一種雙刀盤式超精密飛切銑床的製作方法

2023-10-17 10:01:29 2

專利名稱：一種雙刀盤式超精密飛切銑床的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種銑床，具體涉及一種雙刀盤式超精密飛切銑床。
背景技術：
慣性核聚變裝置需要大量的直徑厚度比較大的KDP晶體光學元件，由於KDP晶體功能和材料性質的特殊性，對它的加工只能是採用超精密飛切銑削的工藝方法加工，為了獲得超光滑的表面，除了要研究刀具和超精密加工工藝技術以外，其專用的超精密加工設備更是研究的基礎。在實際工作中，對KDP晶體功能材料的加工精度和表面質量要求很高， 要求其長X寬X高為430mmX430mmX IOmm ;面形精度小於O. 125 μ m ;表面粗糙度小於5nm (RMS)，雙面表面平行度小於10"。目前，我國的KDP晶體加工超精密工具機廣泛地使用氣體靜壓的方式，，如專利號ZL 200710144867. 4、申請日為2007年12月19日、名稱為《龍門式超精密飛切銑床》。但是現有的KDP晶體加工超精密工具機剛度和加工效率均較低，無法加工出高精度和高表面質量的KDP晶體光學元件。發明內容
本發明的目的是提供一種雙刀盤式超精密飛切銑床，以解決現有KDP超精密加工工具機剛度和加工效率均較低的問題。
本發明為解決上述技術問題採取的技術方案是
一種雙刀盤式超精密飛切銑床，所述銑床包括大理石T型床身、橫向直線導軌系統、縱向直線導軌系統、雙刀盤主軸系統和多個空氣隔振支撐系統；
所述橫向直線導軌系統分為橫向直線導軌系統左和橫向直線導軌系統右，橫向直線導軌系統左設置在大理石T型床身上的左邊緣，橫向直線導軌系統右設置在大理石T型床身上的右邊緣，縱向直線導軌系統設置在大理石T型床身的中間部位，且縱向直線導軌系統位於橫向直線導軌系統左和橫向直線導軌系統右之間，橫向直線導軌系統左包括吸盤支撐座左、真空吸盤左、橫上溜板左、橫導軌左、直線電機左、兩個橫中間溜板左及兩個橫下溜板左；橫上溜板左的兩端通過兩個橫中間溜板左與兩個橫下溜板左分別固接並形成凹槽左，橫導軌左的上端安裝在凹槽左內，橫導軌左的下端與大理石T型床身固接，橫上溜板左通過直線電機左驅動在橫導軌左上滑動，實現相對運動，真空吸盤左與吸盤支撐座左固接， 吸盤支撐座左與橫上溜板左固接，真空吸盤左與橫上溜板左的上表面垂直設置，真空吸盤左與縱向直線導軌系統平行設置，橫向直線導軌系統右包括吸盤支撐座右、真空吸盤右、橫上溜板右、橫導軌右、直線電機右、兩個橫下溜板右及兩個橫中間溜板右；橫上溜板右的兩端通過兩個橫中間溜板右與兩個橫下溜板右分別固接並形成凹槽右，橫導軌右的上端安裝在凹槽右內，橫導軌右的下端與大理石T型床身固接，橫上溜板右通過直線電機右驅動在橫導軌右上滑動，實現相對運動，真空吸盤右與吸盤支撐座右固接，吸盤支撐座右與橫上溜板右固接，真空吸盤右與橫上溜板右的上表面垂直設置，真空吸盤右與縱向直線導軌系統平行設置，縱向直線導軌系統包括縱導軌、縱上溜板、電機連接座、縱直線電機、兩個縱下溜板及兩個縱中間溜板，縱上溜板的兩端通過兩個縱中間溜板與兩個縱下溜板分別固接並形成縱導軌凹槽，縱導軌的上端安裝在縱導軌凹槽內，縱導軌的下端與大理石T型床身固接， 縱上溜板與縱導軌之間通過電機連接座與縱直線電機連接，實現相對運動，雙刀盤主軸系統位於縱向直線導軌系統之上且與縱上溜板固接，大理石T型床身的底部固定有多個空氣隔振支撐系統。
