可轉動的尋邊器的製作方法

2023-11-30 02:02:46 7

專利名稱：可轉動的尋邊器的製作方法
技術領域：
本實用新型與利用探針(probe)檢測諸如發光二極體等半導體晶粒性能的點測裝置(prober)所搭載的尋邊器(edge sensor)有關,特別是指一種可轉動的尋邊器。
背景技術：
點測裝置為一種利用探針檢測諸如發光二極體等半導體晶粒性能表現或特性參數的設備。點測裝置通常包含有至少一尋邊器，如圖I及圖2所示，習用的尋邊器100包含有一座體110、一懸臂120、一連接於座體110與懸臂120之間的彈性片130，以及一設置於懸臂120 —端的探針140，懸臂120與座體110之間還設有一可調預力施加器150，以及二 分別固設於懸臂120及座體110的導電體160、170，二導電體160、170受預力施加器150施加的預力作用而保持接觸並電性導通。在使用尋邊器100時，其探針140與一測試機電性連接。通過一可垂直往復運動的進給機構帶動尋邊器100下降或通過一可垂直往復運動的承載臺帶動一待測物(DeviceUnder Test)上升，探針140可與該待測物接觸，使測試機能夠輸出測試訊號至待測物並自該待測物接收測試結果，以檢測或驗證待測物的電路良莠或電氣特性。一旦探針140施予待測物的針壓(probing force)使得其反作用力克服該預力時，將造成懸臂120擺動且彈性片130彈性彎曲變形，使得二導電體160、170相互分離而斷路，同時，點測裝置一旦偵測到二導電體160、170斷路的訊號則立即停止前述進給動作。由此，尋邊器100可確保探針140能確實接觸並施加一定壓抵力量在待測物上，而且，尋邊器100還可避免探針140對待測物所施的針壓過大而造成待測物或探針140損傷。同一點測裝置常設有多個如前所述的尋邊器，以同時點觸同一待測物的多個電性接點，或者同時點觸多個待測物，各尋邊器的位置配置需配合其要點觸的電性接點的位置，常使得其探針彼此相當靠近，如此一來，若不將尋邊器從點測裝置拆卸下來，便相當難進行探針更換作業。換言之，習用的尋邊器容易造成其鄰近的其他尋邊器的探針更換作業不易進行，因此仍有待改進。
發明內容針對上述問題，本實用新型的主要目的在於提供一種可轉動的尋邊器，其可通過轉動而使其懸臂及探針離開點觸作業進行時的位置，以便其鄰近的其他尋邊器進行探針更換。為達到上述目的，本實用新型所提供的一種可轉動的尋邊器，包含有一基座、一設置於所述基座的懸臂，以及一設置於所述懸臂的探針；其特徵在於所述基座包含有一固定單元，以及一能轉動地設置於所述固定單元的轉動單元，所述懸臂設置於所述轉動單元。上述本實用新型的技術方案中，還包含有一連接所述固定單元與所述轉動單元的轉軸，所述轉動單元能自一起始位置受外力而繞所述轉軸轉動，所述懸臂在所述轉動單元位於起始位置時實質上呈水平的姿態，所述轉軸實質上呈水平且與所述懸臂垂直的姿態。[0009]所述固定單元具有一前擋止面，當所述轉動單元位於所述起始位置時，所述固定單元的前擋止面為朝向所述探針，且所述轉動單元抵靠所述前擋止面。所述固定單元還具有一位於所述前擋止面上方的上擋止面，所述轉動單元以一預定方向轉動時能受所述上擋止面抵擋而停定於一極限位置。還包含有一磁吸組件，所述磁吸組件具有二能相吸的構件，所述二構件分別設置於所述固定單元及所述轉動單元，當所述懸臂隨著所述轉動單元的轉動而旋擺至實質上呈垂直的姿態時，所述磁吸組件的所述二構件相吸，使所述懸臂保持在實質上呈垂直的姿態。所述磁吸組件設置於所述固定單元的構件為一磁鐵，所述磁吸組件設置於所述轉動單元的構件為一導磁件。所述導磁件為鎖設於所述轉動單元的螺絲。 