掩膜傳輸裝置的製作方法

2023-10-05 21:34:09

專利名稱：掩膜傳輸裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種掩膜傳輸裝置，尤其涉及一種能提高半導體行業生產線上的掩膜傳輸連貫性以及與外界模塊的連貫性的掩膜傳輸裝置。
背景技術：
隨著社會的不斷進步，經濟的不斷發展，以及科學技術的不斷提高，使企業對流水 線作業中的各設備之間的工作連貫性提出新的要求。這是由於各設備間的工作連貫性在很 大程度上影響到流水線作業的生產效率和成本。相應地，在半導體行業的掩膜生產系統中， 也遇到相同類型的問題，因此，如何提高各設備間的工作連貫性已成為企業急需解決的問
題之一。目前，現有的用於對掩膜進行傳輸的傳輸裝置的工作流程如下先是傳輸裝置將 生產線上的掩膜以滾動傳輸方式被輸送到掩膜承載設備的附近。當輸送到掩膜承載設備附 近後，此時的傳輸裝置的機械手作動，將輸送來的掩膜拾取並存儲於掩膜承載設備內，從而 完成一個掩膜的一個存儲流程，當要存儲下一個掩膜時，重複上述的流程即可實現，直接掩 膜承載設備被存滿為止。然而，上述的用於傳輸掩膜的傳輸裝置在掩膜由生產線傳輸到掩膜承載設備內， 此過程會涉及到傳輸裝置的兩種不同的傳輸方式，第一種是以滾動傳輸方式把生產線上的 掩膜往掩膜承載設備附近輸送，第二種是以機械手傳輸方式把掩膜承載設備附近的掩膜進 行分層地存儲於掩膜承載設備內，這一方面使得現有的傳輸裝置在掩膜的輸送和存儲過程 的連貫性極差，從而降低了對掩膜的處理效率，因而增加了處理成本；另一方面，由於現有 的傳輸裝置存在兩種不同的傳輸方式，故增加了現有的傳輸裝置的設計難度。

實用新型內容本實用新型的目的在於提供一種掩膜傳輸裝置，該掩膜傳輸裝置一方面能最大限 度地提高掩膜傳輸和存儲的連貫性，從而提高了掩膜的處理效率，因而降低掩膜的處理成 本；另一方面能克服現有的傳輸裝置因存在兩種不同的傳輸方式而造成設計難度加大的問 題，使本實用新型掩膜傳輸裝置的設計更易。為實現上述目的，本實用新型提供了一種掩膜傳輸裝置，適用於對半導體生產線 上的掩膜進行傳輸，其包括腔體、傳輸機構、承載籃子、升降機構、控制機構及抽真空機構。 所述腔體呈中空結構，所述中空結構形成密封的工作腔，所述腔體的前端開設有第一輸送 口，所述腔體的後端開設有第二輸送口。所述傳輸機構包括傳輸件及傳輸驅動器，所述傳輸 件沿水平方向設置於所述工作腔內並與所述傳輸驅動器連接，所述傳輸件的後端與所述腔 體的第二輸送口對接。所述承載籃子包括呈中空結構的承載框體，所述承載框體內相對的 兩側壁上分別設置有至少兩個支撐組，所述支撐組呈等間距的平行分布，所述支撐組由沿 同一水平面設置的若干支撐件組成，相鄰的支撐組之間形成呈水平的存儲槽，每個掩膜插 放於一個存儲槽內，所述承載框體的後端開設有傳輸口。所述升降機構包括升降驅動器及升降承載架，所述升降驅動器安裝於所述腔體外，所述升降驅動器的輸出軸呈密封地穿入 所述工作腔內並與所述升降承載架連接，所述承載籃子承載於所述升降承載架上，所述升 降驅動器驅動所述承載籃子在所述工作腔內做豎直方向的往返運動，所述承載籃子的往返 運動使所述傳輸口在所述腔體內形成傳輸對接區，所述傳輸件的前端與所述傳輸對接區對 接，所述承載籃子的前端朝向所述第一輸送口。所述控制機構包括控制處理器及第一傳感 器，所述第一傳感器安裝於所述腔體上且正對所述傳輸件的前端，所述第一傳感器與所述 控制處理器電連接，所述控制處理器與所述升降驅動器電連接，所述第一傳感器檢測到所 述傳輸件的前端具有掩膜並發送信號給控制處理器，所述控制處理器控制所述升降驅動器 驅動所述承載籃子的存儲槽逐一與所述傳輸件的前端對接。所述抽真空機構與所述腔體連 接並為所述工作腔提供真空環境。較佳地，所述傳輸機構還包括傳送件，所述傳送件沿水平方向收容於所述承載籃子的承載框體內並與所述傳輸驅動器連接，所述傳送件的前端與所述第一輸送口對接，所 述傳送件的後端與所述傳輸件的前端對接，所述控制機構控制所述升降驅動器驅動所述承 載籃子沿垂直於所述傳送件方向做往返的運動。通過上述的傳送件，把存儲於承載籃子內 的掩膜往傳輸件處輸送，實現承載籃子與傳輸機構的掩膜的往返輸送，因而提高了傳輸機 構和承載籃子之間的連貫性。