一種無損傷檢測方法
2023-10-08 05:26:09
專利名稱：一種無損傷檢測方法
技術領域：
本發明涉及一種檢測PSS的方法，尤其是一種利用光學反射性質來檢測PSS的無損傷檢測方法。
背景技術：
目前資源匱乏，能源緊張問題已經成為全球經濟發展的瓶頸，在供電日趨緊張的情況下，世界各國均不約而同地開始了新型照明光源的探索。LED作為一種得到廣泛關注的新型光源，具有節能、環保、壽命長等優勢，理論上可實現只消耗白熾燈10%的能耗，比螢光燈節能50%。LED用於日常生產生活必須提高其發光效率，而目前常用的技術方案就是使用圖案化藍寶石襯底，即PSS技術。PSS就是利用光刻、刻蝕等技術在單拋的藍寶石襯底表面加工出有規律的圖案，選擇合適的PSS襯底，可以減少LED外延中的位錯密度，改善晶體質量提高LED內量子效率；同時PSS的特殊結構也可以散射光線增加光萃取效率，因此增加LED亮度。基於此，對PSS的選擇也隨即成為了 LED產業鏈中重要一環，目前用於檢測PSS的主要測試方式包括掃描電子顯微鏡(SEM)和原子力顯微鏡(AFM);然而該兩種方式在實際生產中均有很大限制，SEM是破壞性測試，只能小比例的抽檢；AFM測試需要經常更換探針，並且也只能小批量進行。
發明內容
本發明要解決的技術問題是:提出一種具有效率高、批量化、非破壞等優勢的無損傷檢測方法。本發明 所採用的技術方案為:一種無損傷檢測方法，包括以下步驟:I)將加工出來的整盒圖形化藍寶石襯底PSS放置在適合機臺測試的放片區；2)啟動機臺，機臺開始對放片區進行識別確認有待測樣品；3)將PSS樣品一片一片依次放置到具有光發射器的測試腔體內承載臺上；4)發射一束光對PSS表面進行掃描,樣品表面區域圖案出現差異時反射光信息，由反射光接收端收集信息將其轉換成數值，測得PSS樣品情況。本發明所述的反射光的反射值的大小由PSS表面圖案決定。本發明介紹的PSS檢測方式相比SEM和AFM而言，具有效率高、批量化、非破壞等優勢。發明中利用光的反射性能，對加工中出現不同型號的PSS進行區分，主要過程包括:發射一束光對PSS表面進行掃描，當該束光掃描的表面區域圖案出現差異時，可以收集到相對應的差異化光反射信息，將其轉換成數值，可以得到所測試PSS型號信息。本發明的有益效果是:一方面該方法利用光學手段在PSS測試中確實能反映出產品的信息，另一方面測試過程簡單易行，對產品沒有損傷、破壞，且能導入正式生產中。
下面結合附圖和實施例對本發明進一步說明。圖1為不同襯底反射值不同；圖2為不同顆粒大小襯底反射不同。
具體實施例方式現在結合附圖和優選實施例對本發明作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本發明的基本結構，因此其僅顯示與本發明有關的構成。實例I本實例中將介紹利用本發明介紹的方法來區分不同試樣，實例中將通過機臺E測試的結果進行說明，其中試樣I為單拋藍寶石平片、試樣2和試樣3均為PSS樣品(圖1)，試樣2和試樣3的區別在於試樣2相比於試樣3圖案顆粒小，且排布較密集。測試過程始終保持三個樣品採用同等參數設置，實例中唯一的不同在於試樣本身，按照正常流程測試結束後，得到試樣1、試樣2、試樣3的反射值分別用數字表示為C1、C2、C3，且從數據來看有C1>C2>C3 ;之所以出現這樣的結果原因是試樣I擁有類似於鏡面反射的表面，故其反射值最大；試樣2和試樣3均比試樣I粗糙，存在散射和漫反射，故發射信息接收不完全，其反射值自然較小，然而試樣2表面圖案並沒有較大顆，所能存在的漫反射和散射不如試樣3比例多，所以介於試樣I和試樣3間。通過這三組試樣的測試可以清楚地做出判斷:測試樣品若在機臺E上得到的反射值與C1、C2、C3存在大小關係，那麼該樣品的圖案化程度也會與試樣
1、試樣2、試樣3存在著聯繫。實例2本實例測試用的機 臺和方法和實例I 一樣，不同之處在於本實例介紹的是在PSS加工過程中會出現異常圖案，然後利用本發明介紹的方法去判定。如圖2所示，PSS加工過程中會出現圖中a、b和c三種情形，通過測試得到其反射值分別為Ca、Cb、Ce，且反射值間存在一種序列關係，因此根據這三個反射值的關係也可以得到圖2中得到的三種不同圖案的PSS襯底。通過對圖2中三組試樣的測試可以知道:測試樣品均在同等生產條件下進行加工，其反射值的差異，反映了其具有的圖案也存在差異，可以根據反射值判斷當前生產是否按照預期進行。以上說明書中描述的只是本發明的具體實施方式
，各種舉例說明不對本發明的實質內容構成限制，所屬技術領域的普通技術人員在閱讀了說明書後可以對以前所述的具體實施方式
做修改或變形，而不背離發明的實質和範圍。
權利要求
1.一種無損傷檢測方法，其特徵在於包括以下步驟: 1)將加工出來的整盒圖形化藍寶石襯底PSS放置在適合機臺測試的放片區； 2)啟動機臺，機臺開始對放片區進行識別確認有待測樣品； 3)將PSS樣品一片一片依次放置到具有光發射器的測試腔體內承載臺上； 4)發射一束光對PSS表面進行掃描,樣品表面區域圖案出現差異時反射光信息，由反射光接收端收集信息將其轉換成數值，測得PSS樣品情況。
2.如權利要求1所述的一種無損傷檢測方法，其特徵在於:所述的反射光的反射值的大小由PSS表面圖案決定。`
全文摘要
本發明涉及一種無損傷檢測方法，該方法是利用光反射性質，發射一束入射光在PSS表面進行掃描，該束光經過每個表面區域時均會得到一束對應的反射光信息，收集該束反射光的信息，並將其數位化處理，最終從數據區分所加工PSS均勻性以及型號。本發明介紹的方法適合大規模生產，既能反映生產質量，又能節約生產成本。
文檔編號G01N21/87GK103234973SQ20131011960
公開日2013年8月7日 申請日期2013年4月8日 優先權日2013年4月8日
發明者塗亮亮, 江成龍, 石劍舫, 盛建明 申請人:常州同泰光電有限公司