所述轉軸穿設於所述轉動單元，所述導磁件的尾端頂抵於所述轉軸。還包含有另一設置於所述轉動單元的磁鐵，所述二磁鐵為相吸或相斥，以提供一作用於所述轉軸的力量。所述固定單元包含有一連接件，所述連接件具有一頂壁、一右側壁及一左側壁，所述左、右側壁分別裝設有一軸承，所述轉軸穿設於所述二軸承中；所述轉動單元包含有一轉動件，所述轉動件位於所述連接件的左、右側壁之間並與所述轉軸固接，且所述轉動件具有一與所述連接件的頂壁對應的頂部，以及一與所述懸臂連接的底部；所述磁吸組件的磁鐵及導磁件分別設於所述連接件的頂壁及所述轉動件的一前側面。所述尋邊器還包含有另一設置於所述轉動件頂部的磁鐵，所述二磁鐵為相吸或相斥，以提供一作用於所述轉軸的力量。所述固定單元還包含有一能在一作用位置與一非作用位置之間移動地穿設於所述連接件的頂壁的限位件；當所述限位件位於所述作用位置且所述轉動單元以一預定方向轉動時，所述限位件能抵頂所述轉動單元以限制所述轉動單元的轉動角度；當所述限位件位於所述非作用位置時，所述限位件離開所述轉動單元。所述固定單元包含有一連接件，所述連接件具有一頂壁、一右側壁及一左側壁，所述左、右側壁分別裝設有一軸承，所述轉軸穿設於所述軸承中；所述轉動單元包含有一轉動件，所述轉動件位於所述連接件的左、右側壁之間並與所述轉軸固接，且所述轉動件具有一與所述連接件的頂壁對應的頂部，以及一與所述懸臂連接的底部；所述磁吸組件的所述二構件分別設於所述連接件的頂壁及所述轉動件的一前側面。所述固定單元還設有一能在一作用位置與一非作用位置之間移動的限位件；當所述限位件位於所述作用位置且所述轉動單元以一預定方向轉動時，所述限位件能抵頂所述轉動單元以限制所述轉動單元的轉動角度；而當所述限位件位於所述非作用位置時，所述限位件離開所述轉動單元。還包含有一連接所述固定單元與所述轉動單元的轉軸,所述轉動單元能自一起始位置受外力而繞所述轉軸轉動，所述懸臂在所述轉動單元位於起始位置時實質上呈水平的姿態，所述轉軸實質上呈垂直的姿態。所述固定單元具有一前擋止面，所述轉動單元具有一後抵靠面，當所述轉動單元位於所述起始位置時，所述固定單元的前擋止面為朝向所述探針，且所述轉動單元的後抵靠面為抵靠所述前擋止面。[0023]所述轉動單元還具有一側抵靠面，所述轉動單元以一預定方向轉動時能以其側抵靠面受所述固定單元的前擋止面抵擋而停定於一極限位置。所述轉軸能設置於一第一位置與一第二位置其中之一，所述轉動單元在所述轉軸設置於所述第一位置時能自所述起始位置以一第一預定方向轉動，所述轉動單元在所述轉軸設置於所述第二位置時能自所述起始位置以一與所述第一預定方向相反的第二預定方向轉動。所述轉動單元還具有一第一側抵靠面及一第二側抵靠面；當所述轉軸設置於所述第一位置且所述轉動單元以所述第一預定方向轉動時，所述轉動單元能以所述第一側抵靠面受所述固定單元的前擋止面抵擋而停定於一第一極限位置；當所述轉軸設置於所述第二位置且所述轉動單元以所述第二預定方向轉動時，所述轉動單元能以所述第二側抵靠面受所述固定單元的前擋止面抵擋而停定於一第二極限位置。採用上述技術方案，本實用新型的懸臂及探針可隨基座的轉動單元轉動而離開點觸作業進行時的位置，以遠離其鄰近的其他尋邊器的探針，使得探針更換作業較容易進行。

