振動控制架及其安裝方法

2023-10-06 15:19:44

專利名稱：振動控制架及其安裝方法
技術領域：
本發明涉及一種振動控制架及其安裝方法，更具體地，涉及一種 用於安裝半導體設備的半導體設備的振動控制架及其安裝方法。
背景技術：
通常地，用於執行單元處理例如光刻處理，刻蝕處理，薄膜澱積 處理等等的多個半導體設備用在半導體生產線中，用於加工晶片和制 造半導體器件。因為大多數半導體設備涉及精密處理，因此它們對於從外部傳來 的振動或其他環境影響非常敏感。例如，用於執行複雜光刻處理的光 刻設備在將畫在光掩膜襯底上的半導體電路圖案轉移到晶片上時需要 極高的精度。為了這個原因，光刻設備對於從外部傳送的振動特別敏 感。當包括光刻設備的半導體設備安裝在半導體生產線中時，半導體 設備不是直接安裝在半導體生產線的底面上，而是通常安裝在用於部 分地吸收和削弱外部振動的振動控制架上。換句話說，預先將振動控 制架安裝在特殊的位置；然後，將半導體設備安裝在振動控制架上。安裝於半導體生產線的傳統的振動控制架使用沒有被拆卸的單體 結構來支撐單個生產設備。因此，當移動半導體設備時，由于振動控 制架的尺寸和結構而不能移動已經安裝的振動控制架。最終，當移動 半導體設備時，已經安裝的振動控制架被拆除並且一個新的振動控制架被安裝在貼近半導體設備被重新安裝的位置。在這種情況下，由於 振動控制架的拆除消極地影響半導體生產環境，因此在半導體生產線中可能產生微粒和振動。此外，新的振動控制架的安裝引起附加的成 本並且可能成為耗費時間的操作。因此，仍然需要一種改進的振動控 制架及其安裝方法。發明內容因此，本發明用於提供一種能夠容易地安裝支架並且能夠裝配和 拆卸支架的振動控制架及其安裝方法。本發明的另一個目的是提供一 種用於半導體設備並能夠容易地安裝支架並且在減少振動和微粒時能 夠裝配和拆卸支架的振動控制架。本發明的一個實施例包括一個振動控制架，包含底部結構，由多 個支撐梁組成；設備支撐體，具有至少兩個設備支撐單元，構成支撐 梁以支撐設備支撐體；以及至少一個單元連接部件，橫向延伸穿過至少兩個設備支撐單元的側面從而使至少兩個設備支撐單元彼此連接。 本發明的另一個實施例包括在將半導體設備從一個振動控制架向另一個移動時用於減少微粒和振動的方法，包含預備第一底部結構； 可釋放地將具有平坦表面的至少兩個矩形支撐單元固定至第一底部結 構；橫向延伸至少一個單元連接部件穿過至少兩個支撐單元的側面從 而使至少兩個支撐單元彼此連接；將半導體設備放置在至少兩個支撐單元上；從第一底部結構釋放至少兩個支撐單元；以及當維持將半導 體設備放置在至少兩個支撐單元上時，將至少兩個支撐單元向第二底 部結構移動。


通過參照附圖詳細地描述優選實施例，本發明的上述以及其他特 徵和優點對於本領域技術人員將變得更加明顯，其中圖1是根據本發明示例性實施例的振動控制架的透視圖； 圖2是沿圖1中I-I'線的剖視圖；圖3是沿圖i中n-ir線的剖視圖；圖4是圖1中振動控制架的分解透視圖；圖5是用在本發明振動控制架的實施例中的設備支撐單元的框架 透視圖；圖6是本發明的振動控制架的透視圖，其中安裝有半導體設備；以及圖7示出了根據本發明的振動控制架的安裝方法的流程圖。 具體實施例現在將在下文中參照附圖更充分地描述本發明，其中示出了本發 明的優選實施例。儘管如此，本發明可以以許多不同的形式實施並且 不應解釋限制為這裡列出的實施例。更確切地，提供這些實施例以便 徹底和完全地公開，並且向本領域技術人員充分地傳達本發明的保護 範圍。在圖中，為了清楚而誇大了層的厚度和區域。在整個說明書中 相同的數字代表相同的元件。圖1是根據本發明示例性實施例的振動控制架的透視圖。圖2是 沿圖1中I-I'線的剖視圖。圖3是沿圖1中n-ir線的剖視圖。圖4是圖 1中振動控制架的分解透視圖。圖5是用在本發明振動控制架的一個實 施例中的設備支撐單元的框架透視圖。以及圖6是本發明的振動控制 架的透視圖，其中安裝有半導體設備。