本發明具有以下有益效果本發明實現了高精度的直線進給運動和刀盤的迴轉運動，而且導軌和主軸均採用了液體靜壓的控制方式，具有精度高、剛度高等優點。本發明的加工精度指標高、加工效率高，完全適合硬脆性功能材料的超精密加工。實驗結果表明，銑床的主要精度指標為液體靜壓主軸的跳動量O. 02 μ m,其軸向剛度可達到4000N/ μ m,導軌運動直線度誤差為O. I μ m/300mm (導軌長度為300mm時)和O. 2 μ m/600mm (導軌長度為 600_時)，導軌剛度彡4000N/ μ m0此外，本發明還具有以下優點銑床整體採用T字型對稱結構布置，結構對稱，布局簡單，可以抵消軸向力的作用，對提高加工精度有利；主軸採用臥式結構，並採用較大剛度的軸承(即由第一止推板、第一刀盤、第一主軸、第一軸套四個零件及其接觸縫隙在通有高壓液壓油的時候構成液體靜壓和止推軸承，同理，第二主軸、第二止推板、第二刀盤、第二軸套四個零件及其接觸縫隙在通有高壓液壓油的時候構成液體靜壓和止推軸承)支承，避免了由於刀盤重量引起主軸迴轉精度的變化；真空吸盤豎直放置， 有利於克服工件自重產生的變形，並且便於操作，有利於工件的裝夾；由一個驅動源同時驅動兩個主軸轉動，實現了兩軸上的刀盤同時加工工件，與現有的KDP超精密加工工具機的主軸系統採用單刀盤相比，加工效率提高了一倍。


圖I是本發明的整體結構的主視圖，圖2是圖I的俯視圖，圖3是圖I的左視圖， 圖4是圖I中真空吸盤左的右視圖，圖5是圖I中真空吸盤右的左視圖，圖6是圖I中雙刀盤主軸系統的主視圖，圖7是圖6中的第一止推板的左主視圖，圖8是圖6中的第二止推板的右主視圖，圖9是圖6在C處的局部放大圖，圖10是圖6在I處的局部放大圖，圖11是圖6的第一油室套的橫截面示意圖，圖12是圖6的第二油室套的橫截面示意圖，圖13是圖 I的a處放大圖，圖14是圖6中直流雙輸出軸電機放大圖，圖15是圖I中空氣隔振支撐系統的放大圖，圖16是圖I的b部放大圖，圖17是圖I的c部放大圖，圖18是圖3的d部放大圖。
具體實施方式
具體實施方式
一結合圖I 圖18說明,本實施方式的一種雙刀盤式超精密飛切統床，所述統床包括大理石T型床身44、橫向直線導軌系統64、縱向直線導軌系統65、雙刀盤主軸系統56和多個空氣隔振支撐系統59 ；
所述橫向直線導軌系統64分為橫向直線導軌系統左64-1和橫向直線導軌系統右 64-2,橫向直線導軌系統左64-1設置在大理石T型床身44上的左邊緣,橫向直線導軌系統右64-2設置在大理石T型床身44上的右邊緣，縱向直線導軌系統65設置在大理石T型床身44的中間部位,且縱向直線導軌系統65位於橫向直線導軌系統左64-1和橫向直線導軌系統右64-2之間，橫向直線導軌系統左64-1包括吸盤支撐座左39、真空吸盤左77、橫上溜板左40、橫導軌左43、直線電機左66、兩個橫中間溜板左41及兩個橫下溜板左42 ;橫上溜板左40的兩端通過兩個橫中間溜板左41與兩個橫下溜板左42分別固接並形成凹槽左，橫導軌左43的上端安裝在內，橫導軌左43的下端與大理石T型床身44固接，橫上溜板左40 通過直線電機左66驅動在橫導軌左43上滑動，實現相對運動，真空吸盤左77與吸盤支撐座左39固接，吸盤支撐座左39與橫上溜板左40固接，真空吸盤左77與橫上溜板左40的上表面垂直設置，真空吸盤左77與縱向直線導軌系統65平行設置，橫向直線導軌系統右 64-2包括吸盤支撐座右72、真空吸盤右73、橫上溜板右71、橫導軌右68、直線電機右67、兩個橫下溜板右69及兩個橫中間溜板右70 ;橫上溜板右71的兩端通過兩個橫中間溜板右70 與兩個橫下溜板右69分別固接並形成凹槽右，橫導軌右68的上端安裝在凹槽右內，橫導軌右68的下端與大理石T型床身44固接，橫上溜板右71通過直線電機右67驅動在橫導軌右68上滑動，實現相對運動，真空吸盤右73與吸盤支撐座右72固接，吸盤支撐座右72與橫上溜板右71固接，真空吸盤右73與橫上溜板右71的上表面垂直設置，真空吸盤右73與縱向直線導軌系統65平行設置，縱向直線導軌系統65包括縱導軌50、縱上溜板51、電機連接座53、縱直線電機54、兩個縱下溜板46及兩個縱中間溜板47，縱上溜板51的兩端通過兩個縱中間溜板47與兩個縱下溜板46分別固接並形成縱導軌凹槽，縱導軌50的上端安裝在縱導軌凹槽內，縱導軌50的下端與大理石T型床身44固接，縱上溜板51與縱導軌50之間通過電機連接座53與縱直線電機54連接，實現相對運動，雙刀盤主軸系統56位於縱向直線導軌系統65之上且與縱上溜板51固接，大理石T型床身44的底部固定有多個空氣隔振支撐系統59。橫向直線導軌系統64的工作模式與縱向直線導軌系統65的工作模式相似。
大理石T型床身44主要用來支撐整個銑床其它功能部件的重量，並保證各部件靜態位置不變動，同時具有隔離外部振源和減振的功能。由於床身結構相對一般工具機比較簡單，整體可選用大塊大理石材料。大理石材料屬於石材類，比鑄鐵穩定好，熱膨脹係數低，對振動的衰減能力強，硬度高、耐磨並且不會生鏽、耐腐蝕。
具體實施方式
二 結合圖I及圖6 圖12說明，本實施方式所述雙刀盤主軸系統56 包括第一固定擋板3、第一主軸10、電機支架18、第一止推板4、第一刀盤11、第一軸套8、第一軸系支架15、第一油室套16、殼體37、直流雙輸出軸電機38、第二固定擋板34、第二主軸 28、第二止推板22、第二刀盤29、第二軸套26、第二油室套33和第二軸系支架35 ；
殼體37的兩端均為敞口端,第一軸系支架15位於殼體37內腔的一端,第一軸系支架15的外端通過第一固定擋板3與殼體37固接，第二軸系支架35位於殼體37內腔的另一端，第二軸系支架35的外端通過第二固定擋板34與殼體37固接，直流雙輸出軸電機 38位於殼體I內並通過電機支架18固裝在第一軸系支架15上，直流雙輸出軸電機38的第一輸出軸19通過第一止推板4與第一主軸10的一端固接，第一主軸10的另一端與第一刀盤11固接，第一軸套8與第一止推板4之間留有第一間隙D，所述第一軸套8與第一刀盤 11之間留有第二間隙E，第一軸套8套裝在第一主軸10上，第一軸套8與第一主軸10之間留有第三間隙F，所述第一軸套8固裝在第一軸系支架15內，第一軸套8的外壁上沿圓周方向加工有環形凹槽8-1，所述第一軸套8上加工有多個第一軸向通孔13和多個第一徑向通孔14，第一油室套16由兩個第一半環16-1構成，兩個第一半環16-1相對套裝在第一軸套 8上且位於環形凹槽8-1內，兩個第一半環16-1固裝形成第一油室套16，第一軸套8與第一油室套16之間形成第一油室6,多個第一軸向通孔13與多個第一徑向通孔14均與第一油室6連通，直流雙輸出軸電機38的第二輸出軸20通過第二止推板22與第二主軸28的一端固接，第二主軸28的另一端與第二刀盤29固接，第二軸套26與第二止推板22之間留有第四間隙M，第二軸套26與第二刀盤29之間留有第五間隙N，第二軸套26套裝在第二主軸28上,第二軸套26與第二主軸28之間留有第六間隙H，第二軸套26固裝在第二軸系支架35內，第二軸套26的外壁上沿圓周方向加工有第二環形凹槽26-1，第二軸套26上加工有多個第二軸向通孔25和多個第二徑向通孔23，第二油室套33由兩個第二半環33-1構成，兩個第二半環33-1相對套裝在第二軸套26上且位於第二環形凹槽26-1內，兩個第二半環33-1固裝形成第二油室套33，第二軸套26與第二油室套33之間形成第二油室24，多個第二軸向通孔25和所述多個第二徑向通孔23均與第二油室24連通。