半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環方法和裝置的製作方法

2023-10-09 21:29:09 2

專利名稱：：半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環方法和裝置的製作方法
技術領域：
：本發明涉及半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環方法和裝置，因此涉及以應用離心分離技術而對水溶性和脂溶性清洗液或剝離液溶液內漂浮的物質進行過濾和分離為目的的再循環方法和裝置，更具體地說，本發明涉及如下半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環方法和裝置，該試液再循環方法和裝置能夠防止由在顯示屏或半導體工藝中進行的工序(特別是清洗或剝離等)產生的大量數微米(Um)數百微米尺寸的微粒在試液(特別是清洗液或剝離液)的再循環過程中再次流入而導致不良的問題，能夠在工序進行中除去半導體或顯示屏製造工藝(特別是清洗或剝離工序)中清洗液內部所含有的渣，能夠實現連續運轉和實時(realtime)運轉，並且該試液再循環方法和裝置能夠通過調節離心加速度、停留時間等而能夠容易地實現對工序上難除去的顆粒狀的微粒(particle)進行固液分離至所期望的粒度範圍。
背景技術：
：在半導體或顯示屏(PDP、LCD等)等的製造中所應用的各種試液的情況中，因工序上的原因，試液有時會被各種微粒汙染，特別是在清洗液和剝離液的情況中，清洗和剝離工序必然造成試液含有顆粒。但是，這樣的試液均為昂貴的試液，一般不是一次性使用而是進行再循環以再次使用，如果在再循環過程中沒有對試液內含有的微粒進行充分地除去，則試液內殘留的微粒會汙染所製造的器件，這樣的微粒的汙染是生產不良器件的原因。即，作為這樣的製造工藝，可以舉出特別是在顯示屏製造工藝中的用於保護濾色器的塗層(over-coating)材料的剝離工序；在塗布彩色光阻劑後除去不必要的部位的EBR(邊緣球狀物移除法)作業；作為新一代電子材料而令人矚目的、不進行曝光工序就能夠生成圖案的IPP(Inplaneprint)工藝；浮脫(Lift-off)工藝；和現有的TFTLCD(薄膜場效應電晶體型液晶顯示屏)工藝的清洗或剝離工序等，對在這樣的工藝中使用的清洗液和剝離液通常應用再循環方法，利用該方法除去清洗液和剝離液中所含有的漂浮物或顆粒以將其再使用，這樣的再使用方法的效率性和可靠性決定了防止微粒性異物的再汙染的效率和試液的工藝使用壽命的增加的效率。作為這樣的上述再使用/再循環方法，在現有技術中，引入了利用膜濾器進行過濾的過程，在這種情況下存在如下問題能夠分離的顆粒尺寸範圍受到限制，分離出的顆粒不被排出而吸附在過濾器內，隨著時間的推移，過濾效率性降低，因此出現了如下問題需要周期性更換膜的作業，因而在更換膜的作業之間必須中止製造工序，所以導致工序不連續，生產率降低，工藝費用相應地上升。特別是還有如下問題如剝離工序那樣不溶性異物的顆粒尺寸多種多樣，在產生尺寸範圍較寬的顆粒的工序中，不僅試液的更換周期變短，而且效率性也降低，工藝不良增加，工藝費用進一步大大上升。因而，實際情況是，人們迫切需要開發出能夠解決這樣的問題的半導體或顯示屏製造工藝的清洗液或剝離液再循環方法和裝置。
發明內容為了解決上述現有技術的問題，本發明的目的在於提供一種半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環方法和裝置，該試液再循環方法和裝置在運轉中能夠除去捕集物且能夠連續運轉，與工藝設備連接而能夠實時運轉，通過調節離心加速度、停留時間等而能夠容易地實現固液分離至所期望的粒度範圍，特別是在清洗工序和剝離工序能夠有效地利用。為了實現上述目的，本發明提供一種半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環方法，其特徵在於，所述方法包含如下階段-由半導體或顯示屏工藝設備向外部供給使用過的試液的階段；對所述供給到外部的使用過的試液進行離心分離，分離成i)渣和ii)試液的離心分離階段；將在所述離心分離階段中在離心力的作用下分離排出的試液收集，再供給到所述工藝設備中的再循環階段；和將由所述離心分離階段分離出的渣回收的階段。