噴出方法、連續膜形成方法以及取向膜形成方法

2023-07-20 04:35:01 3

專利名稱：噴出方法、連續膜形成方法以及取向膜形成方法
技術領域：
本發明涉及噴出方法、連續膜形成方法、取向膜形成方法、液晶顯示 裝置的形成方法、頭組件、液滴噴出裝置及電子設備，尤其涉及減小膜厚
離散(variance)的方法。
背景技術：
顯示部具備液晶顯示裝置的電子設備被廣泛應用。該液晶顯示裝置經 由液晶粘合一對基板形成。在這些基板上形成有實施了取向處理的取向 膜。而且，作為在基板上成膜取向膜的方式，例如，專利文獻l公開了一 種塗敷方法，該方法利用了噴墨方式。這是一種一邊使排列了多個噴嘴的 噴出頭(以下，稱作液滴噴出頭)相對於基板相對移動， 一邊從各噴嘴將 含有取向膜形成材料的取向膜溶液變成液滴噴出，由此在基板的表面上塗 敷取向膜溶液的方法。
由該噴嘴噴出的液滴的噴出量，因噴嘴的部位而不同。而且，專利文 獻2還公開了一種使該噴出量均勻化的方法。由此，通過控制驅動液滴噴 出頭的驅動信號，使噴出量均勻化。例如，減小噴出量大的部位的驅動電 壓，增大噴出量小的部位的驅動電壓。另外，利用多個驅動信號驅動液滴 噴出頭，由此使噴出量均勻化。即，使液滴噴出頭的各噴嘴的噴出量均勻 地噴出，從而形成膜厚均勻的膜。
專利文獻l:(日本)特開2005 — 118633號公報
專利文獻2:(日本)特開2002—196127號公報
但是，在現有的方法中，為了形成膜厚均勻的膜，需要向每個液滴噴 出頭供給多個驅動電壓的驅動電路。而且，在沒有供給多個驅動電壓的驅 動電路時，很難形成膜厚均勻的膜。

發明內容
本發明是為解決所述課題的至少一部分而開發的，可作為以下的方式 或應用例實現。
本應用例的噴出方法為由多個噴嘴組向工件噴出液狀體的噴出方法， 其特徵在於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成， 該噴出方法具有分布運算工序，其測定所述噴嘴的噴出量，對所述噴出 量的分布進行運算；分類工序，其根據所述噴出量的所述分布，將所述噴 嘴組分類為第一噴嘴組和第二噴嘴組；構成工序，其形成由所述第一噴嘴 組組成的第一噴嘴構成體或由所述第二噴嘴組組成的第二噴嘴構成體；噴 出工序，其使用所述第一噴嘴構成體或所述第二噴嘴構成體，向所述工件 進行噴出；平坦化工序，其放置被噴出的所述液狀體，其中，所述第一噴 嘴組中所述第二端部側的所述噴出量比所述第一端部側的所述噴出量大， 所述第二噴嘴組中所述第一端部側的所述噴出量比所述第二端部側的所 述噴出量大。
根據該噴出方法，運算噴出量的分布，分類成第一噴嘴組和第二噴嘴 組。而且，在第一噴嘴構成體中，相鄰第一噴嘴組配置第一噴嘴組。另外， 一個第一噴嘴組的第二端部和另外的第一噴嘴組的第一端部相鄰配置。此 時，第一噴嘴組中第二端部側的噴出量大於第一端部側的噴出量。即，第 一噴嘴組的噴出量大的部位和噴出量小的部位相鄰配置。
從第一噴嘴構成體的噴嘴噴出液狀體。而且，被噴出來的液狀體在工 件上擴散。在噴出量大的部位和噴出量小的部位相鄰時，液狀體的表面張 力起作用，由此，噴出量大地被塗敷後的液狀體向噴出量小地被塗敷後的 部位流動。使用第二噴嘴構成體進行塗敷的情況也一樣，噴出量大地被塗 敷後的液狀體向噴出量小地被塗敷後的部位流動。因此，塗敷後液狀體的 膜厚被平均化，故能夠減小膜厚的離散。 [應用例2]
本應用例的噴出方法為由多個噴嘴組向工件噴出液狀體的噴出方法， 其特徵在於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成， 該噴出方法具有分布運算工序，其測定所述噴嘴的噴出量，對所述噴出量的分布進行運算；分類工序，其根據所述噴出量的所述分布，將所述噴 嘴組分類為第一噴嘴組、第二噴嘴組、第三噴嘴組；構成工序，其形成由
所述第一噴嘴組及所述第三噴嘴組組成的第四噴嘴構成體、或者所述第二
噴嘴組及所述第三噴嘴組組成的第五噴嘴構成體；噴出工序，其使用所述 第四噴嘴構成體或所述第五噴嘴構成體向所述工件進行噴出；平坦化工 序，其放置被噴出的所述液狀體，其中，所述第一噴嘴組中所述第二端部 側的所述噴出量比所述第一端部側的所述噴出量大，所述第二噴嘴組中所 述第一端部側的所述噴出量比所述第二端部側的所述噴出量大，所述第三 噴嘴組中所述第一端部側的所述噴出量與所述第二端部側的所述噴出量 大致同量。
根據該噴出方法，運算噴出量的分布，分類為第一噴嘴組、第二噴嘴 組、第三噴嘴組。而且，在第四噴嘴構成體中，相鄰第一噴嘴組配置第一 噴嘴組或第三噴嘴組。另外， 一個第一噴嘴組的第二端部側和另外的第一 噴嘴組的第一端部側、或所述第三噴嘴組的第一端部側相鄰配置。此時， 第一噴嘴組中第二端部側的噴出量比第一端部側的噴出量大。另外，第三 噴嘴組中第一端部側的噴出量和第二端部側的噴出量大致同量。即，第一 噴嘴組的噴出量大的部位和噴出量小的部位、或噴出量大致中間的部位相 鄰配置。
從第四噴嘴構成體的噴嘴噴出液狀體。而且，被噴出來的液狀體在工 件上擴散。在噴出量大的部位和噴出量小的部位、或噴出量大致中間的部 位相鄰時，液狀體的表面張力起作用，由此，噴出量大地被塗敷後的液狀 體向噴出量小地被塗敷後的部位、或噴出量大致中間的部位流動。使用第 五噴嘴構成體進行塗敷的情況也一樣，噴出量大地被塗敷後的液狀體向噴 出量小地被塗敷後的部位、或噴出量大致中間的部位流動。因此，塗敷後 液狀體的膜厚被平均化，故能夠減小膜厚的離散。 [應用例3〕
本應用例的噴出方法為由多個噴嘴組向工件噴出液狀體的噴出方法， 其特徵在於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成， 該噴出方法具有分布運算工序，其測定所述噴嘴的噴出量，對所述噴出 量的分布進行運算；分類工序，其利用所述噴出量的所述分布，從所述噴嘴組分類出第三噴嘴組；構成工序，其形成由所述第三噴嘴組組成的第三 噴嘴構成體；噴出工序，其利用所述第三噴嘴構成體，向所述工件進行噴 出；平坦化工序，其放置被噴出的所述液狀體，其中，所述第三噴嘴組中 所述第一端部側的所述噴出量與所述第二端部側的所述噴出量大致同量。 根據該噴出方法，運算噴出量的分布，分類第三噴嘴組。而且，在第 三噴嘴構成體中，相鄰第三噴嘴組配置第三噴嘴組。此時，第三噴嘴組中 第一端部側的噴出量和第二端部側的噴出量大致同量。即，配置噴嘴組兩 端的噴出量大致同量的噴嘴組。因此，塗敷後的液狀體的膜厚成為大致同 量的厚度，故能夠減小膜厚的離散。 [應用例4]
本應用例的噴出方法為由多個噴嘴組向工件噴出液狀體的噴出方法， 其特徵在於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成， 該噴出方法具有分布運算工序，其測定所述噴嘴的噴出量，對所述噴出 量的分布進行運算；分類工序，其根據所述噴出量的所述分布，將所述噴 嘴組分類成第一噴嘴組、第二噴嘴組、第三噴嘴組；構成工序，其形成由 所述第一噴嘴組、所述第二噴嘴組及所述第三噴嘴組組成的第六噴嘴構成 體；噴出工序，其利用所述第六噴嘴構成體，向所述工件進行噴出；平坦 化工序，其放置被噴出的所述液狀體，其中，所述第一噴嘴組中所述第二 端部側的所述噴出量比所述第一端部側的所述噴出量大，所述第二噴嘴組 中所述第一端部側的所述噴出量比所述第二端部側的所述噴出量大，所述 第三噴嘴組中所述第一端部側的所述噴出量和所述第二端部側的所述噴 出量大致同量，在所述構成工序中，相鄰所述第一噴嘴組配置所述第一噴 嘴組或所述第三噴嘴組，相鄰所述第二噴嘴組配置所述第二噴嘴組或所述 第三噴嘴組。
根據該噴出方法，運算噴出量的分布，分類成第一噴嘴組、第二噴嘴 組、第三噴嘴組。而且，在第六噴嘴構成體中，相鄰第一噴嘴組配置第一 噴嘴組或第三噴嘴組。於是， 一個第一噴嘴組的第二端部側和另外的第一 噴嘴組的第一端部側、或所述第三噴嘴組的第一端部側相鄰配置。此時， 第一噴嘴組中第二端部側的噴出量比第一端部側的噴出量大。而且，第三 噴嘴組中第一端部側的噴出量和第二端部側的噴出量大致同量。即，第一噴嘴組的噴出量大的部位和噴出量小的部位、或噴出量大致中間的部位相 鄰配置。另外，相鄰第二噴嘴組配置第二噴嘴組或第三噴嘴組時，也同樣 進行配置。而且，在進行塗敷時，噴出量大地被塗敷後的液狀體向噴出量 小地被塗敷後部位、或噴出量大致中間的部位流動。因此，塗敷後液狀體 的膜厚被平均化，故能夠減小膜厚的離散。 [應用例5]
所述應用例的噴出方法的特徵在於，在所述分類工序中，使用最小二 乘法對所述分布進行一次近似式運算，並對所述第一端部側和所述第二端 部側的所述噴出量進行比較。
根據該噴出方法，使用最小二乘法，運算噴出量分布的一次近似式。 最小二乘法能夠高精度地運算一次近似式，因此能夠高精度地對第一端部 和第二端部的噴出量進行比較。 [應用例6]
所述應用例的噴出方法的特徵在於，在所述分類工序中，對從所述第 一端部側的多個所述噴嘴噴出的所述噴出量與從所述第二端部側的多個 所述噴嘴噴出的所述噴出量進行比較。
根據該噴出方法，運算從第一端部側的多個噴嘴噴出的噴出量的和。 同樣，運算從第二端部側的多個噴嘴噴出的噴出量的和。而且，將第一端 部側的噴出量與第二端部側的噴出量進行比較。該運算為簡便的方法，因 此，能夠在短時間內結束運算。其結果是，能夠生產性良好地進行分類。 [應用例7]
所述應用例的噴出方法的特徵在於，所述噴嘴組的所述第一端部側和 所述第二端部側對稱形成，所述第二噴嘴組將所述第一端部側和所述第二 端部側進行更換，作為所述第一噴嘴組使用，或者，所述第一噴嘴組將所 述第一端部側和所述第二端部側進行更換，作為所述第二噴嘴組使用。
0022根據該噴出方法，液滴噴出頭將第一端部側和第二端部側進行更 換，由此能夠將第一噴嘴組變更為第二噴嘴組。同樣，能夠將第二噴嘴組 變更為第一噴嘴組。因此，能夠將第一噴嘴組和第二噴嘴組混合的液滴噴 出頭全部作成由第一噴嘴組組成的第一噴嘴構成體。同樣，能夠將液滴噴 出頭全部作為由第二噴嘴組組成的第二噴嘴構成體。其結果是，能夠簡便地形成第一噴嘴構成體、或第二噴嘴構成體。 [應用例8]
所述應用例的噴出方法的特徵在於，所述噴嘴組形成於液滴噴出頭， 所述液滴噴出頭在頭組件配置多個，在更換所述液滴噴出頭時，按每
個所述頭組件進行更換。
根據該噴出方法，在更換液滴噴出頭時，按每個頭組件進行更換。因
此，與對每一個液滴噴出頭進行更換的方法相比，能夠以少的次數更換液
滴噴出頭，因此，能夠加工性良好地更換液滴噴出頭。其結果是，能夠生
產性良好地進行維護。 [應用例9]
所述應用例的噴出方法的特徵在於，由所述噴嘴組組成的噴嘴構成體 形成為在所述工件上塗敷所述液狀體的區域的寬度以上的長度。
根據該噴出方法，操作者向一方向移動工件，從噴嘴組噴出液狀體， 由此，能夠在塗敷液狀體的預定區域進行塗敷。此時，噴出裝置能夠向排 列了噴嘴的方向移動噴嘴組，且可不改行地向工件塗敷液狀體。因此，能 夠防止因工件或噴嘴組改行導致的筋狀條紋的發生。其結果是，能夠形成 品質優良的膜。
所述應用例的噴出方法的特徵在於，所述噴嘴組形成於液滴噴出頭， 所述液滴噴出頭在所述頭組件中交錯狀配置。
根據該噴出方法，液滴噴出頭交錯狀配置。即，液滴噴出頭交替排列 形成兩列。設該排列為第一排列和第二排列。而且，使噴嘴和工件沿與噴 嘴排列的方向大致正交方向或傾斜的方向相對移動地塗敷液狀體。首先， 第一排列的液滴噴出頭噴出液滴形成線。接著，在由第一排列的液滴噴出 頭形成的線上，第二排列的液滴噴出頭噴出液滴形成線。此時，在同一線 上第一排列的液滴噴出頭和第二排列的液滴噴出頭噴出的時間間隔可設 為短的間隔。因此，在第一排列的液滴噴出頭塗敷後的液狀體通過乾燥等 固化前，能夠使第二排列的液滴噴出頭塗敷液狀體。而且，第一排列的液 滴噴出頭塗敷後的液狀體和第二排列的液滴噴出頭塗敷後的液狀體混合。 其結果是，在第一排列的液滴噴出頭塗敷後的液狀體的膜和第二排列的液滴噴出頭塗敷後液狀體的膜相鄰接的部位，能夠成為膜厚離散少的膜。 [應用例11]
所述應用例的連續膜形成方法為為由多個噴嘴組向工件噴出液狀體 而形成連續膜的連續膜形成方法，其特徵在於，構成所述噴嘴組的噴嘴從 第一端部向第二端部排列而形成，該連續膜形成方法具有分布運算工序， 其測定所述噴嘴的噴出量，對所述噴出量的分布進行運算；分類工序，其 根據所述噴出量的所述分布，將所述噴嘴組分類成第一噴嘴組和第二噴嘴 組；構成工序，其形成由所述第一噴嘴組組成的第一噴嘴構成體或由所述 第二噴嘴組組成的第二噴嘴構成體；噴出工序，其利用所述第一噴嘴構成 體或所述第二噴嘴構成體向所述工件進行噴出；平坦化工序，其放置被噴 出的所述液狀體；固化工序，其將所述液狀體進行固化，其中，所述第一 噴嘴組中所述第二端部側的所述噴出量比所述第一端部側的所述噴出量 大，所述第二噴嘴組中所述第一端部側的所述噴出量比所述第二端部側的 所述噴出量大。'
根據該連續膜形成方法，在第一噴嘴構成體中，第一噴嘴組的噴出量 大的部位和噴出量小的部位相鄰配置。而且，由噴嘴噴出液狀體，被噴出 來的液狀體在工件上擴散。在噴出量大的部位和噴出量小的部位相鄰時， 液狀體的表面張力起作用，由此，噴出量大地被塗敷後的液狀體向噴出量 小地被塗敷後的部位流動。使用第二噴嘴構成體進行塗敷的情況也一樣， 噴出量大地被塗敷後的液狀體向噴出量小地被塗敷後的部位流動。因此， 塗敷後的液狀體的膜厚被平均化，因此能夠減小膜厚的離散。 [應用例12]
本應用例的連續膜形成方法為由多個噴嘴組向工件噴出液狀體而形 成連續膜的連續膜形成方法，其特徵在於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一 端部向第二端部排列而形成，該連續膜形成方法具有分布運算工序，其 測定所述噴嘴的噴出量，對所述噴出量的分布進行運算；分類工序，其根 據所述噴出量的所述分布，將所述噴嘴組分類成第一噴嘴組、第二噴嘴組、 第三噴嘴組；構成工序，其形成由所述第一噴嘴組及所述第三噴嘴組組成 的第四噴嘴構成體、或者由所述第二噴嘴組及所述第三噴嘴組組成的第五 噴嘴構成體；噴出工序，其利用所述第四噴嘴構成體或所述第五噴嘴構成體，向所述工件進行噴出；平坦化工序，其放置被噴出的所述液狀體；固
化工序，其將所述液狀體進行固化，其中，所述第一噴嘴組中所述第二端 部側的所述噴出量比所述第一端部側的所述噴出量大，所述第二噴嘴組中 所述第一端部側的所述噴出量比所述第二端部側的所述噴出量大，所述第 三噴嘴組中所述第一端部側的所述噴出量與所述第二端部側的所述噴出 量大致同量。
根據該連續膜形成方法，在第四噴嘴構成體中，第一噴嘴組的噴出量 大的部位和噴出量小的部位、或第三噴嘴組的噴出量大致中間的部位相鄰 配置。而且，由噴嘴噴出液狀體，被噴出來的液狀體在工件上擴散。在噴 出量大的部位和噴出量小的部位、或噴出量大致中間的部位相鄰時，液狀 體的表面張力起作用，由此，噴出量大地被塗敷後的液狀體向噴出量小地 被塗敷後的部位、或噴出量大致中間的部位流動。使用第五噴嘴構成體進 行塗敷的情況也一樣，噴出量大地被塗敷後的液狀體向噴出量小地被塗敷 後的部位、或噴出量大致中間的部位流動。因此，塗敷後的液狀體的膜厚 被平均化，因此能夠減小膜厚的離散。
本應用例的連續膜形成方法為由多個噴嘴組向工件噴出液狀體而形 成連續膜的連續膜形成方法，其特徵在於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一
端部向第二端部排列而形成，該連續膜形成方法具有分布運算工序，其
測定所述噴嘴的噴出量，對所述噴出量的分布進行運算；分類工序，其利 用所述噴出量的所述分布，從所述噴嘴組分類出第三噴嘴組；構成工序， 其形成由所述第三噴嘴組組成的第三噴嘴構成體；噴出工序，其利用所述 第三噴嘴構成體向所述工件進行噴出；平坦化工序，其放置被噴出的所述
