晶體矽太陽能電池片制絨液的自動循環補液系統的製作方法

2023-10-09 22:26:49 1

專利名稱：晶體矽太陽能電池片制絨液的自動循環補液系統的製作方法
技術領域：
本實用新型屬晶體矽太陽能電池片生產技術領域，特別是涉及一種晶體矽太陽能
電池片制絨液的自動循環補液系統。
背景技術：
晶體矽太陽能電池片生產工藝過程中，需要採用制絨的工藝，其原理為利用混合 化學藥液與矽片反應在矽片表面形成織構化的形狀。混合液的濃度和溫度是否均勻直接影 響制絨的效果，從而影響電池片的優劣性。
目前，保持制絨液濃度和溫度均勻的常用裝置有以下2種方式 1、鼓泡+反應槽加熱+手動補液 2、槽內循環+反應槽加熱+手動補液 鼓泡的方式是通過管路將高壓純淨氣體均勻輸送到槽體內部，利用氣體的流動來 攪拌液體，使混合液也流動起來，從而達到濃度均勻的目的。 槽內循環的方式是通過泵作為動力讓反應槽內的液體流動起來，目前一般採用反 應槽體內部做循環的方式。 在實踐中發現，這兩種方式對制絨混合液的濃度和溫度均勻性控制效果一般，各 槽體間藥液濃度不相同，無法實現對自動補液的良好控制，自動化程度不高。

發明內容本實用新型所要解決的技術問題是提供一種提高制絨混合液的濃度和溫度均勻 性，改善工藝條件，從而提高電池片的品質晶體矽太陽能電池片制絨液的自動循環補液系 統。 本實用新型解決其技術問題所採用的技術方案是提供一種晶體矽太陽能電池
片制絨液的自動循環補液系統，包括輸液管路、儲液箱和反應槽，所述的輸液管路與儲液箱
相連，儲液箱、泵、至少3個反應槽、儲液箱依次相連形成循環迴路，所述的儲液箱依次通過
泵、手動閥門、自動閥門及流量計與反應槽相連，所述的儲液箱和反應槽內部都有加熱系統
和液位傳感器，所述的儲液箱通過手動閥門和自動閥門與藥液定量箱相連。 所述的輸液管路中有自動閥門和流量計，其數目與藥液配方中的藥液種類相對應。 所述的加熱系統包括加熱器、溫度傳感器及溫控器，加熱器為不鏽鋼材質，表面經 處理後具有耐腐蝕性。 所述的反應槽材質為不鏽鋼或PVDF或PP，槽體容積100-120L，槽內藥液控制溫度 為75-85t:之間一值，槽內加熱器功率為4KW，反應槽有低液位，高液位兩個液位點。 所述的儲液箱材質為不鏽鋼或PVDF或PP，箱體容積350-500L，箱內藥液控制溫度 為75-85t:之間一值或高l-2t:，箱內加熱器功率為80KW，儲液箱有空液位、低液位、工作低 液位、工作高液位、高液位五個液位點。
3[0015] 所述的藥液定量箱材質為不鏽鋼或PVDF或PP，槽體容積45L，箱內藥液溫度為室 溫，定量箱有低液位、工作液位、高液位三個液位點。 所述的泵為大流量耐高溫耐腐蝕性電動泵，出口流量及揚程滿足每分鐘置換至少 3個反應槽內液體至少一次；所述的手動閥門和自動閥門為耐高溫耐腐蝕性手動隔膜閥及 自動隔膜閥。 有益效果 —、藥液濃度均勻性好本裝置中各反應槽藥液濃度均相同，晶體矽太陽能電池片 制絨後的一致性好； 二、藥液補液濃度變化率低本裝置中藥液總容積為單個反應槽容積的6-8倍，補 充相同容積的藥液時，本裝置的濃度變化率為現有補液裝置的1/6-1/8 ; 三、藥液溫度變化率低本裝置中藥液總容積為反應槽總容積的2-3倍，同一段時 間內產生反應熱對藥液溫度的影響，本裝置的溫度變化率為現有補液裝置的1/2-1/3 ; 四、自動化程度高本裝置中加入自動補液功能，自動按需定時定量補充藥液，提 高生產效率。

