將上述導體配置於上述電極 之上除了電極間的空間部分之上以外的區域。
全文摘要
本發明提供一種能抑制燈點燈開始前的電極與觸發構件之間的絕緣擊穿，而且可確實地進行閃光點燈的燈單元。在棒狀發光管(25)的內部作為發光氣體封入有稀有氣體，一對電極(23，24)相對配置。在發光管(25)的外面設有觸發構件(3)。觸發構件(3)由如石英玻璃等具有介質性的構件所構成的直管狀觸發管(31)，及設於觸發管(31)內的導體(34)所構成。上述導體(34)的長度為電極間的空間部分區域上的長度，比電極間距離L1短，由此，可抑制燈(2)在點燈前電極(23，24)與觸發構件(3)之間的絕緣擊穿。另外，將導體(34)設於具有介質性的觸發管(31)的內部，因而可通過將電壓施加於導體(34)而確實地進行點燈。
文檔編號H01J61/54GK101488439SQ20091000348
公開日2009年7月22日 申請日期2009年1月15日 優先權日2008年1月15日
發明者橫森嶽彥 申請人:優志旺電機株式會社