液狀體；固化工序，其將所述液狀體進行固化，其中，所述第三噴嘴組中 所述第一端部側的所述噴出量和所述第二端部側的所述噴出量大致同量。 根據該連續膜形成方法，在第三噴嘴構成體中，相鄰第三噴嘴組配置 第三噴嘴組。此時，第三噴嘴組中第一端部側的噴出量和第二端部側的噴 出量大致同量。即，配置噴出量大致同量的噴嘴組。因此，塗敷後的液狀 體的膜厚成為大致同量的厚度，因此能夠減小膜厚的離散。 [應用例14]本應用例的連續膜形成方法為為由多個噴嘴組向工件噴出液狀體而 形成連續膜的連續膜形成方法，其特徵在於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第 一端部向第二端部排列而形成，該連續膜形成方法具有分布運算工序， 其測定所述噴嘴的噴出量，對所述噴出量的分布進行運算；分類工序，其 根據所述噴出量的所述分布，將所述噴嘴組分類成第一噴嘴組、第二噴嘴 組、第三噴嘴組；構成工序，其形成由所述第一噴嘴組、所述第二噴嘴組
及所述第三噴嘴組組成的第六噴嘴構成體；噴出工序，其利用所述第六噴 嘴構成體向所述工件進行噴出；平坦化工序，其放置被噴出的所述液狀體； 固化工序，其將所述液狀體進行固化，其中，所述第一噴嘴組中所述第二 端部側的所述噴出量比所述第一端部側的所述噴出量大，所述第二噴嘴組 中所述第一端部側的所述噴出量比所述第二端部側的所述噴出量大，所述 第三噴嘴組中所述第一端部側的所述噴出量和所述第二端部側的所述噴 出量大致同量，在所述構成工序中，相鄰所述第一噴嘴組配置所述第一噴 嘴組或所述第三噴嘴組，相鄰所述第二噴嘴組配置所述第二噴嘴組或所述 第三噴嘴組。
根據該連續膜形成方法，在第六噴嘴構成體中， 一個第一噴嘴組的第 二端部側和另外的第一噴嘴組的第一端部側、或第三噴嘴組的第一端部側 相鄰配置。第一噴嘴組的噴出量大的部位和噴出量小的部位、或噴出量大 致中間的部位相鄰配置。另外，相鄰第二噴嘴組配置第二噴嘴組或第三噴 嘴組時，也同樣進行配置。而且，在進行塗敷時，噴出量大地被塗敷後的 液狀體向噴出量小地被塗敷後的部位、或噴出量大致中間的部位流動。因 此，塗敷後的液狀體的膜厚被平均化，故能夠減小膜厚的離散。 [應用例15]
本應用例的取向膜形成方法為為由多個噴嘴組向基板噴出液晶取向 膜形成用組成物而形成取向膜的取向膜形成方法，其特徵在於，構成所述 噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成，該取向膜形成方法具 有分布運算工序，其測定所述噴嘴的噴出量，對所述噴出量的分布進行 運算；分類工序，其根據所述噴出量的所述分布，將所述噴嘴組分類成第 一噴嘴組和第二噴嘴組；構成工序，其形成由所述第一噴嘴組組成的第一 噴嘴構成體或由所述第二噴嘴組組成的第二噴嘴構成體；噴出工序，其利用所述第一噴嘴構成體或所述第二噴嘴構成體向所述基板進行噴出；平坦
化工序，其放置被噴出的所述液晶取向膜形成用組成物；固化工序，其將 所述液晶取向膜形成用組成物進行固化，其中，所述第一噴嘴組中所述第 二端部側的所述噴出量比所述第一端部側的所述噴出量大，所述第二噴嘴 組中所述第一端部側的所述噴出量比所述第二端部側的所述噴出量大。
根據該取向膜形成方法，在第一噴嘴構成體中，第一噴嘴組的噴出量 大的部位和噴出量小的部位相鄰配置。而且，由噴嘴噴出液晶取向膜形成 用組成物，被噴出來的液晶取向膜形成用組成物在工件上擴散。在噴出量 大的部位和噴出量小的部位相鄰時，液晶取向膜形成用組成物的表面張力 起作用，由此，噴出量大地被塗敷後的液晶取向膜形成用組成物向噴出量 小地被塗敷後的部位流動。使用第二噴嘴構成體進行塗敷的情況也一樣， 噴出量大地被塗敷後的液晶取向膜形成用組成物向噴出量小地被塗敷後 的部位流動。因此，塗敷後的液晶取向膜形成用組成物的膜厚被平均化， 故能夠減小膜厚的離散。 [應用例16]
本應用例的取向膜形成方法為由多個噴嘴組向基板噴出液晶取向膜 形成用組成物而形成取向膜的取向膜形成方法，其特徵在於，構成所述噴 嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成，該取向膜形成方法具有 分布運算工序，其測定所述噴嘴的噴出量，對所述噴出量的分布進行運算； 分類工序，其根據所述噴出量的所述分布，將所述噴嘴組分類成第一噴嘴 組、第二噴嘴組、第三噴嘴組；構成工序，其形成由所述第一噴嘴組及所 述第三噴嘴組組成的第四噴嘴構成體、或者由所述第二噴嘴組及所述第三 噴嘴組組成的第五噴嘴構成體；噴出工序，其利用所述第四噴嘴構成體或 第五噴嘴構成體向所述基板進行噴出；平坦化工序，其放置被噴出的所述 液晶取向膜形成用組成物；固化工序，其將所述液晶取向膜形成用組成物 進行固化，其中，所述第一噴嘴組中所述第二端部側的所述噴出量比所述 第一端部側的所述噴出量大，所述第二噴嘴組中所述第一端部側的所述噴 出量比所述第二端部側的所述噴出量大，所述第三噴嘴組中所述第一端部 側的所述噴出量與所述第二端部側的所述噴出量大致同量。
根據該取向膜形成方法，在第四噴嘴構成體中，第一噴嘴組的噴出量位、或第三噴嘴組的噴出量大致中間的部位相鄰 配置。而且，由噴嘴噴出液晶取向膜形成用組成物，被噴出來的液晶取向 膜形成用組成物在工件上擴散。在噴出量大的部位和噴出量小的部位、或 噴出量大致中間的部位相鄰時，液晶取向膜形成用組成物的表面張力起作 用，由此，噴出量大地被塗敷後的液晶取向膜形成用組成物向噴出量小地 被塗敷後的部位、或噴出量大致中間的部位流動。使用第五噴嘴構成體進 行塗敷的情況也一樣，噴出量大地被塗敷後的液晶取向膜形成用組成物向 噴出量小地被塗敷後的部位、或噴出量大致中間的部位流動。因此，塗敷 後的液晶取向膜形成用組成物的膜厚被平均化，故能夠減小膜厚的離散。 [應用例17]
本應用例的取向膜形成方法為為由多個噴嘴組向基板噴出液晶取向 膜形成用組成物而形成取向膜的取向膜形成方法，其特徵在於，構成所述 噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成，該取向膜形成方法具 有分布運算工序，其測定所述噴嘴的噴出量，對所述噴出量的分布進行 運算；分類工序，其利用所述噴出量的所述分布，從所述噴嘴組分類出第 三噴嘴組；構成工序，其形成由所述第三噴嘴組組成的第三噴嘴構成體； 噴出工序，其利用所述第三噴嘴構成體向所述基板進行噴出；平坦化工序， 其放置被噴出的所述液晶取向膜形成用組成物；固化工序，其將所述液晶 取向膜形成用組成物進行固化，其中，所述第三噴嘴組中所述第一端部側 的所述噴出量與所述第二端部側的所述噴出量大致同量。
根據該取向膜形成方法，在第三噴嘴構成體中，相鄰第三噴嘴組配置 第三噴嘴組。此時，第三噴嘴組中第一端部側的噴出量和第二端部側的噴 出量大致同量。即，配置噴出量大致同量的噴嘴組。因此，塗敷後的液晶 取向膜形成用組成物的膜厚成為大致同量的厚度，故能夠減小膜厚的離 散。
本應用例的取向膜形成方法為由多個噴嘴組向基板噴出液晶取向膜 形成用組成物而形成取向膜的取向膜形成方法，其特徵在於，構成所述噴 嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成，該取向膜形成方法具有 分布運算工序，其測定所述噴嘴的噴出量，對所述噴出量的分布進行運算;分類工序，其根據所述噴出量的所述分布，將所述噴嘴組分類成第一噴嘴 組、第二噴嘴組、第三噴嘴組；構成工序，其形成由所述第一噴嘴組、所
述第二噴嘴組及所述第三噴嘴組組成的第六噴嘴構成體；噴出工序，其利 用所述第六噴嘴構成體向所述基板進行噴出；平坦化工序，其放置被噴出 的所述液晶取向膜形成用組成物；固化工序，其將所述液晶取向膜形成用 組成物進行固化，其中，所述第一噴嘴組中所述第二端部側的所述噴出量 比所述第一端部側的所述噴出量大，所述第二噴嘴組中所述第一端部側的 所述噴出量比所述第二端部側的所述噴出量大，所述第三噴嘴組中所述第 一端部側的所述噴出量與所述第二端部側的所述噴出量大致同量，在所述 構成工序中，相鄰所述第一噴嘴組配置所述第一噴嘴組或所述第三噴嘴 組，相鄰所述第二噴嘴組配置所述第二噴嘴組或所述第三噴嘴組。
根據該取向膜形成方法，在第六噴嘴構成體中， 一個第一噴嘴組的第 二端部側和另外的第一噴嘴組的第一端部側、或第三噴嘴組的第一端部側 相鄰配置。第一噴嘴組的噴出量大的部位和噴出量小的部位、或噴出量大 致中間的部位相鄰配置。另外，相鄰第二噴嘴組配置第二噴嘴組或第三噴 嘴組時，也同樣進行配置。而且，在進行塗敷時，噴出量大地被塗敷後的 液晶取向膜形成用組成物向噴出量小地被塗敷後的部位、或噴出量大致中 間的部位流動。因此，塗敷後的液晶取向膜形成用組成物的膜厚被平均化， 故能夠減小膜厚的離散。 [應用例19]
本應用例的液晶顯示裝置的形成方法為一對基板夾住液晶而成的液 晶顯示裝置的形成方法，其特徵在於，該液晶顯示裝置的形成方法具有由 多個噴嘴組向所述基板噴出液晶取向膜形成用組成物而形成取向膜的取 向膜形成工序，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形 成，所述取向膜形成工序具有分布運算工序，其測定所述噴嘴的噴出量， 對所述噴出量的分布進行運算；分類工序，其根據所述噴出量的所述分布， 將所述噴嘴組分類成第一噴嘴組和第二噴嘴組；構成工序，其形成由所述 第一噴嘴組組成的第一噴嘴構成體或由所述第二噴嘴組組成的第二噴嘴 構成體；噴出工序，其利用所述第一噴嘴構成體或所述第二噴嘴構成體向 所述基板進行噴出；平坦化工序，其放置被噴出的所述液晶取向膜形成用組成物；固化工序，其將所述液晶取向膜形成用組成物進行固化，其中， 所述第一噴嘴組中所述第二端部側的所述噴出量比所述第一端部側的所 述噴出量大，所述第二噴嘴組中所述第一端部側的所述噴出量比所述第二 端部側的所述噴出量大。
根據該液晶顯示裝置的形成方法，在第一噴嘴構成體中，第一噴嘴組 的噴出量大的部位和噴出量小的部位相鄰配置。而且，由噴嘴噴出液晶取 向膜形成用組成物，被噴出來的液晶取向膜形成用組成物在基板上擴散。 在噴出量大的部位和噴出量小的部位相鄰時，液晶取向膜形成用組成物的 表面張力起作用，由此，噴出量大地被塗敷後的液晶取向膜形成用組成物 向噴出量小地被塗敷後的部位流動。使用第二噴嘴構成體進行塗敷的情況 也一樣，噴出量大地被塗敷後的液晶取向膜形成用組成物向噴出量小地被 塗敷後的部位流動。因此，塗敷後的液晶取向膜形成用組成物的膜厚被平 均化，故能夠減小膜厚的離散。 [應用例20]
本應用例的液晶顯示裝置的形成方法為為一對基板夾住液晶而成的 液晶顯示裝置的形成方法，其特徵在於，該液晶顯示裝置的形成方法具有 由多個噴嘴組向所述基板噴出液晶取向膜形成用組成物而形成取向膜的 取向膜形成工序，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形 成，所述取向膜形成工序具有分布運算工序，其測定所述噴嘴的噴出量， 對所述噴出量的分布進行運算；分類工序，其根據所述噴出量的所述分布， 將所述噴嘴組分類成第一噴嘴組、第二噴嘴組、第三噴嘴組；構成工序，
其形成由所述第一噴嘴組及所述第三噴嘴組組成的第四噴嘴構成體、或者
由所述第二噴嘴組及所述第三噴嘴組組成的第五噴嘴構成體；噴出工序， 其利用所述第四噴嘴構成體或所述第五噴嘴構成體向所述基板進行噴出； 平坦化工序，其放置被噴出的所述液晶取向膜形成用組成物；固化工序， 其將所述液晶取向膜形成用組成物進行固化，其中，所述第一噴嘴組中所 述第二端部側的所述噴出量比所述第一端部側的所述噴出量大，所述第二 噴嘴組中所述第一端部側的所述噴出量比所述第二端部側的所述噴出量 大，所述第三噴嘴組中所述第一端部側的所述噴出量與所述第二端部側的 所述噴出量大致同量。根據該液晶顯示裝置的形成方法，在第四噴嘴構成體中，第一噴嘴組 的噴出量大的部位和噴出量小的部位、或第三噴嘴組的噴出量大致中間的 部位相鄰配置。而且，由噴嘴噴出液晶取向膜形成用組成物，被噴出來的 液晶取向膜形成用組成物在基板上擴散。在噴出量大的部位和噴出量小的 部位、或噴出量大致中間的部位相鄰時，液晶取向膜形成用組成物的表面 張力起作用，由此，噴出量大地被塗敷後的液晶取向膜形成用組成物向噴 出量小地被塗敷後的部位、或噴出量大致中間的部位流動。使用第五噴嘴 構成體進行塗敷的情況也一樣，噴出量大地被塗敷後的液晶取向膜形成用 組成物向噴出量小地被塗敷後的部位、或噴出量大致中間的部位流動。因 此，塗敷後的液晶取向膜形成用組成物的膜厚被平均化，故能夠減小膜厚 的離散。
本應用例的液晶顯示裝置的形成方法為一對基板夾住液晶而成的液 晶顯示裝置的形成方法，其特徵在於，該液晶顯示裝置的形成方法具有由 多個噴嘴組向所述基板噴出液晶取向膜形成用組成物而形成取向膜的取 向膜形成工序，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形 成，所述取向膜形成工序具有分布運算工序，其測定所述噴嘴的噴出量， 對所述噴出量的分布進行運算；分類工序，其利用所述噴出量的所述分布，
從所述噴嘴組分類出第三噴嘴組；構成工序，其形成由所述第三噴嘴組組 成的第三噴嘴構成體；噴出工序，其利用所述第三噴嘴構成體向所述基板 進行噴出；平坦化工序，其放置被噴出的所述液晶取向膜形成用組成物； 固化工序，其將所述液晶取向膜形成用組成物進行固化，其中，所述第三 噴嘴組中所述第一端部側的所述噴出量與所述第二端部側的所述噴出量 大致同量。
根據該液晶顯示裝置的形成方法，在第三噴嘴構成體中，相鄰第三噴 嘴組配置第三噴嘴組。此時，第三噴嘴組中第一端部側的噴出量和第二端 部側的噴出量大致同量。即，配置噴出量大致同量的噴嘴組。因此，塗敷 後的液晶取向膜形成用組成物的膜厚成為大致同量的厚度，故能夠減小膜 厚的離散。本應用例的液晶顯示裝置的形成方法為為一對基板夾住液晶而成的 液晶顯示裝置的形成方法，其特徵在於，該液晶顯示裝置的形成方法具有 由多個噴嘴組向所述基板噴出液晶取向膜形成用組成物而形成取向膜的 取向膜形成工序，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形 成，所述取向膜形成工序具有分布運算工序，其測定所述噴嘴的噴出量， 對所述噴出量的分布進行運算；分類工序，其根據所述噴出量的所述分布， 將所述噴嘴組分類成第一噴嘴組、第二噴嘴組、第三噴嘴組；構成工序， 其形成由所述第一噴嘴組、所述第二噴嘴組及所述第三噴嘴組組成的第六 噴嘴構成體；噴出工序，其利用所述第六噴嘴構成體向所述基板進行噴出； 平坦化工序，其放置被噴出的所述液晶取向膜形成用組成物；固化工序， 其將所述液晶取向膜形成用組成物進行固化，其中，所述第一噴嘴組中所 述第二端部側的所述噴出量比所述第一端部側的所述噴出量大，所述第二 噴嘴組中所述第一端部側的所述噴出量比所述第二端部側的所述噴出量 大，所述第三噴嘴組中所述第一端部側的所述噴出量與所述第二端部側的 所述噴出量大致同量，在所述構成工序中，相鄰所述第一噴嘴組配置所述 第一噴嘴組或所述第三噴嘴組，相鄰所述第二噴嘴組配置所述第二噴嘴組 或所述第三噴嘴組。
根據該液晶顯示裝置的形成方法，在第六噴嘴構成體中， 一個第一噴 嘴組的第二端部側和其他的第一噴嘴組的第一端部側、或第三噴嘴組的第 一端部側相鄰配置。第一噴嘴組的噴出量大的部位和噴出量小的部位、或 噴出量大致中間的部位相鄰配置。另外，相鄰第二噴嘴組配置第二噴嘴組 或第三噴嘴組時，也同樣進行配置。而且，在進行塗敷時，噴出量大地被 塗敷後的液晶取向膜形成用組成物向噴出量小地被塗敷後的部位、或噴出 量大致中間的部位流動。因此，塗敷後的液晶取向膜形成用組成物的膜厚 被平均化，故能夠減小膜厚的離散。 [應用例23]
本應用例的頭組件配置有向工件噴出液狀體的多個噴嘴組，其特徵在 於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成，頭組件使 用第一噴嘴構成體和第二噴嘴構成體的任一個形成，所述第一噴嘴構成體 由所述第二端部側的噴出量比所述第一端部側的所述噴出量大的第一噴嘴組構成，所述第二噴嘴構成體由所述第一端部側的所述噴出量比所述第 二端部側的所述噴出量大的第二噴嘴組構成。
根據該頭組件，在第一噴嘴構成體中，第一噴嘴組的噴出量大的部位 和噴出量小的部位相鄰配置。而且，由噴嘴噴出液狀體，被噴出來的液狀 體在工件上擴散。在噴出量大的部位和噴出量小的部位相鄰時，液狀體的 表面張力起作用，由此，噴出量大地被塗敷後的液狀體向噴出量小地被塗 敷後的部位流動。使用第二噴嘴構成體進行塗敷的情況也一樣，噴出量大 地被塗敷後的液狀體向噴出量小地被塗敷後的部位流動。因此，塗敷後的 液狀體的膜厚被平均化，故能夠減小膜厚的離散。 [應用例24]