直流雙輸出軸電機38由定子I和轉子2構成，直流雙輸出軸電機38的轉子2同時與第一電機軸19和第二電機軸20固接，採用直流雙輸出軸電機38 (無刷驅動電機)作為驅動元件，由於沒有電刷， 因此這種電機的定子I與轉子2之間沒有摩擦力矩，直接可以產生旋轉扭矩驅動第一主軸 10和第二主軸28同時旋轉並進行切削。本實施方式中未公開的技術特徵與具體實施方式
一相同。
具體實施方式
三結合圖I、圖2、圖4及圖5說明，本實施方式所述一種雙刀盤式超精密飛切銑床，真空吸盤左77包括吸盤底座左74、調節閥門左75、進氣控制盒左78和進氣管路左76 ;吸盤底座左74與進氣控制盒左78固接，進氣控制盒左78上設有進氣管路左 76，進氣控制盒左78上設有調節閥門左75，通過進氣管路左76進入進氣控制盒左78內的進氣量通過調節閥門左75的開度調節，進氣控制盒左78與吸盤底座左74連通；
真空吸盤右73包括吸盤底座右84、調節閥門右85、進氣控制盒右86和進氣管路右87 ;吸盤底座右84與進氣控制盒右86固接，進氣控制盒右86上設有進氣管路右87，進氣控制盒右86上設有調節閥門右85，通過進氣管路右87進入進氣控制盒右86內的進氣量通過調節閥門右85的開度調節，進氣控制盒右86與吸盤底座右84連通。本實施方式中未公開的技術特徵與具體實施方式
一相同。
具體實施方式
四結合圖I說明，本實施方式所述空氣隔振支撐系統59包括氣墊板63、隔振氣墊62、支撐螺杆61、支撐螺母60及支撐底座45 ;氣墊板63固定設置在隔振氣墊62的上端，隔振氣墊62通過支撐螺杆61與支撐螺母60連接，支撐底座45的中心處設有連接孔，支撐螺母60固定設置在支撐底座45的連接孔內。如此設計，減小床身的振動以提高加工精度。本實施方式中未公開的技術特徵與具體實施方式
一相同。
具體實施方式
五結合圖I說明，本實施方式所述縱下溜板46沿其厚度方向設有第一油腔48，縱下溜板46與縱導軌50相鄰表面之間形成第一封油麵49，縱中間溜板47 沿其厚度方向設有第二油腔80，縱中間溜板47與縱導軌50相鄰表面之間形成第二封油麵 81，縱上溜板51沿其厚度方向設有第三油腔82，縱上溜板51與縱導軌50相鄰表面之間形成第三封油麵83，從而形成靜壓油膜。本實施方式中未公開的技術特徵與具體實施方式
一、 二、三或四相同。
具體實施方式
六結合圖I和圖2說明，本實施方式所述大理石T型床身44外周側面的上邊緣處設有凸臺58。便於液壓油回收。本實施方式中未公開的技術特徵與具體實施方式
一、二、三或四相同。
本發明在使用時，第一油室6和第二油室24均與供油裝置連通，第一間隙D內形8成第一止推油膜17，第二間隙E內形成第二止推油膜12，第三間隙F內形成第一徑向油膜 9，實現了第一主軸10的超精密迴轉；第四間隙M內形成第三止推油膜36、第五間隙N內形成第四止推油膜31、第六間隙H內形成第二徑向油膜27，實現了第二主軸28的超精密迴轉。