圖I是習用的尋邊器的立體組合圖；圖2是圖I所示的尋邊器的側視圖；圖3是本實用新型一第一較佳的立體組合圖；圖4是本實用新型該第一較佳實施例的立體分解圖；圖5是本實用新型該第一較佳實施例的側視圖，顯示該尋邊器一基座的一轉動單元位於一起始位置的狀態；圖6類同於圖5，顯示該轉動單元位於一極限位置的狀態；圖7是一包含有四個本實用新型該第一較佳實施例所提供的可轉動的尋邊器的點測裝置的立體示意圖，其中各尋邊器的轉動單元均位於起始位置；圖8類同於圖7，顯示該點測裝置僅其中一尋邊器位於起始位置；圖9是本實用新型一第二較佳實施例的立體組合圖；圖10是本實用新型該第二較佳實施例的立體分解圖；圖11是本實用新型該第二較佳的剖視圖，顯示該尋邊器一基座的一轉動單元位於一起始位置的狀態；圖12類同於圖11，顯示該轉動單元位於一極限位置的狀態；圖13是本實用新型一第三較佳實施例的立體組合圖；圖14是本實用新型該第三較佳實施例的立體分解圖；圖15是本實用新型該第三較佳實施例的俯視圖，顯示該尋邊器一基座的一轉動單元位於一起始位置的狀態；圖16類同於圖15，顯示該轉動單元位於一第一極限位置的狀態；圖17類同於圖15，顯示該轉動單元位於一第二極限位置的狀態；圖18為一包含有四個本實用新型該第三較佳實施例所提供的可轉動的尋邊器的點測裝置的立體示意圖，其中各尋邊器的轉動單元均位於起始位置；圖19類同於圖18，顯示該點測裝置僅其中一尋邊器位於起始位置。
具體實施方式
為了詳細說明本實用新型的結構、特點及功效，現舉以下較佳實施例並配合附圖說明如下。申請人:首先在此說明，在以下將要介紹的實施例以及圖式中，相同的參考號碼，表示相同或類似的元件或其結構特徵。如圖3至圖6所示，本實用新型一第一較佳實施例所提供的可轉動的尋邊器11包含有一基座20、一懸臂30、一探針40、一預力施加單元50，以及一導電單元60。基座20包含有一固定單元22、一轉動單元24，以及一轉軸26，固定單元22包含有一固定件222，轉動單元24包含有一轉動件242及一從動件244。從動件244、懸臂30、探針40、預力施加單元50及導電單元60與現有技術相同。固定件222具有一截面呈梯形的本體222a，以及二自本體222a向前並向下傾斜延伸的連接部222b，二連接部222b分別設有貫穿的一穿孔222c及一螺孔222d，各連接部222b分別具有一前擋止面222e，以及一位於前擋止面222e上方的上擋止面222f。轉動件242具有一截面呈梯形的本體242a，以及一自本體242a向後並向上傾斜延伸的連接部242b，連接部242b設有一實質上水平地貫穿連接部242b的軸孔242c。從動件244通過螺絲固定於轉動件242底部。轉軸26依序穿過固定件222的穿孔222c及轉動件242的軸孔242c，再以其一端的螺紋部262螺接固定於固定件222的螺孔222d。懸臂30包含有一彈性片32、一前懸臂件34及一後懸臂件36，彈性片32上半部通過螺絲鎖固於從動件244前側，前懸臂件34及後懸臂件36通過螺絲分別固設在彈性片32下半部的前側及後側。探針40設置於前懸臂件34。預力施加單元50包含有一穿設於從動件244的螺栓52、一設於螺栓52底部的磁鐵(圖中未示)，以及一穿設於後懸臂件36並與磁鐵相對的金屬螺絲54。導電單元60包含有一固設於從動件244底部的絕緣件62，以及分別固設於絕緣件62及後懸臂件36的一第一導電件64及一第二導電件66。預力施加單元50的磁鐵與金屬螺絲54相互吸引產生的預力使得二導電件64、66相互接觸而電性導通。在尋邊器11處於點觸作業的使用狀態時，轉動單元24位於一起始位置Pl (如圖5所示)，此時，懸臂30實質上呈水平的姿態，固定單元22的前擋止面222e為朝向探針40，且轉動單元24的轉動件242抵靠前擋止面222e。由於轉軸26實質上呈水平且與懸臂30垂直的姿態，當旋鬆轉軸26時，轉動單元24能自起始位置Pl受外力而以一預定方向Dl繞轉軸26轉動，進而使懸臂30向上翻轉，直到轉動單元24受上擋止面222f抵擋而停定於一極限位置P2 (如圖6所示)。