布氣裝置的製作方法

2023-11-11 02:04:32 1

本實用新型涉及一種布氣裝置。

背景技術：

膜層均勻性在大面積磁控濺射鍍膜設備中，是一項非常重要的指標。影響磁控濺射鍍膜均勻性的因素有很多，比如磁場分布、布氣分布、電場分布和濺射擋板開口等因素。目前，提高膜層均勻性的主要方法是，保證設備的磁場均勻性、布氣的均勻性和調節濺射擋板的開口尺寸等方法，及綜合使用這幾種方法。布氣的均勻性非常重要,但是，在一些對膜層均勻性要求非常苛刻的工藝中，常規的布氣設計無法實現工藝要求的均勻性,或即使能實現布氣的均勻性,但由於成本太過昂貴而無法在市場全面推廣,或造成由於結構尺寸太大而無法集成到陰極上。

常規布氣方式容易造成布氣的不均,在兩個進氣口附近形成較多的氣體，從而在造成產品膜層的不均勻。或者會使得整個布氣板的高度很高，成本很高，且會由於尺寸太大的原因，而不能得到應用。

技術實現要素：

本實用新型的目的之一是為了克服現有技術中的不足，提供一種布氣均勻分布且結構簡單的布氣裝置。

為實現以上目的，本實用新型通過以下技術方案實現：

布氣裝置，其特徵在於，包括：

基板，所述基板為長方體形狀，其具有前表面、後表面、上表面、下表面及兩個側表面；所述上表面上開設有第一進氣口和第二進氣口；所述基板設置有第一氣體通道和第二氣體通道，所述第一進氣口與所述第一氣體通道連通，所述第一氣體通道設置所述前表面；所述第二氣體通道與第二進氣口連通，所述第二氣體通道設置在所述後表面；

第一密封板；所述第一密封板與所述基板連接，並位於所述前表面一側；所述第一密封板上設置有多個第一通孔；所述第一通孔與所述第一氣體通道連通；

第一布氣板，所述第一布氣板位於所述第一密封板一側；第一布氣板與所述第一密封板之間設置第三氣體通道，所述第三氣體通道一端與第一通孔連通，另一端朝下設置有第一出氣口；

第二密封板，所述第二密封板與所述基板連接，並位於所述後表面一側；所述第二密封板上設置有多個第二通孔；所述第二通孔與所述第二氣體通道連通；

第二布氣板，所述第二布氣板位於所述第二密封板一側；第二布氣板與所述第二密封板之間設置第四氣體通道，所述第四氣體通道一端與第二通孔連通，另一端朝下設置有第二出氣口；

自第一進氣口進入的氣體經第一氣體通道、第三氣體通道或者兩者的組合均分為多路後，自第一出氣口流出；自第二進氣口進入的氣體經第二氣體通道、第四氣體通道或者兩者的組合均分為多路後，自第二出氣口流出。

根據本實用新型的一個實施例，所述第一氣體通道為第一通氣槽，所述第一通氣槽設置在所述基板前表面，所述第一進氣口與所述第一通氣槽連通；所述第二氣體通道為第二通氣槽，所述第二通氣槽設置在所述基板後表面，所述第二進氣口與所述第二通氣槽連通。

根據本實用新型的一個實施例，所述第三氣體通道為第三通氣槽，所述第三通氣槽設置在所述第一布氣板或第一密封板上；所述第三通氣槽與所述第一通孔連通。

根據本實用新型的一個實施例，所述第四氣體通道為第四通氣槽，所述第四通氣槽設置在所述第二布氣板或第二密封板上；所述第四通氣槽與所述第二通孔連通。

根據本實用新型的一個實施例，還包括布氣擋罩，所述布氣擋罩設置有多個第三通孔；所述布氣擋罩覆蓋所述基板、第一密封板、第二密封板、第一布氣板和第二布氣板下表面；所述第一出氣口與所述第二出氣口均與所述第三通孔連通。