本應用例的頭組件配置有向工件噴出液狀體的多個噴嘴組，其特徵在 於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成，頭組件使 用第四噴嘴構成體和第五噴嘴構成體的任一個形成，所述第四噴嘴構成體 由所述第二端部側的噴出量比所述第一端部側的所述噴出量大的第一噴 嘴組以及所述第一端部側的所述噴出量與所述第二端部側的所述噴出量 大致同量的第三噴嘴組構成，所述第五噴嘴構成體由所述第一端部側的所 述噴出量比所述第二端部側的所述噴出量大的第二噴嘴組以及所述第三 噴嘴組構成。
根據該頭組件，在第四噴嘴構成體中，第一噴嘴組的噴出量大的部位 和噴出量小的部位、或第三噴嘴組的噴出量大致中間的部位相鄰配置。而 且，由噴嘴噴出液狀體，被噴出來的液狀體在工件上擴散。在噴出量大的 部位和噴出量小的部位、或噴出量大致中間的部位相鄰時，液狀體的表面 張力起作用，由此，噴出量大地被塗敷後的液狀體向噴出量小地被塗敷後 的部位、或噴出量大致中間的部位流動。使用第五噴嘴構成體進行塗敷的 情況也一樣，噴出量大地被塗敷後的液狀體向噴出量小地被塗敷後的部 位、或噴出量大致中間的部位流動。因此，塗敷後的液狀體的膜厚被平均 化，故能夠減小膜厚的離散 [應用例25]
本應用例的頭組件配置有向工件噴出液狀體的多個噴嘴組，其特徵在 於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成，頭組件利用第三噴嘴構成體形成，該第三噴嘴構成體由所述第一端部側的噴出量與 所述第二端部側的所述噴出量大致同量的第三噴嘴組構成。
根據該頭組件，在第三噴嘴構成體中，相鄰第三噴嘴組配置第三噴嘴 組。此時，第三噴嘴組中第一端部側的噴出量和第二端部側的噴出量大致 同量。即，配置噴出量大致同量的噴嘴組。因此，塗敷後的液狀體的膜厚 成為大致同量的厚度，故能夠減小膜厚的離散。 [應用例26]
本應用例的頭組件配置有向工件噴出液狀體的多個噴嘴組，其特徵在 於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成，頭組件使 用第六噴嘴構成體形成，該第六噴嘴構成體由所述第二端部側的噴出量比 所述第一端部側的所述噴出量大的第一噴嘴組、所述第一端部側的所述噴 出量比所述第二端部側的所述噴出量大的第二噴嘴組、所述第一端部側的 所述噴出量與所述第二端部側的所述噴出量大致同量的第三噴嘴組構成， 相鄰所述第一噴嘴組配置所述第一噴嘴組或所述第三噴嘴組，相鄰所述第 二噴嘴組配置所述第二噴嘴組或所述第三噴嘴組。
根據該頭組件，在第六噴嘴構成體中， 一個第一噴嘴組的第二端部側 和另外的第一噴嘴組的第一端部側、或第三噴嘴組的第一端部側相鄰配 置。第一噴嘴組的噴出量大的部位和噴出量小的部位、或噴出量大致中間 的部位相鄰配置。另外，相鄰第二噴嘴組配置第二噴嘴組或第三噴嘴組時 也進行同樣配置。而且，在進行塗敷時，噴出量大地被塗敷後的液狀體向 噴出量小地被塗敷後的部位、或噴出量大致中間的部位流動。因此，塗敷 後的液狀體的膜厚被平均化，故能夠減小膜厚的離散。 [應用例27]
本應用例的頭組件，其特徵在於，所述噴嘴組的所述第一端部側和所 述第二端部側對稱形成，所述第二噴嘴組將所述第一端部側和所述第二端 部側進行更換，作為所述第一噴嘴組使用，或者，所述第一噴嘴組將所述 第一端部側和所述第二端部側進行更換，作為所述第二噴嘴組使用。
根據該頭組件，能夠將第一噴嘴組和第二噴嘴組混合的液滴噴出頭全 部作為由第一噴嘴組組成的第一噴嘴構成體。同樣，能夠將液滴噴出頭全 部作為由第二噴嘴組組成的第二噴嘴構成體。其結果是，能夠簡便地形成第一噴嘴構成體或第二噴嘴構成體。 [應用例28]
所述應用例的頭組件，其特徵在於，所述噴嘴組形成於液滴噴出頭， 所述液滴噴出頭被交錯狀配置。
根據該頭組件，液滴噴出頭交替排列形成兩列。設該排列為第一排列 和第二排列。而且，將在同一線上第一排列的液滴噴出頭和第二排列的液 滴噴出頭噴出的時間間隔設為短的間隔。此時，第一排列的液滴噴出頭塗 敷後的液狀體和第二排列的液滴噴出頭塗敷後的液狀體進行混合。其結果 是，在第一排列的液滴噴出頭塗敷後的液狀體形成的膜和第二排列的液滴 噴出頭塗敷後的液狀體形成的膜的相鄰的部位，能夠成為膜厚離散少的 膜。
本應用例的液滴噴出裝置為由多個噴嘴組向工件噴出液狀體的液滴 噴出裝置，其特徵在於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排 列而形成，液滴噴出裝置使用第一噴嘴構成體和第二噴嘴構成體的任一個 形成，所述第一噴嘴構成體由所述第二端部側的噴出量比所述第一端部側 的所述噴出量大的第一噴嘴組構成，所述第二噴嘴構成體由所述第一端部 側的所述噴出量比所述第二端部側的所述噴出量大的第二噴嘴組構成。
根據該液滴噴出裝置，在第一噴嘴構成體中，第一噴嘴組的噴出量大 的部位和噴出量小的部位相鄰配置。而且，由噴嘴噴出液狀體，被噴出來 的液狀體在工件上擴散。在噴出量大的部位和噴出量小的部位相鄰時，液 狀體的表面張力起作用，由此噴出量大地被塗敷後的液狀體向噴出量小地 被塗敷後的部位流動。使用第二噴嘴構成體進行塗敷的情況也一樣，噴出 量大地被塗敷後的液狀體向噴出量小地被塗敷後的部位流動。因此，塗敷 後的液狀體的膜厚被平均化，因此能夠減小膜厚的離散。
本應用例的液滴噴出裝置為由多個噴嘴組向工件噴出液狀體的液滴 噴出裝置，其特徵在於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排 列而形成，液滴噴出裝置使用第四噴嘴構成體和第五噴嘴構成體的任一個 形成，所述第四噴嘴構成體由所述第二端部側的噴出量比所述第一端部側的所述噴出量大的第一噴嘴組以及所述第一端部側的所述噴出量與所述 第二端部側的所述噴出量大致同量的第三噴嘴組構成，所述第五噴嘴構成 體由所述第一端部側的所述噴出量比所述第二端部側的所述噴出量大的 第二噴嘴組以及所述第三噴嘴組構成。
根據該液滴噴出裝置，在第四噴嘴構成體中，第一噴嘴組的噴出量大 的部位和噴出量小的部位、或第三噴嘴組的噴出量大致中間的部位相鄰配 置。而且，由噴嘴噴出液狀體，被噴出來的液狀體在工件上擴散。在噴出 量大的部位和噴出量小的部位、或噴出量大致中間的部位相鄰時，液狀體 的表面張力起作用，由此，噴出量大地被塗敷後的液狀體向噴出量小地被 塗敷後的部位、或噴出量大致中間的部位流動。使用第五噴嘴構成體進行 塗敷的情況也一樣，噴出量大地被塗敷後的液狀體向噴出量小地被塗敷後 的部位、或噴出量大致中間的部位流動。因此，塗敷後的液狀體的膜厚被 平均化，因此能夠減小膜厚的離散。 [應用例31]
本應用例的液滴噴出裝置為由多個噴嘴組向工件噴出液狀體的液滴 噴出裝置，其特徵在於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排 列而形成，液滴噴出裝置使用第三噴嘴構成體形成，該第三噴嘴構成體由 所述第一端部側的噴出量與所述第二端部側的所述噴出量大致同量的第 三噴嘴組構成。
根據該液滴噴出裝置，在第三噴嘴構成體中，相鄰第三噴嘴組配置第 三噴嘴組。此時，第三噴嘴組中第一端部側的噴出量和第二端部側的噴出 量大致同量。即，配置噴出量大致同量的噴嘴組。因此，塗敷後的液狀體 的膜厚成為大致同量的厚度，故能夠減小膜厚的離散。 [應用例32]
本應用例的液滴噴出裝置為由多個噴嘴組向工件噴出液狀體的液滴 噴出裝置，其特徵在於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排 列而形成，液滴噴出裝置使用第六噴嘴構成體形成，該第六噴嘴構成體由 所述第二端部側的噴出量比所述第一端部側的所述噴出量大的第一噴嘴 組、所述第一端部側的所述噴出量比所述第二端部側的所述噴出量大的第 二噴嘴組、所述第一端部側的所述噴出量與所述第二端部側的所述噴出量大致同量的第三噴嘴組構成，相鄰所述第一噴嘴組配置所述第一噴嘴組或 所述第三噴嘴組，相鄰所述第二噴嘴組配置所述第二噴嘴組或所述第三噴 嘴組。
根據該液滴噴出裝置，在第六噴嘴構成體中， 一個第一噴嘴組的第二 端部側和另外的第一噴嘴組的第一端部側、或第三噴嘴組的第一端部側相 鄰配置。第一噴嘴組的噴出量大的部位和噴出量小的部位、或噴出量大致 中間的部位相鄰配置。另外，相鄰第二噴嘴組配置第二噴嘴組或第三噴嘴 組時也進行同樣配置。而且，在進行塗敷時，噴出量大地被塗敷後的液狀 體向噴出量小地被塗敷後的部位、或噴出量大致中間的部位流動。因此， 塗敷後的液狀體的膜厚被平均化，故能夠減小膜厚的離散。 [應用例33]
本應用例的電子設備為具備顯示部的電子設備，其特徵在於，所述顯 示部具備利用所述應用例所述的液晶顯示裝置的形成方法形成的液晶顯
示裝置。
根據該電子設備，電子設備在顯示部具備所述的液晶顯示裝置。由於 該液晶顯示裝置利用所述的方法製造，所以膜厚離散少。因此能夠成為具 備形成有膜厚離散少的膜的液晶顯示裝置的電子設備。 [應用例34]
所述應用例的連續膜形成方法的特徵在於，在所述分類工序中，使用 最小二乘法對所述分布運算一次近似式，並將所述第一端部側和所述第二 端部側的所述噴出量進行比較。
根據該連續膜形成方法，利用最小二乘法運算噴出量分布的一次近似 式。最小二乘法能夠高精度地運算一次近似式，因此能夠高精度地對第一 端部和第二端部的噴出量進行比較。
所述應用例的連續膜形成方法的特徵在於，在所述分類工序中，對從 所述第一端部側的多個所述噴嘴噴出的所述噴出量和從所述第二端部側 的多個所述噴嘴噴出的所述噴出量進行比較。
根據該連續膜形成方法，該運算為簡便的方法，因此可在短時間內結 束運算。其結果是，能夠生產性優良地進行分類。[應用例36]
所述應用例的連續膜形成方法的特徵在於，所述噴嘴組中所述第一端 部側和所述第二端部側對稱形成，所述第二噴嘴組將所述第一端部側和所 述第二端部側進行更換，作為所述第一噴嘴組使用，或者，所述第一噴嘴 組將所述第一端部側和所述第二端部側進行更換，作為所述第二噴嘴組使 用。
根據該連續膜形成方法，能夠將第一噴嘴組和第二噴嘴組混合的液滴 噴出頭全部作為由第一噴嘴組組成的第一噴嘴構成體。同樣，能夠將液滴 噴出頭全部作為由第二噴嘴組組成的第二噴嘴構成體。其結果是，能夠簡 便地形成第一噴嘴構成體或第二噴嘴構成體。
所述應用例的連續膜形成方法的特徵在於，所述噴嘴組在液滴噴出頭 上形成，所述液滴噴出頭在頭組件上配置多個，在更換所述液滴噴出頭時， 按每個所述頭組件進行更換。
根據該連續膜形成方法，在更換液滴噴出頭時，按每個頭組件進行更 換。因此，與對每一個液滴噴出頭進行更換的方法相比，能夠以少的次數 更換液滴噴出頭，故能夠加工性良好地更換液滴噴出頭。其結果是，能夠 加工性良好地進行維護。
所述應用例的連續膜形成方法的特徵在於，由所述噴嘴組組成的噴嘴 構成體形成為所述工件的寬度以上的長度。
根據該連續膜形成方法，操作者向一方向移動工件，能夠從噴嘴組噴 出液狀體，由此在塗敷液狀體的預定區域進行塗敷。此時，噴出裝置能夠 使噴嘴組向噴嘴排列的方向移動，且不改行地向工件塗敷液狀體。因此， 能夠防止因使工件或噴嘴組改行導致的筋狀條紋的發生。其結果是，能夠 形成品質優良的膜。 [應用例39]
所述應用例的連續膜形成方法的特徵在於，所述噴嘴組在液滴噴出頭 上形成，所述液滴噴出頭在所述頭組件中交錯狀配置。
根據該連續膜形成方法，液滴噴出頭交替排列形成兩列。設該排列為第一排列和第二排列。而且，能夠設第一排列的液滴噴出頭和第二排列的 液滴噴出頭在同一線上噴出的時間間隔為短的間隔。此時，第一排列的液 滴噴出頭塗敷後的液狀體和第二排列的液滴噴出頭塗敷後的液狀體混合。 其結果是，在第一排列的液滴噴出頭塗敷後的液狀體形成的膜和第二排列 的液滴噴出頭塗敷後的液狀體形成的膜相鄰的部位，能夠成為膜厚離散少 的膜。
所述應用例的取向膜形成方法的特徵在於，在所述分類工序中，利用 最小二乘法對所述分布運算一次近似式，並對第一端部側和第二端部側的 所述噴出量進行比較。
根據該連續膜形成方法，利用最小二乘法，運算噴出量分布的一次近 似式。最小二乘法能夠高精度地運算一次近似式，因此能夠高精度地對第 一端部和第二端部的噴出量進行比較。 [應用例41]
所述應用例的取向膜形成方法的特徵在於，在所述分類工序中，將從 所述第一端部側的多個所述噴嘴噴出的所述噴出量和所述第二端部側的 多個所述噴嘴噴出的所述噴出量進行比較
根據該連續膜形成方法，該運算為簡便的方法，因此能夠在短時間內 結束運算。其結果是，能夠生產性良好地進行分類。 [應用例42]
所述應用例的取向膜形成方法的特徵在於，所述噴嘴組中所述第一端 部側和所述第二端部側對稱形成，所述第二噴嘴組將所述第一端部側和所 述第二端部側進行更換，作為所述第一噴嘴組使用，或者，所述第一噴嘴 組將所述第一端部側和所述第二端部側進行更換，作為所述第二噴嘴組使 用。
根據該連續膜形成方法，能夠將第一噴嘴組和第二噴嘴組混合的液滴 噴出頭全部作為由第一噴嘴組組成的第一噴嘴構成體。同樣，能夠將液滴 噴出頭全部作為由第二噴嘴組組成的第二噴嘴構成體。其結果是，能夠簡 便地形成第一噴嘴構成體或第二噴嘴構成體。所述應用例的取向膜形成方法的特徵在於，所述噴嘴組在液滴噴出頭 上形成，液滴噴出頭在頭組件配置多個，在更換所述液滴噴出頭時，按每 個所述頭組件進行更換。
根據該連續膜形成方法，在更換所述液滴噴出頭時，按每個頭組件進 行更換。因此，與對每一個液滴噴出頭進行更換的方法相比，能夠以少的 次數更換液滴噴出頭，因此能夠生產性良好地更換液滴噴出頭。其結果是， 能夠生產性良好地進行維護。 [應用例44]
所述應用例的取向膜形成方法的特徵在於，由所述噴嘴組組成的噴嘴 構成體形成為所述基板的寬度以上的長度。
根據該連續膜形成方法，操作者向一方向移動基板，由噴嘴組噴出液 晶取向膜形成用組成物，由此，能夠在塗敷液晶取向膜形成用組成物的預 定區域進行塗敷。此時，噴出裝置能夠向噴嘴排列的方向移動噴嘴組，且 不改行地向基板塗敷液晶取向膜形成用組成物。因此，能夠防止因基板或 噴嘴組改行導致的筋狀條紋的發生。其結果是，能夠形成品質優良的膜。 [應用例45]
所述應用例的取向膜形成方法的特徵在於，所述噴嘴組形成於液滴噴 出頭，所述液滴噴出頭在所述頭組件中交錯狀配置。
根據該取向膜形成方法，液滴噴出頭交替排列形成兩列。設該排列為 第一排列和第二排列。而且，可將同一線上第一排列的液滴噴出頭和第二 排列的液滴噴出頭噴出的時間間隔設為短的間隔。此時，第一排列的液滴 噴出頭塗敷後的液晶取向膜形成用組成物和第二排列的液滴噴出頭塗敷 後的液晶取向膜形成用組成物混合。其結果是，在第一排列的液滴噴出頭 塗敷後的液晶取向膜形成用組成物形成的膜和第二排列的液滴噴出頭塗 敷後的液晶取向膜形成用組成物形成的膜相鄰的部位，能夠成為膜厚離散 少的膜。
所述應用例的液晶顯示裝置的形成方法的特徵在於，將所述液晶取向 膜形成用組成物換成電極形成材料，將取向膜形成工序換成電極形成工 序，形成電極膜。根據該液晶顯示裝置的形成方法，由於被塗敷後的電極形成材料的膜 厚被平均化，所以能夠減小電極膜的膜厚的離散。 [應用例47]
所述應用例的液晶顯示裝置的形成方法的特徵在於，在所述分類工序 中，利用最小二乘法，對所述分布運算一次近似式，並將所述第一端部側 和所述第二端部側的所述噴出量進行比較。
根據該液晶顯示裝置的形成方法，利用最小二乘法運算噴出量分布的 一次近似式。最小二乘法能夠高精度地運算一次近似式，因此能夠高精度 對第一端部和第二端部的噴出量進行比較。 [應用例48]
所述應用例的液晶顯示裝置的形成方法的特徵在於，在所述分類工序 中，對從所述第一端部側的多個所述噴嘴噴出的所述噴出量和從所述第二 端部側的多個所述噴嘴噴出的所述噴出量進行比較。
根據該液晶顯示裝置的形成方法，由於該運算為簡便的方法，所以能 夠在短時間內結束運算。其結果是，能夠生產性良好地進行分類。
所述應用例的液晶顯示裝置的形成方法的特徵在於，所述噴嘴組中所 述第一端部側和所述第二端部側對稱形成，所述第二噴嘴組將所述第一端 部側和所述第二端部側進行更換，作為所述第一噴嘴組使用，或者，所述 第一噴嘴組將所述第一端部側和所述第二端部側進行更換，作為所述第二 噴嘴組使用。