具體地，所述控制機構還包括與控制處理器電連接的第二傳 感器、第三傳感器及止動驅動器，所述第二傳感器設置於所述腔體上並與所述傳送件的後 端正對，所述第三傳感器設置於所述腔體上並與所述傳送件的前端正對，所述止動驅動器 安裝於所述腔體外，且所述止動驅動器的止動軸呈密封地伸入所述工作腔內並與傳送件和 傳輸件的對接處正對，所述止動驅動器驅動止動軸阻擋或釋放於傳送件和傳輸件之間輸送 的掩膜。通過上述的第二傳感器，用於感應傳送件的後端是否具有掩膜，並將信號反饋於控 制處理器；通過上述的第三傳感器，用於感應掩膜在承載籃子的存儲是否到位，並將信號反 饋於控制處理器；通過上述的止動驅動器去執行控制處理器的命令，並阻擋傳送件和傳輸 件之間輸送的掩膜，從而為承載籃子的存儲槽逐一與傳輸件的前端對接提供極其優越的條 件。同時也為承載籃子的存儲槽逐一與外界的存儲設備對接提供優越的條件。更具體地， 所述傳送件包括傳送輪、安裝軸及安裝支架，所述安裝支架與所述腔體連接，所述安裝軸與 所述安裝支架樞接，所述傳送輪安裝在所述安裝軸上，所述承載框體的支撐組沿豎直方向 開設有供所述承載籃子沿所述傳送輪做豎直方向往返運動的導向槽。通過由上述的傳送 輪、安裝軸及安裝支架組成的傳送件，使得傳送件的結構簡單，且安裝方便。通過上述的導 向槽，使得承載籃子能相對於傳送輪作豎直方向的移動，從而實現承載籃子內的掩膜的分 層存儲。較佳地，所述腔體上還設置有對所述第一輸送口密封的第一間門、對所述第二輸 送口進行密封的第二閘閥。通過上述的第一閘門和第二閘閥，保證腔體能處於真空中工作。 具體地，所述第一間門的對所述第一輸送口進行密封的表面由內至外開設有呈平行排列的 第一凹槽及第二凹槽，所述第一凹槽和第二凹槽上均設有密封件。通過上述的第一凹槽、第 二凹槽和密封件，使第一間門具有雙封閉結構，從而為腔體提供極其優越的氣密性能。較佳地，所述抽真空機構包括氣管、真空計、第三閘閥、第四閘閥、充氣裝置及真空 產生器，所述氣管的一端依次連接有所述真空計和腔體，所述氣管的另一端分別與第三閘 閥和第四閘閥的一端連接，所述第三閘閥的另一端通過所述氣管與所述真空產生器連接，所述第四間閥的另一端通過所述氣管分別與所述充氣裝置和真空產生器連接。通過由上述 的氣管、真空計、第三閘閥、第四閘閥、充氣裝置及真空產生器組成的抽真空機構，為腔體內 創造真空環境，確保掩膜和腔體的潔淨度。較佳地，所述升降承載 架包括兩側板、導向塊、限位輥子、固定件及與所述升降驅 動器的輸出軸連接的底板，兩所述側板分別對稱地固定連接於所述底板的兩側，所述限位 輥子固定連接於所述底板的後端，所述導向塊固定連接於所述底板的前端，所述導向塊的 兩側相互平行且開設有滾動滑動槽，所述固定件的下端兩側樞接有滑動輥子，所述固定件 的上端兩側樞接有止動輥子，所述滑動輥子滑動地的卡設於所述滾動滑動槽內，所述承載 籃子的前端開設有容置所述止動輥子的滑動固定槽，所述承載籃子的後端與所述限位輥子 牴觸，所述承載籃子的前端與所述固定件牴觸。通過由上述的底板、兩側板、導向塊、限位輥 子及固定件組成的升降承載架，使得升降承載架的結構緊湊，工作可靠。更具體地，兩所述 側板的頂面均設置有若干呈間隙排列且中心位於同一直線上的導向定位輥子，兩所述側板 相對面均設置有若干呈間隙排列且中心位於同一直線上的傳送輥子，所述導向定位輥子與 所述傳送輥子呈垂直設置，且所述導向定位輥子、傳送輥子、限位輥子及導向塊形成供所述 承載籃子定位的定位腔，所述承載籃子收容於定位腔內，且所述固定件的止動輥子收容於 所述承載籃子的滑動固定槽上並與所述承載籃子的前端牴觸。通過上述的導向定位輥子、 傳送輥子、限位輥子及固定件，在固定件的止動輥子收容於承載籃子的滑動固定槽內時使 得承載籃子能可靠地固定於升降承載架上。同時，在固定件的止動輥子脫離於承載籃子的 滑動固定槽時驅使承載籃子朝腔體的第一輸送口處移動，從而實現承載籃子往下道工序內 輸送。與現有技術相比，由於本實用新型掩膜傳輸裝置的承載籃子的傳輸對接區與傳輸 機構的傳輸件對接，且在控制機構的控制下和升降機構的驅動下，使得承載籃子的由相鄰 支撐組之間形成的呈水平的存儲槽逐一與傳輸件對接，從而使得被傳輸機構的傳輸件所輸 送來的每個掩膜均能極其連貫地存儲於承載籃子的一個存儲槽內，因而提高了本實用新型 的掩膜傳輸裝置的對掩膜的傳輸和存儲的連貫性，進而提高了掩膜的處理效率並降低掩膜 的處理成本。同時，本實用新型的掩膜傳輸裝置能克服現有的傳輸裝置因存在兩種不同的 傳輸方式而造成設計難度加大的問題，使本實用新型掩膜傳輸裝置的設計更易。

