一種阻擋水霧裝置及劃片機的製作方法

2023-11-07 04:35:57

本發明涉及劃片機設備領域，尤其涉及一種阻擋水霧裝置及劃片機。

背景技術：

信息化高速發展的背景下，半導體製品需求量增大，從而使自動劃片機的需求量日益增多。但產品的老化及損壞，增加著售後維修成本。其中水霧對Z向溜板及光柵尺的腐蝕，加速了自動劃片機設備的老化及損壞。Z向溜板的材料為灰口鑄鐵，極易被腐蝕；光柵尺精度微米級，附著汙漬會改變光的反射角度，影響側值增加誤差。

目前，多數自動劃片機採用通過塑料捲簾阻擋水霧，但在高速劃切過程中產生的大量水霧會從各個方向滲出，顯微鏡觀測口尤甚，現有裝置阻擋水霧效果不佳，水霧通過顯微鏡觀測口附著在Z向溜板及光柵尺上產生腐蝕和汙漬。

技術實現要素：

有鑑於此，本發明提供一種阻擋水霧裝置及劃片機，解決阻擋水霧效果不佳的問題。

為解決上述問題，本發明提供一種阻擋水霧裝置，包括：底板和與底板連接的相對設立的側壁，底板表面沿底板的厚度方向設置有第一氣孔和第二氣孔，第一氣孔和第二氣孔的孔壁上沿著徑向方向分別設置有具有導向作用的第一氣槽和第二氣槽，底板的側面設置有第一進氣口和第二進氣口，底板的內部設置有第一氣體流通通道和第二氣體流通通道，第一氣體流通通道的一端與第一氣槽連通，第一氣體流通通道的另一端連接第一進氣口，第二氣體流通通道的一端與第二氣槽連通，第二氣體流通通道的另一端連接第二進氣口，第一進氣口與第二進氣口連接輸送壓力氣體的氣管。

壓力氣體依次通過氣管、第一進氣口、第一氣體流通通道以及第一氣槽，在第一氣孔中形成阻擋水霧的氣旋，壓力氣體同時還依次通過氣管、第二進氣口、第二氣體流通通道以及第二氣槽，在第二氣孔中形成阻擋水霧的氣旋。

可選地，底板與側壁上設置有用於將阻擋水霧裝置與鏡頭連接的第一連接部。

可選地，第一連接部為固定孔。

可選地，底板上遠離第一進氣口與第二進氣口的一側設置有用於連接鏡頭除水吹氣管的第二連接部。

可選地，底板上靠近第一進氣口與第二進氣口一側設置有用於固定阻擋水霧裝置的第三連接部。

可選地，第一氣孔與第二氣孔均為圓形通孔。

可選地，第一氣槽與第一氣體流通通道相切連接，第二氣槽與第二氣體流通通道相切連接。

可選地，第一氣槽與第二氣槽、第一氣體流通通道與第二氣體流通通道、第一進氣口與第二進氣口均軸對稱設置，第一氣孔與第二氣孔內形成的氣旋方向相反。

可選地，第一氣孔中形成的氣旋方向與第二氣孔中形成的氣旋方向相同，均為逆時針方向。

本發明還提供一種劃片機，包括上述阻擋水霧裝置。

綜上所述，阻擋水霧裝置包括設置在第一氣孔和第二氣孔的孔壁上具有導向作用的第一氣槽、第二氣槽和分別與第一氣槽、第二氣槽連通的第一氣體流通通道、第二氣體流通通道以及第一進氣口、第二進氣口，壓力氣體依次通過氣管、第一進氣口、第一氣體流通通道以及第一氣槽，壓力氣體同時還依次通過氣管、第二進氣口、第二氣體流通通道以及第二氣槽，分別在第一氣孔和第二氣孔中形成氣旋，水霧接觸到旋渦狀氣旋被彈開，從而改變水霧流動方向，防止水霧腐蝕設備零部件,延緩設備老化，保證設備精度，具有結構簡單，安裝方便，便於維修的優點，同時水霧阻擋裝置與顯微鏡鏡頭連接形成顯微固定裝置，空間利用率高，成本低，實用性強。

附圖說明

圖1為本發明具體實施例的阻擋水霧裝置的結構示意圖；

圖2為本發明具體實施例的阻擋水霧裝置的原理示意圖；

圖3為本發明具體實施例的劃片機的結構簡圖。

附圖標記說明

1、底板；2、側壁；3、第一進氣口；4、第一氣流流通通道；5、第一氣槽；6、第一氣孔；7、第二氣孔；8、第二氣槽；9、第二氣流流通通道；10、第二進氣口；11、阻擋水霧裝置；12、鏡頭除水吹氣管；13、顯微鏡觀測口；14、顯微鏡外罩；15、空氣主軸；16、Z向溜板；17、Z向光柵尺；A、旋轉氣旋運動方向；B、水霧運動方向。

