遮光式恆溫氙燈燈室結構的製作方法
2023-10-09 16:57:44
遮光式恆溫氙燈燈室結構的製作方法
【專利摘要】本實用新型公開一種遮光式恆溫氙燈燈室結構，包括燈室底板，以及從內到外依次套設在底板上的反光罩、開放式遮光罩、密閉式遮光罩和外罩，所述底板中間設有一圓形通孔，反光罩的底邊與上述圓形通孔的邊沿相連，所述反光罩頂部中心設有燈座，燈座上安裝有氙燈，所述密閉式遮光罩頂部為密封結構，用於遮擋垂直方向的雜光，外罩的頂部中心設有一通孔，通孔的下方設有一風機，外罩頂部外表面上設有一與風機相連的風機控制器；外罩頂部進一步設有一導線孔，密閉式遮光罩的底部也設有一導線孔，連接氙燈的導線通過反光罩頂部的電極端子引出，然後依次通過開放式遮光罩頂部、密閉式遮光罩底部的導線孔，最後從外罩頂部的導線孔穿出。
【專利說明】遮光式恆溫氙燈燈室結構
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種氙燈燈室結構，特別是涉及一種遮光式恆溫氙燈燈室結構。【背景技術】
[0002]燈室技術是一項專用電子設備中的專有技術，主要是解決電光源如氙燈，汞燈的反射照明和遮光散熱問題，一般應用在光電檢測，微電子光刻曝光等領域。電光源的光線是向四周發散射出的，光源反射罩的目的是將光能儘可能大地匯聚起來，沿著設備指定的方向射出。由於光線在反射罩中反射造成反射罩的溫升，使得光源周圍的溫度變化，而溫度的變化又會造成光源光譜和光強的變化，最終造成曝光設備和檢測設備的不穩定。解決問題的方法一般是進行自然冷卻或強制冷卻，自然冷卻在反光罩的外圍不專門設計散熱裝置或最多加裝散熱片進行自然散熱，這樣的結構一般只適用於小功率電光源的燈室。強制冷卻燈室是在自然冷卻的基礎上加上風冷風扇進行強制吹風，或在反光罩的上方開孔進行強制抽風，或者在燈室的外圍繞製冷水管道進行水冷，這些方式的燈室適合中大功率的光源燈室。
[0003]目前，常用的燈室結構主要有開放式排風散熱氙燈燈室，封閉式自然散熱氙燈燈室，封閉式強排風散熱氙燈燈室等。主要存在如下缺陷:
[0004]開放式排風散熱氙燈燈室，其主要的缺點是漏光，一則造成對外界的光汙染，影響工人的身體健康，二則外界的雜光會沿開放的光通道，直接進入設備，造成光電測試不準確；
[0005]封閉式自然散熱氙燈燈室，其主要缺點是燈的功率不能太大，一般200W以下，否則造成燈室溫度太高，造成氙燈發光譜線變化，有效譜線的光功率下降等問題，不適用於大功率應用場合；
[0006]封閉式強排風散熱氙燈燈室，是一種較為理想的結構，風道的結構決定了該燈室的溫度控制的效率和精度，但直排式的結構，無法徹底擋住雜光，另外風速不易控制，造成燈室溫度控制誤差較大。
[0007]有鑑於此，本發明人對此進行研究，專門開發出一種遮光式恆溫氙燈燈室結構，本案由此產生。
實用新型內容
[0008]本實用新型的目的是提供一種光電檢測精度、準確度高等優點的遮光式恆溫氙燈
燈室結構。
[0009]為了實現上述目的，本實用新型的解決方案是:
[0010]遮光式恆溫氙燈燈室結構，包括燈室底板，以及從內到外依次套設在底板上的反光罩、開放式遮光罩、密閉式遮光罩和外罩，所述底板中間設有一圓形通孔，反光罩的底邊與上述圓形通孔的邊沿相連，所述反光罩頂部中心設有燈座，燈座上安裝有氙燈，所述密閉式遮光罩頂部為密封結構，用於遮擋垂直方向的雜光，外罩的頂部中心設有一通孔，通孔的下方設有一風機，外罩頂部外表面上設有一與風機相連的風機控制器；外罩頂部進一步設有一導線孔，密閉式遮光罩的底部也設有一導線孔，連接氙燈的導線通過反光罩頂部的電極端子引出，然後依次通過開放式遮光罩頂部、密閉式遮光罩底部的導線孔，最後從外罩頂部的導線孔穿出。