圖1是本實用新型掩膜傳輸裝置的結構示意圖。圖2a和圖2b是圖1所示的掩膜傳輸裝置的狀態示意圖。圖3是圖1所示的掩膜傳輸裝置的第一閘門的結構示意圖。圖4是沿圖3中A-A線的剖視圖。圖5是圖4中B部分的放大圖。圖6是圖1所示的傳送件收容於承載籃子的承載框體內的結構示意圖。圖7是圖6所示的傳送件與承載框體的內部相對位置的結構示意圖。圖8是本實用新型掩膜傳輸裝置的承載籃子承載在升降承載架上的結構示意圖。圖9是圖8中C部分的放大圖。
具體實施方式
為了詳細說明本實用新型的技術內容、構造特徵，以下結合實施方式並配合附圖 作進一步說明。請參閱圖1、圖6和圖8，本實用新型的掩膜傳輸裝置1用於對半導體生產線上的 掩膜3進行傳輸，其包括腔體12、傳輸機構、承載籃子11、升降機構、控制機構及抽真空機 構。所述腔體12為掩膜3的傳輸和存儲提供真空環境，所述傳輸機構將生產線上輸送來的 掩膜3往承載籃子11內輸送，所述承載籃子11包括呈中空結構的承載框體11a，該承載框 體1 Ia上設置有至少兩個支撐組111，沿水平方向相鄰的兩支撐組111之間形成供掩膜3分 層存儲的存儲槽113，所述升降機構驅動承載籃子11沿豎直方向的移動而實現掩膜3於承 載籃子11內的分層 存儲，所述控制機構控制升降機構，使升降機構能協調並精準地驅動承 載籃子11，為傳輸機構所輸送來的掩膜3於承載籃子11內的傳輸和分層存儲提供條件，所 述抽真空機構將腔體12進行抽真空，為腔體12創造真空環境。具體地，如下請參閱圖1至圖2b，所述腔體12呈中空結構，所述中空結構形成密封的工作腔 120，所述腔體12的前端開設有第一輸送口 121，所述腔體12的後端開設有第二輸送口 122。為了能在腔體12內創造更優越的真空環境，故所述腔體12還設置有對所述第一輸送 口 121密封的第一閘門123、對所述第二輸送口 122進行密封的第二閘閥124。結合圖3至 圖5，具體地，所述第一閘門123的對所述第一輸送口 121進行密封的表面由內至外開設有 呈平行排列的第一凹槽1231及第二凹槽1232，所述第一凹槽1231和第二凹槽1232上均設 有密封件1233。通過上述的第一凹槽1231、第二凹槽1232和密封件1233，使第一閘門123 具有雙封閉結構，從而為腔體12提供極其優越的氣密性能。請參閱圖1至圖2b和圖6，所述傳輸機構包括傳輸件131及傳輸驅動器(圖中未 示)，所述傳輸件131沿水平方向設置於所述工作腔120內並與所述傳輸驅動器連接，所述 傳輸件131的後端與所述腔體12的第二輸送口 122對接，即是傳輸件131的傳輸掩膜3的 高度和第二輸送口 122的正中位置正對以便於與腔體12後端連接的模塊輸送來的掩膜3 往傳輸件131處輸送。其中，為了使承載籃子11內的掩膜3能往傳輸件131處輸送，故所述 傳輸機構還設有傳送件132，所述傳送件132沿水平方向收容於所述承載籃子11的承載框 體Ila內並與所述傳輸驅動器連接，所述傳送件132的前端與所述第一輸送口 121對接，所 述傳送件132的後端與所述傳輸件131的前端對接，即是傳送件132對掩膜3的傳輸高度 和傳輸件131對掩膜3的傳輸高度是相同的，均位於同一水平面上，所述升降驅動器驅動所 述承載籃子11沿垂直於所述傳送件132方向做往返的運動。通過上述的傳送件132，把存 儲於承載籃子11內掩膜3往傳輸件131處輸送，實現承載籃子11與傳輸機構的掩膜3的 往返輸送，因而提高了傳輸機構和承載籃子11之間的連貫性。結合圖7和圖8，具體地，所 述傳送件132包括傳送輪1321、安裝軸1322及安裝支架1323，所述安裝支架1323與所述 腔體12連接，所述安裝軸1322與所述安裝支架1323樞接，所述傳送輪1321安裝在所述安 裝軸1322上，所述承載框體Ila的支撐組111沿豎直方向開設有供所述承載籃子11沿所 述傳送輪1321做豎直方向往返運動的導向槽112。通過由上述的傳送輪1321、安裝軸1322 及安裝支架1323組成的傳送件132，使得傳送件132的結構簡單，且安裝方便。通過上述的 導向槽112，使得承載籃子11能相對於傳送輪1321作豎直方向的移動，從而實現承載籃子 11內的掩膜3的分層存儲。值得注意者，上述的傳輸件131的結構可以採用與傳送件132一樣的結構，也可以是其它的結構，而在本實施例中，傳輸件131的結構是和傳送件132的