此外，本發明提供一種半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環裝置，其特徵在於，該裝置包括供給部，在該供給部，由半導體或顯示屏工藝設備向外部供給使用過的試液；離心分離器，該離心分離器對由所述供給部供給的使用過的試液進行離心分離，分離成i)渣和ii)試液；再循環供給部，該再循環供給部將在離心力的作用下從所述離心分離器分離排出的試液收集，再供給到所述工藝設備中；和固相廢棄物處理部，該固相廢棄物處理部將從所述離心分離器分離出的渣回收。本發明的半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環方法和裝置具有如下優點在運轉中能夠除去捕集物且製造工藝設備能夠連續運轉，與工藝設備結合而能夠實時運轉，由此通過調節離心加速度、停留時間而能夠容易地對工序上難除去的顆粒狀的微粒等實現固液分離至所期望的粒度範圍。並且本發明的半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環方法和裝置還有如下優點通過與清洗設備或剝離設備連接而實時地進行固液分離，並能夠再投入到罐(tank)中，分離出的固相以一定時間間隔排出，從而能夠在連續工藝中應用。此外本發明的半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環方法和裝置還具有如下優點過濾部分中待捕集的捕集物均勻分布，因而過濾裝置的過濾效率被維持在恆定的水平，提高了過濾工序的可靠性，容易控制。並且，如果在本發明的離心分離器的後端附加利用了現有的膜濾器的過濾裝置，則能夠防止在僅使用膜濾器時因處理固體成分的限度使在固體成分大量出現的工序中更換膜的周期變短、引起設備的噴嘴堵塞現象等的情況等，並且能夠延長膜濾器的更換周期，解決了設備的噴嘴堵塞現象的問題，從而具有在設備運用上產生優勢的效果。圖1為表示本發明的半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環裝置的示意性系統的示意圖。圖2為表示與本發明的半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環裝置中應用的離心分離器相關的一實施例的示意性系統的示意圖。符號說明IO旋轉容器12供給口14排出口20旋轉單元30回收容器40供給裝置42泵44噴嘴50再供給裝置52泵54噴嘴60供給液(過濾對象物)保存罐70廢液罐80流量控制計82再循環流量控制計84排出管線閥86排出管線具體實施例方式以下，參照附圖對本發明進行詳細說明。本發明涉及半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環方法，該包括如下階段由半導體或顯示屏工藝設備向外部供給使用過的試液的階段；對所述供給到外部的使用過的試液進行離心分離，分離成i)渣和ii)試液的離心分離階段；將在所述離心分離階段中在離心力的作用下分離排出的試液收集，再供給到所述工藝設備中的再循環階段；和將由所述離心分離階段分離出的渣回收的階段。與應用這樣的再循環方法的系統相關的具體例如圖1所示。即，本發明的半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環方法如下從使用試液(該試液包括清洗液或剝離液)的工藝設備接受試液，對試液進行離心分離，從試液中分離出漂浮物或固相顆粒(渣)，分離出這樣的渣(sludge)後的試液再次循環至工藝設備中，收集其餘殘留的固相顆粒，將其廢棄。公知的使用各種試液的工藝設備相當於上述半導體或顯示屏工藝設備，優選的是，清洗設備或剝離設備相當於上述半導體或顯示屏工藝設備，作為與上述工藝設備相關的具體例，可以舉出顯示屏製造工藝中的用於保護濾色器的塗層材料的剝離工序設備；在塗布彩色光阻劑後除去不必要的部位的EBR作業設備；作為新一代電子材料而令人矚目的、不進行曝光工序就能夠生成圖案的IPP工藝設備;浮脫(Lift-0ff)工藝設備；和現有的TFTLCD工藝的清洗或剝離工序設備等。