帶有色要素膜基板的製造方法及帶有色要素膜基板的製作方法
2023-10-11 13:48:09 4
專利名稱：帶有色要素膜基板的製造方法及帶有色要素膜基板的製作方法
技術領域：
本發明涉及帶有色要素膜基板的製造方法、帶有色要素膜基板、電光學裝置及電子機器。
背景技術：
已知有通過使用噴墨裝置，向由形成於基材上的堤堰劃分出的分區中賦予墨液等液狀材料，使其硬化或固化而形成色要素膜的方法。作為色要素膜，例如已知使用噴墨裝置形成濾色片基板的過濾元件、矩陣型顯示裝置中被配置為矩陣狀的發光部的方法(例如參照專利文獻1。)。
例如，專利文獻1中，形成分區的堤堰形成其寬度朝向基材連續地逐漸減少的錐面狀，並且相對於液狀材料的堤堰的下部的疏液性低於堤堰的上部。這樣，在向分區賦予液狀材料時，能夠使液狀材料到達分區的角落，在所得的濾色片基板中，實現對顏色不均或對比度的降低的防止。
如前所述的堤堰被使用光刻法製造。具體來說，在基材上形成1層光刻膠層，在對其進行了略為不足的曝光後，進行顯影、後烘烤處理，地多錐面狀的堤堰。此後，向由此種堤堰劃分出的分區中，賦予液狀材料，使其硬化或固化，形成色要素膜。
但是，在專利文獻1的此種濾色片基板中，在使用光刻法形成堤堰時，由於需要由1層光刻膠層形成錐面狀的堤堰，因此難以進行曝光條件的設定。另外，此種濾色片基板由於堤堰的寬度朝向基材連續地逐漸減少，因此堤堰和基材的接合部的面積窄，在使用光刻法形成堤堰之時，在顯影時堤堰容易與基材剝離，從而有使濾色片基板的製造時的材料利用率變差的問題。
特開2002-62422號公報
發明內容
本發明的目的在於，提供能夠高生產效率地並且簡單地製造高質量的帶有色要素膜基板的帶有色要素膜基板的製造方法、帶有色要素膜基板、電光學裝置及電子機器。
此種目的將由下述的本發明實現。
本發明的帶有色要素膜基板的製造方法的特徵是，具有在基材上層疊第1層及具有光硬化性的第2層，經過曝光、顯影，將所述第1層及所述第2層的一部分除去，將所述第1層及所述第2層的剩餘部分作為堤堰的堤堰形成工序、向由所述堤堰劃分出的分區中，賦予色要素膜形成用的液狀材料的液狀材料賦予工序、通過使賦予所述分區的液狀材料硬化或固化，形成色要素膜的色要素膜形成工序，所述第1層可溶於所述顯影的顯影液中，所述第2層可溶於所述顯影液中，並且與所述第1層相比向所述顯影液中的溶解速度更慢，利用所述顯影，使所述第2層的剩餘部分的寬度大於所述第1層的剩餘部分的寬度，形成堤堰。
這樣，在堤堰形成工序中，即使不嚴格地設定曝光條件，也可以簡單地形成具有寬度朝向基材逐漸減少的部分的堤堰。更具體來說，在堤堰形成工序中，利用曝光將第2層的一部分設為硬化狀態，利用顯影將第2層的未硬化部分和第1層的一部分除去。其結果是，第2層的剩餘部分從第1層的剩餘部分中突出的部分構成後述的本發明的帶有色要素膜基板的突出部。
另外，在液狀材料賦予工序中，當向由此種堤堰劃分出的分區賦予液狀材料時，在分區的周緣部，在形成於第2層的剩餘部分從第1層的剩餘部分中突出的部分(即突出部)、基材之間的微小的空隙中，因毛細管現象，液狀材料被拉近而行進至分區的角落。其結果是，可以將所得的帶有色要素膜基板製成高質量的產品。
另外，如前所述的堤堰由於寬度朝向基材階段性地逐漸減少，因此可以使堤堰和基材的接合部的面積比較大。由此，就可以防止在堤堰形成工序的顯影時堤堰從基材上剝離的情況。其結果是，可以用高生產效率製造帶有色要素膜基板。
本發明的帶有色要素膜基板的製造方法中，所述第2層最好含有光刻膠材料。
這樣，就可以比較簡單地並且可靠地使第2層的剩餘部分的寬度大於第1層的剩餘部分的寬度。
本發明的帶有色要素膜基板的製造方法中，在所述堤堰形成工序中，最好在所述曝光之前，在所述第2層的與所述第1層相反一側，形成具有光硬化性的第3層。
這樣，在堤堰形成工序中，可以利用曝光將第2層及第3層的一部分設為硬化狀態，利用顯影將第2層及第3層的未硬化部分和第1層的一部分除去，使第2層的剩餘部分的寬度大於第1層的剩餘部分的寬度。
本發明的帶有色要素膜基板的製造方法中，所述第2層最好由所述第1層的構成材料和所述第3層的構成材料的混合物構成。
這樣，在堤堰形成工序中，僅通過向基材上依次塗布第1層的構成材料、第3層的構成材料，就可以在基材上形成第1層、第2層及第3層。
本發明的帶有色要素膜基板的製造方法中，在所述堤堰形成工序中，最好利用所述曝光，使所述第2層變為硬化狀態的部分的寬度大於所述第3層變為硬化狀態的部分的寬度。
這樣，就可以將所得的堤堰相對於突出部在堤堰的高度方向的上下設為較窄寬度。當向由此種堤堰劃分出的分區中賦予液狀材料時，液狀材料不會超出堤堰而從分區中溢出，可以將液狀材料賦予至突出部的上側。其結果是，由於可以實現所得的色要素膜的使用部分的膜厚的均一化，因此就可以製造更高質量的帶有色要素膜基板。
本發明的帶有色要素膜基板的製造方法中，所述第3層最好相對於所述液狀材料具有疏液性。
這樣，在液狀材料賦予工序中，即使向分區賦予的液狀材料的液面在堤堰的高度以上，也可以防止液狀材料超出堤堰而從分區中溢出的情況。
本發明的帶有色要素膜基板的製造方法中，所述第1層最好具有遮光性。
這樣，在所得的帶有色要素膜基板中，可以使第1層的剩餘部分作為黑矩陣發揮作用。