如圖1至6所示，根據本發明示例性實施例的振動控制架包括安 裝在半導體設備200下面從而以可裝配和可拆卸的方式支撐半導體設 備的振動控制架100。例如，根據本發明的實施例的振動控制架100可 以作為用於多種半導體設備200的振動控制架，所述多種半導體設備 包括例如光刻設備。本領域技術人員將認識到振動控制架100可以與 需要非常精確操作的不同種類的精密設備以及半導體設備200 —起使 用。具體地，根據本發明示例性實施例的振動控制架ioo包括用於支撐設備200的設備支撐體110，安裝在設備支撐體110下面的底部結構 150，插入設備支撐體IIO和底部結構150之間的連接板160，以及用 於使設備支撐體IIO，底部結構150和連接板160彼此固定的固定部件。 設備支撐體IIO包括至少兩個矩形的設備支撐單元120，每一個具有平 坦的表面，用於直接支撐放置在設備支撐單元上的設備200 (例如，半 導體設備)。單元連接部件130可以穿過設備支撐單元120的側面從 而使設備支撐單元120彼此聯接。設備支撐單元120可以具有在其中澆鑄有混凝土 121的矩形面板 122，和被安裝用於在其橫向穿過面板122的連接管(例如，128a和 128b)。單元連接部件130可以通過被安裝以穿過面板122的連接管 的手段而聯接設備支撐單元120。連接管可以包括沿寬度方向穿過面板 122的第一連接管128a，和沿長度方向穿過面板122的第二連接管 128b。在本實施例中，單元連接部件130可以通過在面板122的寬度 方向上安裝的第一連接管128a的手段使設備支撐單元120沿寬度方向 彼此聯接，或者可以通過在面板122的長度方向上安裝第二連接管128b 的手段使設備支撐單元120沿長度方向彼此聯接。最終，如圖1所示， 使用在其中沿寬度和長度方向安裝的連接管128a和128b以及單元連接 部件130，可以以網格形式聯接設備支撐單元120。更具體地，可以在面板122中央提供在其中澆鑄有混凝土 121的 混凝土澆鑄部分124，並且可以在面板122外圍提供用於將面板122固 定至底部結構150的支架部分125。另外，可以打開面板122的上部從 而將混凝土 121引入其中央部分，並且可以在面板122的下部安裝密 封板123以支撐引入的混凝土 121。因此，混凝土 121可以被引入面板 122的上部並且在混凝土澆鑄部分124中固化為面板122的中央部分。 同時，可以在面板122中安裝隔斷壁126以劃分面板122的內部空間 並且增加面板的強度。在本實施例中，混凝土 121可以被引入由隔斷 壁126劃分的面板122的內部空間，並且在其中固化。另外，還可以 在面板122的上部外圍沿面板122的外圍安裝具有預定高度的圍壁129。在本實施例中，還可以將混凝土 121澆鑄進入面板122的上部， 即由圍壁129定義的內部空間，以及面板122的內部。結果，由於澆 鑄到面板122中的混凝土 121具有更大的厚度，進一步增加了面板122 的強度。參考數字127標明在支架部分125上形成的、可以插入外圍 固定螺栓172的螺栓孔，將在下面進行描述。如上所述，單元連接部件130可以包括用於使設備支撐單元120 彼此連接並且插入連接管(例如，128a和128b)的插入杆(例如，132a 和132b)。可以將固定部件(例如，134a和134b)緊固至插入杆的兩 端從而將插入杆固定至面板122。插入杆可以是具有在其兩端形成螺紋 部分的雙頭螺栓(stud bolt)。固定部件可以是在兩端與雙頭螺栓螺紋齧 合的螺母。同樣地，在設備支撐單元120彼此連接時，操作員可以將 雙頭螺栓插入預先安裝至面板122的連接管。然後操作員可以將螺母 緊固至雙頭螺栓的兩端，從而使設備支撐單元120彼此連接。單元連 接部件130的作用是通過連接管的手段而使設備支撐單元120彼此聯 接。連接管可以包括沿寬度方向穿過面板122的第一連接管128a和沿 長度方向穿過面板122的第二連接管128b。插入杆也可以包括插入第 一連接管128a的第一方向插入杆132a和插入第二連接管128b的第二 方向插入杆132b。