通過泵等從上述工藝設備直接接受使用過的試液(優選清洗液或剝離液)的供給，或者通過泵等從上述工藝設備所用的試液儲藏部接受使用過的試液(優選清洗液或剝離液)的供給，對所述試液進行離心分離，如此所供給的使用過的試液通過離心分離而被分離成固體狀物和液體狀物。所述固體狀物相當於渣，所述液體狀物相當於試液。所述離心分離中能夠應用通常的離心分離器，所述離心分離器優選構成為包括如下部件繞橫軸或縱軸旋轉的旋轉容器、使所述旋轉容器旋轉的旋轉單元、與所述旋轉容器分離並包圍所述旋轉容器的外部的回收容器、和將作為過濾對象物的所述使用過的試液投入上述旋轉容器中的投入口；對此可以舉出螺旋輸送機(helicalconveyor)式離心分離器、臥式提籃式離心分離器、立式提籃式離心分離器、圓盤式中軸離心分離器、管式(Tubulartype)立式離心分離器等。此外優選的是，所述離心分離器構成為包括如下部件旋轉容器10，旋轉容器10的上部開放，並在上部具有供給過濾對象物的供給口12和在下部具有排出過濾殘留物的排出口14，旋轉容器10的下端部為從上部向下部變窄的圓筒形狀，該旋轉容器10被設置成可旋轉；旋轉單元20，該旋轉單元20使所述旋轉容器10;回收容器30，該回收容器30與所述旋轉容器10分離，並且回收容器30包圍所述旋轉容器10的外部；和供給裝置40，該供給裝置40將作為過濾對象物的所述使用過的試液向所述旋轉容器10的內周面壓縮噴射，對此在下述的裝置那部分進行詳細說明。並且，如上所述，這樣的再循環方法優選用於清洗工序和剝離工序，因此優選的是，上述半導體或顯示屏工藝設備為清洗或剝離工藝設備，並且上述試液為清洗液或剝離液。並且，本發明提供能夠適用於這樣的再循環方法的再循環裝置，該再循環裝置構成為包括如下部件供給部，在該供給部，由半導體或顯示屏工藝設備向外部供給使用過的試液；離心分離器，該離心分離器對由所述供給部供給的使用過的試液進行離心分離，分離成i)渣和ii)試液；再循環供給部，該再循環供給部將在離心力的作用下從所述離心分離器分離排出的試液收集，再供給到所述工藝設備中；和固相廢棄物處理部，該固相廢棄物處理部將從所述離心分離器分離出的渣回收。與所述再循環裝置相關的具體例如圖1所示。SP，本發明的半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環裝置如下從使用試液(包括清洗液或剝離液)的工藝設備接受試液，對所述試液進行離心分離，從試液中分離出漂浮物或固相顆粒(渣)，分離出這樣的渣(sludge)後的試液再次再循環至工藝設備中，在該再循環裝置中，首先，具有由半導體或顯示屏工藝設備將使用過的試液向外部供給的供給部。公知的使用各種試液的工藝設備相當於上述半導體或顯示屏工藝設備，優選的是，清洗設備或剝離設備相當於上述半導體或顯示屏工藝設備，作為與上述工藝設備相關的具體例，可以舉出顯示屏製造工藝中的用於保護濾色器的塗層材料的剝離工序設備；在塗布彩色光阻劑後除去不必要的部位的EBR作業設備；作為新一代電子材料而令人矚目的、不進行曝光工序就能夠生成圖案的EPP工藝設備;浮脫工藝設備;和現有的TFTLCD工藝的清洗或剝離工序設備等。可以由上述工藝設備直接通過泵等向離心分離器供給使用過的試液(優選清洗液或剝離液)，或者從上述工藝設備所用的試液儲藏部通過泵等向離心分離器供給使用過的試液(優選清洗液或剝離液)，如此所供給的使用過的試液通過離心分離而被分離成固體狀物和液體狀物。所述固體狀物相當於渣，所述液體狀物相當於試液。所述離心分離器能夠應用通常的離心分離器，優選的是，所述離心分離器構成為包括如下部件繞橫軸或縱軸旋轉的旋轉容器、使所述旋轉容器旋轉的旋轉單元、與所述旋轉容器分離並包圍所述旋轉容器的外部的回收容器、和將作為過濾對象物的所述使用過的試液投入上述旋轉容器中的投入口；對此可以舉出螺旋輸送機式離心分離器、臥式提籃式離心分離器、立式提籃式離心分離器、圓盤式中軸離心分離器、管式立式離心分離器等，進一步優選的是，以所述固相廢棄物處理部位於上述旋轉容器內部為宜，因為這樣容易處理固相廢棄物(渣)。並且，表1表示能夠適用於這樣的本發明的再循環裝置的離心分離器的類型及其特性和能夠分離的顆粒尺寸範圍。tableseeoriginaldocumentpage11下部變窄的圓筒形狀，該旋轉容器10被設置成可旋轉；旋轉單元20，該旋轉單元20使所述旋轉容器10旋轉；回收容器30，該回收容器30與所述旋轉容器10分離，並且包圍所述旋轉容器10的外部；和供給裝置40，該供給裝置40將作為過濾對象物的所述使用過的試液向所述旋轉容器10的內周面壓縮噴射。