結構一樣。請參閱圖1至圖2b、圖6和圖7，上述的支撐組111是設置於承載框體Ila內相對的兩側壁上，其中，所述支撐組111的個數是根據實際的需要而靈活地選擇的，在此不對其 進行限制。所述支撐組111呈等間距的平行分布，具體地，所述支撐組111沿水平方向和豎 直方向均是呈等間距且平行分布的，以便於安裝和承載物件。沿水平方向的所述支撐組111 由若干支撐件115組成，沿豎直方向的所述支撐組111也是由若干支撐件115組成，該支撐 件115的個數是根據實際所需而選擇的。且沿水平方向相鄰的支撐組111之間形成上述的 存儲槽113，每個掩膜3插放於一個存儲槽113內；而沿豎直方向相鄰的支撐組111之間形 成上述的導向槽112，該導向槽112為承載籃子11相對於傳送件132作豎直方向移動提供 條件。同時，所述承載框體Ila的後端開設有傳輸口 116。請參閱圖1至圖2b和圖8，所述升降機構包括升降驅動器14及升降承載架15，所 述升降驅動器14安裝於所述腔體12外，所述升降驅動器14的輸出軸141呈密封地穿入所 述工作腔120內並與所述升降承載架15連接，所述承載籃子11承載於所述升降承載架15 上，所述升降驅動器14驅動所述承載籃子11在所述工作腔120內做豎直方向的往返運動， 所述承載籃子11的往返運動使所述傳輸口 116在所述腔體12內形成傳輸對接區(圖中未 標識)，所述傳輸件131的前端與所述傳輸對接區對接，具體地，是傳輸件131的前端與承載 籃子11的存儲槽113逐一對接以使傳輸件131把每個掩膜3存儲於一個存儲槽113內，而 所述承載籃子11的前端朝向所述第一輸送口 121。結合圖9，更具體，如下所述升降承載架15包括第一側板152、第二側板153、導向塊155、限位輥子156、 固定件154及與所述升降驅動器14的輸出軸141連接的底板151。第一側板152、第二側 板153分別對稱地固定連接於所述底板151的兩側，所述限位輥子156固定連接於所述底 板151的後端，所述導向塊155固定連接於所述底板151的前端，所述導向塊155的兩側相 互平行且開設有滾動滑動槽1550，該滾動滑動槽1550包括相互連通的固定槽1550a和釋放 槽1550b，所述固定槽1550a是由導向塊155沿豎直方向開設的，而釋放槽1550b是由導向 塊155沿與固定槽1550a呈銳角的方向開設的，且釋放槽1550b位於固定槽1550a的前方， 所述固定件154的下端兩側樞接有滑動輥子1541，所述固定件154的上端兩側樞接有止動 輥子1542，所述滑動輥子1541滑動地的卡設於所述滾動滑動槽1550內，所述承載籃子11 的前端開設有容置所述止動輥子1542的滑動固定槽114，所述承載籃子11的後端與所述 限位輥子156牴觸，所述承載籃子11的前端與所述固定件154牴觸，具體地，當固定件154 的滑動輥子1541滑動到固定槽1550a的末端，此時的固定件154的止動輥子1542收容於 承載籃子11的滑動固定槽114內並與承載籃子11的前端牴觸，從而實現承載籃子11在升 降承載架15上的固定；當固定件154的滑動輥子1541滑動到釋放槽1550b的末端且使固 定件154與固定槽1550a之間形成夾角為銳角時，此時的固定件154的止動輥子1542脫離 承載籃子11的滑動固定槽114，使得承載籃子11可沿升降承載架15上滑動。通過由上述 的底板151、第一側板152、第二側板153、導向塊155、限位輥子156及固定件154組成的升 降承載架15，使得升降承載架15的結構緊湊，工作可靠。