主軸系統是該超精密銑床的關鍵部件之一。它的迴轉精度、剛度及其結構尺寸都直接影響到工具機的加工精度。主軸要求達到極高的迴轉精度，運轉平穩，無振動，承載能力大，剛度高，其關鍵在於所使用的軸承，本工具機選用液體靜壓軸承(即由第一止推板4、第一刀盤11、第一主軸10、第一軸套8四個零件及其接觸縫隙在通有高壓液壓油的時候構成液體靜壓和止推軸承，同理，第二主軸28、第二止推板22、第二刀盤29、第二軸套26四個零件及其接觸縫隙在通有高壓液壓油的時候構成液體靜壓和止推軸承)作為支撐，剛度高、精度高、運行平穩。
工作原理
本發明研究的是一種雙刀盤式飛切專用銑床，採用高精度的直線電機(縱直線電機54、直線電機左66和直線電機右67)作為溜板(橫上溜板左40、橫上溜板右71和縱上溜板51)的驅動元件，使溜板沿導軌作直線運動，這樣就將電機的運動和動力傳遞到溜板上， 驅動溜板作超精密的低速移動，實現銑床的超精密直線進給運動。整個橫向直線導軌系統 64和縱向直線導軌系統65固聯在大理石T型床身44上；雙刀盤主軸系統56的直流雙輸出軸電機38驅動液體靜壓主軸，實現液體靜壓主軸的高精度迴轉運動,刀盤繞液體靜壓主軸作超精密高速迴轉，刀盤帶動其上的金剛石刀具高速迴轉。真空吸盤右73與真空吸盤左 77通入高壓氣體，實現工件的固定。橫縱導軌系統及主軸系統的聯合運動，實現了對被加工零件的超精密飛刀銑削加工，兩個橫向運動導軌系統和雙刀盤主軸，可以實現雙工件的同時切削。
權利要求
1.一種雙刀盤式超精密飛切銑床，所述銑床包括大理石T型床身(44)、橫向直線導軌系統(64)、縱向直線導軌系統(65)、雙刀盤主軸系統(56)和多個空氣隔振支撐系統(59)；其特徵在於 所述橫向直線導軌系統(64)分為橫向直線導軌系統左(64-1)和橫向直線導軌系統右(64-2),橫向直線導軌系統左(64-1)設置在大理石T型床身(44)上的左邊緣,橫向直線導軌系統右(64-2)設置在大理石T型床身(44)上的右邊緣，縱向直線導軌系統(65)設置在大理石T型床身(44)的中間部位,且縱向直線導軌系統(65)位於橫向直線導軌系統左64-1和橫向直線導軌系統右(64-2)之間,橫向直線導軌系統左(64-1)包括吸盤支撐座左(39)、真空吸盤左(77)、橫上溜板左(40)、橫導軌左(43)、直線電機左(66)、兩個橫中間溜板左(41)及兩個橫下溜板左(42);橫上溜板左(40)的兩端通過兩個橫中間溜板左(41)與兩個橫下溜板左(42)分別固接並形成凹槽左，橫導軌左(43)的上端安裝在凹槽左內，橫導軌左(43)的下端與大理石T型床身(44)固接，橫上溜板左(40)通過直線電機左(66)驅動在橫導軌左(43)上滑動，實現相對運動，真空吸盤左(77)與吸盤支撐座左(39)固接，吸盤支撐座左(39)與橫上溜板左(40)固接，真空吸盤左(77)與橫上溜板左(40)的上表面垂直設置，真空吸盤左(77)與縱向直線導軌系統(65)平行設置，橫向直線導軌系統右(64-2)包括吸盤支撐座右(72)、真空吸盤右(73)、橫上溜板右(71)、橫導軌右(68)、直線電機右(67)、兩個橫下溜板右(69)及兩個橫中間溜板右(70);橫上溜板右(71)的兩端通過兩個橫中間溜板右(70)與兩個橫下溜板右(69)分別固接並形成凹槽右，橫導軌右(68)的上端安裝在凹槽右內，橫導軌右(68)的下端與大理石T型床身(44)固接，橫上溜板右(71)通過直線電機右(67)驅動在橫導軌右(68)上滑動，實現相對運動，真空吸盤右(73)與吸盤支撐座