與所述離心分離器相關的具體例如圖2所示。g卩，對於所述旋轉容器10而言，作為過濾對象物的使用過的試液(例如，被懸浮物或顆粒汙染的試液等)通過旋轉容器的上部的上述供給口12投入，在通過旋轉容器的旋轉所產生的離心力的作用下，試液等液體通過旋轉容器的上部向外側排出，顆粒等固體留在旋轉容器的內周面，從而實現了過濾，這樣，通過壓縮噴射由供給裝置40和後述的再供給裝置50所供給的過濾對象物或再過濾對象物而使附著在內周面上的微粒等不持續聚積在內周面，而向旋轉容器的下部移動。因此，這樣液體易於向上部排出，易於收集聚積的微粒，因此所述旋轉容器的形狀整體上為上部開放的圓筒形狀，僅其下端部為從上部向下部變窄的形狀，優選如圖2所示的圓筒形狀。這樣，聚積的微粒等通過形成在旋轉容器的下部(優選形成在旋轉容器的底面)的排出口14而被排出。優選的是，上述排出口14既可以一直開放，也可以以一定的時間間隔反覆開、關，監視蓄積的微粒的量，並據此還能夠通過自動控制來反覆進行開、關。此處，關於上述旋轉容器，其本身以不透過性材質(金屬材料或樹脂材料等)構成，還能夠使液體在離心力的作用下在容器上部排出，使容器的圓周面形成為多孔形狀(具有大量的孔或狹縫的形狀)，在此基礎上，構成為將固體-液體分離的過濾材所具備的形態，還能夠通過過濾材同時使液體排出，這樣的過濾材可以由與旋轉容器分離的獨立的過濾材構成，或者也可以與旋轉容器一體構成，或者還可以用過濾材製作旋轉容器本身(在這種情況下，也有時並非採用多孔形狀的構成)，作為與此相關的具體的過濾材的例子，可以舉出10pm100,的各種尺寸的SUS篩網、多孔性聚醯亞胺或聚乙烯等各種樹脂網等。旋轉單元20(作為使所述旋轉容器旋轉的單元)可以應用公知的各種旋轉單元，優選的是，從驅動控制的容易性和製作的容易性的角度考慮，以用帶等連結的馬達為宜。上述回收容器30可以應用公知的離心分離器中所適用的回收容器，也可以整體上將上述旋轉容器密閉，也可以上部構成為開放的形態，此外還可以構成為各種形態。上述供給裝置40為將工序中產生的過濾對象物供給到上述旋轉容器內的裝置，並不是單純地供給所述過濾對象物，也能夠以將過濾對象物擠壓到下部的方式對蓄積在所述旋轉容器的內周面上的微粒進行壓縮噴射。因此，如圖所示，上述供給裝置通過裝備有泵和噴嘴，就能夠實現上述那樣的供給和壓縮噴射，所述噴嘴優選噴射區域較寬的噴霧嘴，為了均勻地除去顆粒和使過濾效率提高，必要時優選能夠調整噴嘴的相對於旋轉容器的相對高度、相對角度、噴射方向、控時噴射方式(連續噴射、間歇噴射的反覆)以及噴射形態(直線形態或噴霧或霧形態)中的至少1個參數，優選控制所有這些參數。對這樣的噴嘴的相對於旋轉容器的相對高度、相對角度、噴射方向、控時噴射反式和噴射形態中的至少任意l個方面的控制可以是手動，也可以通過獨立的控制部自動進行調整，因此，噴嘴中還可以具有電磁閥和馬達等自動控制設備和控制部。通過這樣的構成使過濾出的液體立即被供給到工藝設備中，或者收集到回收容器中，在液體被收集到回收容器的情況中，只要收集一定量的液體，就可以將所收集的液體通過另外的供給裝置再次供給到工藝管線中，收集到旋轉容器內的微粒在運轉一定時間以後通過排出口而被排出。這樣的過濾工序既可以通過手動運轉，也可以通過流量控制器、液位計、其他監控設備和控制設備被自動控制。此外，在此基礎上，如圖2所示，可以進一步包括再供給裝置50，該再供給裝置50將由上述回收容器過濾而被收集的物質再次向所述旋轉容器IO的內周面進行壓縮噴射。由此使過濾的效率提高，並容易地實現粒度控制。上述再供給裝置50可以具有與上述供給裝置40相同或類似的構成，如圖所示，這可以通過使所述再供給裝置50具有泵和噴嘴而使其具有與上述供給裝置40相同或類似的構成，所述噴嘴優選噴射區域較寬的噴霧嘴，必要時優選能夠調整該噴嘴的相對於旋轉容器的相對高度、相對角度、噴射方向、控時噴射方式(連續噴射、間歇噴射的反覆)以及噴射形態(直線形態或噴霧或霧形態)中的至少1個參數，優選控制所有這些參數。對這樣的噴嘴的相對於旋轉容器的相對高度、相對角度、噴射方向、控時噴射方式和噴射形態中的至少任意1個參數的控制可以是手動，也可以通過另外的控制部自動進行調整，因此，噴嘴中還可以具有電磁閥和馬達等自動控制設備和控制部。