根據該液晶顯示裝置的形成方法，能夠將第一噴嘴組和第二噴嘴組混 合的液滴噴出頭全部作為由第一噴嘴組構成的第一噴嘴構成體。同樣，能 夠將液滴噴出頭全部作為由第二噴嘴組構成的第二噴嘴構成體。其結果 是，能夠簡便地形成第一噴嘴構成體或第二噴嘴構成體。
所述應用例的液晶顯示裝置的形成方法的特徵在於，所述噴嘴組在液 滴噴出頭上形成，所述液滴噴出頭在頭組件配置多個，在更換所述液滴噴 出頭時，按每個所述頭組件進行更換。
根據該液晶顯示裝置的形成方法，在更換所述液滴噴出頭時，按每個頭組件進行更換。因此，與對每一個液滴噴出頭進行更換的方法相比，能 夠以少的次數更換液滴噴出頭，故能夠生產性良好地更換液滴噴出頭。其 結果是，能夠生產性良好地進行維護。 [應用例51]
所述應用例的液晶顯示裝置的形成方法的特徵在於，由所述噴嘴組組 成的噴嘴構成體形成為所述基板的寬度以上的長度。
根據該液晶顯示裝置的形成方法，操作者向一方向移動基板，由噴嘴 組噴出液晶取向膜形成用組成物或電極形成材料，由此能夠在塗敷液晶取 向膜形成用組成物或電極形成材料的預定區域進行塗敷。此時，噴出裝置 能夠使噴嘴組向排列噴嘴的方向移動且不改行地向基板塗敷液狀體。因 此，能夠防止因使基板或噴嘴組改行導致的筋狀條紋的發生。其結果是， 能夠形成品質優良的膜。 [應用例52]
所述應用例的液晶顯示裝置的形成方法的特徵在於，所述噴嘴組形成 於液滴噴出頭，所述液滴噴出頭在所述頭組件中交錯狀配置。
根據該液晶顯示裝置的形成方法，液滴噴出頭交替排列形成兩列。設 該排列為第一排列和第二排列。而且，能夠將同一線上第一排列的液滴噴 出頭和第二排列的液滴噴出頭噴出的時間間隔設為短的間隔。此時，第一 排列的液滴噴出頭塗敷後的液晶取向膜形成用組成物或電極形成材料和 第二排列的液滴噴出頭塗敷後的液晶取向膜形成用組成物或電極形成材 料混合。其結果是，在第一排列的液滴噴出頭塗敷後的液晶取向膜形成用 組成物或電極形成材料形成的膜和第二排列的液滴噴出頭塗敷後的液晶 取向膜形成用組成物或電極形成材料形成的膜相鄰的部位，能夠成為膜厚 離散少的膜。
所述應用例的液滴噴出裝置的特徵在於，所述噴嘴組中所述第一端部 側和所述第二端部側對稱形成，所述第二噴嘴組將所述第一端部側和所述 第二端部側迸行更換，作為所述第一噴嘴組使用，或者，所述第一噴嘴組 將所述第一端部側和所述第二端部側進行更換，作為所述第二噴嘴組使 用。根據該液滴噴出裝置，能夠將第一噴嘴組和第二噴嘴組混合的液滴噴 出頭全部作為由第一噴嘴組組成的第一噴嘴構成體。同樣，能夠將液滴噴 出頭全部作為由第二噴嘴組組成的第二噴嘴構成體。其結果是，能夠簡便 地形成第一噴嘴構成體或第二噴嘴構成體。 [應用例54]
所述應用例的液滴噴出裝置的特徵在於，所述噴嘴組形成於液滴噴出 頭，所述液滴噴出頭在頭組件配置多個，在更換所述液滴噴出頭時，按每 個所述頭組件進行更換。
根據該液滴噴出裝置，在更換液滴噴出頭時，按每個頭組件進行更換。 因此，與對每一個液滴噴出頭進行更換的方法相比，能夠以少的次數更換 液滴噴出頭，因此能夠生產性良好地更換液滴噴出頭。其結果是，能夠生 產性良好地進行維護。 [應用例55]
所述應用例的液滴噴出裝置的特徵在於，由所述噴嘴組組成的噴嘴構 成體形成為工件的寬度以上的長度。
根據該液滴噴出裝置，操作者向一方向移動工件，由噴嘴組噴出液狀 體，由此能夠在塗敷液狀體的預定區域進行塗敷。此時，噴出裝置能夠使 噴嘴組向噴嘴排列的方向移動，且不改行地向工件塗敷液狀體。因此，能 夠防止因使工件或噴嘴組改行導致的筋狀條紋的發生。其結果是，能夠品 質優良地形成膜。
所述應用例的液滴噴出裝置的特徵在於，所述噴嘴組形成於液滴噴出 頭，所述液滴噴出頭在所述頭組件中交錯狀配置。
根據該液滴噴出裝置，液滴噴出頭交替排列形成兩列。設該排列為第 一排列和第二排列。而且，能夠將同一線上第一排列的液滴噴出頭和第二 排列的液滴噴出頭噴出的時間間隔設為短的間隔。此時，第一排列的液滴 噴出頭塗敷後的液狀體和第二排列的液滴噴出頭塗敷後的液狀體混合。其 結果是，在第一排列的液滴噴出頭塗敷後的液狀體形成的膜和第二排列的 液滴噴出頭塗敷後的液狀體形成的膜相鄰的部位，能夠成為膜厚離散少的 膜。


圖1是表示第一實施方式的液滴噴出裝置的構成的概略立體圖； 圖2的(a)是表示滑架的示意俯視圖，(b)是表示滑架的示意側視 圖，(c)是用於說明液滴噴出頭結構的主要部分的示意截面圖； 圖3是液滴噴出裝置的電控制方框圖4是表示通過向基板噴出並塗敷液滴而形成連續膜的製造工序的流 程圖5是用於說明測定液滴噴出頭的噴出量的工序的圖； 圖6是表示噴出量的分布的曲線圖7的(a)是說明噴嘴構成工序的圖，(b)是說明噴出工序的圖； 圖8的(a) (c)是表示塗敷於基板上的功能液的塗敷量的分布圖， (d)是表示乾燥裝置的示意圖9是說明比較例的噴出方法的圖IO是表示與第二實施方式的噴出量的分布近似的近似線的曲線圖； 圖11是表示與第三實施方式的噴出量的分布近似的近似線的曲線圖； 圖12是表示與第四實施方式的噴出量的分布近似的近似線的曲線圖； 圖13是表示第五實施方式的噴出量的分布的曲線圖14的(a)是表示第六實施方式的液滴噴出頭構成的概略立體圖， (b)是表示液滴噴出頭的示意俯視圖，(c)是表示液滴噴出頭的示意側 視圖15是表示第七實施方式的液滴噴出裝置構成的概略立體圖16是表示第八實施方式的液滴噴出裝置結構的概略分解立體圖17是表示個人計算機的概略立體圖。

1、 105液滴噴出裝置 7作為工件的基板 14、 94 液滴噴出頭 Me第一端部 14f第二端部26噴嘴
34、 108 頭組件
34a第一噴嘴構成體
34b第三噴嘴構成體
34c第四噴嘴構成體
34d第六噴嘴構成體
88連續膜
120液晶顯示裝置
128、 137 基板
143作為電極膜的對置電極
150作為電子設備的個人計算機
具體實施例方式
下面，參照附圖對實施方式進行說明。
另外，為了將各附圖的各構件設成在各附圖上能夠識別的程度的大 小，使每個構件縮小不同的比例進行圖示。 (第一實施方式)
參照圖1 9，對本實施方式中的液滴噴出裝置和使用該液滴噴出裝置 將液狀體變成液滴噴出時的特徵的例子進行說明。 (液滴噴出裝置)
首先，參照圖1 圖3，對向工件噴出並塗敷液滴的液滴噴出裝置1 進行說明。關於液滴噴出裝置具有各種各樣種類的裝置，但優選使用噴墨 法的裝置。噴墨法能夠噴出微小的液滴，因此適於微細加工。
圖1是表示液滴噴出裝置構成的概略立體圖。通過液滴噴出裝置1噴 出並塗敷功能液。如圖1所示，液滴噴出裝置1具有形成為正方體形狀的 基臺2。在本實施方式中，設該基臺2的長度方向為Y方向，設與該Y方 向正交的方向為X方向。
在基臺2的上表面2a上，在Y方向上延伸的一對導軌3a、 3b在該Y 方向的整個寬度上凸設。在該基臺2的上側，安裝有構成掃描裝置的作為 工作檯的載物臺4，該掃描裝置具備與導軌3a、 3b對應的未圖示的直動機構。該載物臺4的直動機構例如為螺紋式直動機構，該螺紋式直動機構具
備沿導軌3a、 3b在Y方向上延伸的螺紋軸(驅動軸)、和與該螺紋軸進行
螺合的滾珠螺母，該驅動軸接收規定的脈衝信號，與以步進單位正反旋轉
的Y軸電動機(未圖示)連結。而且，當相當於規定步進數的驅動信號輸 入到Y軸電動機時，Y軸電動機進行正轉或反轉，載物臺4沿Y方向以 規定的速度進行相當於同步進數的量的往動或復動(在Y方向上進行掃 描)。
另外，在基臺2的上表面2a上，還配置有與導軌3a、 3b平行的主掃 描位置檢測裝置5，其能夠計測載物臺4的位置。
在該載物臺4的上表面形成有載置面6，在該載置面6設有未圖示的 吸引式基板夾持機構。而且，當在載置面6上載置作為工件的基板7時， 通過基板夾持機構，將該基板7定位固定在載置面6的規定位置。
在基臺2的X方向兩側立設有一對支持臺8a、 8b，在該一對支持臺 8a、 8b上架設有沿Y方向延伸的導向構件9。
在導向構件9的上側配設有可供給並收容噴出的液體的收容箱10。另 一方面，在該導向構件9的下側，遍及X方向的整個寬度凸設有沿X方 向延伸的導軌11。
沿導軌11可移動地配設滑架12。該滑架12由第一滑架12a 第三滑 架12c的三個滑架構成，各滑架12a 12c形成底面為大致平行四邊形的稜 柱形狀。該各滑架12a 12c具備直動機構，能夠分別移動。該直動機構 為與載物臺4具備的直動機構相同的螺紋式直動機構。該直動機構具備螺 紋軸(驅動軸)、與該螺紋軸螺合的滾珠螺母、和驅動該滾珠螺母的步進 式的未圖示的X軸電動機。而且，當將相當於規定步進數的驅動信號輸入 到X軸電動機時，X軸電動機進行正轉或反轉，滑架12沿X方向進行相 當於該步進數的量的往動或復動(在X方向上進行掃描)。在導向構件9 和滑架12之間，配置有副掃描位置檢測裝置13，其能夠計測各滑架12a 12c的位置。而且，在滑架12的下表面(載物臺4一側的面)凸設有液滴 噴出頭14。 '
在基臺2的上側，即載物臺4一方(圖中右側)的附近，配置有清洗 組件15。清洗組件15由維護載物臺16、配置於維護載物臺16上的第一衝洗組件17、第二衝洗組件18、壓蓋組件19、摩擦接觸組件20、重量測
定裝置21等維護裝置構成。
維護載物臺16位於導軌3a、 3b上，具備與載物,臺4相同的直動機構。 而且，利用主掃描位置檢測裝置5檢測位置，且通過直動機構進行移動， 由此能夠使維護載物臺16移動到所希望的部位並停止。另外，使維護載 物臺16沿導軌3a、 3b移動，由此在與液滴噴出頭14對置的部位配置第 一衝洗組件17、第二衝洗組件18、壓蓋組件19、摩擦接觸組件20、重量 測定裝置21中的任一個裝置。
在對液滴噴出頭14內的流路進行清洗時，第一衝洗組件17及第二衝 洗組件18為接收從液滴噴出頭14噴出的液滴的裝置。在液滴噴出頭14 內的功能液揮發時，功能液的粘度變高，因此液滴噴出頭14難以噴出功 能液。這種情況下，為了從液滴噴出頭14排出粘度提高後的功能液，液 滴噴出裝置1從液滴噴出頭14噴出液滴進行清洗。第一衝洗組件17及第 二衝洗組件18發揮接收該液滴的功能。
壓蓋組件19為具有蓋住液滴噴出頭14的功能和吸引液滴噴出頭14 的功能液的功能的裝置。從液滴噴出頭14噴出的液滴有時具有揮發性。 另外，在存儲於液滴噴出頭14的功能液的溶劑從噴嘴揮發時，有時因功 能液的粘度變化而堵塞噴嘴。通過在液滴噴出頭14上加蓋，壓蓋組件19 防止噴嘴堵塞。
還有，在固體物混入液滴噴出頭14的內部而不能噴出液滴時，吸引 並除去液滴噴出頭14內部的功能液和固體物。從而消除噴嘴的堵塞。
摩擦接觸組件20為擦拭配置有液滴噴出頭14的噴嘴的噴嘴板的裝 置。噴嘴板為在液滴噴出頭14中配置於與基板7對置的一側面的構件。 在噴嘴板上附著有液滴時，附著於噴嘴板上的液滴和基板7發生接觸，往 往在基板7預定之外的部位附著上液滴。
而且，在噴嘴周邊附著有液滴時，附著於噴嘴板上的液滴和噴出的液 滴發生接觸，導致噴出液滴的軌道發生彎曲。往往造成塗敷的部位與塗敷 預定部位不同。通過摩擦接觸組件20擦拭噴嘴板，防止液滴附著在基板7 的預定之外的部位。
在重量測定裝置21上交錯狀設置四臺電子天平，在各電子天平上配置有託盤。而且，液滴從液滴噴出頭14向託盤噴出，電子天平測定液滴 的重量。託盤具備海綿狀的吸收體，噴出的液滴發生跳躍，但濺不到託盤 之外。該電子天平在液滴噴出頭14噴出液滴的前後，測定託盤的重量。 而且，重量測定裝置21運算託盤在噴出前後的重量的差值，由此能夠測 定噴出的液滴的重量。
在重量測定裝置21的兩側配置有第一衝洗組件17和第二衝洗組件 18。而且，在對從一部分液滴噴出頭14噴出的噴出量進行測定的期間， 能夠使其他的液滴噴出頭14位於與第一衝洗組件17或第二衝洗組件18 對置的部位，並噴出液滴。
圖2 (a)是表示滑架的示意俯視圖。如圖2 (a)所示，在一個滑架 12上交錯狀配置有四個液滴噴出頭14。將該液滴噴出頭14從左側起依次 設為第一液滴噴出頭14a 第四液滴噴出頭14d。而且，設液滴噴出頭14 左側的端部為第一端部14e，設液滴噴出頭14右側的端部為第二端部14f。 而且，在液滴噴出頭14的表面配置有噴嘴板25，在噴嘴板25上形成有多 個噴嘴26。只要噴嘴26的數量設定為與噴出的圖案和基板7的大小匹配 即可。本實施方式中，例如在1個噴嘴板25上形成一列噴嘴26的排列， 15個噴嘴26從第一端部14e到第二端部14f排列一列形成。
形成於第二液滴噴出頭14b和第四液滴噴出頭14d的噴嘴26排列在 同一線上，設該排列為第一排列26a。同樣，形成於第一液滴噴出頭14a 和第三液滴噴出頭14c的噴嘴26排列在同一線上，設該排列為第二排列 26b。此時，第一排列26a和第二排列26b配置在近的部位。在基板7沿Y 方向前進時，從第一排列26a的噴嘴26噴出液滴後，從第二排列26b的 噴嘴26噴出液滴，由此能夠相同直線狀地塗敷液滴。而且，在由第一排 列26a的噴嘴26噴出的液滴乾燥前，從第二排列26b的噴嘴26噴出來的 液滴噴落。而且，以從第一排列26a的噴嘴26噴出來的液滴和從第二排 列26b的噴嘴26噴出來液滴混合的方式進行塗敷。
圖2 (b)是表示滑架的示意側視圖，是從Y方向看到的圖2 (a)所 示的滑架的圖。如圖2 (b)所示，滑架12具備基板27。在基板27的上 側配置有移動機構28，且收納有用於使滑架12沿導軌11移動的機構。
在基板27的下側，通過支承部29配置有驅動電路基板30。而且，在驅動電路基板30的下側配置有頭驅動電路31。另外，在基板27上，通過
支承部32配置有頭安裝板33，在頭安裝板33的下表面配置有液滴噴出頭 14。由頭安裝板33和液滴噴出頭14等構成頭組件34。頭驅動電路31和 液滴噴出頭14通過未圖示的電纜連接，頭驅動電路31輸出的驅動信號輸 入到液滴噴出頭14。
在基板27的下側配置有供給裝置35，在收容箱10和供給裝置35之 間以及供給裝置35和液滴噴出頭14之間通過未圖示的管連接。而且，由 收容箱10供給的功能液通過管從供給裝置35向液滴噴出頭14供給。
圖2 (c)是用於說明液滴噴出頭結構的主要部分的示意截面圖。如圖 2 (c)所示，液滴噴出頭14具備噴嘴板25，在噴嘴板25上形成有噴嘴 26。在噴嘴板25的上側即與噴嘴26相對的位置形成有與噴嘴26連通的 空腔36。另外，貯存於收容箱10的作為液狀體的功能液37向液滴噴出頭 14的空腔36供給。
在空腔36的上側配設有上下方向(Z方向)振動且擴大縮小空腔36 內的容積的振動板38、和上下方向伸縮且使振動板38振動的壓電元件39。 壓電元件39在上下方向伸縮，對振動板38進行加壓使其振動，振動板38 擴大縮小空腔36內的容積，從而加壓空腔36。由此，空腔36內的壓力發 生變化，供給到空腔36內的功能液37通過噴嘴26噴出。
另外，當液滴噴出頭14接收用於制動驅動壓電元件39的噴嘴驅動信 號時，壓電元件39伸展，振動板38縮小空腔36內的容積。其結果是， 縮小了的容積部分的功能液37作為液滴40從液滴噴出頭14的噴嘴26噴 出。
圖3是液滴噴出裝置的電控制方框圖。圖3中，液滴噴出裝置1具 有作為信息處理機進行各種運算處理的CPU (運算處理裝置)43和儲存 各種信息的存儲器44。
主掃描驅動裝置45、副掃描驅動裝置46、主掃描位置檢測裝置5、副 掃描位置檢測裝置13、驅動液滴噴出頭14的驅動電路31通過輸入輸出接 口 47及數據總線48與CPU43連接。另外，輸入裝置49、顯示裝置50、 重量測定裝置21、第一衝洗組件17、第二衝洗組件18、壓蓋組件19、摩 擦接觸組件20也通過輸入輸出接口 47及數據總線48與CPU43連接。同樣，清洗組件15中，驅動維護載物臺16的維護載物臺驅動裝置51以及 檢測維護載物臺16的位置的主掃描位置檢測裝置5也通過輸入輸出接口
47及數據總線48與CPU43連接。
主掃描驅動裝置45為控制載物臺4移動的裝置，副掃描驅動裝置46 為控制滑架12移動的裝置。通過主掃描位置檢測裝置5識別載物臺4的 位置，主掃描驅動裝置45控制載物臺4的移動，由此能夠使載物臺4移 動及停止在所希望的位置。同樣，通過副掃描位置檢測裝置13識別滑架 12的位置，副掃描驅動裝置46控制滑架12的移動，由此能夠使滑架12 移動及停止在所希望的位置。