更具體地，第一側板152和第二 側板153的頂面均設置有若干呈間隙排列且中心位於同一直線上的導向定位輥子157，第 一側板152和第二側板153的相對面均設置有若干呈間隙排列且中心位於同一直線上的傳送輥子158，所述導向定位輥子157與所述傳送輥子158呈垂直設置，且所述導向定位輥子 157、傳送輥子158、限位輥子156及導向塊155形成供所述承載籃子11定位的定位腔(圖 中未標識)，所述承載籃子11收容於定位腔內，且所述固定件154的止動輥子1542收容於 所述承載籃子11的滑動固定槽114上並與所述承載籃子11的前端牴觸，實現對承載籃子 11在升降承載架15上的固定。通過上述的導向定位輥子157、傳送輥子158、限位輥子156 及固定件154，在固定件154的止動輥子1542收容於承載籃子11的滑動固定槽114內時使 得承載籃子11能可靠地固定於升降承載架15上。同時，在固定件154的止動輥子1542脫 離於承載籃子11的滑動固定槽114時驅使承載籃子11朝腔體12的第一輸送口 121處移 動，從而實現承載籃子11往與腔體1前端連接的模塊內輸送。 請參閱圖1至圖2b，所述控制機構包括控制處理器及第一傳感器193，所述第一傳 感器193分別地安裝於所述腔體12上且正對所述傳輸件131的前端，所述第一傳感器193 與所述控制處理器電連接，所述控制處理器與所述升降驅動器14電連接，所述第一傳感器 193檢測到所述傳輸件131的前端具有掩膜3並發送信號給控制處理器，所述控制處理器控 制所述升降驅動器14驅動所述承載籃子11的存儲槽113逐一與所述傳輸件131的前端對 接。其中，為檢測傳送件132所輸送的掩膜3在承載籃子11內是否到位，以及為檢測傳送 件132往傳輸件131輸送的掩膜3位置，故所述控制機構還設計有第二傳感器192、第三傳 感器191及止動驅動器18，所述第二傳感器192設置於所述腔體12上並與所述傳送件132 的後端正對，所述第三傳感器191設置於所述腔體12上並與所述傳送件132的前端正對， 所述止動驅動器18安裝於所述腔體12外，且所述止動驅動器18的止動軸181呈密封地伸 入所述工作腔120內並與傳送件132和傳輸件131的對接處正對，所述止動驅動器18驅動 止動軸181阻擋或釋放於傳送件132和傳輸件131之間輸送的掩膜3。通過上述的第二傳 感器192，用於感應傳送件132的後端是否具有掩膜3，並將信號反饋於控制處理器；通過上 述的第三傳感器191，用於感應掩膜3在承載籃子11的存儲是否到位，並將信號反饋於控制 處理器；通過上述的止動驅動器18去執行控制處理器的命令，並阻擋傳送件132和傳輸件 131之間輸送的掩膜3，從而為承載籃子11的存儲槽113逐一與傳輸件131的前端對接提 供極其優越的條件。同時也為承載籃子11的存儲槽113逐一和與腔體12後端連接的模塊 的存儲設備對接提供優越的條件。參閱圖1至圖2b，所述抽真空機構與所述腔體12連接並為所述工作腔120提供真 空環境。具體地，所述抽真空機構包括氣管161、真空計162、第三閘閥163、第四閘閥164、 充氣裝置及真空產生器，所述氣管161的一端依次連接有所述真空計162和腔體12，所述氣 管161的另一端分別與第三閘閥163和第四閘閥164的一端連接，所述第三閘閥163的另 一端通過所述氣管161與所述真空產生器連接，所述第四間閥164的另一端通過所述氣管 161分別與所述充氣裝置和真空產生器連接。通過由上述的氣管161、真空計162、第三閘閥 163、第四閘閥164、充氣裝置及真空產生器組成的抽真空機構，為腔體12內創造真空環境， 確保掩膜3和腔體12的潔淨度。對於上述的真空產生器及充氣裝置，其結構均是本領域普 通技術人員所熟知，故不對其結構進行描述。結合附圖，對本實用新型的安裝在前後模塊之間的掩膜傳輸裝置1的工作原理作 詳細的說明。開啟抽真空機構，並打開第四閘閥164，使抽真空機構對腔體12進行前期抽 真空，然後再關閉第四閘閥164，同時打開第三閘閥163，使抽真空機構再對腔體12進行後期抽真空，並由真空計162對腔體12的氣壓進行實時的檢測，根據真空計162的檢測結果 去調節第三閘閥163，使腔體12內的真空環境達到預設的要求。當腔體12與後模塊內的 真空均達到要求時，此時打開第二閘閥124，為後模塊將其內的掩膜3往傳輸機構的傳輸件 131處輸送提供條件。當後模塊的掩膜3被輸送到傳輸件131處時，此時的傳輸件131便沿 圖2a中傳輸件131內箭頭所指的方向轉動，把傳輸件131上的掩膜3往承載籃子11內的 傳送件132處輸送。