本發明的帶有色要素膜基板的特徵是，是利用本發明的帶有色要素膜基板的製造方法製造。
這樣，即使在色要素膜的周緣部產生了缺損，由於可以將該部分用突出部覆蓋，因此就可以防止顏色不均或對比度的降低之類的問題。
本發明的帶有色要素膜基板是具有基材、設於該基材上的堤堰、形成於由所述堤堰劃分出的分區中的色要素膜的帶有色要素膜基板，其特徵是，所述堤堰在所述堤堰的高度方向的中途，具有朝向所述分區的內側突出的突出部。
這樣，即使在色要素膜的周緣部產生缺損，由於可以將該部分用突出部覆蓋，因此就可以防止顏色不均或對比度降低之類的問題。
本發明的帶有色要素膜基板中，所述突出部最好被遍及所述分區的周緣的大致全周地形成。
這樣，就可以更為可靠地防止顏色不均或對比度的降低之類的問題。
本發明的帶有色要素膜基板中，所述堤堰最好相對於所述突出部在所述堤堰的高度方向上的上下，寬度變窄。
這樣，就可以實現色要素膜的使用部分的膜厚的均一化，更為可靠地防止顏色不均或對比度的降低之類的問題。
本發明的電光學裝置的特徵是，具備本發明的帶有色要素膜基板。
這樣，即使在色要素膜的周緣部產生缺損，由於可以將該部分用突出部覆蓋，因此也可以防止顏色不均或對比度的降低之類的問題。
本發明的電子機器的特徵是，具備本發明的電光學裝置。
這樣，即使在色要素膜的周緣部產生缺損，由於可以將該部分用突出部覆蓋，因此也可以防止顏色不均或對比度的降低之類的問題。
圖1是表示本發明的液滴噴出裝置的實施方式的立體圖。
圖2是表示圖1所示的液滴噴出裝置的噴頭組件及基體的俯視圖。
圖3是將液滴噴頭的噴嘴面(噴嘴平板)的一部分、基體的分區放大表示的俯視圖。
圖4是表示圖1所示的液滴噴出裝置的液滴噴頭的圖，(a)為剖面立體圖，(b)剖面圖。
圖5是圖1所示的液滴噴出裝置的方框圖。
圖6(a)是表示噴頭驅動部的示意圖，(b)是表示噴頭驅動部的驅動信號、選擇信號及噴出信號的時序圖。
圖7是表示濾色片基板的製造方法的剖面圖。
圖8是表示濾色片基板的製造方法的剖面圖。
圖9是表示有機電致發光顯示裝置的製造方法的剖面圖。
圖10是表示有機電致發光顯示裝置的製造方法的剖面圖。
圖11是表示使用了本發明的電子機器的移動型(或筆記本型)的個人電腦的構成的立體圖。
圖12是表示使用了本發明的電子機器的攜帶電話機(也包括PHS)的構成的立體圖。
圖13是表示使用了本發明的電子機器的數字式照相機的構成的立體圖。
其中，1……液滴噴出裝置，2……液滴噴頭，13……第1層，14……第2層，15……第3層，17……麥克，13A……第1層的剩餘部分，14A……第2層的一部分，15A……第3層的一部分，16A……第1部分，16B1……突出部，16B……第2部分，16C……第3部分，30B……基材，21R、21G、21B……第1噴頭，22R、22G、22B……第2噴頭，23R、23G、23B……第3噴頭，24R、24G、24B……第4噴頭，25……噴嘴，10A、30A……基體，101……液罐，103……噴頭組件，104……承載架移動機構，105……承載架，106……臺架，108……臺架移動機構，110……管道，111(111R、111G、111B)、211(211R、211G、211B)……液狀材料，112……控制手段，120……空腔，122……隔壁，124……振子，124A、124B……電極，124C……壓電元件，126……振動板，128……噴嘴平板，129……貯液室，130……供給口，131……孔，200……掃描驅動部，208……噴頭驅動部，AS……模擬開關，DS……驅動信號，SC……選擇信號，ES……噴出信號，10……濾色片基板，32……支撐基板，16、40……堤堰，20……保護膜，18(18R、18G、18B)、38(38R、38G、38B)……分區，111F(111FR、111FG、111FB)……過濾層，30……有機電致發光顯示裝置，34……電路元件層，36……分區電極，40A……無機物層，40B……有機物堤堰，40B1……第1部分，40B2……第2部分，40B3……第3部分，40B21……突出部，42……絕緣膜，44……開關元件，44G……門電極，44S……源電極，44D……漏電極，44V……通孔，45……層間絕緣膜，46……對置電極，48……密封基板，49……惰性氣體，51……第1層，52……第2層，53……第3層，54……掩模，51A……第1層的剩餘部分，52A……第2層的一部分，53A……第3層的一部分，302……承載架位置檢測手段，303……臺架位置檢測手段，1000……圖像顯示裝置，1100……個人電腦，1102……鍵盤，1104……主體部，1106……顯示組件，1200……攜帶電話機，1202……操作按鈕，1204……聽筒，1206……送話口，1300……數字式照相機，1302……盒套(機身)，1304……受光組件，1306……快門按鈕，1308……電路基板，1312……視頻信號輸出端子，1314……數據通信用的輸入輸出端子，1430……電視監視器，1440……個人電腦，37R、37G、37B……空穴輸送層，211F(211FR、211FG、211FB)……發光層具體實施方式
下面將基於附圖中所示的優選的實施方式，對本發明的帶有色要素膜基板的製造方法、帶有色要素膜基板、圖像顯示裝置及電子機器進行詳細說明。
