系統管路加熱裝置的製作方法
2023-10-28 01:39:57
專利名稱：系統管路加熱裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種系統管路加熱裝置，特別涉及一種應用於半導體廠及光電廠在製程反應後廢氣系統管路，用以稀釋系統管路內的廢氣毒性濃度且輔助維持系統管路暢通的裝置。
背景技術：
半導體廠與光電廠其製程皆必須將基礎材料(晶圓片、面板)放入高溫或特殊磁場的反應爐中，在基礎材料上鍍一層薄膜(導電體、非電導體、半電導體、矽化合物、......)，在此過程中必須通入許多不同的特殊氣體(氟化物、氨氣及金屬氣態化合物......等多種具有高酸鹼的毒性氣體)，當定量的特殊氣體在反應爐中反應後，仍然會有少許的廢氣必須排出，以便進行下一個不同氣體的反應程序。
如圖1所示，當廢氣於高溫反應爐10a排出至廢氣處理機臺12a時，必須由一臺泵浦11a輔助其流體流動，並經由該系統管路13a的連接輸送，在此一過程中廢氣因為加溫製程反應後極不穩定，會在管壁上冷凝形成結晶物(層積、結晶粉塵)，若因不能預期的管路阻塞，則廢氣會無法順利排出，進而造成產品報廢或設備的損壞，因此必須時常定期停機維修清理管路，造成產能降低及人力成本增加。
為保持系統管路內廢氣的正常運行，如圖2所示，習知第一種作法是在系統管路13a包覆保溫加熱套20a以防止系統管路13a內廢氣的冷凝結晶，但有些小地方例如系統管路13a的支撐架14a，系統管路接頭15a無法施以保溫加熱，因此管壁會形成結晶物30a造成系統管路13a的阻塞。
如圖3所示，習知第二種作法是在系統管路13a另外連結一密閉容器40a，於密閉容器40a內設置加熱裝置41a，以防止系統管路13a內廢氣的冷凝結晶，但是該種作法會因為系統管路13a內具有毒性、腐蝕性或易爆炸性的氣體可能因異常接觸到密閉容器40a內的加熱裝置41a而有安全上的顧慮；再者，額外導入大量惰性氣體於系統管路13a，會浪費使用惰性氣體的費用，也另外增加了廢氣處理機臺的龐大負荷，造成機臺壽命降低。
實用新型內容本實用新型的主要目的，在於提供一種系統管路加熱裝置，其讓半導體廠與光電廠處理廢氣的系統管路，通過加熱保溫套的設置及墮性氣體的加入，讓系統管路內有毒氣體與熱惰性氣體能混合稀釋其毒性濃度，以防止有毒氣體冷凝結晶而阻塞系統管路。
本實用新型提供一種系統管路加熱裝置，其具有一連結反應爐與廢氣處理機的系統管路；該系統管路連結有添加有墮性氣體的導管，該導管外包覆有加熱保溫套，該加熱保溫套具有加熱構件電氣連結於溫度控制器。
本實用新型在設計上具有如下之優點1、本實用新型加熱裝置為外加式，因此可以快速的拆解、維修節省人工成本。
2、本實用新型加熱保溫套，可以選用保溫夾克、電熱夾克、熱氣管多種組合因而能適用於不同場合。
3、本實用新型加大惰性氣體通氣量時，只需配合增加加熱套件，無需改導管或更換加熱系統，所以不會造成使用不便。
4、系統管路內的特殊毒性氣體經本實用新型惰性氣體稀釋濃度，可以使管路更暢通，提升廢氣處理機的處理效率。
5、本實用新型將加熱裝置設置於系統管路外部，因此可防止有毒腐蝕性氣體與加熱系統接觸，所以可降低工安的危險性。
圖1為半導體廠及光電廠在製程反應後的廢氣輸送處理段的系統管路圖。
圖2為圖1系統管路包覆有加熱保溫套及形成有支撐架、管路連結處的平面圖。
圖2A為圖2中A部份的放大圖。
圖2B為圖2中B部份的放大圖。
圖3為圖1系統管路連結有密閉容器，並且密閉容器內安裝有加熱裝置的示意圖。
圖4為半導體廠及光電廠在製程反應後的廢氣輸送處理段的系統管路包覆有本實用新型加熱裝置的平面圖。
圖5為本實用新型導管包覆有加熱片與加熱保溫套的放大示意圖。
圖6為本實用新型加熱裝置開關的電控圖。
圖中10反應爐 11泵浦12廢氣處理機 13系統管路B加熱裝置 C溫度控制器20加熱保溫套 21加熱片22低溫偵測開關23高溫偵測開關24溫度偵測環 25電源指示燈26低溫指示燈 30導管10a反應爐 11a泵浦12a廢氣處理機 13a系統管路14a支撐架 15a系統管路接頭20a加熱保溫套 30a結晶物40a密閉容器 41a加熱裝置42a溫度控制器具體實施方式
首先請參閱圖4，5和6所示，其具有一系統管路13連結於半導體廠及光電廠在製程反應後的廢氣輸送處理段的反應爐10，該系統管路13另一端連結有泵浦11，該泵浦11再經由延伸的系統管路13連結於廢氣處理機12。