具體實施方式

為使本發明要解決的技術問題、技術方案和優點更加清楚，下面將結合附圖及具體實施例進行詳細描述。

參見圖1～圖3，本實施例中，阻擋水霧裝置11包括：底板1和與底板1連接的一對相對設立的側壁2，底板1表面上沿厚度方向設置有第一氣孔6和第二氣孔7，第一氣孔6和第二氣孔7為圓形通孔，第一氣孔6和第二氣孔7的孔壁上均開有具有導向作用的第一氣槽5和第二氣槽8。

本實施例中，底板1的側面設置有第一進氣口3和第二進氣口10，底板1的內部設置有第一氣體流通通道4和第二氣體流通通道7，其中第一氣槽5與第二氣槽8均為環形氣槽。其中，第一氣體流通通道4的一端與第一氣槽5連通，第一氣體流通通道4的另一端連接第一進氣口3。第二氣體流通通道7的一端與第二氣槽8連通，第二氣體流通通道7的另一端連接第二進氣口10，第一進氣口3與第二進氣口10連接輸送壓力氣體的氣管。

本實施例中，第一氣槽5與第一氣體流通通道4相切連接，第二氣槽8與第二氣體流通通道7相切連接。

當空氣主軸15高速運轉時，刀片接觸到冷卻水流，水流被打散霧化，向各個方向流動。此時壓力氣體接通，經氣管流向阻擋水霧裝置11，壓力氣體依次通過氣管、第一進氣口3、第一氣體流通通道4以及第一氣槽5，在第一氣孔6中形成氣旋；壓力氣體同時還依次通過氣管、第二進氣口10、第二氣體流通通道7以及第二氣槽8，在第二氣孔7中形成氣旋。

其中，第一氣槽5與第二氣槽8、第一氣體流通通道4與第二氣體流通通道7、第一進氣口3與第二進氣口10均軸對稱設置，第一氣孔6與第二氣孔7內形成的氣旋方向相反。本實施例中，第一氣體流通通道4在第一氣槽5的左邊相切，第二氣體流通通道2與第二氣槽7在右邊相切，故而第一氣孔6的氣旋為順時針方向，第二氣孔7的氣旋為逆時針方向，當然，本實施例並不限定相切的具體位置，具體位置取決於安裝空間。

本實施例中，第一氣孔6中形成的氣旋方向與第二氣孔7中形成的氣旋方向可以相同，均為逆時針方向，在地球北半球，科裡奧利力(簡稱科氏力)造成流體逆時針旋轉，本實施例中，氣旋方向與科氏加速度方向一致，即氣旋方向為逆時針方向，可以減小氣體運動過程中的能量損失，從而提高防水霧的質量。

本實施例中，氣旋分布在鏡頭的四周並沿著第一氣孔6或第二氣孔7的軸線(即鏡頭的軸線)方向向下移動並經過顯微鏡觀測口13排出，即為圖3中的旋轉氣膜運動方向A。

飛向顯微鏡觀測口13的水霧遇到氣旋後，運動軌跡改變，向周圍運動(圖3中的水霧運動方向B)，無法經過顯微鏡觀測口13飄向上方附著在其它部件(例如Z向溜板16、Z向光柵尺17)上面，從而起到了阻礙水霧的作用，防止水霧腐蝕部件。

本實施例中，阻擋水霧裝置11還包括第一連接部和第二連接部，其中，第一連接部(例如固定孔)設置在底板1與側壁2上，第一連接部用於連接阻擋水霧裝置11與顯微鏡鏡頭，置於顯微鏡外罩14的內部，第二連接部設置在底板上遠離第一進氣口3與第二進氣口10的一側，第二連接部連接鏡頭除水吹氣管12，當需要通過鏡頭觀測時，鏡頭除水吹氣管12吹去鏡頭附近的水霧。

本實施例中，顯微鏡鏡頭觀測口11下面布置傳統的防水霧裝置，例如擋板，共同起到阻擋水霧的作用。

本實施例中，阻擋水霧裝置11在有限的空間內將鏡頭固定機構和氣膜包覆保護機構相結合，能有效提高空間的利用率。

本實施例中，阻擋水霧裝置11還包括底板上第一進氣口3與第二進氣口10一側的第三連接部，例如凸臺，凸臺上設置有安裝孔，用於將連接後的阻擋水霧裝置11與顯微鏡鏡頭進行固定，例如固定在劃片機上。

綜上所述，阻擋水霧裝置包括設置在第一氣孔和第二氣孔的側壁的具有導向作用的第一氣槽、第二氣槽和分別與第一氣槽、第二氣槽連通的第一氣體流通通道、第二氣體流通通道以及第一進氣口、第二進氣口，壓力氣體依次通過氣管、第一進氣口、第一氣體流通通道以及第一氣槽，壓力氣體同時還依次通過氣管、第二進氣口、第二氣體流通通道以及第二氣槽，分別在第一氣孔與第二氣孔中形成氣旋，水霧接觸到旋渦狀氣旋被彈開，從而改變水霧流動方向，防止水霧腐蝕設備零部件，具有結構簡單，安裝方便，便於維修的優點，同時與原有顯微鏡部件連接，空間利用率高，成本低，實用性強。

以上所述是本發明的優選實施方式，應當指出，對於本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本發明所述原理的前提下，還可以作出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本發明的保護範圍。