本實施方式中，作為本發明的帶有色要素膜基板的一個例子，以作為液晶顯示裝置的構成要素的濾色片基板10作為代表進行說明。
(液滴噴出裝置的整體構成)首先，基於圖1至圖6對本發明的帶有色要素膜基板的製造中所使用的液滴噴出裝置進行說明。
如圖1所示，液滴噴出裝置1具備在承載架105上搭載多個液滴噴頭2而成的噴頭組件103、使噴頭組件103沿水平的一個方向(以下稱作「X軸方向」)移動的承載架移動機構(移動手段)104、保持後述的基體10A的臺架106、使臺架106沿與X軸方向垂直並水平的方向(以下稱作「Y軸方向」)移動的臺架移動機構(移動手段)108、控制手段112。
另外，在液滴噴出裝置1的附近，設置有分別貯留紅(R)、綠(G)、藍(B)三色的液狀材料111的3個液罐101。各液罐101與噴頭組件103被藉助成為輸送液狀材料111的流路的管道110連接。貯留於各液罐101中的液狀材料111例如被利用壓縮空氣的力向噴頭組件103的各液滴噴頭2輸送(供給)。
本發明中，所謂「液狀材料」使之包括用於形成帶有色要素膜基板的色要素膜的材料，並具有可以被從液滴噴頭2的噴嘴25中噴出的粘度的材料。此時，材料為水性或油性都可以。另外，只要具有可以從噴嘴25中噴出的流動性(粘度)即可，即使分散有固體物質，只要作為整體為流體即可。即，液狀材料也可以是溶解或分散色要素膜的構成材料而成的材料，無論是溶液還是分散液(懸浮液或乳液)都可以。
本實施方式的液狀材料111是將用於形成濾色片基板10的分區的過濾層的顏料溶解或分散於有機溶劑中而成的有機溶劑墨液。而且，對於液狀材料將在後面詳細敘述。
而且，以下的說明中，在將紅、綠、藍的液狀材料111區別提及時，使用111R、111G、111B的符號，在不區別顏色而總稱時，簡單地稱作「液狀材料111」。
承載架移動機構104的動作由控制手段112控制。本實施方式的承載架移動機構104具有使噴頭組件103沿Z軸方向(垂直方向)移動而調整高度的功能。另外，承載架移動機構104還具有繞著與Z軸平行的軸旋轉噴頭組件103的功能，這樣，就可以對噴頭組件103的繞Z軸的角度進行微調。
臺架106具有與X軸方向和Y軸方向雙方平行的平面。另外，臺架106可以將用於製造濾色片基板10的基體10A固定、保持於該平面上。
臺架移動機構108沿著與X軸方向及Z軸方向雙方正交的Y軸方向移動臺架106，該動作由控制手段112控制。另外，本實施方式的臺架移動機構108還具有繞著與Z軸平行的軸旋轉臺架106的功能，這樣，就可以對放置於臺架106上的基體10A的繞Z軸的傾斜進行微調而修正為完全垂直。
如上所述，噴頭組件103被承載架移動機構104沿X軸方向移動。另一方面，臺架106被臺架移動機構108沿Y軸方向移動。即，利用承載架移動機構104及臺架移動機構108改變噴頭組件103相對於臺架106的相對位置。
而且，控制手段112的詳細的構成及功能將在後面敘述。
(噴頭組件)圖2是表示圖1所示的液滴噴出裝置1的噴頭組件103及基體10A的俯視圖。
圖2所示的噴頭組件103形成在承載架105上搭載了多個液滴噴頭2的構成。圖2中，將承載架105用假想線(雙點虛線)表示。另外，表示液滴噴頭2的實線表示液滴噴頭2的噴嘴面(噴嘴平板128)的位置。
在噴頭組件103上，設置有噴出紅色的液狀材料111R的第1噴頭21R、第2噴頭22R、第3噴頭23R、第4噴頭24R這4個液滴噴頭2、噴出綠色的液狀材料111G的第1噴頭21G、第2噴頭22G、第3噴頭23G、第4噴頭24G這4個液滴噴頭2、噴出藍色的液狀材料111B的第1噴頭21B、第2噴頭22B、第3噴頭23B、第4噴頭24B這4個液滴噴頭2，共計12個液滴噴頭2。
以下的說明中，在對這些液滴噴頭2進行總稱的情況下，稱作「液滴噴頭2」，在需要將各個區別說明的情況下，則按照「第1噴頭21R、第2噴頭22R、…」的方式稱呼。
圖2所示的基體10A是用於製造條紋排列的濾色片基板10的基體。在該基體10A上，分別設有多個紅的分區(噴出區域)18R、綠的分區(噴出區域)18G、藍的分區(噴出區域)18B。液滴噴出裝置1按照向分區18R賦予紅色的液狀材料111R，向分區18G賦予綠色的液狀材料111G，向分區18B賦予藍色的液狀材料111B的方式動作。
各分區18R、18G、18B近似形成長方形。基體10A被以如下的姿勢保持在臺架106上，即，分區18R、18G、18B的長軸方向與X軸方向平行，短軸方向與Y軸方向平行。在基體10A上，沿著Y軸方向以分區18R、18G、18B的順序反覆排列三色的分區，沿著X軸方向排列同色的分區。沿Y軸方向並列的一組分區18R、18G、18B相當於所製造的濾色片基板10的一個分區。
(液滴噴頭)圖3是將液滴噴頭2的噴嘴面(噴嘴平板128)的一部分、基體10A的分區放大表示的俯視圖。而且，液滴噴頭2的噴嘴面雖然被朝向與基體10A相面對的方向，即朝向垂直下方設置，但是在圖3中，為了容易看到，將液滴噴頭2的噴嘴面用實線表示。
在液滴噴頭2的噴嘴面上，沿著X軸方向等間隔地直線並排形成有多個噴嘴(噴嘴孔)25，形成噴嘴列。本實施方式中，在一個液滴噴頭2上，錯開半個間距地並行地形成有2列的噴嘴列，一個液滴噴頭2所具有的噴嘴列的數目既可以是1列，也可以是3列以上。另外，形成於一個液滴噴頭2上的噴嘴25的數目雖然沒有特別限定，但是通常被設為數十～數百個左右。