根據本實用新型的一個實施例，所述第一密封板上設置有八個第一通孔，經第一進氣口進入的氣體經第一氣體通道均分為八路後，分別自八個第一通孔內進入八個第三氣體通道內，再經八個第三氣體通道均分為六十四路後經六十四個第一出氣口流出。

根據本實用新型的一個實施例，所述第二進氣口數目為多個，經多個第二進氣口進入的氣體均分為相同或不同數目的多路氣體。

根據本實用新型的一個實施例，所述第二進氣口數目為五個，第二氣體通道及第四氣體通道數目與第二進氣口數目相同；經其中四個第二進氣口進入的氣體被第二氣體通道、第四氣體通道或者兩者的組合均分為八路氣體後流出；經其中一個第二進氣口進入的氣體被第二氣體通道、第四氣體通道或者兩者的組合均分為十六路氣體後流出。

與現有技術相比，本實用新型中的布氣裝置通過採用錯位分布式二元布氣設計，能夠實現工藝氣體沿靶材長度方向分布的均勻性，同時結構緊湊，且在此結構上同時設置了分段供氣結構，以便通過調節各段氣體的數量達到彌補其它因素造成的膜層不均勻現象。本實用新型中的布氣裝置布氣均勻，結構緊湊，製造成本低,能夠實現苛刻膜層均勻性的要求,保證了鍍膜產品的質量。

本實用新型中，基板的兩側分別設置有氣體通道，可充分利用基板的結構空間。採用第一通氣槽、第二通氣槽，分別配合第一密封板、第二密封板及第一布氣板、第二布氣板，使其加工方便，易於生產。第一出氣口與第二出氣口分別錯開設置，使得本實用新型中的布氣更加均勻。

附圖說明

圖1為本實用新型中布氣裝置應用於旋轉陰極的結構示意圖。

圖2為本實用新型中的布氣裝置結構示意圖。

圖3為從另一角度觀察的布氣裝置結構示意圖。

圖4為圖3中的布氣裝置省略擋氣罩後的結構示意圖。

圖5為本實用新型中的基板前表面結構示意圖。

圖6為本實用新型中的基板後表面結構示意圖。

圖7為本實用新型中的基板與第一密封板配合關係示意圖。

圖8為本實用新型中的第一布氣板結構示意圖。

圖9為本實用新型中的基板與第二密封板配合關係示意圖。

圖10為本實用新型中的第二布氣板結構示意圖。

圖11為圖1的側視圖。

具體實施方式

以下結合實施例和附圖對本實用新型進一步說明。

請參閱圖1和圖11，其為旋轉陰極的結構示意圖。所述旋轉陰極包括陰極蓋板1和兩個靶材3。陰極蓋板上分別設置有兩個陰極端頭2和兩個支撐座12。每個靶材3內部安裝有磁棒(圖中未示出)。每個靶材3一端與陰極端頭2連接，另一端支撐在支撐座12上。陰極端頭2實現靶材轉動的驅動功能、靶材冷卻水的傳輸和水動密封功能，即真空動密封功能。在工作的過程中，陰極端頭2帶動靶材3轉動，支撐座12在靶材的另外一側起到支撐和絕緣的作用。陰極端頭2、支撐座12、靶材3、安裝在靶材3內部的磁棒及陰極蓋板1的功能都為本領域人員所習知的技術，本文不再贅述。

兩個靶材3間隔設置，兩個靶材3之間設置有布氣裝置4。布氣裝置4，其結構包括基板5、第一密封板6、第二密封板7、第一布氣板8和第二布氣板9。

如圖2至圖10所示，所述基板5為長方體形狀，其具有前表面51、後表面52、上表面53、下表面54及兩個側表面；所述上表面53上開設有第一進氣口55和第二進氣口56；所述基板5設置有第一氣體通道和第二氣體通道，所述第一進氣口55與所述第一氣體通道連通；所述第二氣體通道與第二進氣口56連通。在如圖所示的示例中，所述第一氣體通道為第一通氣槽57，所述第一通氣槽57設置在所述基板前表面51，所述第一進氣口55與所述第一通氣槽57連通；所述第二氣體通道為第二通氣槽58，所述第二通氣槽58設置在所述基板後表面52，所述第二進氣口56與所述第二通氣槽58連通。