輸入裝置49為輸入噴出液滴40的各種加工條件的裝置，例如，為由 未圖示的外部裝置接收並輸入向基板7噴出液滴40的座標的裝置。顯示 裝置50為顯示加工條件或作業狀況的裝置，操作者根據顯示裝置50所顯 示的信息，使用輸入裝置49進行操作。
重量測定裝置21具備電子天平及託盤，為測定液滴噴出頭14噴出的 液滴40和接收液滴40的託盤的重量的裝置。重量測定裝置21測定噴出 液滴40前後的託盤的重量，並將測定值發送給CPU43。
維護載物臺驅動裝置51為從第一衝洗組件17、第二衝洗組件18、壓 蓋組件19、摩擦接觸組件20、重量測定裝置21中選擇一種裝置，移動維 護載物臺16使之位於與液滴噴出頭14對置的位置。另外，在主掃描位置 檢測裝置5檢測出維護載物臺16的位置後，維護載物臺驅動裝置51移動 維護載物臺16，由此能夠可靠地將所希望的裝置或組件移動到與液滴噴出 頭14對置的位置。
存儲器44為包含RAM、 ROM等這樣的半導體存儲器、硬碟、CD — ROM這樣的外部儲存裝置的概念。功能上設定儲存程序軟體52的儲存區 域，該程序軟體52記述了液滴噴出裝置1的動作的控制順序。而且，也 設定用於儲存基板7內的噴出位置的座標數據即噴出位置數據53的儲存 區域。
除此之外，也設定在測定從噴嘴26噴出的液滴40的重量時，用於儲 存驅動壓電元件39的測定用驅動數據54的儲存區域。另外，也設定用於 儲存重量測定裝置21測定出的重量測定數據55的儲存區域。還設定用於儲存使基板7向主掃描方向(Y方向)移動的主掃描移動量和使滑架12 向副掃描方向(X方向)移動的副掃描移動量的儲存區域、及作為用於
CPU43的工作區或作為臨時文件等起作用的儲存區域及其他各種的儲存區域。
CPU43按照儲存於存儲器44內的程序軟體52，進行用於在基板7的 表面的規定位置使功能液變成液滴40並噴出的控制。作為具體的功能實 現部，具有重量測定運算部56，該重量測定運算部56用於進行實現重量 測定的運算。另外，還具有清洗運算部57，該清洗運算部57運算清洗液 滴噴出頭14的時刻。
除此之外，還具有進行用於使液滴噴出頭14噴出液滴40的運算的噴 出運算部58等。如果將噴出運算部58詳細地分割，則噴出運算部58具 有主掃描控制運算部59，該主掃描控制運算部59對用於使基板7以規定 的速度向主掃描方向(Y方向)掃描移動的控制進行運算。另外，噴出運 算部58具有副掃描控制運算部60，該副掃描控制運算部60對用於使液滴 噴出頭14以規定的副掃描移動量向副掃描方向(X方向)移動的控制進 行運算。噴出運算部58還具有噴出控制運算部61等這樣的各種功能運算 部，該噴出控制運算部61等對用於控制使液滴噴出頭14內多個噴嘴中的 哪一個噴嘴進行動作噴出功能液進行運算。 (噴出方法)
接著，參照圖4 9，對使用上述的液滴噴出裝置1向基板7噴出功能 液並進行塗敷，由此形成連續膜的噴出方法進行說明。圖4是表示向基板 噴出液滴進行塗敷形成連續膜的製造工序的流程圖。圖5 9是說明使用 液滴噴出裝置的噴出方法的圖。
步驟Sl相當於分布運算工序，測定液滴噴出頭的每個噴嘴的噴出量。 而且為運算噴嘴列的噴出量的分布的工序。接著，過渡到步驟S2。步驟 S2相當於分類工序，為以相對於噴嘴列的噴出量的分布為基礎，將液滴噴 出頭進行分類的工序。接著，過渡到步驟S3。步驟S3相當於噴嘴構成工 序，為使用分類後的液滴噴出頭形成頭組件的工序。接著，過渡到步驟S4。 步驟S4相當於頭配置工序，為將頭組件配置在液滴噴出裝置的工序。接 著，過渡到步驟S5。步驟S5相當於噴出工序，為向基板噴出液滴的工序。接著，過渡到步驟S6。步驟S6相當於平坦化工序，為使通過步驟S5塗
敷後的功能液在變平坦之前待機的工序。接著，過渡到步驟S7。步驟S7
相當於固化工序，為使塗敷後的功能液乾燥從而固化的工序。通過上述， 向基板噴出功能液並進行塗敷，由此形成連續膜的製造工序結束。
接著，參照圖5 圖8，對與圖4所示的步驟相對應，對從液滴噴出 頭噴出而形成膜厚離散小的連續膜的製造方法進行詳細說明。圖5及圖6 是與步驟Sl相對應的圖，圖5是用於說明測定液滴噴出頭的噴出量的工 序的圖。另外，圖6是表示噴出量分布的曲線圖。如圖5所示，重量測定 裝置21具備電子天平64，在電子天平64的上側配置有託盤65。在託盤 65的上部配置有吸收體66，在從液滴噴出頭14噴出來的液滴40通過吸 收體66後，功能液37積存於託盤65的內部。在滑架12上配置有四個液 滴噴出頭14，在維護載物臺16上配置有四個重量測定裝置21。另外，圖 5是為易於理解而簡略記載的圖，記載有每一個液滴噴出頭14及重量測定 裝置21。
通過使滑架12和維護載物臺16工作，噴出運算部58將液滴噴出頭 14及託盤65移動到液滴噴出頭14與託盤65對置的位置。電子天平64 測定託盤65的重量。接著，由一個噴嘴26進行規定次數的噴出。只要設 定相當於電子天平64能夠高精度地測定的噴出量的噴出次數即可，例如， 本實施方式採用了 100次。
接著，電子天平64測定託盤65的重量。而且，在運算出了噴出前託 盤65的重量和噴出後託盤65的重量的差值後，以噴出次數除該運算值， 由此算出每次的噴出量。對液滴噴出頭14全部的噴嘴26依次進行液滴40 的噴出和運算。由於在一個維護載物臺16上配置有四個重量測定裝置21， 所以同時測定並運算四個液滴噴出頭14的各噴嘴26的噴出量。
圖6 (a) 圖6 (c)表示噴出量的分布。圖6 (a) 圖6 (c)中， 縱軸表示噴出量69，上側比下側噴出量大。橫軸利用噴嘴編號表示噴嘴位 置70。噴嘴編號從第一端部14e側向第二端部Mf側進行編號。圖6 (a) 中，描繪了相對於1號 15號的各噴嘴位置70的噴出量69的測定值71。 另外，重量測定運算部56運算相對於測定值71的一次近似式。在該運算 中，使用最小二乘法。而且，運算出的一次近似式表示的線為近似式線72。在1號 4號的噴嘴位置70， 1號側的噴嘴位置70 —方噴出量大。另
外，在5號 15號的噴嘴位置70， 15號側的噴嘴位置70—方噴出量大。 因此，近似式線72通過右上的直線表示。
圖6 (b)表示噴出量69的分布大致左右對稱的例子。此時，運算出 的一次近似式表示的線為近似式線72。噴出量69的分布大致左右對稱， 因此近似式線72為與橫軸大致平行的直線。
圖6 (c)表示左側的噴出量69大的分布的例子。在1號 11號的噴 嘴位置70， 1號側的噴嘴位置70 —方噴出量大。另外，在12號 15號的 噴嘴位置70， 15號側的噴嘴位置70 —方噴出量大。因此，近似式線72 通過左上的直線表示。
將圖6 (a) 圖6 (c)所示的噴出量69分布的類型分類成第一噴嘴 組 第三噴嘴組。在噴出量69的分布中，第一噴嘴組的液滴噴出頭14為 第二端部14f側的噴出量69比第一端部14e側大的液滴噴出頭14。第一 噴嘴組相當於圖6 (a)的分布的液滴噴出頭14。第二噴嘴組的液滴噴出 頭14為第一端部14e側的噴出量69比第二端部14f側大的液滴噴出頭14。 第二噴嘴組相當於圖6 (c)的分布的液滴噴出頭14。第三噴嘴組的液滴 噴出頭14為第二端部14f側與第一端部14e側的噴出量69大致同量的液 滴噴出頭14。第三噴嘴組相當於圖6 (b)的分布的液滴噴出頭14。
在步驟S2中，將液滴噴出頭14分類成第一噴嘴組 第三噴嘴組。此 時，利用近似式72的傾斜度進行分類。在分類為第一噴嘴組 第三噴嘴 組時，預先確定近似式72的傾斜度的閾值。設分類為第一噴嘴組和第三 噴嘴組的閾值為第一閾值，設分類為第二噴嘴組和第三噴嘴組的閾值為第 二閾值。而且，將各液滴噴出頭14的近似式線72的傾斜度與閾值進行比 較，將近似式72的傾斜度比第一閾值大的液滴噴出頭14分類為第一噴嘴 組。同樣，將近似式線72的傾斜度比第二閾值小的液滴噴出頭14分類為 第二噴嘴組，將近似式線72的傾斜度為第一閾值和第二閾值之間的液滴 噴出頭14分類成第三噴嘴組。
圖7 (a)是與步驟S3相對應的圖，是說明噴嘴構成工序的圖。操作 人員排列屬於第一噴嘴組的液滴噴出頭14，配置在圖2 (b)所示的頭安 裝板33上。設通過屬於第一噴嘴組的液滴噴出頭14構成的頭組件34為第一噴嘴構成體34a。圖7 (a)中，縱軸表示噴出量69，上側比下側噴出 量大。橫軸表示噴嘴位置70，右側為X方向。另外，第一液滴噴出頭14a 第四液滴噴出頭14d的近似式線72用右上的直線表示。此時，近似式線 72在第一液滴噴出頭14a和第二液滴噴出頭14b之間產生噴出量69的差。 同樣，近似式線72在第二液滴噴出頭14b和第三液滴噴出頭14c之間以 及第三液滴噴出頭14c和第四液滴噴出頭14d之間產生噴出量69的差。 即，近似式線72形成為鋸齒狀的形狀。
在步驟S4中，如圖2 (b)所示，操作人員將配置有液滴噴出頭14 的頭安裝板33配置在滑架12上。然後，供給功能液37的管以及傳遞驅 動壓電元件39的驅動信號的電纜與液滴噴出頭14連接。
圖7 (b)是與步驟S5相對應的圖，是說明噴出工序的圖。如圖7 (b) 所示，噴出運算部58通過使滑架12和載物臺4相對移動，使液滴噴出頭 14移動到與基板7對置的部位。接著，噴出運算部58—邊在載物臺4上 掃描， 一邊從液滴噴出頭14噴出液滴，從而在基板7上塗敷功能液。
圖8 (a) 圖8 (c)是與步驟S6相對應的圖，是表示塗敷於基板7 上的功能液37的塗敷量的分布圖。縱軸表示塗敷量73，上側比下側塗敷 量73大。橫軸表示基板的X方向的位置74。另外，分布曲線75 分布曲 線77表示相對於X方向位置74的塗敷量73的分布。
圖8 (a)的分布曲線75表示在基板7上塗敷功能液37之後的分布。 另外，圖8 (b)的分布曲線76表示塗敷功能液37且暫時經過一段時間後 的分布。圖8 (c)的分布曲線77還表示經過一段時間後的分布。
如圖8 (a)所示，在分布曲線75上形成有凸部75a和凹部75b。而 且凸部75a和凹部75b鄰接，因此，凸部75a的功能液通過功能液37的 重力以及表面張力的作用向凹部75b流動。
如圖8 (b)所示，其結果是，分布曲線76上的凸部76a及凹部76b 的塗敷量73的差變小。另外，當進一步經過一段時間時，如圖8 (c)所 示，分布曲線77上的凸部77a及凹部77b的塗敷量73的差變小。
圖8 (d)是與步驟S7相對應的圖，是表示乾燥裝置的示意圖。如圖 8 (d)所示，操作人員將基板7配置在乾燥裝置78的內部。乾燥裝置78 具備上側開放的矩形主體部79。在主體部79的內部通過支承部80配置載置臺81，在載置臺81的上面配置基板7。在主體部79的上側具備通過合
頁82能夠開閉配置的蓋部83，通過主體部79及蓋部83形成空間84。在 蓋部83上形成有把手85，操作人員利用把手85能夠開閉蓋部83。
在蓋部83上形成有供給口 86，供給口 86與未圖示的乾燥氣體供給裝 置連接。在主體部79上形成有排氣口 87。另外，乾燥氣體供給裝置通過 供給口 86向空間84內供給對溫度、溼度、氣壓進行控制後的氣體。供給 來的氣體使基板7在空間84內乾燥後，從排氣口 87排出。塗敷在基板7 上的功能液37在空間84內進行乾燥，由此固化並形成連續膜88。通過以 上的工序，通過向基板噴出功能液並進行塗敷，由此形成連續膜88的制 造工序結束。 (比較例)
下面，對交替配置第一噴嘴組和第二噴嘴組的液滴噴出頭14並塗敷 功能液37時的塗敷量73的變化進行說明。圖9 (a)表示在第一液滴噴出 頭14a及第三液滴噴出頭14c上配置了第一噴嘴組的液滴噴出頭14、在第 二液滴噴出頭14b及第四液滴噴出頭14d上配置了第二噴嘴組的液滴噴出 頭14的例子。
在第一液滴噴出頭14a和第二液滴噴出頭14b相鄰的部位以及第三液 滴噴出頭14c和第四液滴噴出頭14d相鄰的部位，配置有液滴噴出頭14， 以使噴出量69增大。而且，在第二液滴噴出頭14b和第三液滴噴出頭14c 相鄰的部位，配置有液滴噴出頭14，以使噴出量69減小。
圖9 (a)的分布曲線89表示使用這樣配置的液滴噴出頭14，通過步 驟S5在基板7上塗敷功能液37時的塗敷量73的分布。而且，圖9 (c) 的分布曲線90表示塗敷功能液37且經過短暫時間後的分布。
如圖9 (b)所示，分布曲線89上形成有凸部89a和凹部89b。而且， 凸部89a和凹部89b分離，因此功能液37的重力及表面張力的作用不容 易影響到凸部89a及凹部89b。其結果是，如圖9 (c)所示，在塗敷功能 液37且經過短暫時間後，分布曲線90也難於變平坦。
如上所述，根據本實施方式，具有以下的效果。 (1)根據本實施方式，運算噴出量的分布，分類第一噴嘴組 第三 噴嘴組。而且，相鄰第一噴嘴組形成配置有第一噴嘴組的頭組件34，該頭組件34成為第一噴嘴構成體34a。此時，第一噴嘴組的噴出量大的部位和 噴出量小的部位相鄰配置。接著，從第一噴嘴構成體34a的噴嘴26噴出 功能液37。然後，被噴出來的功能液37在基板7上擴散。當噴出量大的 部位和噴出量小的部位相鄰時，功能液37的表面張力起作用，由此，噴 出量大地被塗敷後的功能液37向噴出量小地被塗敷後的部位流動。因此 塗敷後的功能液37的膜厚被平均化，故能夠減小膜厚的離散。
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、zj tR做鬥、頭力也力工、，住歹3求5丄卞，刊州瑕々、一米7玄:iii昇"貝m裡7r 布的一次近似式。由於最小二乘法能夠高精度地運算一次近似式，所以能 夠高精度地對第一端部14e和第二端部14f的噴出量進行比較。
(3)根據本實施方式，在更換液滴噴出頭14時，按每個頭組件進行 更換。因此，與對每個液滴噴出頭14進行更換的方法相比，能夠以少的 次數更換液滴噴出頭14，因此能夠生產性良好地更換液滴噴出頭14。其 結果是，能夠生產性良好地進行維護。
(第二實施方式)
接著，參照圖10，對在本實施方式中利用液滴噴出裝置進行塗敷的特 徵的例子進行說明。圖IO是表示與噴出量的分布近似的近似線的曲線圖。 該實施方式與第一實施方式的不同點在於，代替第二噴嘴組，使用第三噴 嘴組。另外，有關與第一實施方式的相同點，省略其說明。
艮口，在本實施方式中，操作人員在步驟S3中排列屬於第三噴嘴組的 液滴噴出頭14，配置在圖2 (b)所示的頭安裝板33上。設通過屬於第三 噴嘴組的液滴噴出頭14構成的頭組件34為第三噴嘴構成體34b。圖10 中，縱軸表示噴出量69，上側比下側噴出量大。橫軸表示噴嘴位置70， 右側為X方向。另外，第一液滴噴出頭14a 第四液滴噴出頭14d的近似 式線72用大致與橫軸平行的直線表示。此時，近似式線72在第一液滴噴 出頭14a和第二液滴噴出頭14b之間噴出量69的差減小。同樣，近似式 線72在第二液滴噴出頭14b和第三液滴噴出頭14c之間以及第三液滴噴 出頭14c和第四液滴噴出頭14d之間噴出量69的差減小。即，近似式線 72形成為與橫軸大致平行的形狀，從而噴出量69的離散減小。
在步驟S5中，利用該第三噴嘴構成體34b塗敷功能液37。第三噴嘴 構成體34b噴出量離散小地形成，因此利用第三噴嘴構成體34b塗敷後的功能液37的膜厚的離散減小。另外，通過步驟S7固化後的膜的膜厚的離 散也減小。
如上所述，根據本實施方式，具有以下的效果。 (1)根據本實施方式，運算噴出量的分布，分類第三噴嘴組。另外，
相鄰第三構成體34b的第三噴嘴組配置第三噴嘴組。此時，第三噴嘴組的 第一端部14e側的噴出量和第二端部14f側的噴出量大致同量。即，配置 嘖出量大致同量的嘖嘴組。因此，塗敷後的功能液的膜厚成為大致同量的 厚度，故能夠減小膜厚的離散。 (第三實施方式)
接著，參照圖11，對在本實施方式中利用液滴噴出裝置進行塗敷的特 徵的例子進行說明。圖11是表示與噴出量的分布近似的近似線的曲線圖。 該實施方式與第一實施方式的不同點在於，不僅使用第一噴嘴組，還使用 第三噴嘴組。另外，有關與第一實施方式的相同點，省略其說明。