通過這樣的離心分離器進行離心分離得到的試液和渣分別通過再循環供給部使試液再循環到工藝設備中，使渣通過固相廢棄物處理部回收而被排出。如圖2所示，固相廢棄物處理部為單純收集廢棄物以將其裝入的單元，或是將其排出的單元，其也可以包括如下構成，在該構成中，可以進一步包括捕集廢棄物的另外的機械部，進一步包括將固相廢棄物摟在一起的機械部。因而，如上所述優選所述固相廢棄物處理部位於收集固相廢棄物的上述旋轉容器內部，因為這樣能夠易於回收固相廢棄物。作為與這樣的本發明的再循環裝置相關的具體運轉例，如圖2所示，上面開放的圓筒形旋轉容器10的中心軸與作為旋轉單元20的驅動馬達設備部的旋轉軸平行地構成或垂直構成，能夠從齒輪或帶方式的驅動連接接受020000rpm的強旋轉力。在此基礎上，在連續工序中為了對驅動部位出現的放熱進行防止處理，在作為旋轉單元的驅動馬達設備部20可以另外再應用水冷-空冷方式或高真空方式的冷卻處理。過濾處理前再生液(過濾對象物，即使用過的試液)的供給和過濾後的對象物(經再生的試液)的排出通過供給口12、排出口14以及與它們連接的管線來進行，此時，設置供給流量控制計80和調節傳感器，使作為過濾對象物的試液的供給和循環維持恆定，欲要使其平穩地進行，則還可以如圖2所示設置供給液保存罐60來使用。該供給液保存罐60的保存對象物質(過濾對象物質)可以在FPD(平板顯示器)工藝中使用的用於剝離或清洗的試液，通過連續地除去固相顆粒，能夠防止因工序產生的試液所帶來的二次汙染，並提高了試液的壽命。接著，過濾對象物通過供給循環泵42而流入，通過供給噴嘴44噴射而流到旋轉容器10的內部壁，從而得以供給。此時，利用供給噴嘴44和再循環供給噴嘴54反覆進行流入，對各噴嘴進行自動化設計，以使能夠調節其斜度和高度，從而提高分離、過濾進行的效率性。為了提高過濾效率和良好地除去過濾出的微粒，優選噴射角度與旋轉容器內周面的平面成銳角。特別是，再供給裝置50的再循環供給噴嘴54優選通過再循環供給泵52在較高壓力下噴射，以使能夠從圓筒形旋轉容器中將聚集在圓筒形旋轉容器10中的固相顆粒分離，並且將一部分過濾後的試液再循環來使用再循環供給噴嘴54以使噴嘴不堵塞。在離心力的作用下移動到容器的上部的液體(即，經過濾的部分)通過圓筒形旋轉容器10的上部而被排出，所述液體流入位於旋轉容器的外部的回收容器30中，從而i)通過再循環供給泵52，再投入旋轉容器以實現過濾性能的高效率，或者ii)通過由再循環供給管線分支出的過濾液排出管線或另外的與其不同的排出管線，輸送到設備中被再使用(圖2所示的情況為從支管排出的情況)。並且，經過濾留下的固體成分和少量的未被過濾的試液通過圓筒形旋轉容器10的下部排出到固相廢液罐70中，在圓筒形旋轉容器10與固相廢液罐70的連結管線的中間設有自動閥裝置，並使設備使用者可以考慮時間和壓力變量，利用控制裝置來指定其排出周期。上述半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環裝置優選為在固液分離最多且必須的清洗或剝離工序中使用的半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環裝置。以下，參考下述實施例對本發明進行更詳細地說明。顯然，這些實施例只不過例示本發明，本發明的範圍並不被下述實施例所限定。實施例如下述實施例16所示，在有機溶劑和剝離液中製造出漂浮物，如下進行實施。即，如下表2所示，準備含有固相顆粒的過濾對象物的實施例16，對使過濾對象物通過本發明的再循環裝置的情況和不通過再循環裝置的比較例進行試驗，漂浮物的尺寸差別分布圖的結果列於表3。此處使用的丙烯酸樹脂(Aciylresin)複合物為熱或光固化用納米壓印(Nanoimprint)材料或者為在濾色器基板上塗布彩色光阻劑後而塗布的作為保護膜材料的塗層材料，固化以後不溶解於剝離溶液中而以大顆粒形態漂浮。在這樣的漂浮物形態之中有如下形態試液完全不能浸入漂浮物，不發生溶脹而維持漂浮物的形態，或者一部分試液浸入而發生了溶脹的形態。眾所周知，一般發生溶脹而形成凝膠(gel)的形態的漂浮物不利於固液分離。