在點觸作業實際進行時，尋邊器11以其固定件222固設於一進給機構70 (如圖7所示)，以受進給機構70帶動而沿三軸向移動，且探針40與一測試機(圖中未示)電連接。尋邊器11在進行點觸作業時，其轉動單元24位於如圖5所示的起始位置Pl，尋邊器11相對一待測物(圖中未示)由上而下地以探針40接觸待測物的導電接點，使測試機能夠將測試訊號輸出至待測物並自待測物接收測試結果，以檢測或驗證待測物的電路良莠或電氣特性。在持續進給的過程中，一旦待測物施加給探針40的反作用力克服預力施加單元50施加的預力時，懸臂30將以彈片32支點而擺動，使得二導電體64、66相互分離，進而送出一斷路訊號使進給機構70停止前述進給動作，以避免待測物因受探針40所施的針壓過大而損傷。如圖7及圖8所示，當同一點測裝置設有多個尋邊器11，且其探針40彼此相當靠近時，使用者可在要更換其中一尋邊器11的探針40時，將其他鄰近的尋邊器11的轉動單元24以如圖5所示的預定方向Dl轉動便可將各懸臂30向上翻轉，以讓出足夠的空間進行探針更換作業。本實用新型所提供的可轉動的尋邊器的轉動方式並不以前述實施例所提供的方式為限，只要尋邊器的基座包含有一固定單元及一轉動單元，使得設置於轉動單元的懸臂可隨轉動單元轉動進而離開其進行點測作業時的位置即可。下面再列舉二實施例，其基座的構造與前述第一較佳實施例的基座20不同，但也可達到前述的功效。如圖9至圖12所示，本實用新型一第二較佳實施例所提供的可轉動的尋邊器12的基座80主要包含有一固定單元82、一轉動單元84，以及用於連接固定單元82與轉動單元84的二軸承85及一轉軸86。固定單元82包含有一用於與進給機構固接的固定件822，以及一固接於固定件822底部的連接件824。連接件824的形狀類同於前述第一較佳實施例中的從動件244，且同樣也裝設有預力施加單元50的螺栓52及磁鐵，以及導電單元60的絕緣件62及第一導電件64。然而，連接件824的前端部還具有由一頂壁824a、一右側壁824b及一左側壁824c所定義出且其前側與底側呈開放狀的一容置槽824d。轉動單元84包含有一轉動件842，轉動件842具有一右側面842a、一左側面842b，以及一貫穿左、右側面842b、842a的軸孔842c，轉動件842設置於容置槽824d而位於連接件824的左、右側壁824c、824b之間。二軸承85分別裝設於連接件824的左、右側壁824c、824b，轉軸86穿設於二軸承85及轉動件842的軸孔842c中，且轉動件842與轉軸86是通過一鎖設於轉動件842且頂抵於轉軸86的止付螺絲87來相互固定(如圖11所示)。懸臂30的前、後懸臂件34、36通過螺絲相互鎖固並鎖固於轉動件842的底部。由此，轉軸86實質上呈水平並與懸臂30垂直的姿態，因此，轉動單元84可自其使得懸臂30實質上呈水平姿態的起始位置Pl以預定方向Dl轉動(如圖11所示)，進而使懸臂30向上翻轉，以讓出足夠的空間使其鄰近的尋邊器可進行探針更換作業。固定單元82還可再設有一限位件826，限位件826為一穿設於連接件824的頂壁824a的螺絲，可被轉動而相對連接件824移動。限位件826位於一如圖11所示的作用位置P3時，可用於擋止以預定方向Dl轉動的轉動件842，以限制轉動件842在尋邊器12進行點觸作業時的轉動角度，以充分發揮尋邊器12的功能。當限位件826位於一如圖12所示的非作用位置P4時，限位件826離開轉動件842不與轉動件842牴觸，使得轉動件842能以預定方向Dl轉動較大的角度，使探針能離開原有的點觸位置，如此，即可讓出其他尋邊器探針更換作業所需的空間。