艮口，在本實施方式中，操作人員在步驟S3中排列屬於第一噴嘴組及 第三噴嘴組的液滴噴出頭14，配置在圖2 (b)所示的頭安裝板33上。設 通過屬於第一噴嘴組及第三噴嘴組的液滴噴出頭14構成的頭組件34為第 四噴嘴構成體34c。圖11中，縱軸表示噴出量69，上側比下側噴出量大。 橫軸表示噴嘴位置70，右側為X方向。另外，第一液滴噴出頭14a 第四 液滴噴出頭14d的近似式線72通過右上的直線及與X軸大致平行的直線 構成。此時，近似式線72有時在第一液滴噴出頭14a 第四液滴噴出頭 14d的各液滴噴出頭之間產生噴出量69的差。
在步驟S5中，利用該第四噴嘴構成體34c塗敷功能液37。有時在第 四噴嘴構成體34c中第一噴嘴組的液滴噴出頭14和第一噴嘴組的液滴噴 出頭14相鄰配置。此時，與第一實施方式相同，在噴出量69大的部位和 小的部位相鄰的部位流動功能液37，因此塗敷量被均勻化。同樣，有時第 一噴嘴組的液滴噴出頭14和第三噴嘴組的液滴噴出頭14相鄰配置。此時， 噴出量69大的部位和噴出量69接近平均的部位相鄰的部位也流動功能液 37，因此塗敷量被均勻化。噴出量69小的部位和噴出量69接近平均的部 位相鄰的部位也流動功能液37，因此塗敷量被均勻化。有時第三噴嘴組的 液滴噴出頭14和第三噴嘴組的液滴噴出頭14相鄰配置。此時，與第二實施方式相同，塗敷量的離散減小。因此，塗敷量被均勻化，故膜厚的離散 減小。而且，通過步驟S7固化後的膜的膜厚的離散也減小。 如上所述，根據本實施方式，具有以下的效果。
(1)根據本實施方式，從第四噴嘴構成體34c的噴嘴26噴出功能液 37。然後，被噴出來的功能液在工件上擴散。配置液滴噴出頭14，以使噴 出量大的部位和噴出量小的部位或噴出量大致中間的部位相鄰。此時，功 能液37的表面張力起作用，由此，噴出量大地被塗敷後的功能液37向噴 出量小地被塗敷後的部位或噴出量接近平均的部位流動。也與利用第四噴 嘴構成體34c進行塗敷的情況一樣，噴出量大地被塗敷後的功能液37向 噴出量小地被塗敷後的部位、或噴出量接近平均的部位流動。因此塗敷後 的功能液37的膜厚被平均化，故能夠減小膜厚的離散。
(第四實施方式)
接著，參照圖12，對本實施方式中利用液滴噴出裝置進行塗敷的特徵 的例子進行說明。圖12是表示與噴出量的分布近似的近似線的曲線圖。 該實施方式與第一實施方式的不同點在於，不僅使用第一噴嘴組，還使用 第二噴嘴組及第三噴嘴組。另外，有關與第一實施方式的相同點，省略其 說明。
艮口，在本實施方式中，操作人員在步驟S3中排列屬於第一噴嘴組、 第二噴嘴組及第三噴嘴組的液滴噴出頭14，配置在圖2 (b)所示的頭安 裝板33上。設通過屬於第一噴嘴組、第二噴嘴組及第三噴嘴組的液滴噴 出頭14構成的頭組件34為第六噴嘴構成體34d。在圖12 (a) 圖12 (c) 中，縱軸表示噴出量69，上側比下側噴出量大。橫軸表示噴嘴位置70， 右側為X方向。
圖12 (a)中，在第一液滴噴出頭14a 第四液滴噴出頭14d的各液 滴噴出頭14上配置屬於第一噴嘴組、第三噴嘴組、第二噴嘴組、第三噴 嘴組的液滴噴出頭14。在利用該第六噴嘴構成體34d進行塗敷時，由於屬 於第一噴嘴組的液滴噴出頭14和屬於第三噴嘴組的液滴噴出頭14相鄰配 置，所以與第三實施方式一樣，塗敷後的功能液37的膜厚被平均化。同 樣，在屬於第二噴嘴組的液滴噴出頭14和屬於第三噴嘴組的液滴噴出頭 14相鄰配置的情況下，也與第三實施方式一樣，塗敷後的功能液37的膜厚被平均化。因此，在利用該第六噴嘴構成體34d進行塗敷時，由於塗敷 量被均勻化，所以膜厚的離散減小。
圖12 (b)中，在第一液滴噴出頭14a 第四液滴噴出頭]4d的各液 滴噴出頭14上配置著屬於第二噴嘴組、第三噴嘴組、第一噴嘴組、第一 噴嘴組的液滴噴出頭14。在利用該第六噴嘴構成體34d進行塗敷時，由於 屬於第一噴嘴組的液滴噴出頭14和屬於第一噴嘴組的液滴噴出頭14相鄰 配置，所以與第一實施方式相同，塗敷後的功能液37的膜厚被平均化。 在屬於第一噴嘴組及第二噴嘴組的液滴噴出頭14和屬於第三噴嘴組的液 滴噴出頭14相鄰配置的情況下，也與第三實施方式一樣，塗敷後的功能 液37的膜厚被平均化。因此，在利用該第六噴嘴構成體34d進行塗敷時，
由於塗敷量被均勻化，所以膜厚的離散減小。
圖12 (c)中，在第一液滴噴出頭14a 第四液滴噴出頭14d的各液 滴噴出頭14上配置著屬於第二噴嘴組、第二噴嘴組、第三噴嘴組、第一 噴嘴組的液滴噴出頭14。在利用該第六噴嘴構成體34d進行塗敷時，屬於 第二噴嘴組的液滴噴出頭14和屬於第二噴嘴組的液滴噴出頭14相鄰配 置。此時也與第一實施方式一樣，塗敷後的功能液37的膜厚被平均化。 在屬於第一噴嘴組及第二噴嘴組的液滴噴出頭14和屬於第三噴嘴組的液 滴噴出頭14相鄰配置的情況下，也與第三實施方式一樣，塗敷後的功能 液37的膜厚被平均化。因此，在利用該第六噴嘴構成體34d進行塗敷時， 由於塗敷量被均勻化，所以膜厚的離散減小。
如上所述，根據本實施方式，具有以下的效果。 (1)根據本實施方式，有時第一噴嘴組彼此的液滴噴出頭14相鄰， 有時第二噴嘴組彼此的液滴噴出頭14相鄰，有時相鄰第三噴嘴組的液滴 噴出頭14配置第一噴嘴或第二噴嘴組的液滴噴出頭14。而且，在進行塗 敷時，噴出量大地被塗敷後的功能液向噴出量小地被塗敷後的部位、或噴 出量大致中間的部位流動。因此塗敷後的功能液的膜厚被平均化，故能夠 減小膜厚的離散。
(第五實施方式)
接著，參照圖13，對本實施方式中利用液滴噴出裝置進行塗敷的特徵 的例子進行說明。圖13是表示與噴出量分布的曲線圖。該實施方式與第一實施方式的不同點在於，代替運算近似式的方法，運算噴出量的積分。 另外，有關與第一實施方式的相同點，省略其說明。
艮P，在本實施方式中，操作人員在步驟S1中測定噴出量的分布。圖
13 (a) 圖13 (c)表示噴出量的分布的例子。在圖13 (a) 圖13 (c) 中，縱軸表示噴出量69，上側比下側噴出量大。橫軸利用噴嘴編號表示噴 嘴位置70。噴嘴編號從第一端部14e側向第二端部14f側進行編號。而且， 描繪相對於嘖嘴編號1號 15號的各噴嘴位置70的噴出量69的測定值 71。設積分相對於噴嘴編號1號 7號的各噴嘴位置的噴出量69的運算值 作為第一積分值91。同樣，設積分相對於噴嘴編號9號 15號的各噴嘴 位置的噴出量69的運算值作為第二積分值92。另外，設從第二積分值92 減去第一積分值91的值為噴出差分指數。
在步驟S2中，在將液滴噴出頭14分類成第一噴嘴組 第三噴嘴組時， CPU43利用噴出差分指數進行分類。圖13 (a)中，由於第二積分值92 比第一積分值91的噴出量69大，所以噴出差分指數為正值。將該液滴噴 出頭14分類為第一噴嘴組。圖13 (b)中，由於第一積分值91和第二積 分值92的噴出量69大致同等，所以噴出差分指數為接近零的值。將該液 滴噴出頭14分類為第三噴嘴組。圖13 (c)中，由於第一積分值91比第 二積分值92的噴出量69大，所以噴出差分指數為負值。將該液滴噴出頭 14分類為第二噴嘴組。
在分類第一噴嘴組 第三噴嘴組時，預先確定噴出差分指數的閾值。 設分類第一噴嘴組和第三噴嘴組的閾值為第一閾值，設分類第二噴嘴組和 第三噴嘴組的閾值為第二閾值。而且，將各液滴噴出頭14的噴出差分指 數與閾值進行比較，將噴出差分指數比第一閾值大的液滴噴出頭14分類 為第一噴嘴組。同樣，將噴出差分指數比第二閾值小的液滴噴出頭14分 類為第二噴嘴組，將噴出差分指數為第一閾值和第二閾值之間的液滴噴出 頭14分類為第三噴嘴組。步驟S3以後的步驟與第一實施方式相同地進行。
如上所述，根據本實施方式，具有以下的效果。 (1)根據本實施方式，運算第一積分值91和第二積分值92。而且， 從第二積分值92減去第一積分值91，由此運算噴出差分指數。其後，利 用噴出差分指數，將液滴噴出頭14分類為第一噴嘴組 第三噴嘴組。由於該運算為簡便的方法，所以能夠在短時間內結束運算。其結果是，能夠 生產性良好地進行分類。 (第六實施方式)
接著，參照圖14，對本實施方式中利用液滴噴出裝置進行塗敷的特徵
的例子進行說明。圖14 (a)是表示液滴噴出頭構成的概略立體圖，圖14 (b)是表示液滴噴出頭的示意俯視圖。圖14 (c)是表示液滴噴出頭的示 葸1則恍閨。該頭她力A與果一頭她力工、H'、J個問後、仕丁， y儀洞吸ffi大i4 Zn 右對稱形成。另外，有關與第一實施方式的相同點，省略其說明。
艮口，圖14 (a)所示，在本實施方式中，液滴噴出頭94具備形成有噴 嘴26的噴嘴板25。在噴嘴板25的下側形成有第一箱95，在第一箱95的 內部形成有圖2 (c)所示的空腔36。在第一箱95的下側形成有第二箱96， 在第二箱的96的內部形成有與空腔36連通的流路和壓電元件39等。在 第二箱96的上面形成有安裝孔96a，在安裝孔96a中形成有內螺紋。
在第二箱96的中段配置有電路基板97，從第二箱96的兩側側面向X 方向延伸形成。在電路基板97的下表面配置有一對接線柱98，接線柱98 和壓電元件39通過形成於電路基板97上的配線電連接。
在第二箱96的下側，突出形成有一對供給口 99。在將未圖示的管與 供給口 99連接後，通過管供給的功能液37通過形成於第二箱96內部的 流路向空腔36供給。而且，液滴噴出頭94在X方向及Y方向左右對稱 形成，並且能夠以Z方向的中心線94a為中心旋轉180度使用。
圖14 (b)及圖14 (c)表示在頭安裝板33上配置有液滴噴出頭94 的狀態。液滴噴出頭94通過第一支承板100及第二支承板101固定在頭 安裝板33上。該液滴噴出頭94、第一支承板IOO、第二支承板101、頭安 裝板33通過螺絲102固定，因此，可以通過拆下螺絲102來拆裝液滴噴 出頭94。在頭安裝板33上形成有孔部33a，孔部33a形成為能夠配置電 路基板97的大小。而且，能夠以中心線94a為中心旋轉180度配置液滴 噴出頭94。
在第一實施方式的步驟S3中，被分類的液滴噴出頭94以中心線94a 為中心旋轉，由此能夠變更噴出量的分布。例如，將第一端部側的l號噴 嘴26和第二端部側的15號噴嘴26進行調換，由此能夠將分類成第一噴嘴組的液滴噴出頭94切換為第二噴嘴組。同樣，能夠將分類成第二噴嘴 組的液滴噴出頭94切換為第一噴嘴組。於是，能夠將第一噴嘴組和第二
噴嘴組混合的液滴噴出頭94集合於第一噴嘴組。之後，可以進行步驟S4 以後的步驟。
如上所述，根據本實施方式，具有以下的效果。 (1)根據本實施方式，能夠將第一噴嘴組和第二噴嘴組混合的液滴
94芏部忭刀田弟一噴嘴組組燭tr、J果一吸嘴^戰1平34a。冋T平，IW及 將液滴噴出頭94全部作為由第二噴嘴組組成的第二噴嘴構成體。其結果 是，能夠簡便地形成第一噴嘴構成體34a或第二噴嘴構成體。 (第七實施方式)
接著，參照圖15，對本實施方式中液滴噴出裝置的特徵的例子進行說 明。圖15是表示液滴噴出裝置構成的概略立體圖。該實施方式與第一實 施方式的不同點在於，液滴噴出頭14遍及基板7的寬度以上的長度配置。 另外，有關與第一實施方式的相同點，省略其說明。
艮口，如圖15所示，本實施方式中，液滴噴出裝置105具備基臺2。而 且，在基臺2的上側配置有可沿Y方向移動的載物臺4。
在基臺2的X方向兩側立設有一對支承臺106a、 106b，在該一對支 承臺106a、 106b上架設有沿X方向延伸的架橋構件107。在架橋構件107 的下側配置有頭組件108，在頭組件108的下表面配置有多個液滴噴出頭 14。該液滴噴出頭14遍及頭組件108的全寬度交錯狀配置。而且，配置 成從液滴噴出頭14噴出並能夠塗敷的寬度比基板7的寬度長。因此，載 物臺4在Y方向上移動，從液滴噴出頭14噴出液滴40，由此能夠在基板 7的整面上塗敷功能液37。
在基臺2的上面配置有可沿Y方向移動的維護載物臺109。而且，在 維護載物臺109的上表面具備由衝洗組件110、重量測定裝置111、壓蓋 組件112、摩擦接觸組件113等構成的清洗組件114。由於該清洗組件114 與液滴噴出頭14對應配置，所以能夠不使液滴噴出頭14在X方向移動地 維護液滴噴出頭14。
如上所述，根據本實施方式，具有以下的效果。 (1)根據本實施方式，液滴噴出裝置105使載物臺4在Y方向上移動，從液滴噴出頭14的噴嘴26噴出功能液37，由此，能夠在塗敷功能液 37的預定區域進行塗敷。因此，液滴噴出裝置105能夠使噴嘴26不在X 方向上移動地在基板7上塗敷功能液37。而且，能夠使基板7或液滴噴出 頭14以少的移動次數在基板7上進行塗敷。其結果是，能夠生產性良好 地進行塗敷。
(2)根據本實施方式，液滴噴出裝置105能夠使噴嘴26不在X方向 移動地在基板7上塗敷功能液37。
此時，液滴噴出裝置105能夠使液滴噴出頭M在排列有噴嘴26的方 向移動且不改行地在基板7上塗敷功能液37。因此，能夠防止因基板7 或液滴噴出頭14換行引起的筋狀條紋的發生。其結果是，能夠形成品質 優良的膜。
(第八實施方式)
接著，參照圖16，對應用上述的噴出方法製造液晶顯示裝置的一實施 方式進行說明。
首先，對具備濾色器的電光學裝置之一的液晶顯示裝置進行說明。圖 16是表示液晶顯示裝置結構的概略分解立體圖。
如圖16所示，作為電光學裝置的液晶顯示裝置120具備透過型的液 晶顯示面板121、和照明液晶顯示面板121的照明裝置123。液晶顯示面 板121以作為基板的元件基板124和作為基板的對置基板125夾持液晶 122配置而成。而且，在元件基板124下側的表面配置下偏光板126，在 對置基板125上側的表面配置上偏光板127。
元件基板124具備由具有透光性的材料構成的基板128，在基板128 的上側形成有絕緣膜129。在絕緣膜129上矩陣狀形成像素電極130，在 各像素電極130上形成有具有開關功能的TFT (Thin Film Transistor)元件 131。而且，像素電極130與TFT元件131的漏極端子連接。
圍住各像素電極130及TFT元件131 ，格子狀形成掃描線132及數據 線133。另外，掃描線132與TFT元件131的柵極端子連接，數據線133 與TFT元件131的源極端子連接。
另外，在像素電極130、 TFT元件131、掃描線132、數據線133等構 成的元件層134的液晶122側，形成有取向膜135。對置基板125具備由具有透光性的材料構成的基板137。在基板137 的下側，格子狀形成有由具有遮光性的材料構成的下層觸排面138，在下 層觸排面138的下側，形成有由有機化合物等組成的上層觸排面139。另 外，由下層觸排面138和上層觸排面139構成隔壁部140。
在被隔壁部140分成矩陣狀的凹部，作為著色層141,形成有紅(R)、 綠(G)、藍(B)的濾色器141R、 141G、 141B。而且形成有覆蓋隔壁部 1鬥U不Uy義苦G^ 14iK_、丄4丄Lr、 14113 tf、J才gffi乂g丄4Z。/T-A)C Tf= Ud l丄LK丄naium Tin Oxide)等透明導電膜構成的電極膜的對置電極143，以使之覆蓋該覆 蓋層142。另外，還在對置電極143的液晶122偵lj，形成有取向膜144。 在取向膜144和取向膜135上，排列形成槽狀的凹凸，液晶122沿凹凸排 列形成。
液晶122具有當對夾持該液晶122的像素電極130和對置電極143施 加電壓時，液晶122的傾斜角度發生變化的性質，通過TFT元件131的開 關動作，控制液晶122的電壓，控制液晶122的傾斜角度，從而對每個像 素進行透過光或遮蔽光的動作。另外，自然光不會入射到光被液晶122遮 蔽的像素，因此成為黑色。這樣，通過TFT的開關動作，使液晶122作為 快門進行動作，由此對每個像素控制光的透過，使像素發生閃爍，由此能 夠顯示圖像。
像素電極130與TFT元件131的漏極端子電連接，設TFT只在一定 期間成為接通狀態，由此，由數據線133供給的像素信號以規定的定時向 各像素電極130供給。這樣供給到像素電極130的規定大小的像素信號的 電壓水平被保持在對置基板125的對置電極143和像素電極130之間，根 據像素信號的電壓水平，改變液晶122的光透過量。
照明裝置123具備光源，具備能夠將來自該光源的光向液晶顯示面板 121射出的導光板或擴散板、反射板等。光源可以使用白色的LED、 EL、 冷陰極管等，在本實施方式中採用冷陰極管。