當掩膜3被輸送到傳輸件131的前端並被第一傳感器193所感應時， 此時的第一傳感器193便將該信號反饋於控制處理器，由控制處理器控制止動驅動器18工 作，工作的上動驅動器18便驅動止動軸181上升，從而阻擋傳輸件131前端上的掩膜3繼續 往傳送件132處輸送，在掩膜3和傳輸件131的摩擦力下使傳輸件131停止轉動。同時，控 制處理器控制升降機構的升降驅動器14工作，工作的升降驅動器14驅動承載籃子11的最 上的存儲槽113與傳輸件131所輸送的掩膜3處於同一傳輸高度上。接著，控制處理器便 再控制止動驅動器18工作，工作的止動驅動器18便驅動止動軸181下降，使得傳輸件131 上的掩膜3能繼續地往傳送件132處輸送，由於傳送件132和傳輸件131對掩膜3的傳輸 高度是相同的，故傳送件132與承載籃子11的最上存儲槽113也是處於同一傳輸高度，因 此在傳送件132的轉動下便能連貫地將掩膜3存儲於承載籃子11內。當傳送件132上的 掩膜3被第三傳感器191所感應後，此時的掩膜3正好被傳輸到位，控制處理器便令傳送件 132停止轉動，從而完了對後模塊所輸送來的一個掩膜3的存儲。當承載籃子11要存儲下 一個掩膜3時，控制處理器再控制升降機構的升降驅動器14，由升降驅動器14驅動承載籃 子11上升一個由兩相鄰存儲槽113的中心構成的中心距，即是使與最上存儲槽113相鄰的 存儲 槽113與傳輸件131位於同一傳輸高度，接著下來的流程和上述的後模塊往承載籃子 11輸送掩膜3的一樣，在此不再贅述。當承載籃子11盛裝滿掩膜3後，關閉第二閘閥124，並使第四閘閥164打開，使抽 真空機構的充氣裝置工作，而工作的充氣裝置便向腔體12內充氣，直至腔體12內氣壓和腔 體12外的氣壓相等或略高於腔體12外的氣壓時，此時的第一閘門123被打開。緊接著，推 開升降承載架15的固定件154，使固定件154的滑動輥子1541滑動到滾動滑動槽1550的 釋放槽1550b處，使得固定件154與固定槽1550a之間夾角為銳角，從為承載籃子11往前模 塊處輸送做準備。同時，在升降承載架15的導向定位輥子157和傳送輥子158的作用下， 驅動承載籃子11往前模塊處輸送，由前模塊對承載籃子11上的掩膜3進行相對應的處理。 同時，關閉第一閘門123。當前模塊完成對掩膜3的處理後，由前模塊把盛裝滿掩膜3的承載籃子11往掩膜 傳輸裝置1的升降承載架15內輸送，當承載籃子11被前模塊往腔體12內輸送並接近腔體 12的第一閘門123處時，此時打開第一閘門123，為承載籃子11往腔體12內的升降承載架 15處輸送提供條件的同時，控制處理器控制升降機構的升降驅動器14，使得與升降驅動器 14連接的升降承載架15的定位腔與承載籃子11的下底面處於同一水平高度。當處於同一 傳輸高度時，前模塊便將承載籃子11輸送到升降承載架15的定位腔內，輸送到定位腔內的 承載籃子11便在升降承載架15的導向定位輥子157、傳送輥子158、限位輥子156和固定 件154的作用下對承載籃子11進行輸送並固定，並關閉第一閘門123。接著，開啟抽真空機 構，並打開第四閘閥164，使抽真空機構對腔體12進行前期抽真空，然後關閉第四閘閥164， 同時打開第三閘閥163，使抽真空機構對腔體12進行後期抽真空，並由真空計162對腔體12的氣壓進行實時的檢測，並根據真空計162的檢測結果去調節第三閘閥163，使腔體12 內的真空環境達到預設的要求。當腔體12與後模塊內的真空均達到要求時，此時打開第二 閘閥124，為承載籃子11內的掩膜3往後模塊的存儲設備處輸送提供條件。下面對承載籃 子11內的掩膜3往後模塊處輸送的過程作詳細的說明控制處理器控制傳輸機構工作，驅動傳送件132沿圖2b中傳送件132內箭頭所指 的方向作動，而作動的傳送件132便將承載籃子11內的掩膜3往傳輸件131處輸送，再由傳 輸件131將掩膜3往後模塊處輸送，當掩膜3被第二傳感器192所感應時，此時的控制處理 器根據第二傳感器192所感應的信號去控制止動驅動器18工作，工作的止動驅動器18便 驅動止動軸181上升並阻擋傳送件132後端上的掩膜3繼續往傳輸件131的前端處輸送。 