圖1為本實用新型的機構示意圖。
具體實施方式
下面結合具體實施例，進一步闡述本實用新型。應理解，這些實施例僅用於說明本 實用新型而不用於限制本實用新型的範圍。此外應理解，在閱讀了本實用新型講授的內容 之後，本領域技術人員可以對本實用新型作各種改動或修改，這些等價形式同樣落於本申 請所附權利要求書所限定的範圍。 如圖1所示，本實用新型裝置的系統主要組成部分有反應槽8，儲液箱2，藥液定 量箱ll，泵5，閥門，加熱系統，流量計9，液位計10及管路系統。所述的反應槽8材質為不 鏽鋼或PVDF或PP，槽體容積100-120L，槽內藥液控制溫度為75-85°C之間某一點，槽內加 熱器功率為4KW，反應槽8有低液位，高液位兩個液位點；所述的儲液箱2材質與反應槽一 致，箱體容積350-500L，滿足同時一次性供給多個反應槽，箱內藥液控制溫度與反應槽一致 或高1-2°C ，箱內加熱器功率為80KW，儲液箱2有空液位、低液位、工作低液位、工作高液位、 高液位五個液位點；所述定量箱11材質與反應槽一致，槽體容積45L，滿足單次補液最大所 需容量，箱內藥液溫度為室溫，定量箱有低液位、工作液位、高液位三個液位點；所述泵5為 大流量耐高溫耐腐蝕性電動泵，出口流量及揚程滿足每分鐘置換多個反應槽內液體至少一 次；所述閥門為耐高溫耐腐蝕性手動隔膜閥及自動隔膜閥；所述加熱系統包含加熱器、溫 度傳感器及溫控器，加熱器為不鏽鋼材質，表面經特殊處理，具有耐腐蝕性特性，溫度傳感 器用於檢測藥液溫度，溫控器用於控制藥液溫度，滿足控溫精度rc ;所述流量計9為檢測 管路流量是否滿足要求的裝置，具有輸入輸出信號功能；所述液位計10為檢測各槽體、箱 體液位是否正常的裝置，具有異常報警功能；所述管路系統為滿足藥液循環、自動補液功能 的管道配置，根據需求不同作相應調整。 系統根據藥液配製需要分別從輸液管路往儲液箱注入一定量的DIW、1#藥液、2#
4藥液、3#藥液…..，然後打開循環管路中各個閥門，啟動泵工作，藥液由儲液箱->泵-> 反應槽- >儲液箱，形成循環迴路，實現藥液配比、混合、供給功能。循環管路中流量計監控 各反應槽流量是否滿足要求，確保反應槽藥液均勻。正常循環過程時，開啟反應槽及儲液箱 的加熱器，將反應液加熱升溫，利用溫控器控制反應液溫度控制在需要的工藝點。當反應槽 內藥液消耗後，定量槽內的藥液補充至儲液槽，藥液的補充量相當於槽內該藥液損失量，補 液頻率按時間或按批次來控制。 本實用新型通過儲液箱將各反應槽連接起來，相當於形成一個大容積的反應槽， 從而降低反應消耗及反應發熱對藥液濃度和藥液溫度的影響，提高藥液的均勻性，並有效 減少了補液時濃度的變化率，使反應一致性更好。
權利要求一種晶體矽太陽能電池片制絨液的自動循環補液系統，包括輸液管路(1)、儲液箱(2)和反應槽(8)，其特徵在於所述的輸液管路(1)與儲液箱(2)相連，儲液箱(2)、泵(5)、至少3個反應槽(8)、儲液箱(2)依次相連形成循環迴路，所述的儲液箱(2)依次通過泵(5)、手動閥門(6)、自動閥門(7)及流量計(9)與反應槽(8)相連，所述的儲液箱(2)、反應槽(8)及藥液定量箱(11)內部都有加熱系統和液位傳感器(10)，所述的儲液箱(2)通過手動閥門(6)和自動閥門(7)與藥液定量箱(11)相連。
2. 根據權利要求1所述的一種晶體矽太陽能電池片制絨液的自動循環補液系統，其特 徵在於所述的輸液管路(1)中有自動閥門(7)和流量計(9)，其數目與藥液配方中的藥液 種類相對應。
3. 根據權利要求1所述的一種晶體矽太陽能電池片制絨液的自動循環補液系統，其特 徵在於所述的加熱系統包括加熱器(3)、溫度傳感器(4)及溫控器，加熱器(3)為不鏽鋼 材質。
4. 根據權利要求1所述的一種晶體矽太陽能電池片制絨液的自動循環補液系統，其特 徵在於所述的反應槽(8)材質為不鏽鋼或PVDF或PP，槽體容積100-120L，槽內藥液控制 溫度為75-85t:之間一值，槽內加熱器功率為4KW，反應槽有低液位，高液位兩個液位點。
5. 根據權利要求1所述的一種晶體矽太陽能電池片制絨液的自動循環補液系統，其特 徵在於所述的儲液箱(2)材質為不鏽鋼或PVDF或PP，箱體容積350-500L，箱內藥液控制 溫度為75-85t:之間一值或高l-2t:，箱內加熱器功率為80KW，儲液箱有空液位、低液位、工 作低液位、工作高液位、高液位五個液位點。
6. 根據權利要求1所述的一種晶體矽太陽能電池片制絨液的自動循環補液系統，其特 徵在於所述的藥液定量箱(11)材質為不鏽鋼或PVDF或PP，槽體容積45L，箱內藥液溫度 為室溫，定量箱有低液位、工作液位、高液位三個液位點。
7. 根據權利要求1所述的一種晶體矽太陽能電池片制絨液的自動循環補液系統，其特 徵在於所述的泵(5)為大流量耐高溫耐腐蝕性泵，出口流量及揚程滿足每分鐘置換至少3 個反應槽內液體至少一次；所述的手動閥門和自動閥門為耐高溫耐腐蝕性手動隔膜閥及自 動隔膜閥。
專利摘要本實用新型涉及一種晶體矽太陽能電池片制絨液的自動循環補液系統，其輸液管路(1)與儲液箱(2)相連，儲液箱(2)、泵(5)、至少3個反應槽(8)、儲液箱(2)依次相連形成循環迴路，所述的儲液箱(2)依次通過泵(5)、手動閥門(6)、自動閥門(7)及流量計(9)與反應槽(8)相連，所述的儲液箱(2)和反應槽(8)內部都有加熱系統和液位傳感器(10)，所述的儲液箱(2)通過手動閥門(6)和自動閥門(7)與藥液定量箱(11)相連。本實用新型儲液箱將各反應槽連接起來，形成一個大容積的反應槽，降低了反應消耗及反應發熱對藥液濃度和藥液溫度的影響，提高了藥液的均勻性，有效減少了補液時濃度的變化率。
文檔編號H01L31/18GK201514952SQ20092021034
公開日2010年6月23日 申請日期2009年9月29日 優先權日2009年9月29日
發明者嚴俊, 李敏 申請人:上海昕通半導體設備有限公司;上海正帆科技有限公司;上海億欣電子科技有限公司