如圖4(a)及(b)所示，液滴噴頭2為噴墨頭。更具體來說，液滴噴頭2具備振動板126、噴嘴平板128。在振動板126和噴嘴平板128之間，設有總是被填充有從液罐101經過孔131而供給的液狀材料111的貯液室129。
另外，在振動板126和噴嘴平板128之間，設有多個隔壁122。這樣，由振動板126、噴嘴平板128、1對隔壁122包圍的部分即為空腔120。空腔120由於被與噴嘴25對應地設置，因此空腔120的數目和噴嘴25的數目相同。經過位於1對隔壁122間的供給口130，從貯液室129向空腔120供給液狀材料111。
在振動板126上，與各個空腔120對應地設有作為使填充於空腔120內的液狀材料111的壓力變化的驅動元件的振子124。振子124包括壓電元件124C、夾持壓電元件124C的1對電極124A、124B。通過向該1對電極124A、124B之間提供驅動電壓，液狀材料111就被從所對應的噴嘴25中噴出。而且，按照將液狀材料111從噴嘴25沿Z軸方向噴出的方式，來調整噴嘴25的形狀。
控制手段112(圖1)也可以被按照向多個振子124的各自相互獨立地提供信號的方式構成。即，從噴嘴25中噴出的材料111的體積也可以與來自控制手段112的信號對應地對每個噴嘴25進行控制。
而且，液滴噴頭2並不限定於將如圖所示的壓電促動器作為驅動元件，也可以是使用靜電促動器的構成，或使用電熱轉換元件利用液狀材料111的熱膨脹噴出液滴的構成。
(控制手段)下面，對控制手段112的構成進行說明。如圖5所示，控制手段112具備輸入緩衝存儲器200、存儲手段202、處理部204、掃描驅動部206、噴頭驅動部208、承載架位置檢測手段302、臺架位置檢測手段303。
緩衝存儲器200和處理部204被可以相互通信地連接。處理部204和存儲手段202被可以相互通信地連接。處理部204和掃描驅動部206被可以相互通信地連接。處理部204和噴頭驅動部208被可以相互通信地連接。另外，掃描驅動部206、承載架移動機構104及臺架移動機構108被可以相互通信地連接。同樣地，噴頭驅動部208被與多個液滴噴頭2的各自可以相互通信地連接。
輸入緩衝存儲器200從外部信息處理裝置接收關於噴出液狀材料11的液滴的位置的數據，即描繪圖案數據。輸入緩衝存儲器200將該描繪圖案數據向處理部204供給，處理部204將描繪圖案數據儲存於存儲手段202中。存儲手段202由RAM、磁性記錄介質、光磁記錄介質等構成。
承載架位置檢測手段302檢測承載架105即噴頭組件103的X軸方向的位置(移動距離)，將該檢測信號向處理部204輸入。
承載架位置檢測手段303檢測臺架106即基體10A的Y軸方向的位置(移動距離)，將該檢測信號向處理部204輸入。
承載架位置檢測手段302、臺架位置檢測手段303例如由線性編碼器、雷射測長儀等構成。
處理部204基於承載架位置檢測手段302及臺架位置檢測手段303的檢測信號，藉助掃描驅動部206，控制承載架移動機構104及臺架移動機構108的動作(閉環控制)，控制噴頭組件103的位置、基體10A的位置。
另外，處理部204通過控制臺架移動機構108的動作，來控制臺架106即基體10的移動速度。
另外，處理部204基於所述描繪圖案數據，將指定每個噴出時刻的噴嘴25的開·關的選擇信號SC向噴頭驅動部208提供。噴頭驅動部208基於選擇信號SC，將在液狀材料111的噴出中所必需的噴出信號ES向液滴噴頭2提供。其結果是，從液滴噴頭2的所對應的噴嘴25中，液狀材料111被作為液滴噴出。
控制手段112也可以是包括CPU、ROM、RAM的計算機。該情況下，控制手段112的所述功能由利用計算機執行的軟體程序來實現。當然，控制手段112也可以利用專用的電路(硬體)來實現。
下面，對控制手段112的噴頭驅動部208的構成及功能進行說明。
如圖6(a)所示，噴頭驅動部208具有1個驅動信號生成部203、多個模擬開關AS。如圖6(b)所示，驅動信號生成部203生成驅動信號DS。驅動信號DS的電位相對於基準電位L隨時間而變化。具體來說，驅動信號DS包括被以噴出周期EP重複的多個噴出波形P。這裡，為了從噴嘴25中噴出1個液滴，噴出波形P與應當施加在所對應的振子124的一對電極間的驅動電壓波形對應。
驅動信號DS被向模擬開關AS的各個輸入端子供給。模擬開關AS分別被與噴嘴25的各自對應地設置。即，模擬開關AS的數目與噴嘴25的數目相同。
處理部204將表示噴嘴25的開·關的選擇信號SC向各個模擬開關AS提供。這裡，選擇信號SC能夠對每個模擬開關AS獨立地取得高電平及低電平的某一個狀態。另一方面，模擬開關AS根據驅動信號DS和選擇信號SC，向振子124的電極124A供給噴出信號ES。具體來說，在選擇信號SC為高電平的情況下，模擬開關AS作為噴出信號ES向電極124傳播驅動信號DS。另一方面，在選擇信號SC為低電平的情況下，模擬開關AS所輸出的噴出信號ES的電位就變為基準電位L。當驅動信號DS被提供給振子124的電極124A時，從與其振子124對應的噴嘴5中就噴出液狀材料111。而且，向各個振子124的電極124B提供基準電位L。