此時後模塊便開始作動，使其存儲設備做好接收傳輸件131所輸送來的掩膜3的準備。當 準備好後，此時控制處理器控制掩膜止動器18工作，驅動止動軸181下降，使傳送件132將 其上的掩膜3輸送到傳輸件131上，再由傳輸件131將掩膜3輸送到後模塊的存儲設備內 進行存儲。當承載籃子11再要往後模塊輸送下一個掩膜3時，此時控制處理器控制升降驅 動器14作動，作動的升降驅動器14驅動承載籃子11下降，並使下個存儲槽113與傳送件 132處於同一傳輸高度，接著下來的流程和上述的承載籃子11往後模塊輸送掩膜3的一樣， 在此不再贅述。其中，對於上述的承載籃子11往後模塊輸送掩膜3的作動過程還可以是下面的方 式先是後模塊工作，使其存儲設備做好接收傳輸件131所輸送掩膜3。當準備好後，控制處理器便控制傳輸機構的傳送件132沿圖2b中傳送件132內箭頭所指的方向轉動，而 轉動的傳送件132便將承載籃子11內的掩膜3往傳輸件131處輸送，再由傳輸件131將該 掩膜3往後模塊的存儲設備內輸送並存儲。當要存儲下一掩膜3時，此時的後模塊再調節 其存儲設備，使該存儲設備再做好接收傳輸件131所輸送掩膜3準備的同時，控制處理器再 控制升降機構的升降驅動器14作動，而作動的升降驅動器14使承載籃子11的下一掩膜3 與傳送件132處於同一傳輸高度，當處於同一傳輸高度時，傳送件132便可將掩膜3往後模 塊處輸送，其中對於承載籃子11上的掩膜3往後模塊的輸送過程均和上述的一樣，在此不 再贅述。可以看出，上述承載籃子11內的掩膜3往後模塊處輸送可以不需要止動驅動器18 對掩膜3的阻擋和第二傳感器192對掩膜3的檢測和反饋，因此，上述的掩膜3的傳輸效率 更高，更能節省成本。本實用新型掩膜傳輸裝置1的承載籃子11的傳輸對接區與傳輸機構的傳輸件131 對接，且在控制機構的控制下和升降機構的驅動下，使得承載籃子11的由相鄰支撐組111 之間形成的呈水平的存儲槽113逐一與傳輸件131對接，從而使得被傳輸機構的傳輸件131 所輸送來的每個掩膜3均能極其連貫地存儲於承載籃子11 一個存儲槽113內，因而提高了 本實用新型的掩膜傳輸裝置1的對掩膜3的傳輸和存儲的連貫性，進而提高了掩膜3的處 理效率並降低掩膜3的處理成本。同時，本實用新型的掩膜傳輸裝置1能克服現有的傳輸 裝置因存在兩種不同的傳輸方式而造成設計難度加大的問題，使本實用新型掩膜傳輸裝置 1的設計更易。以上所揭露的僅為本實用新型的較佳實例而已，當然不能以此來限定本實用新型 之權利範圍，因此依本實用新型權利要求所作的等同變化，仍屬於本實用新型所涵蓋的範圍。
權利要求一種掩膜傳輸裝置，適用於對半導體生產線上的掩膜進行傳輸，其特徵在於，所述掩膜傳輸裝置包括腔體，所述腔體呈中空結構，所述中空結構形成密封的工作腔，所述腔體的前端開設有第一輸送口，所述腔體的後端開設有第二輸送口；傳輸機構，所述傳輸機構包括傳輸件及傳輸驅動器，所述傳輸件沿水平方向設置於所述工作腔內並與所述傳輸驅動器連接，所述傳輸件的後端與所述腔體的第二輸送口對接；承載籃子，所述承載籃子包括呈中空結構的承載框體，所述承載框體內相對的兩側壁上分別設置有至少兩個支撐組，所述支撐組呈等間距的平行分布，所述支撐組由沿同一水平面設置的若干支撐件組成，相鄰的支撐組之間形成呈水平的存儲槽，每個掩膜插放於一個存儲槽內，所述承載框體的後端開設有傳輸口；升降機構，所述升降機構包括升降驅動器及升降承載架，所述升降驅動器安裝於所述腔體外，所述升降驅動器的輸出軸呈密封地穿入所述工作腔內並與所述升降承載架連接，所述承載籃子承載於所述升降承載架上，所述升降驅動器驅動所述承載籃子在所述工作腔內做豎直方向的往返運動，所述承載籃子的往返運動使所述傳輸口在所述腔體內形成傳輸對接區，所述傳輸件的前端與所述傳輸對接區對接，所述承載籃子的前端朝向所述第一輸送口；控制機構，所述控制機構包括控制處理器及第一傳感器，所述第一傳感器安裝於所述腔體上且正對所述傳輸件的前端，所述第一傳感器與所述控制處理器電連接，所述控制處理器與所述升降驅動器電連接，所述第一傳感器檢測到所述傳輸件的前端具有掩膜並發送信號給所述控制處理器，所述控制處理器控制所述升降驅動器驅動所述承載籃子的存儲槽逐一與所述傳輸件的前端對接；以及抽真空機構，所述抽真空機構與所述腔體連接並為所述工作腔提供真空環境。