基座80還可再設置一磁吸組件88，磁吸組件88具有二能相吸的構件882、884，SP，二構件882、884可均為磁鐵，或者二構件882、884可為一磁鐵及一導磁件(例如金屬)。二構件882、884分別設置於連接件824的頂壁824a及轉動件842的一前側面842d。由此，當懸臂30隨著轉動單元84的轉動而旋擺至實質上呈垂直的姿態時(如圖12所示)，二構件882,884為相吸，使得懸臂30保持在實質上呈垂直的姿態。在本實施例中，磁吸組件88設置於固定單元82的構件882為一磁鐵，而設置於轉動單元84的構件884則為一導磁件，且導磁件884為鎖設於轉動件842的螺絲，由此，導磁件884除了可實現前述功能，更能以其尾端頂抵轉軸86，使得轉動件842與轉軸86固定得更加穩固。此外，轉動件842與頂壁824a對應的頂部可再設置另一磁鐵89，在探針40點觸待測物時，轉動單元84位於起始位置Pl (如圖11所示),此時,二磁鐵882、89為相吸或相斥(取決於其磁性相同或相異)，使得轉動件842帶動轉軸86向上或向下緊抵軸承85,進而消除轉軸86與軸承85的間隙及軸承85與連接件824的間隙；換言之，二磁鐵882、89的磁力可消除轉軸86偏擺的間隙，以避免懸臂30產生非預期的擺動而造成探針40在待測物上留下過當的針痕。如圖13至圖17所示，本實用新型一第三較佳實施例所提供的可轉動的尋邊器13的基座90包含有一固定單元92、一轉動單元94，以及一連接固定單元92與轉動單元94的轉軸96。 固定單元92包含有一固定件922，固定件922具有一本體922a，以及一自本體922a—前擋止面922b延伸而出的連接部922c，連接部922c設有實質上垂直地貫穿連接部922c的一第一軸孔922d及一第二軸孔922e。轉動單元94包含有一轉動件942,以及一固設於轉動件942底部的從動件944。由於從動件944的形狀及與懸臂30、預力施加單元50及導電單元60的連接關係均與前述第一較佳實施例的從動件244相同，故在此不予贅述。轉動件942具有一本體942a，以及二自本體942a向後延伸的連接部942b，其中一連接部942b設有一第一穿孔942c及一第二穿孔942d，另一連接部942b設有二分別與二穿孔942c、942d相對的螺孔942e。各連接部942b具有一後抵靠面942f、一第一側抵靠面942g及一第二側抵靠面942h。轉軸96能穿設於第一穿孔942c及第一軸孔922d，並以其一螺紋部962螺接固定於與第一穿孔942c相對的螺孔942e，而位於一第一位置P5(如圖15及圖16所示)。或者，轉軸96能穿設於第二穿孔942d及第二軸孔922e，並以其螺紋部962螺接固定於與第二穿孔942d相對的螺孔942e，而位於一第二位置P6 (如圖17所示)。不論轉軸96位於第一位置P5或第二位置P6，轉軸96實質上呈垂直的姿態，使得轉動單元94能實質上水平地轉動。如圖15所示，當轉動單元94位於起始位置Pl時，固定件922的前擋止面922b為朝向探針40，且轉動單元94的後抵靠面942f為抵靠前擋止面922b。當轉軸96設置於第一位置P5且旋鬆時，轉動單元94能自起始位置Pl受外力而繞轉軸96以一第一預定方向D2轉動，直到轉動單元94以第一側抵靠面942g受前擋止面922b抵擋而停定於一第一極限位置P7(如圖16所示)。當轉軸96設置於第二位置P6且旋鬆時，轉動單元94能自起始位置Pl受外力而繞轉軸96以一與第一預定方向D2相反的第二預定方向D3轉動，直到轉動單元94以第二側抵靠面942h受前擋止面922b抵擋而停定於一第二極限位置P8 (如圖17所示)。