圖6(b)所示的例子中，在2個噴出信號ES的各自中，按照以噴出周期EP的2倍的周期2EP顯現噴出波形P的方式，在2個選擇信號SC的各自中設定有高電平的期間和低電平的期間。這樣，就從所對應的2個噴嘴25的各自中，以周期2EP噴出液狀材料111。另外，向與這2個噴嘴25對應的振子124的各自中，提供來自公共的驅動信號生成部203的公共的驅動信號DS。由此，從2個噴嘴25中在大致相同的時刻噴出液狀材料111。
此種液滴噴出裝置1中，利用臺架移動機構108的動作，使保持於臺架106上的基體10A沿Y軸方向移動，在使之在噴頭組件103之下通過的同時，從噴頭組件103的各液滴噴頭2的噴嘴25中噴出液狀材料111的液滴，按照向基體10A上的各分區18R、18G、18B提供(命中)的方式動作。以下，有時將該動作稱作「噴頭組件103和基體10A的主掃描」。
在與作為噴頭組件103整體能夠向基體10A噴出液狀材料111的X軸方向的長度(後述的全噴出寬度W)相比，基體10A的X軸方向的寬度更小的情況下，通過進行1次噴頭組件103和基體10A的主掃描，就可以向基體10A的整體賦予液狀材料111。
與之相反，在與噴頭組件103的全噴出寬度W相比，基體10A的X軸方向的寬度更大的情況下，通過將噴頭組件103和基體10A的主掃描、利用承載架移動機構104的動作的噴頭組件103的X軸方向的移動(將其稱作「副掃描」)交互地反覆進行，就可以向基體10A的整體賦予液狀材料111。
(本發明的帶有色要素膜基板的製造方法及帶有色要素膜基板)下面，作為本發明的帶有色要素膜基板的製造方法的一個例子，對使用如上所述的液滴噴出裝置1製造濾色片基板10的方法進行詳細說明。
圖7及圖8是表示濾色片基板10的製造方法的剖面圖。
濾色片基板10的製造方法具有形成劃分出分區18的堤堰(即製成基體10A)的堤堰形成工序、向分區18賦予色要素膜形成用的液狀材料111的液狀材料賦予工序、將賦予分區18的液狀材料111硬化或固化而形成作為色要素膜的過濾層的色要素膜形成工序。以下，將對各工序依次進行說明。
—堤堰形成工序—在製造濾色片基板10時，首先，製成基體10A，即，在基材12上形成堤堰16。
基體10A如圖7(c)所示，具備具有透光性的基材12、形成於基材12上的堤堰16。
基材12是相對於可見光具有透光性的基板，例如為玻璃基板。
堤堰16在基材12上層疊有第1部分16A，在其上層疊有第2部分16B，在其上層疊有第3部分16C。
第2部分16B具有比第1部分16A及第3部分16C的寬度更大的寬度。這樣，第2部分16B相對於第1部分16A及第3部分16C突出的部分就構成突出部16B1(突稜)。即，堤堰16在其高度方向的中途，具有朝向分區18的內側突出的突出部16B1。
另外，第3部分16C由於具有比第2部分16B的寬度更小的寬度，因此可以實現由堤堰16包圍的區域的容積的大容量化。
被如此構成的堤堰16被按照在基材12上設定有矩陣狀的多個透光部分，即矩陣狀的多個分區18R、18G、18B的方式設置。即，利用基材12及堤堰16，劃分形成分區18R、18G、18B。
分區18R是用於形成作為僅透過紅色的波長區域的光線的色要素膜的過濾層111FR的區域，分區18G是用於形成作為僅透過綠色的波長區域的光線的色要素膜的過濾層111FG的區域，分區18B是用於形成作為僅透過藍色的波長區域的光線的色要素膜的過濾層111FB的區域。
在製成此種基體10A時，即，在基材12上形成堤堰16時，依照以下的順序。
即，首先，如圖7(a)所示，利用濺射法或蒸鍍法，在基材12上形成第1層13，在其上形成第2層14，繼而在其上形成第3層15。
其後，利用光刻法，如圖7(b)所示，利用使用了被以矩陣圖案形成的掩模17的曝光，將第2層14及第3層15的一部分14A、15A設為硬化狀態，如圖7(c)所示，利用顯影，將第2層14及第3層15的未硬化部分、第1層13的一部分除去，得到堤堰16。此時，相對於顯影中所使用的顯影液，由於第2層14與第1層13相比溶解速度更低，因此第2層14的剩餘部分的寬度就大於第1層13的剩餘部分的寬度。另外，本實施方式中，利用顯影，第1層13的剩餘部分13A變為第1部分16A，第2層14的一部分14A的大致全部變為第2層14的剩餘部分，即變為第2部分16B，第3層15的一部分15A的大致全部變為第3層15的剩餘部分，即變為第3部分16C。
在此種堤堰形成工序中，第1層13可溶於顯影的顯影液中，第2層14可溶於顯影液中，並且與第1層13相比向顯影液中的溶解速度更慢。所以，第2層14的剩餘部分(一部分14A)的寬度就大於第1層13的剩餘部分13A的寬度。
這樣，在堤堰形成工序中，即使不嚴格地設定曝光條件，也可以簡單地形成具有寬度朝向基材12逐漸減少的部分的堤堰16。更具體來說，在堤堰形成工序中，利用曝光將第2層14的一部分14A設為硬化狀態，利用顯影將第2層的14未硬化部分和第1層13的一部分除去。其結果是，第2層14的剩餘部分從第1層13的剩餘部分中突出的部分構成突出部16B1。
另外，如前所述的堤堰16由於寬度朝向基材12階段性地逐漸減少，因此可以使堤堰16和基材12的接合部的面積比較大。由此，就可以防止在堤堰形成工序的顯影時堤堰16從基材12上剝離的情況。其結果是，可以用高生產效率製造濾色片基板10。