2.如權利要求1所述的掩膜傳輸裝置，其特徵在於所述傳輸機構還包括傳送件，所述 傳送件沿水平方向收容於所述承載籃子的承載框體內並與所述傳輸驅動器連接，所述傳送 件的前端與所述第一輸送口對接，所述傳送件的後端與所述傳輸件的前端對接，所述控制 機構控制所述升降驅動器驅動所述承載籃子沿垂直於所述傳送件方向做往返的運動。
3.如權利要求2所述的掩膜傳輸裝置，其特徵在於所述控制機構還包括與控制處理 器電連接的第二傳感器、第三傳感器及止動驅動器，所述第二傳感器設置於所述腔體上並 與所述傳送件的後端正對，所述第三傳感器設置於所述腔體上並與所述傳送件的前端正 對，所述止動驅動器安裝於所述腔體外，且所述止動驅動器的止動軸呈密封地伸入所述工 作腔內並與傳送件和傳輸件的對接處正對，所述止動驅動器驅動止動軸阻擋或釋放於傳送 件和傳輸件之間輸送的掩膜。
4.如權利要求2或3所述的掩膜傳輸裝置，其特徵在於所述傳送件包括傳送輪、安裝 軸及安裝支架，所述安裝支架與所述腔體連接，所述安裝軸與所述安裝支架樞接，所述傳送 輪安裝在所述安裝軸上，所述承載框體的支撐組沿豎直方向開設有供所述承載籃子沿所述 傳送輪做豎直方向往返運動的導向槽。
5.如權利要求1所述的掩膜傳輸裝置，其特徵在於所述腔體上還設置有對所述第一 輸送口密封的第一閘門、對所述第二輸送口進行密封的第二閘閥。
6.如權利要求5所述的掩膜傳輸裝置，其特徵在於所述第一間門的對所述第一輸送口進行密封的表面由內至外開設有呈平行排列的第一凹槽及第二凹槽，所述第一凹槽和第 二凹槽上均設有密封件。
7.如權利要求1所述的掩膜傳輸裝置，其特徵在於所述抽真空機構包括氣管、真空 計、第三間閥、第四間閥、充氣裝置及真空產生器，所述氣管的一端依次連接有所述真空計 和腔體，所述氣管的另一端分別與第三閘閥和第四閘閥的一端連接，所述第三閘閥的另一 端通過所述氣管與所述真空產生器連接，所述第四間閥的另一端通過所述氣管分別與所述 充氣裝置和真空產生器連接。
8.如權利要求1所述的掩膜傳輸裝置，其特徵在於所述升降承載架包括兩側板、導向 塊、限位輥子、固定件及與所述升降驅動器的輸出軸連接的底板，兩所述側板分別對稱地固 定連接於所述底板的兩側，所述限位輥子固定連接於所述底板的後端，所述導向塊固定連 接於所述底板的前端，所述導向塊的兩側相互平行且開設有滾動滑動槽，所述固定件的下 端兩側樞接有滑動輥子，所述固定件的上端兩側樞接有止動輥子，所述滑動輥子滑動地的 卡設於所述滾動滑動槽內，所述承載籃子的前端開設有容置所述止動輥子的滑動固定槽， 所述承載籃子的後端與所述限位輥子牴觸，所述承載籃子的前端與所述固定件牴觸。
9.如權利要求8所述的掩膜傳輸裝置，其特徵在於兩所述側板的頂面均設置有若干 呈間隙排列且中心位於同一直線上的導向定位輥子，兩所述側板相對面均設置有若干呈間 隙排列且中心位於同一直線上的傳送輥子，所述導向定位輥子與所述傳送輥子呈垂直設 置，且所述導向定位輥子、傳送輥子、限位輥子及導向塊形成供所述承載籃子定位的定位 腔，所述承載籃子收容於定位腔內，且所述固定件的止動輥子收容於所述承載籃子的滑動 固定槽上並與所述承載籃子的前端牴觸。
專利摘要本實用新型提供了一種掩膜傳輸裝置，包括腔體、傳輸機構、承載籃子、升降機構、控制機構及抽真空機構。腔體開設有工作腔、第一輸送口和第二輸送口。傳輸機構的傳輸件收容於工作腔內，且其後端與第二輸送口對接。承載籃子包括呈中空結構的承載框體，承載框體內設置有至少兩個呈等間距並平行分布的支撐組，相鄰支撐組之間形成呈水平的存儲槽，且承載框體的後端開設有傳輸口。升降機構驅動承載籃子沿豎直方向移動並使傳輸口形成傳輸對接區，傳輸對接區與傳輸件對接。控制機構控制升降機構驅動承載籃子的存儲槽逐一與傳輸件的前端對接。抽真空機構為腔體的工作腔提供真空環境。本實用新型掩膜傳輸裝置能提高掩膜傳輸和存儲的連貫性以提高生產效率。
文檔編號H01L21/673GK201638800SQ20102015036
公開日2010年11月17日 申請日期2010年3月30日 優先權日2010年3月30日
發明者劉惠森, 張華 , 楊明生, 王勇, 王曼媛, 範繼良, 郭業祥 申請人:東莞宏威數碼機械有限公司