另外，下偏光板126及上偏光板127也可以與用於改善視角依存性等 的相位差薄膜等光學功能性薄膜組合。液晶顯示面板121作為有源元件不 限於TFT元件131，可以具有TFD (Thin Film Diode)元件，也可以是構 成像素的電極以相互交叉的方式配置的無源型的液晶顯示裝置。作為製造液晶顯示裝置120的工序，進行在基板128上形成像素電極
130或TFT元件131等元件層134的元件形成工序。接著，進行形成取向 膜135的取向膜形成工序，元件基板124完成。另一方面，進行在基板137 上形成著色層141及覆蓋層142的濾色器形成工序。接著，進行在覆蓋層 142的下表面形成對置電極143的電極形成工序。接著，進行在對置電極 143的下表面形成取向膜144的取向膜形成工序，從而對置基板125完成。 接著，進行在元件基板i24上塗敷液晶122的液晶配置工序。接著，在元 件基板124或對置基板125上塗敷粘著劑後，進行粘接元件基板124和對 置基板125的組裝工序。接著，進行粘貼下偏光板126和上偏光板127的 偏光板粘貼工程，液晶顯示面板121完成。
在對置基板125的覆蓋層142的下側形成對置電極143的電極形成工 序中，使用第一實施方式 第七實施方式的噴出方法。具體而言，使對置 電極143的材料在溶劑中溶解或分散於分散劑，由此，製造作為電極形成 材料的電極膜的材料液。接著，使用液滴噴出裝置1，將該電極膜的材料 液向覆蓋層142的表面噴出進行塗敷。
此時，通過與第一實施方式 第七實施方式的分布運算工序、分類工 序、噴嘴構成工序相同的工序，在使液滴噴出頭14或液滴噴出頭94的噴 出分布一致後，噴出電極膜的材料液進行塗敷。其後，加熱乾燥並固化被 塗敷的電極膜的材料液，由此形成對置電極143。
另外，在對置基板125的對置電極143的下側形成取向膜144的取向 膜形成工序中，使用第一實施方式 第七實施方式的噴出方法。具體而言， 使取向膜144的材料在 溶劑中溶解或分散於分散劑，由此，製造作為液晶 取向膜形成用組成物的取向膜的材料液。接著，使用液滴噴出裝置1，將 該取向膜的材料液向對置電極143的下側噴出進行塗敷。
此時，通過與第一實施方式 第七實施方式的分布運算工序、分類工 序、噴嘴構成工序相同的工序，在使液滴噴出頭14或液滴噴出頭94的噴 出分布一致後，噴出電極膜的材料液進行塗敷。其後，加熱乾燥並固化被 塗敷的電極膜的材料液，由此形成取向膜144。
另外，在元件基板124的元件層134的上側形成取向膜135的取向膜 形成工序中，使用第一實施方式 第七實施方式的噴出方法。具體而言，使取向膜135的材料在溶劑中溶解或分散於分散劑，由此，製造作為液晶 取向膜形成用組成物的取向膜的材料液。接著，使用液滴噴出裝置1，將 該取向膜的材料液向元件層134的上側噴出進行塗敷。
此時，通過與第一實施方式 第七實施方式的分布運算工序、分類工
序、噴嘴構成工序相同的工序，在使液滴噴出頭14或液滴噴出頭94的噴
出分布一致後，噴出電極膜的材料液進行塗敷。其後，加熱乾燥並固化被
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添—勞乂tfJ屯1漢JJ哭tf、JM不卄7儀，出i^丌-P乂4XI口J/J矢"D。
如上所述，根據本實施方式，具有以下的效果。
(1) 根據本實施方式，在製造取向膜135、 144的工序中，通過使用 第一實施方式 第七實施方式的噴出方法，減小塗敷了取向膜材料的膜厚 的離散。因此，能夠製造膜厚離散小的取向膜135、 144。
(2) 根據本實施方式，在製造對置電極143的工序中，通過使用第 一實施方式 第七實施方式的噴出方法，減小塗敷了電極材料的膜厚的離 散。因此，能夠製造膜厚離散小的對置電極143。
(3) 根據本實施方式，取向膜135、 144及對置電極143的膜厚離散 小。因此，液晶122相對於驅動信號能夠忠實地進行動作，能夠形成容易 看清的液晶畫面。
(第九實施方式)
接著，對具備第八實施方式的液晶顯示裝置120的電子設備進行說明。 圖17是表示在個人計算機上裝載有液晶顯示裝置的例子的概略立體圖。 如圖17所示，作為電子設備的個人計算機150的主體在顯示信息的顯示 部具備顯示裝置151。在該顯示裝置151上配設有通過第八實施方式製造 成的液晶顯示裝置120。配置於個人計算機150上的顯示裝置151通過上 述的實施方式進行製造，顯示裝置151的取向膜135、 144及對置電極143 膜厚離散小。因此，個人計算機150為在顯示部具備液晶122相對於驅動 信號忠實地進行動作，成為容易看清的液晶畫面的顯示裝置151的電子設 備。
另外，不限定於上述實施方式，也可以進行各種各樣的變更或改良。 以下，說明變形例。 (變形例O在上述第一實施方式中，利用第一噴嘴組的液滴噴出頭14構成了第
一噴嘴構成體34a。同樣，也可以利用由第二噴嘴組的液滴噴出頭14構成 的第二噴嘴構成體進行塗敷。由於第一噴嘴構成體34a和第二噴嘴構成體 在噴出量分布方面只是鋸齒狀的方向不同，所以能夠得到相同的效果。另 外，也可以通過使用第二噴嘴組的液滴噴出頭14的方法，應用上述第五 實施方式 上述第八實施方式。能夠得到相同的效果。
匚文形詞"
在上述第二實施方式中，利用由第一噴嘴組和第三噴嘴組的液滴噴出
頭14構成的第四噴嘴構成體34c噴出功能液37進行塗敷。同樣，也可以 利用由第二噴嘴組和第三噴嘴組的液滴噴出頭14構成的第五噴嘴構成體 噴出功能液37進行塗敷。在該情況下，也可以通過進行與上述的第一實 施方式相同的工序而得到相同的效果。另外，也可以使該變形例應用上述 第四實施方式 上述第八實施方式。能夠得到相同的效果。 (變形例3)
在上述第一實施方式中，接著步驟S5的噴出工序進行了步驟S6的平 坦化工序。步驟S5和步驟S6也可以同時進行。例如，在功能液37的粘 度低且容易擴散時，功能液37的噴出和噴出來的功能液37擴散的工序同 時進行。此時，步驟S6與步驟S5同時進行。而且，與另外進行步驟S6 的情況相比，能夠在短時間內進行製造，因此能夠生產性良好地進行製造。 另外，也可以使該變形例應用上述第二實施方式 上述第八實施方式、上 述變形例l、上述變形例2。能夠得到相同的效果。 (變形例4)
在上述第一實施方式中，噴嘴26在液滴噴出頭14上排列一列形成。 噴嘴26的排列也可以是二列以上的排列。該情況下，也能夠將二列噴嘴 列的噴嘴作為噴嘴組掌握，分類為第一噴嘴組 第三噴嘴組。該情況下， 也可以通過進行與上述第一實施方式相同的工序而得到相同的效果。另 外，也可以使該變形例應用上述第二實施方式 上述第八實施方式、上述 變形例l、上述變形例2。能夠得到相同的效果。 (變形例5)
上述第五實施方式說明了與上述第一實施方式的不同點。上述第五實200810168975.X
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施方式也可以應用於上述第二實施方式 上述第四實施方式、上述變形例 1、上述變形例2。能夠得到相同的效果。 (變形例6)
上述第六實施方式說明了與上述第一實施方式的不同點。上述第六實 施方式也可以應用於上述第二實施方式、上述第四實施方式、上述變形例
1、上述變形例2。能夠得到相同的效果。 (變形例7)
上述第七實施方式說明了與上述第一實施方式的不同點。上述第七實 施方式也可以應用於上述第二實施方式、上述第四實施方式、上述變形例
1、上述變形例2。能夠得到相同的效果。 (變形例8)
上述第八實施方式說明了使用上述第一實施方式 上述第七實施方式 的方法。上述第八實施方式也可應用於上述變形例1、上述變形例2。能 夠得到相同的效果。 (變形例9)
在上述第三實施方式中，以第一液滴噴出頭14a 第四液滴噴出頭14d 的順序排列第一噴嘴組、第三噴嘴組、第一噴嘴組、第三噴嘴組的液滴噴 出頭14，但不限於此。既可以是第一噴嘴組、第一噴嘴組、第三噴嘴組、 第三噴嘴組的順序，也可以是第三噴嘴組、第三噴嘴組、第三噴嘴組、第 一噴嘴組的順序。只要是第一噴嘴組及第三噴嘴組的組合即可。能夠得到 同樣的效果。
(變形例10)
在上述第一實施方式 上述第五實施方式中，在頭組件34上配置有 四個液滴噴出頭14，但只要具有兩個以上的頭組件34即可。 (變形例11)
在上述第一實施方式 上述第五實施方式中，在加壓空腔36的加壓 裝置上使用了壓電元件39，但也可以是其他的方法。例如，也可以使用繞 阻和磁鐵使振動板38發生變形而進行加壓。除此之外，也可以在空腔36 內配置加熱配線，並對加熱配線進行加熱，由此使功能液37氣化，或使 含於功能液37中的氣體膨脹而進行加壓。除此之外，也可以利用靜電的引力及斥力使振動板38變形而進行加壓。 (變形例12)
在上述第九實施方式中，在個人計算機150的顯示部使用了液晶顯示 裝置120，但不限於此。例如，作為電子書、手機、數位照相機、液晶電 視、尋像器型或監聽直視型的磁帶錄像機、導航裝置、尋呼機電子記事本、 電子計算器、文字處理器、工作站、電視電話、POS終端、觸摸面板等電 子設備的圖像顯示裝置能夠優選使用。在任何情況下，都能夠提供一種電 子設備，該電子設備在顯示部具備膜厚離散小的液晶顯示裝置120。
權利要求
1、一種噴出方法，其為由多個噴嘴組向工件噴出液狀體的噴出方法，其特徵在於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成，該噴出方法具有分布運算工序，其測定所述噴嘴的噴出量，對所述噴出量的分布進行運算；分類工序，其根據所述噴出量的所述分布，將所述噴嘴組分類為第一噴嘴組和第二噴嘴組；構成工序，其形成由所述第一噴嘴組組成的第一噴嘴構成體或由所述第二噴嘴組組成的第二噴嘴構成體；噴出工序，其使用所述第一噴嘴構成體或所述第二噴嘴構成體，向所述工件進行噴出；平坦化工序，其放置被噴出的所述液狀體，其中，所述第一噴嘴組中所述第二端部側的所述噴出量比所述第一端部側的所述噴出量大，所述第二噴嘴組中所述第一端部側的所述噴出量比所述第二端部側的所述噴出量大。
2、 一種噴出方法，其為由多個噴嘴組向工件噴出液狀體的噴出方法， 其特徵在於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成， 該噴出方法具有分布運算工序，其測定所述噴嘴的噴出量，對所述噴出量的分布進行 運算；分類工序，其根據所述噴出量的所述分布，將所述噴嘴組分類為第一 噴嘴組、第二噴嘴組、第三噴嘴組；構成工序，其形成由所述第一噴嘴組及所述第三噴嘴組組成的第四噴 嘴構成體、或者所述第二噴嘴組及所述第三噴嘴組組成的第五噴嘴構成 體；噴出工序，其使用所述第四噴嘴構成體或所述第五噴嘴構成體向所述工件進行噴出；平坦化工序，其放置被噴出的所述液狀體，其中，所述第一噴嘴組中所述第二端部側的所述噴出量比所述第一端 部側的所述噴出量大，所述第二噴嘴組中所述第一端部側的所述噴出量比 所述第二端部側的所述噴出量大，所述第三噴嘴組中所述第一端部側的所 述噴出量與所述第二端部側的所述噴出量大致同量。
3、 一種噴出方法，其為由多個噴嘴組向工件噴出液狀體的噴出方法，其特徵在於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成，該噴出方法具有分布運算工序，其測定所述噴嘴的噴出量，對所述噴出量的分布進行運算；分類工序，其利用所述噴出量的所述分布，從所述噴嘴組分類出第三噴嘴組；構成工序，其形成由所述第三噴嘴組組成的第三噴嘴構成體； 噴出工序，其利用所述第三噴嘴構成體，向所述工件進行噴出； 平坦化工序，其放置被噴出的所述液狀體，其中，所述第三噴嘴組中所述第一端部側的所述噴出量與所述第二端 部側的所述噴出量大致同量。
4、 一種噴出方法，其為由多個噴嘴組向工件噴出液狀體的噴出方法， 其特徵在於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成， 該噴出方法具有分布運算工序，其測定所述噴嘴的噴出量，對所述噴出量的分布進行 運算；分類工序，其根據所述噴出量的所述分布，將所述噴嘴組分類成第一 噴嘴組、第二噴嘴組、第三噴嘴組；構成工序，其形成由所述第一噴嘴組、所述第二噴嘴組及所述第三噴 嘴組組成的第六噴嘴構成體；噴出工序，其利用所述第六噴嘴構成體，向所述工件進行噴出；平坦化工序，其放置被噴出的所述液狀體，其中，所述第一噴嘴組中所述第二端部側的所述噴出量比所述第一端 部側的所述噴出量大，所述第二噴嘴組中所述第一端部側的所述噴出量比 所述第二端部側的所述噴出量大，所述第三噴嘴組中所述第一端部側的所 述噴出量和所述第二端部側的所述噴出量大致同量，在所述構成工序中，相鄰所述第一噴嘴組配置所述第一噴嘴組或所述 第三噴嘴組，相鄰所述第二噴嘴組配置所述第二噴嘴組或所述第三噴嘴 組。
5、 如權利要求1 4中任一項所述的噴出方法，其特徵在於，在所述分類工序中，使用最小二乘法對所述分布進行一次近似式運算，對所述第一端部側和所述第二端部側的所述噴出量進行比較。
6、 如權利要求1 4中任一項所述的噴出方法，其特徵在於， 在所述分類工序中，對從所述第一端部側的多個所述噴嘴噴出的所述噴出量與從所述第二端部側的多個所述噴嘴噴出的所述噴出量進行比較。
7、 如權利要求l、 2、 4中任一項所述的噴出方法，其特徵在於， 所述噴嘴組的所述第一端部側和所述第二端部側對稱形成， 所述第二噴嘴組將所述第一端部側和所述第二端部側進行更換，作為所述第一噴嘴組使用，或者，所述第一噴嘴組將所述第一端部側和所述第 二端部側進行更換，作為所述第二噴嘴組使用。
8、 如權利要求1 4中任一項所述的噴出方法，其特徵在於， 所述噴嘴組形成於液滴噴出頭， 所述液滴噴出頭在頭組件配置多個， 在更換所述液滴噴出頭時，按每個所述頭組件進行更換。
9、 如權利要求1 4中任一項所述的噴出方法，其特徵在於， 由所述噴嘴組組成的噴嘴構成體形成為在所述工件上塗敷所述液狀體的區域的寬度以上的長度。
10、 如權利要求8所述的噴出方法，其特徵在於， 所述噴嘴組形成於液滴噴出頭，所述液滴噴出頭在所述頭組件中交錯狀配置。
11、 一種連續膜形成方法，其為由多個噴嘴組向工件噴出液狀體而形 成連續膜的連續膜形成方法，其特徵在於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成， 該連續膜形成方法具有分布運算工序，其測定所述噴嘴的噴出量，對所述噴出量的分布進行 運算；分類工序，其根據所述噴出量的所述分布，將所述噴嘴組分類成第一 噴嘴組和第二噴嘴組；構成工序，其形成由所述第一噴嘴組組成的第一噴嘴構成體或由所述第二噴嘴組組成的第二噴嘴構成體；噴出工序，其利用所述第一噴嘴構成體或所述第二噴嘴構成體向所述 工件進行噴出；平坦化工序，其放置被噴出的所述液狀體；固化工序，其將所述液狀體進行固化，其中，所述第一噴嘴組中所述第二端部側的所述噴出量比所述第一端 部側的所述噴出量大，所述第二噴嘴組中所述第一端部側的所述噴出量比 所述第二端部側的所述噴出量大。
12、 一種連續膜形成方法，其為由多個噴嘴組向工件噴出液狀體而形 成連續膜的連續膜形成方法，其特徵在於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成， 該連續膜形成方法具有分布運算工序，其測定所述噴嘴的噴出量，對所述噴出量的分布進行 運算；分類工序，其根據所述噴出量的所述分布，將所述噴嘴組分類成第一 噴嘴組、第二噴嘴組、第三噴嘴組；構成工序，其形成由所述第一噴嘴組及所述第三噴嘴組組成的第四噴 嘴構成體、或者由所述第二噴嘴組及所述第三噴嘴組組成的第五噴嘴構成 體；噴出工序，其利用所述第四噴嘴構成體或所述第五噴嘴構成體，向所 述工件進行噴出；平坦化工序，其放置被噴出的所述液狀體； 固化工序，其將所述液狀體進行固化，其中，所述第一噴嘴組中所述第二端部側的所述噴出量比所述第一端 部側的所述噴出量大，所述第二噴嘴組中所述第一端部側的所述噴出量比 所述第二端部側的所述噴出量大，所述第三噴嘴組中所述第一端部側的所 述噴出量與所述第二端部側的所述噴出量大致同量。