表2tableseeoriginaldocumentpage16漂浮物存在的剝離液的製造在素玻璃(bareglass)上以數微米的厚度塗布丙烯酸樹脂(Acrylresin)複合物後，經過照射i-iine(高壓汞燈光譜中的365nm譜線)光的工序後，得到塗布有丙烯酸樹脂的玻璃基板，將於150'C進行了烘焙(bake)工序的該基板用有機溶劑或剝離液進行處理，得到了由有機溶劑99重量％、固體成分1重量％混合而成的漂浮液，或者由剝離液99重量％、固體成分1重量％混合而成的漂浮液。丙烯酸樹脂複合物為光固化型IPP(納米壓印材料)或濾色器用塗層材料(東進七S少糹的產品)，有機溶劑使用乙二醇(glycol)系，二乙二醇丁醚(BDG)、卡必醇(Carbitol)。在所使用的剝離液的情況中，使用在開發階段中的再加工(Rework)用剝離液(東進七S少a，DCS-820K、RWS-liOO)，得到剝離液中的變成凝膠(gd)的漂浮物。在氧化銦錫粉末(ITOPowder)的情況中，在塗布有丙烯酸樹脂(Acrylresin)的基板之上濺射約1氧化銦錫(ITO)，塗布光致抗蝕層形成圖案後，以ITO蝕刻液進行蝕刻，從而得到氧化銦錫粉末(ITOpowder)和丙烯酸樹脂廢液。將廣泛使用的彩色光阻劑組合物(東進"fe$少a社製造，商品名DCR-725S)旋轉塗布在彩色光阻劑基板上，塗布成最終膜厚為1.7jjm。然16後，用加熱板於卯'C對所述光阻劑膜進行120秒預烘焙(pre-bake)。接著，進行曝光，在1X氫氧化鉀(KOH)顯影液中於常溫進行60秒顯影后，於220'C的烘箱中對形成了所述圖案的試片進行20分鐘硬烘焙(hardbake)，得到彩色光阻劑基板，對該彩色光阻劑基板使用幵發階段中的再加工(Rework)用剝離液(東進七$少厶，DCS-820K)，從而得到剝離液中的漂浮物。漂浮物除去試驗如圖2所示，在儲藏容器中投入存在有將丙烯酸樹脂複合物固化而製作出的上述實施例16的漂浮物的廢液，使用泵將所述廢液投入本發明的過濾裝置中。所投入的溶液因物理性質差別在離心力的作用下發生固液分離，比重高的固體成分集中於容器底部，經過濾處理的溶液排出到容器上部而再次流入回收容器中。此時，用粒度測定器(BECKMANCOULTER,LS13320)對供給和排出管線和固液分離前的試液的漂浮物進行尺寸差別分布圖的測定，其結果列於表3。表3tableseeoriginaldocumentpage17(參考)比較例1和比較例2分別是實施例1和實施例4的過濾前的粒度分布。如上表3所示，與硬微粒沐溶脹)相比較，軟微粒(溶脹)的粒度較大，但是在經過過濾的情況中，一般只包含工序上容許的1nm100(im範圍內的微粒。並且，硬顆粒的情況中，可以確認到過濾效率優異。並且，為了確認由離心分離器的類型和顆粒帶來的過濾程度，利用本發明的再循環方法和裝置實施如下的過濾實驗。實施例7為了利用作為臥式離心分離器的一種的螺旋輸送機(helicalconveyor)式離心分離器，來過濾清洗液中漂浮的顏料和未溶解的高分子物質，將清洗液以每小時1噸的流量投入到轉速為3000rpm以上的離心分離型自動過濾裝置，所述清洗液是清洗在顯示屏工藝中的濾色器成膜的工序中塗布彩色光阻劑的狹縫(Slit)噴嘴和旋塗設備內的旋轉杯(cup)而產生的。此時，為了測定所供給的試液和所排出的試液的差別，用粒度測定器(BECKMANCOULTER,LS13320)測定尺寸差別分布圖(顆粒的平均尺寸，落入010%的範圍內的顆粒的尺寸、落入050%的範圍內的顆粒的尺寸以及落入090。/。的範圍內的顆粒的尺寸)，其結果列於表4。表4_(單位^im)粒度分布平均顆粒尺寸>腦>50%>90%過濾前8.322.417.5615.6過濾後0.590.090.441.49實施例8為了利用作為臥式離心分離器的一種的螺旋輸送機式離心分離器和作為立式離心分離器的一種的立式提籃式離心分離器，來進行顯示屏工藝中的剝離的同時過濾連同金屬膜也一同被剝離而漂浮的高分子物質和金屬微粒，在為螺旋輸送機式離心分離器的情況中，以每小時1噸的流量投入到轉速為3000rpm以上的離心分離器中，在為立式提籃式離心分離器的情況中，以每小時5噸的流量投入到轉速為1000rpm以上的離心分離器中。此時，為了測定所供給的試液和所排出的試液的差別，用粒度測定器(BECKMANCOULTER,LS13320)測定尺寸差別分布圖，其結果列於表5。