固定部件可以包括插入第一方向插入杆132a的第一 固定部件134a和插入第二方向插入杆132b的第二固定部件134b。因 此，單元連接部件130可以通過沿寬度方向的面板122的第一連接管 128a的手段使設備支撐單元120彼此聯接，或者通過沿長度方向的面 板122的第二連接管128b的手段而使設備支撐單元120彼此聯接。參 考數字128d表示可以將第一方向插入杆132a插入其中的第一連接管 128a的孔。同樣地，參考數字128c表示可以將第二方向插入杆132b 插入其中的第二連接管128b的孔。可以將由格構梁結構形成的底部結構150安裝在設備支撐體110下面以支撐設備支撐體110。也就是說，底部結構150包括以第一方向平行地設置的多個第一支撐梁152，穿過第一支撐梁152側面垂直於第 一支撐梁152而設置的多個第二支撐梁151，以及用於將第一支撐梁 152緊固至第二支撐梁151的緊固部件157。具體地，可以將第一支撐梁152安裝在底面上，在該底面上安裝 有設備200 (例如，在其中安裝有半導體設備的淨化室的底面)。第一 支撐梁152可以包括與底面相對的底部支撐部件156，以及與連接板 160相對的板支撐部件155。可以在底部支撐部件156處形成固定孔(未 示出)。操作者可以使用固定螺栓159和固定螺母158通過固定孔的 手段而將底部支撐部件156固定至底面。另外，也可以在板支撐部件 155處形成插入孔(未示出)。因此，操作者可以通過使用外圍固定螺 栓172和外圍固定螺母173的插入孔而將板支撐部件155固定至連接 板160，這將在下面進行描述。參考數字190表明用於支撐底部支撐部 件156的下部的支撐板，固定螺栓159和固定螺母158可以插入該底 部支撐部件156。支撐板190可以由振動控制材料例如橡膠形成，或者 由包括振動控制材料例如橡膠的材料形成。此外，第一支撐梁152可以包括用於將第一支撐梁152連接至第 二支撐梁151的梁連接板153。在本實施例中，在將第一支撐梁152緊 固至第二支撐梁151時，緊固部件157可以通過梁連接板153的手段 而將第一支撐梁152緊固至第二支撐梁151。這裡，緊固部件157可以 是聯接螺栓。可以將連接板160插入設備支撐體110和底部結構150之間從而 更牢固地聯接設備支撐體IIO和底部結構150。連接板160可以具有如 下平板，該平板具有特定的厚度和足夠的尺寸以覆蓋底部結構150的 整個上表面。另外，連接板160可以具有多個用於聯接設備支撐體110 和底部結構150的孔。在一個實施例中，連接板160可以具有在其外 圍形成的邊緣孔162,該邊緣孔162具有關聯固定的外圍固定螺栓172。連接板160還可以具有至少一個中央孔164，該中央孔164具有至少一 個關聯的中央固定螺栓，將在下面進行描述。固定部件用於將設備支撐體110的設備支撐單元120分別固定至 連接板i60和底部結構150。具體地，固定部件可以包括外圍固定部件 171，用於將設備支撐單元120的外圍固定至部分連接板160和與其對 應的底部結構150，以及中央固定部件175，用於將設備支撐單元120 的中央部分固定至部分連接板160和底部結構150。因此，使用固定部 件可以將由多個設備支撐單元120形成的設備支撐體110更牢固地固 定至連接板160和底部結構150。這裡，外圍固定部件171可以包括沿 垂直方向穿過設備支撐單元120的外圍，部分連接板160，和與其對應 的底部結構150的外圍固定螺栓172。可以將外圍固定螺母173緊固至 外圍固定螺栓172從而將外圍固定螺栓172固定至底部結構150等等。 另外，中央固定部件175可以包括插入管178，通過該插入管178，中 央固定螺栓176可以垂直穿過設備支撐單元120。另外，通過插入管 178，中央固定螺栓176可以垂直穿過部分連接板160和與設備支撐單 元120對應的底部結構150。可以將中央固定螺母177緊固至中央固定 螺栓176從而將中央固定螺栓176固定至底部結構150等等。參考數 字176a表示中央固定螺栓176的頭部。