右(72)固接，吸盤支撐座右(72)與橫上溜板右(71)固接，真空吸盤右(73)與橫上溜板右(71)的上表面垂直設置，真空吸盤右(73)與縱向直線導軌系統(65)平行設置，縱向直線導軌系統(65)包括縱導軌(50)、縱上溜板(51)、電機連接座(53)、縱直線電機(54)、兩個縱下溜板(46)及兩個縱中間溜板(47)，縱上溜板(51)的兩端通過兩個縱中間溜板(47)與兩個縱下溜板(46)分別固接並形成縱導軌凹槽，縱導軌(50)的上端安裝在縱導軌凹槽內，縱導軌(50)的下端與大理石T型床身(44)固接，縱上溜板(51)與縱導軌(50)之間通過電機連接座(53 )與縱直線電機(54)連接，實現相對運動，雙刀盤主軸系統(56 )位於縱向直線導軌系統(65)之上且與縱上溜板(51)固接，大理石T型床身(44)的底部固定有多個空氣隔振支撐系統(59)。
2.根據權利要求I所述的一種雙刀盤式超精密飛切銑床，其特徵在於所述雙刀盤主軸系統(56)包括第一固定擋板(3)、第一主軸(10)、電機支架(18)、第一止推板(4)、第一刀盤(11)、第一軸套(8)、第一軸系支架(15)、第一油室套(16)、殼體(37)、直流雙輸出軸電機(38)、第二固定擋板(34)、第二主軸(28)、第二止推板(22)、第二刀盤(29)、第二軸套(26)、第二油室套(33)和第二軸系支架(35)； 殼體(37)的兩端均為敞口端，第一軸系支架(15)位於殼體(37)內腔的一端,第一軸系支架(15)的外端通過第一固定擋板(3)與殼體(37)固接，第二軸系支架(35)位於殼體(37)內腔的另一端，第二軸系支架(35)的外端通過第二固定擋板(34)與殼體(37)固接，直流雙輸出軸電機(38)位於殼體(I)內並通過電機支架(18)固裝在第一軸系支架(15)上，直流雙輸出軸電機(38)的第一輸出軸(19)通過第一止推板(4)與第一主軸(10)的一端固接,第一主軸(10)的另一端與第一刀盤(11)固接，第一軸套(8)與第一止推板(4)之間留有第一間隙(D)，所述第一軸套(8)與第一刀盤(11)之間留有第二間隙(E)，第一軸套(8)套裝在第一主軸(10)上，第一軸套(8)與第一主軸(10)之間留有第三間隙(F)，所述第一軸套(8)固裝在第一軸系支架(15)內，第一軸套(8)的外壁上沿圓周方向加工有環形凹槽(8-1)，所述第一軸套(8)上加工有多個第一軸向通孔(13)和多個第一徑向通孔(14)，第一油室套(16) 由兩個第一半環(16-1)構成，兩個第一半環(16-1)相對套裝在第一軸套(8 )上且位於環形凹槽(8-1)內，兩個第一半環(16-1)固裝形成第一油室套(16)，第一軸套(8)與第一油室套 (16)之間形成第一油室(6)，多個第一軸向通孔(13)與多個第一徑向通孔(14)均與第一油室(6 )連通，直流雙輸出軸電機(38 )的第二輸出軸(20 )通過第二止推板(22 )與第二主軸 (28)的一端固接，第二主軸(28)的另一端與第二刀盤(29)固接，第二軸套(26)與第二止推板(22)之間留有第四間隙(M)，第二軸套(26)與第二刀盤(29)之間留有第五間隙(N)， 第二軸套(26)套裝在第二主軸(28)上，第二軸套(26)與第二主軸(28)之間留有第六間隙 (H)，第二軸套(26)固裝在第二軸系支架(35)內，第二軸套(26)的外壁上沿圓周方向加工有第二環形凹槽(26-1)，第二軸套(26)上加工有多個第二軸向通孔(25)和多個第二徑向通孔(23)，第二油室套(33)由兩個第二半環(33-1)構成，兩個第二半環(33-1)相對套裝在第二軸套(26)上且位於第二環形凹槽(26-1)內，兩個第二半環(33-1)固裝形成第二油室套(33)，第二軸套(26)與第二油室套(33)之間形成第二油室(24)，多個第二軸向通孔(25) 和所述多個第二徑向通孔(23)均與第二油室(24)連通。