此種堤堰形成工序中，第2層14及第3層15雖然只要具有光硬化性即可，然而在本實施方式中，含有光刻膠材料。這樣，就可以比較簡單地並且可靠地使第2層14的剩餘部分(第2層14的一部分14A)的寬度大於第1層13的剩餘部分13A的寬度。
本實施方式中，作為第2層14及第3層15的構成材料，使用負型的光刻膠材料。所以，曝光處理中所使用的掩模17具有與堤堰16的俯視形狀對應的開口部17A。而且，作為第2層14及第3層15的構成材料，也可以使用正型的光刻膠材料。此時，取代掩模17，使用形成所述掩模17的圖案的反轉圖案的掩模。
另外，本實施方式中，第3層15具有光硬化性。即，在堤堰形成工序中，在曝光之前，在第2層14的與第1層13相反一側，形成具有光硬化性的第3層15。所以，在堤堰形成工序中，利用曝光將第2層14及第3層15的一部分14A、15A設為硬化狀態，利用顯影將第2層14及第3層15的未硬化部分和第1層13的一部分除去，就可以使第2層14的剩餘部分(第2層14的一部分14A)的寬度大於第1層13的剩餘部分13A的寬度。
另外，第2層14最好由第1層13的構成材料和第3層15的構成材料的混合物構成。這樣，在堤堰形成工序中，就可以僅通過向基材12上依次塗布第1層13的構成材料、第3層15的構成材料，而簡單地在基材12上形成第1層13、第2層14及第3層15。
另外，在堤堰形成工序中，利用曝光，使第2層14變為硬化狀態的部分(即第2層14的一部分14A)的寬度大於第3層15變為硬化狀態的部分(即第3層15的一部分15A)的寬度。這樣，就可以使所得的堤堰16相對於第2層14相對於第1層13突出的部分(即突出部16B1)，在堤堰16的高度方向的上下寬度變窄。當向由此種堤堰16劃分出的分區18中賦予液狀材料111時，液狀材料111就不會超出堤堰16而溢出，可以將液狀材料111賦予至突出部16B1的上側。其結果是，由於可以實現所得的過濾層111F的使用部分的膜厚的均一化，因此就可以製造更高質量的濾色片基板10。
另外，第3層14最好相對於液狀材料111具有疏液性。這樣，在後述的液狀材料賦予工序中，即使被賦予分區18的液狀材料111的液面在堤堰16的高度以上，也可以防止液狀材料111從分區18中溢出。
另外，第1層13最好具有遮光性。這樣，在所得的帶有色要素膜基板中，就可以使第1層的剩餘部分作為黑矩陣發揮作用。此時，例如第1層13可以用含有碳黑之類的材料構成。
利用以上的工序，就可以獲得基體10A。
—液狀材料賦予工序—如上所述地形成了分區18R、18G、18B的基體10A被運至液滴噴出裝置1的臺架106上，被臺架106保持。液滴噴出裝置1使臺架移動機構108動作，在使基體10A沿Y軸方向移動而在噴頭組件103之下通過的同時，從各液滴噴頭2噴出液狀材料111的液滴，向各分區18R、18G、18B賦予。
更具體來說，如圖7(a)～(c)所示，向分區18R噴出紅色的液狀材料(濾色片材料)111R，向分區18G噴出綠色的液狀材料(濾色片材料)111G，向分區18B噴出藍色的液狀材料(濾色片材料)111B。這樣，就如圖8(d)所示，分別向分區18R賦予液狀材料111R，向分區18G賦予液狀材料111G，向分區18B賦予液狀材料111B。此時，由於將液狀材料111從噴嘴25中作為液滴噴出而賦予分區18，因此在液狀材料賦予工序中，就可以將液狀材料111以所需量更為正確地向分區18賦予。
液狀材料111R、111G、111B如前所述，是作為濾色片基板10的分區的過濾層111FR、111FG、111FB的構成材料的顏料在有機溶劑中溶解或分散而成的有機溶劑墨液。
在此種液狀材料賦予工序中，當向由如前所述的堤堰16劃分出的分區18賦予液狀材料111時，在分區18的周緣部，在第2層14的剩餘部分從第1層的剩餘部分中突出的部分(即突出部16B1)、基材12之間所形成的微小的空隙中，因毛細管現象液狀材料111被拉近而行進至分區18的角落。其結果是，可以將所得的濾色片基板10製成高質量的產品。
—色要素膜形成工序—然後，向各分區18R、18G、18B賦予了液狀材料111R、111G、111B後，將基體10A向未圖示的乾燥裝置搬送，使各分區18R、18G、18B內的液狀材料111R、111G、111B乾燥。這樣，就如圖8(e)所示，在各分區18R、18G、18B上得到過濾層111FR、111FG、111FB。而且，也可以通過反覆進行利用液滴噴出裝置1的液狀材料111R、111G、111B的賦予、利用乾燥裝置的乾燥而層疊，來形成最終的過濾層111FR、111FG、111FB。
其後，將基體10A向未圖示的烤爐內搬送，用該烤爐對過濾層111FR、111FG、111FB進行再加熱(後烘烤)。
然後，將基體10A向未圖示的保護膜形成裝置搬送，用該保護膜形成裝置如圖8(f)所示，形成覆蓋過濾層111FR、111FG、111FB及堤堰16的保護膜(保護層)20。
在形成了覆蓋過濾層111FR、111FG、111FB及堤堰16的保護膜20後，用乾燥裝置使保護膜20完全乾燥。繼而，通過用未圖示的硬化裝置加熱保護膜20而使其完全硬化，基體10A就變為濾色片基板10。