參考數字179表示在插入管178 中形成的臺階，通過該臺階可以定位中央固定螺栓176的頭部176a。在下文中，將參照圖7詳細描述根據本發明示例性實施例的振動 控制架200的安裝方法。圖7是根據本發明示例性實施例的振動控制架的安裝方法的流程 圖。首先，操作者可以製備底部結構150 (S10)，並且可以將底部結 構150固定至底面，在該底面上安裝有設備200。然後，在製備底部結 構150時，可以將連接板160安裝在底部結構150上(S30)，並且將 至少兩個設備支撐單元120設置在連接板160上(S50)。此時，可以 直接將至少兩個設備支撐單元120置於底部結構150上。然後，操作者可以使用穿過設備支撐單元120側面的單元連接部件130將設備支撐單元120彼此連接(S70)。操作者可以連續地將插 入杆插入相鄰的設備支撐單元120的連接管中，然後將固定部件緊固 至插入杆的兩端，從而使相鄰的設備支撐單元彼此連接。如圖1所示， 在以網格形式設置設備支撐單元120時，操作者可以首先使用單元連 接部件130沿一個方向，即寬度或長度方向，聯接設備支撐單元120; 然後，操作者可以沿另一個方向連接設備支撐單元120，從而完成設備 支撐單元120的連接。接下來，在連接設備支撐單元120時，操作者可以使用固定部件 將設備支撐單元120固定至連接板160和底部結構150 (S90)，從而完 成振動控制架200的安裝。也就是說，操作者可以使用外圍固定部件 171將設備支撐單元120的外圍固定至部分連接板160和與其對應的底 部結構150,並且可以使用中央固定部件175將設備支撐單元120的中 央固定至部分連接板160和與其對應的底部結構150。從上文中可以看出，根據本發明示例性實施例的振動控制架用的 設備支撐體包括至少兩個設備支撐單元和用於使設備支撐單元彼此連 接的單元連接部件。因此，可以容易地安裝振動控制架，並且如果必 要的話，容易裝配和拆卸振動控制架。因此，在移動安裝在振動控制 架上的設備的時候，振動控制架可以與其上安裝的設備一起移動。例 如，在移動半導體設備時，根據本發明的振動控制架可以與半導體設 備一起移動。因此，可以防止移動半導體設備時微粒的產生、振動和 成本增加，這或者可由拆除已經安裝的振動控制架所導致。雖然已經參照優選實施例顯示和描述了本發明，但是本領域技術 人員可以理解，可以進行不同的變化和修改而不會背離由所附權利要 求定義的本發明的精神和保護範圍。
權利要求
1.一種振動控制架，包含底部結構，包含多個支撐梁；設備支撐體，具有至少兩個設備支撐單元，該支撐梁被構成為支撐所述設備支撐體；以及至少一個單元連接部件，橫向延伸穿過至少兩個設備支撐單元的側面從而使所述至少兩個設備支撐單元彼此聯接。
2. 根據權利要求l所述的振動控制架，其中所述至少兩個設備支 撐單元中的每一個包含在其中澆鑄混凝土的面板，所述面板具有沿該 面板橫向穿過該面板的至少一個開口，並且所述至少一個單元連接部 件包含橫向延伸穿過所述至少一個開口的至少一個插入杆。
3. 根據權利要求2所述的振動控制架，其中每個面板包含至少一 個隔斷壁，該隔斷壁垂直布置在每個面板中從而將每個面板的內部空 間劃分為預定尺寸，所述至少一個隔斷壁具有小於每個面板深度的高 度。
4. 根據權利要求2所述的振動控制架，其中每個面板具有矩形形 狀，並且至少一個開口包含沿寬度方向穿過面板的第一連接管，以及 沿長度方向穿過面板的第二連接管。
5. 根據權利要求2所述的振動控制架，其中所述至少一個插入杆 被構成為插入所述至少一個開口中，並且所述至少一個單元連接部件 還包含用於將所述至少一個插入杆固定至所述面板的至少一個固定部 件。
6. 根據權利要求5所述的振動控制架，其中所述至少一個插入杆 是在每一端都具有螺紋部分的雙頭螺栓，並且所述至少一個固定部件是插入該雙頭螺栓的螺母。
7. 根據權利要求l所述的振動控制架，其中所述多個支撐梁包括 平行於第一方向設置的第一組支撐梁，垂直於第一支撐梁設置的第二 組支撐梁，以及用於將第一支撐梁緊固至第二支撐梁的緊固部件。