[0011]所述開放式遮光罩為一圓環或方形環，安裝在反光罩和密閉式遮光罩之間，其高度低於密閉式遮光罩的高度，即兩個遮光罩在垂直方向上留有間隙，方便熱氣流動。開放式遮光罩主要用於遮擋來之外部水平方向的光線接近燈室。
[0012]所述密閉式遮光罩橫截面為圓形或方形。
[0013]上述反光罩的頂部內側進一步設有一溫度傳感器，溫度傳感器與風機控制器相連，通過風機控制器與風機實現閉環控制。溫度傳感器的信號線與氙燈的導線引出路徑一致。
[0014]上述反光罩的的頂部進一步設有若干個散熱孔，用於散熱。
[0015]所述外罩橫截面為方形或圓形，為節省空間，其頂部的面積一般小於底部。
[0016]上述遮光式恆溫氙燈燈室結構，氙燈的熱量通過燈反光罩上方的通氣孔向上散發，在外罩風機的作用下，熱空氣由反光罩向上，穿過開放式遮光罩頂端，再下降到密閉式遮光罩底部，穿過導線孔後，再向上流動到外罩頂部的風機通孔，抽至外界，整個風道呈現一個臥S狀曲折結構，一方面使外界雜光多次被遮擋，幾乎無法進入燈室；另一方面由於阻滯了熱空氣自下而上的自然對流，形成了由下到上，再到下，再到上，直到外部的空氣強制排風風道，避免了空氣的自然對流，所以外部冷熱空氣對燈室內部溫度影響小，便於提到燈室溫控精度。
[0017]此外，所述外罩遮擋住了水平雜光，通過外罩通孔進入的垂直雜光被密閉式遮光罩遮擋，開放式遮光罩又進行一次水平雜光的二次遮擋，氙燈的反光罩再進行一次水平及垂直雜光的遮擋，這樣多次曲折遮擋，使外界雜光無法進入測試設備的測試空間中。提高了光電檢測精度，而且燈室恆溫精度高，能保證測量光源的譜線不偏移，提高光電測量的準確度。
[0018]以下結合附圖及具體實施例對本實用新型做進一步詳細描述。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0019]圖1為本實施例的遮光式恆溫氙燈燈室內部結構圖；
[0020]圖2為本實施例的遮光式恆溫氙燈燈室內部結構立體圖。
[0021]標號說明:
[0022]底板I;圓形通孔11;
[0023]反光罩2 ;燈座21 ;電極端子22 ;散熱孔23 ；
[0024]開放式遮光罩3 ；
[0025]密閉式遮光罩4 ;導線孔41 ；
[0026]夕卜罩5;通孔51 ;風機52 ;導線孔53 ；
[0027]氙燈6 ;風機控制器7 ;導線8 ;溫度傳感器9。
【具體實施方式】[0028]如圖1-2所示，遮光式恆溫氙燈燈室結構，包括燈室底板1，以及從內到外依次套設在底板I上的反光罩2、開放式遮光罩3、密閉式遮光罩4和外罩5,所述底板I中間設有一圓形通孔11，反光罩2的底邊與上述圓形通孔11的邊沿相連，所述反光罩2頂部中心設有燈座21，燈座21上安裝有氙燈6，所述密閉式遮光罩4頂部為密封結構，用於遮擋垂直方向的雜光，外罩5的頂部中心設有一通孔51，通孔51的下方設有一風機52，外罩5頂部外表面上設有一與風機相連的風機控制器7 ;外罩5頂部進一步設有一導線孔53,密閉式遮光罩4的底部也設有一導線孔41，連接氙燈6的導線8通過反光罩2頂部的電極端子22引出，然後依次通過開放式遮光罩3頂部、密閉式遮光罩4底部的導線孔41，最後從外罩5頂部的導線孔53穿出；上述反光罩2的的頂部進一步設有若干個散熱孔23，氙燈6的熱量通過反光罩2上方的通氣23孔向上散發，在外罩風機52的作用下，熱空氣由反光罩2向上，穿過開放式遮光罩3頂端，再下降到密閉式遮光罩4底部，穿過導線孔41後，再向上流動到外罩5頂部的風機通孔51，抽至外界，整個風道呈現一個臥S狀曲折結構。