所述第一密封板6與所述基板5連接，並位於所述前表面51一側；所述第一密封板6上設置有多個第一通孔61；所述第一通孔61與所述第一通氣槽57位置相對。所述第一布氣板8位於所述第一密封板6一側；第一布氣板8與所述第一密封板6之間設置第三氣體通道，所述第三氣體通道一端與第一通孔61連通，另一端朝下設置有第一出氣口81。在如圖所示的示例中，所述第三氣體通道為第三通氣槽82，所述第三通氣槽82設置在所述第一布氣板8上；所述第三通氣槽82與所述第一通孔61連通。

在入圖所示的示例中，所述第一密封板6上設置有八個第一通孔61，經第一進氣口55進入的氣體經第一通氣槽57均分為八路後，分別自八個第一通孔61內進入八個第三通氣槽82內，再經八個第三通氣槽82均分為六十四路後經六十四個第一出氣口71流出。

所述第二密封板7與所述基板5連接，並位於所述後表面52一側；所述第二密封板7上設置有多個第二通孔71；所述第二通孔71與所述第二通氣槽58位置相對。所述第二布氣板9位於所述第二密封板7一側；第二布氣板9與所述第二密封板7之間設置第四氣體通道，所述第四氣體通道一端與第二通孔71連通，另一端朝下設置有第二出氣口91。在如圖所示的示例中，所述第四氣體通道為第四通氣槽92，所述第四通氣槽92設置在所述第二布氣板9上；所述第四通氣槽92與所述第二通孔71連通。

在如圖所示的示例中，所述第二進氣口56數目為五個，經五個第二進氣口56進入的氣體均分為相同或不同數目的多路氣體。第二通氣槽58及第四通氣槽92數目為6個，經其中四個第二進氣口56進入的氣體被第二通氣槽58、第四通氣槽92或兩者的組合均分為八路氣體後流出；經其中一個第二進氣口56進入的氣體被第二通氣槽58、第四通氣槽92或者兩者的組合均分為二十四路後經二十四個第二出氣口91流出。

所述布氣裝置4還包括布氣擋罩10，所述布氣擋罩10設置有多個第三通孔11；所述布氣擋罩10覆蓋所述基板5、第一密封板6、第二密封板7、第一布氣板8和第二布氣板9下表面。所述第一出氣口81與所述第二出氣口91均與所述第三通孔11連通。

本實用新型使用時，自第一進氣口55進入的氣體經第一氣體通道、第二氣體通道或者兩者的組合均分為多路後，自第一出氣口81流出；自第二進氣口56進入的氣體經第二氣體通道、第四氣體通道或者兩者的組合均分為多路後，自第二出氣口91流出。自第一出氣口81流出的氣體和自第二出氣口91流出的氣體均自第三通孔11流出。

與現有技術相比，本實用新型中的布氣裝置通過採用錯位分布式二元布氣設計，能夠實現工藝氣體沿靶材長度方向分布的均勻性，同時結構緊湊，且在此結構上同時設置了分段供氣結構，以便通過調節各段氣體的數量達到彌補其它因素造成的膜層不均勻現象。本實用新型中的布氣裝置布氣均勻，結構緊湊，製造成本低,能夠實現苛刻膜層均勻性的要求,保證了鍍膜產品的質量。

本實用新型中的實施例僅用於對本實用新型進行說明，並不構成對權利要求範圍的限制，本領域內技術人員可以想到的其他實質上等同的替代，均在本實用新型保護範圍內。