3.根據權利要求I所述一種雙刀盤式超精密飛切銑床，其特徵在於所述真空吸盤左 (77)包括吸盤底座左(74)、調節閥門左(75)、進氣控制盒左(78)和進氣管路左(76);吸盤底座左(74 )與進氣控制盒左(78 )固接，進氣控制盒左(78 )上設有進氣管路左(76 )，進氣控制盒左(78)上設有調節閥門左(75)，通過進氣管路左(76)進入進氣控制盒左(78)內的進氣量通過調節閥門左(75)的開度調節，進氣控制盒左(78)與吸盤底座左(74)連通；真空吸盤右(73)包括吸盤底座右(84)、調節閥門右(85)、進氣控制盒右(86)和進氣管路右(87);吸盤底座右(84)與進氣控制盒右(86)固接，進氣控制盒右(86)上設有進氣管路右(87)，進氣控制盒右(86)上設有調節閥門右(85)，通過進氣管路右(87)進入進氣控制盒右(86)內的進氣量通過調節閥門右(85)的開度調節，進氣控制盒右(86)與吸盤底座右 (84)連通。
4.根據權利要求I所述的雙刀盤式超精密飛切銑床，其特徵在於所述空氣隔振支撐系統(59)包括氣墊板(63)、隔振氣墊(62)、支撐螺杆(61)、支撐螺母(60)及支撐底座(45); 氣墊板(63)固定設置在隔振氣墊(62)的上端，隔振氣墊(62)通過支撐螺杆(61)與支撐螺母(60 )連接，支撐底座(45 )的中心處設有連接孔，支撐螺母(60 )固定設置在支撐底座(45 ) 的連接孔內。
5.根據權利要求1、2、3或4所述的一種雙刀盤式超精密飛切銑床，其特徵在於所述縱下溜板(46)沿其厚度方向設有第一油腔(48)，縱下溜板(46)與縱導軌(50)相鄰表面之間形成第一封油麵(49)，縱中間溜板(47)沿其厚度方向設有第二油腔(80)，縱中間溜板 (47)與縱導軌(50)相鄰表面之間形成第二封油麵(81)，縱上溜板(51)沿其厚度方向設有第三油腔(82)，縱上溜板(51)與縱導軌(50)相鄰表面之間形成第三封油麵(83)。
6.根據權利要求1、2、3或4所述的一種雙刀盤式超精密飛切銑床，其特徵在於所述大理石T型床身(44)外周側面的上邊緣處設有凸臺(58)。全文摘要
一種雙刀盤式超精密飛切銑床，它涉及一種銑床。本發明為解決現有的KDP超精密加工工具機的主軸系統的剛度低、加工效率低的問題。所述銑床包括大理石T型床身、橫向直線導軌系統、縱向直線導軌系統、雙刀盤主軸系統、空氣隔振支撐系統；橫向直線導軌系統與縱向直線導軌系統垂直布置在大理石T型床身上，橫向直線導軌系統位於縱向直線導軌系統的兩端，雙刀盤主軸系統位於縱上溜板上，兩個真空吸盤和雙刀盤主軸系統形成相對運動。本發明實現了高精度的直線進給運動和刀盤的迴轉運動及雙工件的同時切削，而且導軌和主軸均採用了液體靜壓的控制方式，具有高精度、高剛度的優點。
文檔編號B28D7/00GK102975299SQ201210486509
公開日2013年3月20日 申請日期2012年11月26日 優先權日2012年11月26日
發明者梁迎春, 劉海濤, 孫雅洲, 張飛虎, 張勇, 許喬, 孫付仲 申請人:哈爾濱工業大學