所述系統管路13外部包覆有加熱保溫套20，該加熱保溫套20的較佳實施例為保溫夾克、電熱夾克或熱氣管，又反應爐10、泵浦11與廢氣處理機12附近的系統管路13連結有導管30，該導管20的管徑為1/4或3/8英寸，該導管30外部包覆有加熱保溫套20，該加熱保溫套20內具有加熱構件電氣連結於溫度控制器C，該加熱構件的較佳實施例為加熱片21。此外，該加熱保溫套20亦可選用外層為玻璃纖維鍍鐵氟龍或玻璃纖維鍍鋁、內層為玻璃纖維布或二氧化矽纖維布、夾層為玻璃纖維無膠扎針棉的材質，使得加熱保溫套20耐熱範圍至少在350℃以上。
接著同樣請參閱圖4，5和6所示，半導體或光電產業設備後半段製程所產生的有毒廢氣會進入到反應爐10，再以泵浦11將有毒廢氣經由系統管路13抽至廢氣處理機12，此時連結於系統管路13加熱裝置B的導管20會將惰性氣體以每分鐘20～100公升的流量注入系統管路13，該惰性氣體的較佳實施例為氮氣。該惰性氣體經由導管20外部加熱片21加熱而形成高溫狀態注入系統管路13，該系統管路13可以讓導管內惰性氣體溫度升高達到180℃～300℃而與系統管路13內有毒氣體混合稀釋其毒性濃度，該系統管路13外部包覆的加熱保溫套20具有保溫功能，可以防止有毒氣體冷凝結晶而阻塞系統管路13。
此外，當導管20外部加熱片21對惰性氣體加熱時，經由溫度控制器C控制，該溫度控制器C於導管20還設有多個溫度偵測開關，分別是低溫偵測開關22、高溫偵測開關23與溫度偵測環24又該溫度控制器C於加熱保溫套20外層設置有電源指示燈25與低溫指示燈26。
該溫度控制器C各個開關使用功能如下第一種溫度異常時由溫度偵測環24回饋異常溫度並斷電、燈號燈響警示。第二種加熱片21溫度過高時由高溫偵測開關23斷電並且開始降溫，並熄滅電源指示燈25。第三種加熱片21無法加熱時由低溫偵測開關22激活低溫警示燈號。第四種當漏電、短路、過載由總開關及保險作動，來關閉加熱片21以確保安全。
以上所述僅為用以解釋本實用新型的較佳實施例，並非對本實用新型作任何形式上的限制，因此凡有在相同的實用新型精神下，及不同材質所作有關本實用新型的任何修飾或變更，皆仍應包括在本實用新型意圖保護的範疇。
權利要求1.一種系統管路加熱裝置，其具有一連結反應爐與廢氣處理機的系統管路；其特徵在於該系統管路連結有添加有墮性氣體的導管，該導管外包覆有加熱保溫套，該加熱保溫套具有加熱構件電氣連結於溫度控制器。
2.如權利要求1所述的系統管路加熱裝置，其特徵在於，該導管的管徑為1/4英寸。
3.如權利要求1所述的系統管路加熱裝置，其特徵在於，該導管的管徑為3/8英寸。
4.如權利要求1所述的系統管路加熱裝置，其特徵在於，該惰性氣體為氮氣。
5.如權利要求1所述的系統管路加熱裝置，其特徵在於，該導管內惰性氣體的流量在每分鐘20～100公升之間。
6.如權利要求1所述的系統管路加熱裝置，其特徵在於，該系統管路外部可包覆有加熱保溫套。
7.如權利要求1所述的系統管路加熱裝置，其特徵在於，該溫度控制器於所述導管外設置有低溫偵測開關、高溫偵測開關與溫度偵測環。
8.如權利要求1所述的系統管路加熱裝置，其特徵在於，該溫度控制器於所述加熱保溫套外層設置有電源指示燈與低溫指示燈。
9.如權利要求1所述的系統管路加熱裝置，其特徵在於，該加熱保溫套外層為玻璃纖維鍍鐵氟龍、內層為玻璃纖維布、夾層為玻璃纖維無膠扎針棉。
10.如權利要求1所述的系統管路加熱裝置，其特徵在於，該加熱保溫套外層為玻璃纖維鍍鋁、內層為二氧化矽纖維布、夾層為玻璃纖維無膠扎針棉。
11.如權利要求1所述的系統管路加熱裝置，其特徵在於，該加熱保溫套耐熱溫度在350℃以上。
專利摘要本實用新型涉及一種系統管路加熱裝置，其作用於半導體廠及光電廠在製程反應後的廢氣輸送處理段的系統管路，該加熱裝置設置於導管之外，且導管連結於系統管路，並且於導管外包覆有加熱保溫套，該加熱保溫套具有加熱構件電氣連結於溫度控制器；該加熱裝置藉由加熱構件對導管加熱，可以讓導管內惰性氣體溫度升高達到180℃～300℃，再利用已加熱的高溫惰性氣體注入系統管路內與有毒的廢氣混合，以保持反應後廢氣輸送系統管路的流動性。
文檔編號F17D5/00GK2911383SQ20062000176
公開日2007年6月13日 申請日期2006年2月8日 優先權日2006年2月8日
發明者蘇豐進 申請人:蘇豐進