一種升降式單晶爐的製作方法

2023-10-17 21:33:54 3

本實用新型涉及單晶爐技術領域，具體涉及一種升降式單晶爐。

背景技術：

目前，隨著科學技術的發展，單晶爐因其人們使用的頻繁，所以人們對單晶爐的功能也有越來越高的要求，單晶爐是一種在惰性氣體環境中，用加熱器將多晶矽等材料融化，從而製造出生長無錯位的單晶矽設備，而目前市面上所使用的單晶爐，因其結構設計等問題，坩堝內的多晶矽經常受熱不均，單晶爐內易形成多級溫度梯度，不利於單晶矽生長，且多晶爐位置單一不便調整，爐蓋開啟需要額外設備，增加設備使用成本。

技術實現要素：

為解決上述問題，本實用新型提供一種升降式單晶爐，包括坩堝，加熱層，爐蓋，所述坩堝設置在爐體內，在坩堝外壁設置加熱層，坩堝底部設置鍋託，所述爐體由保溫層和爐蓋組成，在爐蓋上設有提手，爐蓋內壁中部設置籽晶託；所述鍋託下方設置液壓杆Ⅰ，在保溫層下方設置液壓杆Ⅱ，所述液壓杆底端均與液壓箱底座連接。

進一步地，所述鍋託直徑與加熱層直徑相同。

進一步地，所述液壓杆Ⅰ直徑較粗，可起支撐坩堝的作用，且兩端分別與鍋託和液壓箱底座固定連接。

進一步地，所述液壓杆Ⅱ兩端分別與保溫層和液壓箱底座固定連接，且對稱設置4個。

使用該裝置時，液壓杆(Ⅰ、Ⅱ)可以同時升降，也可以單獨升降，爐體到達預定高度後，液壓杆Ⅰ還可以上升，使坩堝口靠近爐蓋，減少矽蒸汽溫度梯度，隨著結晶不斷長大，液壓杆Ⅰ可收縮，為結晶生長預留空間，結晶反應完成後，可直接通過提手將爐蓋和單晶一起取出。

有益效果，本裝置結構簡單，使用方便，實現了坩堝和爐體的高度可同步調整也可分開調整，減少坩堝口到籽晶生長位置的距離，減少了溫度梯度，結晶取出無需其他設備，直接通過提手即可。

附圖說明

圖1是本實用新型結構示意圖；

其中，1是坩堝，2是加熱層，3是鍋託，4是保溫層，5是液壓箱底座，6是液壓杆Ⅱ，7是液壓杆Ⅰ，8是提手，9是爐蓋。

具體實施方式

本實用新型具體技術方案，一種升降式單晶爐，包括坩堝1，加熱層2，爐蓋9，所述坩堝1設置在爐體內，在坩堝1外壁設置加熱層2，坩堝1底部設置鍋託3，所述爐體由保溫層4和爐蓋9組成，在爐蓋9上設有提手8，爐蓋9內壁中部設置籽晶託；所述鍋託3下方設置液壓杆Ⅰ7，在保溫層4下方設置液壓杆Ⅱ6，所述液壓杆底端均與液壓箱底座5連接。

所述鍋託3直徑與加熱層2直徑相同。

所述液壓杆Ⅰ7直徑較粗，可起支撐坩堝1的作用，且兩端分別與鍋託3和液壓箱底座5固定連接。

所述液壓杆Ⅱ6兩端分別與保溫層4和液壓箱底座5固定連接，且對稱設置4個。

使用該裝置時，液壓杆(Ⅰ、Ⅱ)可以同時升降，也可以單獨升降，爐體到達預定高度後，液壓杆Ⅰ還可以上升，使坩堝口靠近爐蓋，減少矽蒸汽溫度梯度，結晶反應完成後，可直接通過提手將爐蓋和單晶一起取出。