8. 根據權利要求l所述的振動控制架，還包含插入所述設備支撐體和底部結構之間的連接板。
9. 根據權利要求l所述的振動控制架，還包含用於將所述設備支 撐體固定至底部結構的固定部件。
10. 根據權利要求9所述的振動控制架，其中所述固定部件包含 用於將所述至少兩個設備支撐單元的外圍固定至底部結構的外圍固定 部件，以及用於將所述至少兩個設備支撐單元的中央固定至底部結構 的中央固定部件。
11. 根據權利要求IO所述的振動控制架，其中所述外圍固定部件 包含沿垂直方向穿過所述至少兩個設備支撐單元的外圍並且穿過與該 外圍對應的底部結構的一部分的外圍固定螺栓，以及緊固至所述外圍 固定螺栓的外圍固定螺母。
12. 根據權利要求IO所述的振動控制架，其中所述中央固定部件 包含沿垂直方向穿過所述兩個設備支撐單元中的一個的插入管，沿垂 直方向通過所述插入管穿過所述一個設備支撐單元和底部結構的中央 固定螺栓，以及緊固至所述中央固定螺栓的中央固定螺母。
13. —種振動控制架，包含 底部結構，包含多個支撐梁；設備支撐體，具有可釋放地固定至所述底部結構從而為半導體設備提供支撐的至少兩個矩形支撐單元，該至少兩個支撐單元具有平坦的表面，並且構成支撐梁以支撐所述設備支撐體；以及至少一個單元連接部件，穿過所述至少兩個支撐單元的側面從而使該至少兩個支撐單元彼此聯接。
14. 根據權利要求13所述的振動控制架，其中所述至少兩個支撐 單元中的每一個包含在其中澆鑄混凝土的面板，該面板具有至少一個 沿橫向穿過該面板的開口，以及至少一個單元連接部件包含橫向延伸 穿過至少一個開口的至少一個插入杆。
15. 根據權利要求14所述的振動控制架，其中所述至少一個開口 包含沿寬度方向穿過面板的第一連接管，以及沿長度方向穿過面板的 第二連接管。
16. 根據權利要求14所述的振動控制架，其中所述至少一個插入 杆被構造為插入所述至少一個開口，並且所述至少一個單元連接部件 還包含用於將所述至少一個插入杆固定至所述面板的至少一個固定部 件。
17. 根據權利要求13所述的振動控制架，其中所述多個支撐梁包 括平行於第一方向設置的第一組支撐梁，垂直於第一支撐梁設置的第 二組支撐梁，以及用於將第一支撐梁緊固至第二支撐梁的緊固部件。
18. —種在將半導體設備從一個振動控制架向另一個移動時用於 減少空氣傳播的微粒和振動的方法，包含製備第一底部結構；可釋放地將具有平坦表面的至少兩個矩形支撐單元固定至第一底 部結構；橫向延伸至少一個單元連接部件穿過所述至少兩個支撐單元的側 面從而使該至少兩個支撐單元彼此聯接；將半導體設備放置在所述至少兩個支撐單元上； 從第一底部結構釋放所述至少兩個支撐單元；以及 在維持將半導體設備放置在所述至少兩個支撐單元上的同時，將 該至少兩個支撐單元向第二底部結構移動。
19. 根據權利要求18所述的用於減少空氣傳播的微粒和振動的方 法，還包含-在可釋放地將所述至少兩個支撐單元固定至底部結構之前，在第 一底部結構上設置連接板；以及使用固定部件將所述至少兩個支撐單元固定至底部結構。
20. 根據權利要求18所述的用於減少空氣傳播的微粒和振動的方 法，其中橫向延伸至少一個單元連接部件穿過側面包括沿寬度方向 設置第一連接管和沿長度方向設置第二連接管，以及將第一連接杆插 入第一連接管和將第二連接杆插入第二連接管，從而形成至少兩個支 撐單元的網格聯接。
全文摘要
公開了一種振動控制架及其安裝方法，包括在將設備，包括半導體設備從一個振動控制架向另一個移動時，用於減少微粒和振動的方法。振動控制架包括設備支撐體，具有至少兩個設備支撐單元。單元連接部件穿過設備支撐單元的側面並且使設備支撐單元彼此連接。安裝在設備支撐體下面的底部結構支撐設備支撐體。
文檔編號F16M9/00GK101230888SQ20081000369
公開日2008年7月30日 申請日期2008年1月21日 優先權日2007年1月22日
發明者權度賢, 李昊泳, 許正植, 金碩淵, 黃正性 申請人:三星電子株式會社