[0029]所述密閉式遮光罩4和外罩5可以採用多種形狀，其橫截面可以為圓形、方形或其他，在本實施例中，所述密閉式遮光罩4為圓形桶狀，外罩5的橫截面為方形，為節省空間，其頂部的面積小於底部。所述外罩4主要用於遮擋外界的水平光和垂直光，密閉式遮光罩4主要用於遮擋通過外罩通孔51進入的垂直雜光。
[0030]在本實施例中，上述開放式遮光罩3為一圓環,安裝在反光罩2和密閉式遮光罩4之間，其高度低於密閉式遮光罩4的高度，即兩個遮光罩在垂直方向上留有間隙，方便熱氣流動。開放式遮光罩3主要用於遮擋來之外部水平方向的光線接近燈室，其形狀也可以為方形，或長方形等，具體根據實際情況設定。開放式遮光罩3主要是對水平雜光進行二次遮擋，反光罩2主要用於水平及垂直雜光的進一步遮擋，這樣多次曲折遮擋，可以使外界雜光無法進入測試設備的測試空間中。
[0031 ] 上述反光罩2的頂部內側進一步設有一溫度傳感器9，溫度傳感器9與風機控制器7相連，通過風機控制器7與風機52實現閉環控制。溫度傳感器9的信號線與氙燈6的導線8引出路徑一致。
[0032]上述實施例和圖式並非限定本實用新型的產品形態和式樣，任何所屬【技術領域】的普通技術人員對其所做的適當變化或修飾，皆應視為不脫離本實用新型的專利範疇。
【權利要求】
1.遮光式恆溫氙燈燈室結構，其特徵在於:包括燈室底板，以及從內到外依次套設在底板上的反光罩、開放式遮光罩、密閉式遮光罩和外罩，所述底板中間設有一圓形通孔，反光罩的底邊與上述圓形通孔的邊沿相連，所述反光罩頂部中心設有燈座，燈座上安裝有氙燈，所述密閉式遮光罩頂部為密封結構，外罩的頂部中心設有一通孔，通孔的下方設有一風機，外罩頂部外表面上設有一與風機相連的風機控制器；外罩頂部進一步設有一導線孔，密閉式遮光罩的底部也設有一導線孔，連接氙燈的導線通過反光罩頂部的電極端子引出，依次通過開放式遮光罩頂部、密閉式遮光罩底部的導線孔，最後從外罩頂部的導線孔穿出。
2.如權利要求1所述的遮光式恆溫氙燈燈室結構，其特徵在於:所述開放式遮光罩為一圓環或方形環，安裝在反光罩和密閉式遮光罩之間，其高度低於密閉式遮光罩的高度。
3.如權利要求1所述的遮光式恆溫氙燈燈室結構，其特徵在於:所述密閉式遮光罩橫截面為圓形或方形。
4.如權利要求1所述的遮光式恆溫氙燈燈室結構，其特徵在於:上述反光罩的頂部內側進一步設有一溫度傳感器，溫度傳感器與風機控制器相連，通過風機控制器與風機實現閉環控制，溫度傳感器的信號線與氙燈的導線引出路徑一致。
5.如權利要求1所述的遮光式恆溫氙燈燈室結構，其特徵在於:上述反光罩的的頂部進一步設有若干個散熱孔。
6.如權利要求1所述的遮光式恆溫氣燈燈室結構，其特徵在於:所述外罩橫截面為方形或圓形。
【文檔編號】F21V13/12GK203560870SQ201320648814
【公開日】2014年4月23日 申請日期:2013年10月21日 優先權日:2013年10月21日
【發明者】何紀法 申請人:紹興宏邦電子科技有限公司