由此，如圖18及圖19所示，當同一點測裝置設有多個尋邊器13，且其探針40彼此相當靠近時，使用者可在需要更換其中一尋邊器13的探針40時，將其他鄰近的尋邊器13的轉動單元84以第一預定方向D2或第二預定方向D3(取決於其與待更換探針的尋邊器的相對位置)轉動，進而使各懸臂30向一旁偏轉，以讓出足夠的空間進行探針更換作業。[0074]綜上所述，本實用新型的重點在於使尋邊器的基座包含有一固定單元，以及一可相對固定單元轉動的轉動單元，使得設置於轉動單元的懸臂可隨轉動單元轉動而離開其進行點測作業時的位置，以讓出可供其鄰近的尋邊器方便更換探針的空間。該基座的構造及轉動單元的轉動方向並無限制，且固定單元不一定要設有可止擋該轉動單元或維持該轉動單元位置的特徵或元件。其次，實現尋邊器功能的機構設計也不以上述實施例所公開的方式為限，即，預力施加單元並不以磁力的方式為限，也可利用彈簧來提供預力，而且彈片也可以傳統的水平姿態方式與懸臂連接，換言之，本實用新型所提供的技術特徵可以應用於現有各式各樣的尋邊器上，例如中國臺灣第M345241號及第M382589號等專利中所揭示的各種尋邊器。最後，必須再次說明，本實用新型在前述實施例中所揭示的構成元件，僅為舉例說 明，並非用來限制本案的專利保護範圍，其他等效元件的替代或變化，也應被本實用新型的專利保護範圍所涵蓋。
權利要求1.一種可轉動的尋邊器，包含有一基座、一設置於所述基座的懸臂，以及一設置於所述懸臂的探針；其特徵在於 所述基座包含有一固定單元，以及一能轉動地設置於所述固定單元的轉動單元，所述懸臂設置於所述轉動單元。
2.如權利要求I所述的可轉動的尋邊器，其特徵在於還包含有一連接所述固定單元與所述轉動單元的轉軸，所述轉動單元能自一起始位置受外力而繞所述轉軸轉動，所述懸臂在所述轉動單元位於起始位置時實質上呈水平的姿態，所述轉軸實質上呈水平且與所述懸臂垂直的姿態。
3.如權利要求2所述的可轉動的尋邊器，其特徵在於所述固定單元具有一前擋止面，當所述轉動單元位於所述起始位置時，所述固定單元的前擋止面為朝向所述探針，且所述轉動單元抵靠所述前擋止面。
4.如權利要求3所述的可轉動的尋邊器，其特徵在於所述固定單元還具有一位於所 述前擋止面上方的上擋止面，所述轉動單元以一預定方向轉動時能受所述上擋止面抵擋而停定於一極限位置。
5.如權利要求2所述的可轉動的尋邊器，其特徵在於還包含有一磁吸組件，所述磁吸組件具有二能相吸的構件，所述二構件分別設置於所述固定單元及所述轉動單元，當所述懸臂隨著所述轉動單元的轉動而旋擺至實質上呈垂直的姿態時，所述磁吸組件的所述二構件相吸，使所述懸臂保持在實質上呈垂直的姿態。
6.如權利要求5所述的可轉動的尋邊器，其特徵在於所述磁吸組件設置於所述固定單元的構件為一磁鐵，所述磁吸組件設置於所述轉動單元的構件為一導磁件。
7.如權利要求6所述的可轉動的尋邊器，其特徵在於所述導磁件為鎖設於所述轉動單元的螺絲。
8.如權利要求7所述的可轉動的尋邊器，其特徵在於所述轉軸穿設於所述轉動單元，所述導磁件的尾端頂抵於所述轉軸。
9.如權利要求6至8中任一項所述的可轉動的尋邊器，其特徵在於還包含有另一設置於所述轉動單元的磁鐵，所述二磁鐵為相吸或相斥，以提供一作用於所述轉軸的力量。
10.如權利要求6至8中任一項所述的可轉動的尋邊器，其特徵在於所述固定單元包含有一連接件，所述連接件具有一頂壁、一右側壁及一左側壁，所述左、右側壁分別裝設有一軸承，所述轉軸穿設於所述二軸承中；所述轉動單元包含有一轉動件，所述轉動件位於所述連接件的左、右側壁之間並與所述轉軸固接，且所述轉動件具有一與所述連接件的頂壁對應的頂部，以及一與所述懸臂連接的底部；所述磁吸組件的磁鐵及導磁件分別設於所述連接件的頂壁及所述轉動件的一前側面。