表5tableseeoriginaldocumentpage18實施例9為了利用作為臥式離心分離器的一種的臥式提籃式離心分離器，來對顯示屏工藝中的負型光致抗蝕層剝離工序中產生的負型光致抗蝕層的未溶解高分子物質進行過濾，每小時l噸的流量投入到轉速為3000rpm以上的離心分離器中。此時，為了測定所供給的試液和所排出的試液的差別，用粒度測定器(BECKMANCOULTER,LS13320)測定尺寸差別分布圖，其結果列於表6。表6complextableseeoriginaldocumentpage19與此相比較，對與實施例7相同的過濾前試液，為了利用氣孔尺寸為3jLim的膜濾器，來對清洗液中漂浮的顏料和未溶解的高分子物質進行過濾，使清洗液以每小時1噸的流量通過膜濾器，所述清洗液是對顯示屏工藝中的濾色器成膜的工序中塗布彩色光阻劑的狹縫(Slit)噴嘴和旋塗設備內的旋轉杯進行清洗而產生的。此時，為了測定所排出的試液的差別，用粒度測定器(BECKMANCOULTER,LS13320)測定尺寸差別分布圖，其結果列於表7。《表7complextableseeoriginaldocumentpage19如表所示，在為膜濾器的情況中，與實施例7的離心分離器相比，膜濾器顯示出不太優異的過濾性能。但是，在膜濾器的情況中，其具有能夠減少與氣孔尺寸相當的固體成分的優點，因此在應用具有更微細的氣孔的膜的情況下，能夠使過濾性能得到改善，但是在所述膜的情況中也出現了在實驗過程中過濾器慢慢堵塞，流量減少，過濾器內的壓力上升的現象，因此難以為了改善過濾性能而應用更小氣孔的膜。相反，可知在本發明的情況中，這樣的劣化現象被顯著地改善，同時如上所述顯示出充分的過濾性能。當然，以上說明的本發明並不被上述的實施例和附圖所限定，在不脫離於權利要求書所記載的本發明的思想和領域的範圍內，本領域技術人員作出的各種修改和變形也包括在本發明的範圍內。權利要求1.一種半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環方法，其特徵在於，所述方法包含如下階段由半導體或顯示屏工藝設備向外部供給使用過的試液的階段；對所述供給到外部的使用過的試液進行離心分離，分離成i)渣和ii)試液的離心分離階段；將在所述離心分離階段中在離心力的作用下分離排出的試液收集，再供給到所述工藝設備中的再循環階段；和將由所述離心分離階段分離出的渣回收的階段。2.如權利要求1所述的半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環方法，其特徵在於，所述離心分離使用如下離心分離器，該離心分離器具有繞橫軸或縱軸旋轉的旋轉容器；使所述旋轉容器旋轉的旋轉單元；與所述旋轉容器分離，並包圍所述旋轉容器的外部的回收容器；和將作為過濾對象物的所述使用過的試液投入所述旋轉容器中的投入口。3.如權利要求1所述的半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環方法，其特徵在於，所述離心分離使用如下離心分離器，該離心分離器具有旋轉容器，該旋轉容器的上部開放，並且在上部具有供給過濾對象物的供給口和在下部具有排出過濾殘留物的排出口，該旋轉容器的下端部為從上部向下部變窄的圓筒形狀，並且該旋轉容器被設置成可旋轉；旋轉單元，該旋轉單元使所述旋轉容器旋轉；回收容器，該回收容器與所述旋轉容器分離，並包圍所述旋轉容器的外部；和供給裝置，該供給裝置將作為過濾對象物的所述使用過的試液向所述旋轉容器的內周面壓縮噴射。4.如權利要求13任一項所述的半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環方法，其特徵在於，所述半導體或顯示屏工藝設備為清洗或剝離工藝設備，所述試液為清洗液或剝離液。5.如權利要求13任一項所述的半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環方法，其特徵在於，所述試液再循環為如下工序中使用的試液的再循環用於保護濾色器的塗層材料的剝離工序；或者在塗布彩色光阻劑後除去不必要的部位的EBR作業；或者IPP工藝；或者浮脫工藝；或者TFT-LCD工藝的清洗工序；或者TFT-LCD工藝的剝離工序。6.