如上所述獲得的作為帶有色要素膜基板的濾色片基板10由於即使在作為色要素膜的過濾層111F的周緣部產生缺損，也可以將該部分用突出部16B1覆蓋，因此就可以防止顏色不均或對比度的降低之類的問題。
突出部16B1最好被遍及分區18的周緣的大致全周地形成。這樣，就可以更為可靠地防止顏色不均或對比度的降低之類的問題。
另外，堤堰16最好相對於突出部16B1在堤堰16的高度方向的上下，寬度變窄。這樣，就可以實現過濾層111F的使用部分的膜厚的均一化，更為可靠地防止顏色不均或對比度的降低之類的問題。
如上說明所示的本發明並不限定於濾色片基板10的製造，例如也可以適用於電致發光顯示裝置等其他方式的圖像顯示裝置的製造中。
圖9及圖10是表示有機電致發光顯示裝置30的製造方法的剖面圖。以下，雖然對利用本發明製造有機電致發光顯示裝置30的情況進行說明，然而將以與製造前面所述的濾色片基板10的情況的不同點為中心進行說明，對於相同的事項，將其說明省略。
圖9及圖10中所示的基體30A是用於製造有機電致發光顯示裝置30的基板。
—堤堰形成工序—在製造有機電致發光顯示裝置30時，首先，製成基體30A，即，在基材30B上形成堤堰40。
該基體30A形成有被以矩陣狀配置的多個分區(噴出區域)38R、38G、38B。
具體來說，基體30A具有基材30B、堤堰40B。基材30B具有支撐基板32、形成於支撐基板32上的電路元件層34、形成於電路元件層34上的多個分區電極36、處於多個分區電極36之間的無機物層40A。
支撐基板32是相對於可見光具有透光性的基板，例如為玻璃基板。多個分區電極36分別是相對於可見光具有透光性的電極，例如為ITO(Indium-Tin Oxide)電極。另外，多個分區電極36被以矩陣狀配置於電路元件層34上，各自限定分區。這樣，堤堰40B具有格子狀的形狀，將多個分區電極36分別包圍。另外，堤堰40B是形成於無機物層40A上的有機物堤堰。
堤堰40B在基材30B上層疊有第1部分40B1，在其上層疊有第2部分40B2，在其上層疊有第3部分40B3。
第2部分40B2具有比第1部分40B1及第3部分40B3的寬度更大的寬度。這樣，第2部分40B2相對於第1部分40B1及第3部分40B3突出的部分就構成突出部40B21(突稜)。即，堤堰40B在其高度方向的中途，具有朝向分區38的內側突出的突出部40B21。
另外，第3部分40B3由於具有比第2部分40B2的寬度更小的寬度，因此就可以實現由堤堰40B包圍的區域的容積的大容量化。
電路元件層34是具有在支撐基板32上沿給定的方向延伸的多個掃描電極、被覆蓋多個掃描電極地形成的絕緣膜42、位於絕緣膜42上並且沿與多個掃描電極所延伸的方向正交的方向延伸的多個信號電極、位於掃描電極及信號電極的交點附近的多個開關元件44、被覆蓋多個開關元件44地形成的聚亞醯胺等的層間絕緣膜45的層。各個開關元件44的門電極44G及源電極44S分別被與所對應的掃描電極及所對應的信號電極電連接。多個分區電極36位於層間絕緣膜45上。在層間絕緣膜45上，在與各開關元件44的漏電極44D對應的部位設有通孔44V，穿過該通孔44V，形成開關元件44與所對應的分區電極36之間的電連接。另外，各個開關元件44位於與堤堰40B對應的位置上。即，當從圖10的上側觀察時，多個開關元件44各自覆蓋於堤堰40B上。
由基體30A的分區電極36和堤堰40B限定的凹部與分區38R、分區38G、分區38B對應。分區38R是用於形成發出紅色的波長區域的光線的發光層211FR的區域，分區38G是用於形成發出綠色的波長區域的光線的發光層211FG的區域，分區38B是用於形成發出藍色的波長區域的光線的發光層211FB的區域。
此種基體30A可以與前面所述的濾色片基板10的基體10A的製造工序相同地形成堤堰40，並且可以使用公知的制膜技術和圖案處理技術來製造。
即，首先，如圖9(a)所示，利用濺射法和蒸鍍法，在支撐基板32上形成了電路元件層34、分區電極36及無機物層40A的基材30B上形成第1層51，在其上形成第2層52，繼而在其上形成第3層53。
其後，利用光刻法，如圖9(b)所示，利用使用了被製成矩陣圖案形狀的掩模54的曝光，將第2層52及第3層53的一部分52A、53A設為硬化狀態，如圖9(c)所示，利用顯影，將第2層52及第3層53的未硬化部分、第1層51的一部分除去，得到堤堰16。此時，相對於顯影中所使用的顯影液，由於第2層52與第1層51相比溶解速度更低，因此第2層52的剩餘部分的寬度就大於第1層51的剩餘部分的寬度。另外，本實施方式中，利用顯影，第1層51的剩餘部分51A變為第1部分40B1，第2層52的一部分52A的大致全部變為第2層52的剩餘部分，即變為第2部分40B2，第3層53的一部分53A的大致全部變為第3層53的剩餘部分，即變為第3部分40B3。
在此種堤堰形成工序中，第1層51可溶於顯影的顯影液中，第2層52可溶於顯影液中，並且與第1層51相比向顯影液中的溶解速度更慢。所以，第2層52的剩餘部分的寬度就大於第1層51的剩餘部分的寬度。