11.如權利要求10所述的可轉動的尋邊器，其特徵在於所述尋邊器還包含有另一設置於所述轉動件頂部的磁鐵，所述二磁鐵為相吸或相斥，以提供一作用於所述轉軸的力量。
12.如權利要求11所述的可轉動的尋邊器，其特徵在於所述固定單元還包含有一能在一作用位置與一非作用位置之間移動地穿設於所述連接件的頂壁的限位件；當所述限位件位於所述作用位置且所述轉動單元以一預定方向轉動時，所述限位件能抵頂所述轉動單元以限制所述轉動單元的轉動角度；當所述限位件位於所述非作用位置時，所述限位件離開所述轉動單元。
13.如權利要求5所述的可轉動的尋邊器，其特徵在於所述固定單元包含有一連接件，所述連接件具有一頂壁、一右側壁及一左側壁，所述左、右側壁分別裝設有一軸承，所述轉軸穿設於所述軸承中；所述轉動單元包含有一轉動件，所述轉動件位於所述連接件的左、右側壁之間並與所述轉軸固接，且所述轉動件具有一與所述連接件的頂壁對應的頂部，以及一與所述懸臂連接的底部；所述磁吸組件的所述二構件分別設於所述連接件的頂壁及所述轉動件的一前側面。
14.如權利要求5所述的可轉動的尋邊器，其特徵在於所述固定單元還設有一能在一作用位置與一非作用位置之間移動的限位件；當所述限位件位於所述作用位置且所述轉動單元以一預定方向轉動時，所述限位件能抵頂所述轉動單元以限制所述轉動單元的轉動角度；而當所述限位件位於所述非作用位置時，所述限位件離開所述轉動單元。
15.如權利要求I所述的可轉動的尋邊器，其特徵在於還包含有一連接所述固定單元 與所述轉動單元的轉軸，所述轉動單元能自一起始位置受外力而繞所述轉軸轉動，所述懸臂在所述轉動單元位於起始位置時實質上呈水平的姿態，所述轉軸實質上呈垂直的姿態。
16.如權利要求15所述的可轉動的尋邊器，其特徵在於所述固定單元具有一前擋止面，所述轉動單元具有一後抵靠面，當所述轉動單元位於所述起始位置時，所述固定單元的前擋止面為朝向所述探針，且所述轉動單元的後抵靠面為抵靠所述前擋止面。
17.如權利要求16所述的可轉動的尋邊器，其特徵在於所述轉動單元還具有一側抵靠面，所述轉動單元以一預定方向轉動時能以其側抵靠面受所述固定單元的前擋止面抵擋而停定於一極限位置。
18.如權利要求16所述的可轉動的尋邊器，其特徵在於所述轉軸能設置於一第一位置與一第二位置其中之一，所述轉動單元在所述轉軸設置於所述第一位置時能自所述起始位置以一第一預定方向轉動，所述轉動單元在所述轉軸設置於所述第二位置時能自所述起始位置以一與所述第一預定方向相反的第二預定方向轉動。
19.如權利要求18所述的可轉動的尋邊器，其特徵在於所述轉動單元還具有一第一側抵靠面及一第二側抵靠面；當所述轉軸設置於所述第一位置且所述轉動單元以所述第一預定方向轉動時，所述轉動單元能以所述第一側抵靠面受所述固定單元的前擋止面抵擋而停定於一第一極限位置；當所述轉軸設置於所述第二位置且所述轉動單元以所述第二預定方向轉動時，所述轉動單元能以所述第二側抵靠面受所述固定單元的前擋止面抵擋而停定於一第二極限位置。
專利摘要本實用新型涉及一種可轉動的尋邊器，包含有一基座、一設置於所述基座的懸臂，以及一設置於所述懸臂的探針；其特徵在於所述基座包含有一固定單元，以及一能轉動地設置於所述固定單元的轉動單元，所述懸臂設置於所述轉動單元。由此，本實用新型的懸臂及探針可隨基座的轉動單元轉動而離開點觸作業進行時的位置，以便鄰近的其他尋邊器進行探針更換作業。
文檔編號G01R1/02GK202757956SQ20122037655
公開日2013年2月27日 申請日期2012年8月1日 優先權日2012年8月1日
發明者廖惇材, 彭柏翰 申請人:旺矽科技股份有限公司