三氯氫矽尾氣回收裝置的製作方法

2023-10-21 06:55:22 1

專利名稱：三氯氫矽尾氣回收裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種三氯氫矽生產裝置，具體是一種三氯氫矽尾氣回收裝置。
背景技術：
三氯氫矽是合成有機矽的重要中間體，也是製備多晶矽的主要原料。製備三氯氫矽比較成熟的工藝是採用金屬矽粉和氣體氯化氫製備，其主要流程包括氯化氫合成、三氯氫矽合成、三氯氫矽分離等主要工序。三氯氫矽製備過程中產生的尾氣主要成分是氫氣、氯化氫和氯矽烷，其處理方法是國內業界的熱點話題之一，現有技術中一般採用尾氣-水噴淋中和處理法、活性炭吸附法、氣液交換法等。其不足之處是尾氣中的氫氣不能有效利用、處理不徹底等。
發明內容本實用新型提供一種三氯氫矽尾氣回收裝置，採用吸附分離的方法，可完全處理回收尾氣中的有效成分，獲得純度為99. 99%的氫氣，兼顧了經濟效益和環保效益。本實用新型具體採用如下技術方案一種三氯氫矽尾氣回收裝置，其特徵是，包括採用氣體管路依次連接的吸收塔、原料氣換熱器、變壓吸附裝置，原料氣換熱器與吸收塔還採用原料氣管路連接；吸收塔採用液體管路依次連接吸附劑熱交換器、脫洗塔，脫洗塔吸收塔還通過吸附劑管路連接。與現有技術相比，本實用新型優點在於1)本實用新型處理徹底，可獲得99. 99%的氫氣和工業用HCI，經濟效益顯著；2)本實用新型不排放廢氣、廢液。

圖1是本實用新型設備連接框圖；圖中，1-吸收塔，2-原料氣換熱器，3-變壓吸附裝置，4-吸附劑熱交換器，5-脫洗 +
-tB。
具體實施方式
如圖1所示，原料氣先進入原料氣換熱器1降溫後進入吸收塔2，吸收塔2內吸附劑吸收尾氣中的氯化氫，吸收後的尾氣進入變壓吸附裝置3，分離出高純度的氫氣；吸收塔 1的吸附劑通過管路先進入吸附劑熱交換器4加熱，然後再脫洗塔5中脫洗得到工業用氯化氫，脫洗後的吸附劑再通過管路進入吸收塔1。
權利要求1. 一種三氯氫矽尾氣回收裝置，其特徵是，包括採用氣體管路依次連接的吸收塔、原料氣換熱器、變壓吸附裝置，原料氣換熱器與吸收塔還採用原料氣管路連接；吸收塔採用液體管路依次連接吸附劑熱交換器、脫洗塔，脫洗塔吸收塔還通過吸附劑管路連接。
專利摘要本實用新型涉及一種三氯氫矽生產裝置，具體是一種三氯氫矽尾氣回收裝置，其特徵是，包括採用氣體管路依次連接的吸收塔、原料氣換熱器、變壓吸附裝置，原料氣換熱器與吸收塔還採用原料氣管路連接；吸收塔採用液體管路依次連接吸附劑熱交換器、脫洗塔，脫洗塔吸收塔還通過吸附劑管路連接。本實用新型尾氣處理徹底，可獲得99.99％的氫氣和工業用HCI，經濟效益顯著，且不排放廢氣、廢液。
文檔編號B01D53/047GK201949786SQ20102070128
公開日2011年8月31日 申請日期2010年12月31日 優先權日2010年12月31日
發明者宋宜華 申請人:淄博寶運化工廠