—種半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環裝置，其特徵在於，該裝置包括供給部，在該供給部，由半導體或顯示屏工藝設備向外部供給使用過的試液；離心分離器，該離心分離器對由所述供給部供給的使用過的試液進行離心分離，分離成i)渣和ii)試液；再循環供給部，該再循環供給部將在離心力的作用下從所述離心分離器分離排出的試液收集，再供給到所述工藝設備中；和固相廢棄物處理部，該固相廢棄物處理部將從所述離心分離器分離出的渣回收。7.如權利要求6所述的半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環裝置，其特徵在於，所述離心分離具有繞橫軸或縱軸旋轉的旋轉容器；使所述旋轉容器旋轉的旋轉單元；與所述旋轉容器分離，並包圍所述旋轉容器的外部的回收容器；和將作為過濾對象物的所述使用過的試液投入所述旋轉容器中的投入口。8.如權利要求7所述的半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環裝置，其特徵在於，所述固相廢棄物處理部位於所述旋轉容器內部。9.如權利要求6所述的半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環裝置，所述離心分離器包括旋轉容器，該旋轉容器的上部開放，並在上部具有供給過濾對象物的供給口和在下部具有排出過濾殘留物的排出口，該旋轉容器的下端部為從上部向下部變窄的圓筒形狀，並且該旋轉容器被設置成可旋轉；旋轉單元，該旋轉單元使所述旋轉容器旋轉；回收容器，該回收容器與所述旋轉容器分離，該回收容器包圍所述旋轉容器的外部；和供給裝置，該供給裝置將作為過濾對象物的所述使用過的試液向所述旋轉容器的內周面壓縮噴射。10.如權利要求9所述的半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環裝置，其特徵在於，所述供給裝置包括配置在所述旋轉容器內的噴嘴和向所述噴嘴壓縮供給過濾對象物的泵。11.如權利要求IO所述的半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環裝置，其特徵在於，所述噴嘴具有控制部，該控制部通過控制所述噴嘴的由相對於旋轉容器的相對高度、相對角度、噴射方向、控時噴射方式和噴射形態組成的組中至少1個參數來控制所述噴嘴。12.如權利要求9所述的半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環裝置，其特徵在於，所述試液再循環裝置還包括再供給裝置，該再供給裝置將來自所述回收容器的經過濾收集得到的物質向所述旋轉容器的內周面再次壓縮噴射。13.如權利要求12所述的半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環裝置，其特徵在於，所述再供給裝置包括配置在所述旋轉容器內的噴嘴和向所述噴嘴壓縮供給過濾對象物的泵。14.如權利要求613所述的半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環裝置，其特徵在於，所述半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環裝置被用於清洗或剝離工序。全文摘要本發明涉及半導體或顯示屏製造工藝的試液再循環方法和裝置，其能夠在工序進行中除去半導體或顯示屏製造工藝的試液(特別是在清洗或剝離工序中的清洗液或剝離液)所含有的渣，能夠實現連續運轉和實時運轉，通過調節離心加速度、停留時間等而具有能夠容易地實現對工序上難除去的顆粒狀微粒進行固液分離至所期望的粒度範圍的效果。所述方法的特徵在於，其包含如下階段由半導體或顯示屏工藝設備向外部供給使用過的試液的階段；對所述試液進行離心分離，分離成i)渣和ii)試液的離心分離階段；將在離心分離階段中在離心力的作用下被分離排出的試液收集，再供給到工藝設備中的再循環階段；和將由離心分離階段分離出的渣收集的階段。文檔編號B01D21/26GK101362033SQ20081014492公開日2009年2月11日申請日期2008年8月7日優先權日2007年8月8日發明者李聖賢,鉉許,金聖培,金柄鬱申請人:東進世美肯株式會社