13、 一種連續膜形成方法，其為由多個噴嘴組向工件噴出液狀體而形 成連續膜的連續膜形成方法，其特徵在於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成， 該連續膜形成方法具有分布運算工序，其測定所述噴嘴的噴出量，對所述噴出量的分布進行 運算；分類工序，其利用所述噴出量的所述分布，從所述噴嘴組分類出第三 噴嘴組；構成工序，其形成由所述第三噴嘴組組成的第三噴嘴構成體； 噴出工序，其利用所述第三噴嘴構成體向所述工件進行噴出； 平坦化工序，其放置被噴出的所述液狀體； 固化工序，其將所述液狀體進行固化，其中，所述第三噴嘴組中所述第一端部側的所述噴出量和所述第二端 部側的所述噴出量大致同量。
14、 一種連續膜形成方法，其為由多個噴嘴組向工件噴出液狀體而形 成連續膜的連續膜形成方法，其特徵在於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成， 該連續膜形成方法具有分布運算工序，其測定所述噴嘴的噴出量，對所述噴出量的分布進行 運算；分類工序，其根據所述噴出量的所述分布，將所述噴嘴組分類成第一 噴嘴組、第二噴嘴組、第三噴嘴組；構成工序，其形成由所述第一噴嘴組、所述第二噴嘴組及所述第三噴 嘴組組成的第六噴嘴構成體；噴出工序，其利用所述第六噴嘴構成體向所述工件進行噴出； 平坦化工序，其放置被噴出的所述液狀體； 固化工序，其將所述液狀體進行固化，其中，所述第一噴嘴組中所述第二端部側的所述噴出量比所述第一端 部側的所述噴出量大，所述第二噴嘴組中所述第一端部側的所述噴出量比 所述第二端部側的所述噴出量大，所述第三噴嘴組中所述第一端部側的所 述噴出量和所述第二端部側的所述噴出量大致同量，在所述構成工序中，相鄰所述第一噴嘴組配置所述第一噴嘴組或所述 第三噴嘴組，相鄰所述第二噴嘴組配置所述第二噴嘴組或所述第三噴嘴 組。
15、 一種取向膜形成方法，其為由多個噴嘴組向基板噴出液晶取向膜形成用組成物而形成取向膜的取向膜形成方法，其特徵在於， 構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成，該取向膜形成方法具有分布運算工序，其測定所述噴嘴的噴出量，對所述噴出量的分布進行運算；分類工序，其根據所述噴出量的所述分布，將所述噴嘴組分類成第一 噴嘴組和第二噴嘴組；構成工序，其形成由所述第一噴嘴組組成的第一噴嘴構成體或由所述 第二噴嘴組組成的第二噴嘴構成體；噴出工序，其利用所述第一噴嘴構成體或所述第二噴嘴構成體向所述 基板進行噴出；平坦化工序，其放置被噴出的所述液晶取向膜形成用組成物；固化工序，其將所述液晶取向膜形成用組成物進行固化，其中，所述第一噴嘴組中所述第二端部側的所述噴出量比所述第一端部側的所述噴出量大，所述第二噴嘴組中所述第一端部側的所述噴出量比所述第二端部側的所述噴出量大。
16、 一種取向膜形成方法，其為由多個噴嘴組向基板噴出液晶取向膜 形成用組成物而形成取向膜的取向膜形成方法，其特徵在於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成，該取向膜形成方法具有分布運算工序，其測定所述噴嘴的噴出量，對所述噴出量的分布進行 運算；分類工序，其根據所述噴出量的所述分布，將所述噴嘴組分類成第一 噴嘴組、第二噴嘴組、第三噴嘴組；構成工序，其形成由所述第一噴嘴組及所述第三噴嘴組組成的第四噴 嘴構成體、或者由所述第二噴嘴組及所述第三噴嘴組組成的第五噴嘴構成體；噴出工序，其利用所述第四噴嘴構成體或第五噴嘴構成體向所述基板進行噴出；平坦化工序，其放置被噴出的所述液晶取向膜形成用組成物；固化工序，其將所述液晶取向膜形成用組成物進行固化，其中，所述第一噴嘴組中所述第二端部側的所述噴出量比所述第一端部側的所述噴出量大，所述第二噴嘴組中所述第一端部側的所述噴出量比所述第二端部側的所述噴出量大，所述第三噴嘴組中所述第一端部側的所述噴出量與所述第二端部側的所述噴出量大致同量。
17、 一種取向膜形成方法，其為由多個噴嘴組向基板噴出液晶取向膜形成用組成物而形成取向膜的取向膜形成方法，其特徵在於， 構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成， 該取向膜形成方法具有分布運算工序，其測定所述噴嘴的噴出量，對所述噴出量的分布進行 運算；分類工序，其利用所述噴出量的所述分布，從所述噴嘴組分類出第三 噴嘴組；構成工序，其形成由所述第三噴嘴組組成的第三噴嘴構成體； 噴出工序，其利用所述第三噴嘴構成體向所述基板進行噴出； 平坦化工序，其放置被噴出的所述液晶取向膜形成用組成物； 固化工序，其將所述液晶取向膜形成用組成物進行固化， 其中，所述第三噴嘴組中所述第一端部側的所述噴出量與所述第二端 部側的所述噴出量大致同量。
18、 一種取向膜形成方法，其為由多個噴嘴組向基板噴出液晶取向膜 形成用組成物而形成取向膜的取向膜形成方法，其特徵在於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成， 該取向膜形成方法具有分布運算工序，其測定所述噴嘴的噴出量，對所述噴出量的分布進行 運算；分類工序，其根據所述噴出量的所述分布，將所述噴嘴組分類成第一 噴嘴組、第二噴嘴組、第三噴嘴組；構成工序，其形成由所述第一噴嘴組、所述第二噴嘴組及所述第三噴嘴組組成的第六噴嘴構成體；噴出工序，其利用所述第六噴嘴構成體向所述基板進行噴出； 平坦化工序，其放置被噴出的所述液晶取向膜形成用組成物； 固化工序，其將所述液晶取向膜形成用組成物進行固化， 其中，所述第一噴嘴組中所述第二端部側的所述噴出量比所述第一端部側的所述噴出量大，所述第二噴嘴組中所述第一端部側的所述噴出量比所述第二端部側的所述噴出量大，所述第三噴嘴組中所述第一端部側的所述噴出量與所述第二端部側的所述噴出量大致同量，在所述構成工序中，相鄰所述第一噴嘴組配置所述第一噴嘴組或所述第三噴嘴組，相鄰所述第二噴嘴組配置所述第二噴嘴組或所述第三噴嘴組。
19、 一種液晶顯示裝置的形成方法，其為一對基板夾住液晶而成的液 晶顯示裝置的形成方法，其特徵在於，該液晶顯示裝置的形成方法具有由多個噴嘴組向所述基板噴出液晶 取向膜形成用組成物而形成取向膜的取向膜形成工序，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成， 所述取向膜形成工序具有分布運算工序，其測定所述噴嘴的噴出量，對所述噴出量的分布進行運算；分類工序，其根據所述噴出量的所述分布，將所述噴嘴組分類成第一 噴嘴組和第二噴嘴組；構成工序，其形成由所述第一噴嘴組組成的第一噴嘴構成體或由所述 第二噴嘴組組成的第二噴嘴構成體；噴出工序，其利用所述第一噴嘴構成體或所述第二噴嘴構成體向所述 基板進行噴出；平坦化工序，其放置被噴出的所述液晶取向膜形成用組成物；固化工序，其將所述液晶取向膜形成用組成物進行固化，其中，所述第一噴嘴組中所述第二端部側的所述噴出量比所述第一端 部側的所述噴出量大，所述第二噴嘴組中所述第一端部側的所述噴出量比 所述第二端部側的所述噴出量大。
20、 一種液晶顯示裝置的形成方法，其為一對基板夾住液晶而成的液 晶顯示裝置的形成方法，其特徵在於，該液晶顯示裝置的形成方法具有由多個噴嘴組向所述基板噴出液晶 取向膜形成用組成物而形成取向膜的取向膜形成工序，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成，所述取向膜形成工序具有分布運算工序，其測定所述噴嘴的噴出量，對所述噴出量的分布進行運算；分類工序，其根據所述噴出量的所述分布，將所述噴嘴組分類成第一 噴嘴組、第二噴嘴組、第三噴嘴組；構成工序，其形成由所述第一噴嘴組及所述第三噴嘴組組成的第四噴 嘴構成體、或者由所述第二噴嘴組及所述第三噴嘴組組成的第五噴嘴構成 體；噴出工序，其利用所述第四噴嘴構成體或所述第五噴嘴構成體向所述 基板進行噴出；平坦化工序，其放置被噴出的所述液晶取向膜形成用組成物； 固化工序，其將所述液晶取向膜形成用組成物進行固化， 其中，所述第一噴嘴組中所述第二端部側的所述噴出量比所述第一端 部側的所述噴出量大，所述第二噴嘴組中所述第一端部側的所述噴出量比 所述第二端部側的所述噴出量大，所述第三噴嘴組中所述第一端部側的所 述噴出量與所述第二端部側的所述噴出量大致同量。
21、 一種液晶顯示裝置的形成方法，其為一對基板夾住液晶而成的液 晶顯示裝置的形成方法，其特徵在於，該液晶顯示裝置的形成方法具有由多個噴嘴組向所述基板噴出液晶 取向膜形成用組成物而形成取向膜的取向膜形成工序，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成， 所述取向膜形成工序具有分布運算工序，其測定所述噴嘴的噴出量，對所述噴出量的分布進行 運算；分類工序，其利用所述噴出量的所述分布，從所述噴嘴組分類出第三 噴嘴組；構成工序，其形成由所述第三噴嘴組組成的第三噴嘴構成體； 噴出工序，其利用所述第三噴嘴構成體向所述基板進行噴出； 平坦化工序，其放置被噴出的所述液晶取向膜形成用組成物； 固化工序，其將所述液晶取向膜形成用組成物進行固化， 其中，所述第三噴嘴組中所述第一端部側的所述噴出量與所述第二端 部側的所述噴出量大致同量。
22、 一種液晶顯示裝置的形成方法，其為一對基板夾住液晶而成的液 晶顯示裝置的形成方法，其特徵在於，該液晶顯示裝置的形成方法具有由多個噴嘴組向所述基板噴出液晶 取向膜形成用組成物而形成取向膜的取向膜形成工序，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成， 所述取向膜形成工序具有分布運算工序，其測定所述噴嘴的噴出量，對所述噴出量的分布進行 運算；分類工序，其根據所述噴出量的所述分布，將所述噴嘴組分類成第一 噴嘴組、第二噴嘴組、第三噴嘴組；構成工序，其形成由所述第一噴嘴組、所述第二噴嘴組及所述第三噴 嘴組組成的第六噴嘴構成體；噴出工序，其利用所述第六噴嘴構成體向所述基板進行噴出；平坦化工序，其放置被噴出的所述液晶取向膜形成用組成物；固化工序，其將所述液晶取向膜形成用組成物進行固化，其中，所述第一噴嘴組中所述第二端部側的所述噴出量比所述第一端部側的所述噴出量大，所述第二噴嘴組中所述第一端部側的所述噴出量比所述第二端部側的所述噴出量大，所述第三噴嘴組中所述第一端部側的所述噴出量與所述第二端部側的所述噴出量大致同量，在所述構成工序中，相鄰所述第一噴嘴組配置所述第一噴嘴組或所述第三噴嘴組，相鄰所述第二噴嘴組配置所述第二噴嘴組或所述第三噴嘴組。
23、 一種頭組件，其配置有向工件噴出液狀體的多個噴嘴組，其特徵 在於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成，頭組件使用第一噴嘴構成體和第二噴嘴構成體的任一個形成，所述第一噴嘴構成體由所述第二端部側的噴出量比所述第一端部側的所述噴出量大的第一噴嘴組構成，所述第二噴嘴構成體由所述第一端部側的所述噴出量比所述第二端部側的所述噴出量大的第二噴嘴組構成。
24、 一種頭組件，其配置有向工件噴出液狀體的多個噴嘴組，其特徵在於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成，頭組件使用第四噴嘴構成體和第五噴嘴構成體的任一個形成，所述第四噴嘴構成體由所述第二端部側的噴出量比所述第一端部側的所述噴出量大的第一噴嘴組以及所述第一端部側的所述噴出量與所述第二端部側的所述噴出量大致同量的第三噴嘴組構成，所述第五噴嘴構成體由所述第一端部側的所述噴出量比所述第二端部側的所述噴出量大的第二噴嘴組以及所述第三噴嘴組構成。
25、 一種頭組件，其配置有向工件噴出液狀體的多個噴嘴組，其特徵在於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成， 頭組件利用第三噴嘴構成體形成，該第三噴嘴構成體由所述第一端部 側的噴出量與所述第二端部側的所述噴出量大致同量的第三噴嘴組構成。
26、 一種頭組件，其配置有向工件噴出液狀體的多個噴嘴組，其特徵 在於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成， 頭組件使用第六噴嘴構成體形成，該第六噴嘴構成體由所述第二端部 側的噴出量比所述第一端部側的所述噴出量大的第一噴嘴組、所述第一端 部側的所述噴出量比所述第二端部側的所述噴出量大的第二噴嘴組、所述 第一端部側的所述噴出量與所述第二端部側的所述噴出量大致同量的第 三噴嘴組構成，相鄰所述第一噴嘴組配置所述第一噴嘴組或所述第三噴嘴組，相鄰所 述第二噴嘴組配置所述第二噴嘴組或所述第三噴嘴組。
27、 如權利要求23、 24、 26中任一項所述的頭組件，其特徵在於， 所述噴嘴組的所述第一端部側和所述第二端部側對稱形成， 所述第二噴嘴組將所述第一端部側和所述第二端部側進行更換，作為所述第一噴嘴組使用，或者，所述第一噴嘴組將所述第一端部側和所述第 二端部側進行更換，作為所述第二噴嘴組使用。
28、 如權利要求23 26中任一項所述的頭組件，其特徵在於， 所述噴嘴組形成於液滴噴出頭，所述液滴噴出頭被交錯狀配置。
29、 一種液滴噴出裝置，其由多個噴嘴組向工件噴出液狀體，其特徵 在於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成，液滴噴出裝置使用第一噴嘴構成體和第二噴嘴構成體的任一個形成，所述第一噴嘴構成體由所述第二端部側的噴出量比所述第一端部側的所述噴出量大的第一噴嘴組構成，所述第二噴嘴構成體由所述第一端部側的所述噴出量比所述第二端部側的所述噴出量大的第二噴嘴組構成。
30、 一種液滴噴出裝置，其由多個噴嘴組向工件噴出液狀體，其特徵 在於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成， 液滴噴出裝置使用第四噴嘴構成體和第五噴嘴構成體的任一個形成，所述第四噴嘴構成體由所述第二端部側的噴出量比所述第一端部側 的所述噴出量大的第一噴嘴組以及所述第一端部側的所述噴出量與所述 第二端部側的所述噴出量大致同量的第三噴嘴組構成，所述第五噴嘴構成體由所述第一端部側的所述噴出量比所述第二端 部側的所述噴出量大的第二噴嘴組以及所述第三噴嘴組構成。
31、 一種液滴噴出裝置，其由多個噴嘴組向工件噴出液狀體，其特徵 在於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成， 液滴噴出裝置使用第三噴嘴構成體形成，該第三噴嘴構成體由所述第一端部側的噴出量與所述第二端部側的所述噴出量大致同量的第三噴嘴組構成。
32、 一種液滴噴出裝置，其由多個噴嘴組向工件噴出液狀體，其特徵 在於，構成所述噴嘴組的噴嘴從第一端部向第二端部排列而形成， 液滴噴出裝置使用第六噴嘴構成體形成，該第六噴嘴構成體由所述第 二端部側的噴出量比所述第一端部側的所述噴出量大的第一噴嘴組、所述 第一端部側的所述噴出量比所述第二端部側的所述噴出量大的第二噴嘴 組、所述第一端部側的所述噴出量與所述第二端部側的所述噴出量大致同 量的第三噴嘴組構成，相鄰所述第一噴嘴組配置所述第一噴嘴組或所述第三噴嘴組，相鄰所 述第二噴嘴組配置所述第二噴嘴組或所述第三噴嘴組。
33、 一種電子設備，其具備顯示部，其特徵在於， 所述顯示部具備利用權利要求19 22中任一項所述的液晶顯示裝置的形成方法形成的液晶顯示裝置。
全文摘要
本發明提供在噴出液滴形成膜時，能夠形成膜厚均勻的膜的噴出方法、連續膜形成方法、取向膜形成方法、液晶顯示裝置的形成方法、頭組件、液滴噴出裝置以及電子設備。本發明涉及一種從多個液滴噴出頭向基板噴出功能液的方法。液滴噴出頭的噴嘴從第一端部向第二端部排列形成。在分布運算工序中，測定噴嘴的噴出量，並運算其分布。在分類工序中，根據噴出量的分布，將液滴噴出頭分類成第一噴嘴組和第二噴嘴組。此時，第一噴嘴組的第二端部側的噴出量比第一端部側的噴出量大，第二噴嘴組的第一端部側的噴出量比第二端部側的噴出量大。在構成工序中，形成由第一噴嘴組組成的第一噴嘴構成體。在噴出工序中，利用第一噴嘴構成體的頭組件向基板噴出。
文檔編號B05C11/10GK101428272SQ20081016897
公開日2009年5月13日 申請日期2008年10月6日 優先權日2007年10月3日
發明者石田紘平 申請人:精工愛普生株式會社