這樣，在堤堰形成工序中，即使不嚴格地設定曝光條件，也可以簡單地形成具有寬度朝向基材30B逐漸減少的部分的堤堰40。更具體來說，在堤堰形成工序中，利用曝光將第2層52的一部分52A設為硬化狀態，利用顯影將第2層的52未硬化部分和第1層51的一部分除去。其結果是，第2層52的剩餘部分從第1層51的剩餘部分51A中突出的部分構成突出部40B21。
另外，如前所述的堤堰40B由於寬度朝向基材30B階段性地逐漸減少，因此可以使堤堰40B和基材30B的接合部的面積比較大。由此，就可以防止在堤堰形成工序的顯影時堤堰40B從基材30B上剝離的情況。其結果是，可以用高生產效率製造有機電致發光顯示裝置30。
而且，也可以在多個分區電極36的各自之上，形成所對應的空穴輸送層37R、37G、37B。如果空穴輸送層37R、37G、37B位於分區電極36和後述的發光層211FR、211FG、211FB之間，則電致發光顯示裝置的發光效率就會提高。
—液狀材料賦予工序—對於被如上所述地形成了分區38R、38G、38B的基體30A，如圖9(a)～(c)所示，與前面所述的濾色片基板10的情況相同，使用本發明的液滴噴出裝置1，如圖10(d)所示，向各分區38R、38G、38B中，分別賦予液狀材料211R、211G、211B。
液狀材料211R是含有紅色的有機發光材料的材料，液狀材料211G是含有綠色的有機發光材料的材料，液狀材料211B是含有藍色的有機發光材料的材料。
液狀材料211R、211G、211B如前所述，是作為有機電致發光顯示裝置30的分區的發光層211FR、211FG、211FB的構成材料的發光材料溶解或分散於有機溶劑中而成的材料。
在此種液狀材料賦予工序中，當向由如前所述的堤堰40劃分出的分區38賦予液狀材料211時，在分區38的周緣部，在第2層52的剩餘部分從第1層51的剩餘部分中突出的部分(即突出部40B21)、基材30B的分區電極36之間所形成的微小的空隙中，因毛細管現象液狀材料211被拉近而行進至分區18的角落。其結果是，可以將所得的有機電致發光顯示裝置30製成高質量的產品。
—色要素膜形成工序—其後，通過將基體30A向乾燥裝置移送，使賦予各分區38R、38G、38B的液狀材料211R、211G、211B乾燥，即如圖10(e)所示，在各分區38R、38G、38B上得到發光層211FR、FG、FB。
然後，覆蓋發光層211FR、211FG、211FB及堤堰40地設置對置電極46。對置電極46作為陰極發揮作用。
其後，通過將密封基板48和基體38在相互的周邊部粘接，就得到圖10(f)所示的有機電致發光顯示裝置30。而且，在密封基板48和基體30A之間封入了惰性氣體49。
在有機電致發光顯示裝置30中，從發光層211FR、211FG、211FB中發出的光經過分區電極36、電路元件層34、支撐基板32而射出。像這樣經過電路元件層34而射出光的電致發光顯示裝置被稱作底發射型的顯示裝置。
以上雖然對將本發明應用於液晶顯示裝置(濾色片基板)的製造、電致發光顯示裝置的製造中的情況進行了說明，但是本發明並不限定於此，例如也可以應用於等離子體顯示裝置的背面基板的製造、具備電子發射元件的圖像顯示裝置(有時也被稱作SED(Surface-ConductionElectron-Emitter Display)或FED(Field Emission Display))的製造中。
本發明的電子機器的實施方式
具備了用如前所述的方法製造的濾色片基板10的液晶顯示裝置、用如前所述的方法製造的電致發光顯示裝置等圖像顯示裝置1000可以用於各種電子機器的顯示部中。
圖11是表示使用了本發明的電子機器的移動型(或筆記本型)個人電腦的構成的立體圖。
該圖中，個人電腦1100由設置了鍵盤1102的主體部1104、顯示組件1106構成，顯示組件1106被藉助合頁構造部可以轉動地支撐於主體部1104上。
在該個人電腦1100中，顯示組件1106具備圖像顯示裝置1000。
圖12是表示使用了本發明的電子機器的攜帶電話機(也包括PHS)的構成的立體圖。
該圖中，攜帶電話機1200除了具備多個操作按鈕1202、聽筒1204及送話1206以外，在顯示部中還具備圖像顯示裝置1000。
圖13是表示使用了本發明的電子機器的數字式照相機的構成的立體圖。而且，該圖中，對於與外部機器的連接被簡單地表示。
這裡，通常的照相機是利用被拍攝體的光像將銀鹽膠片感光，與之相反，數字式照相機1300利用CCD(Charge Coupled Device)等拍攝元件對被拍攝體的光像進行光電轉換而生成拍攝信號(圖像信號)。
在數字式照相機1300的盒套(機身)1302的背面，在顯示部中設有圖像顯示裝置1000，形成基於CCD的拍攝信號進行顯示的構成，作為將被拍攝體作為電子圖像顯示的取景器發揮作用。
在盒套的內部，設置有電路基板1308。該電路基板1308設有能夠將拍攝信號收納(儲存)的存儲器。
另外，在盒套1302的正面側(圖示的構成中為背面側)，設有包括光學透鏡(拍攝光學系統)或CCD等的受光組件1304。
當拍攝者確認在顯示部中所顯示的被拍攝體像，按下快門按鈕1306時，該時刻的CCD的拍攝信號就被向電路基板1308的存儲器傳送·收納。
另外，在該數字式照相機1300中，在盒套1302的側面，設有視頻信號輸出端子1312、數據通信用的輸入輸出端子1314。這樣，如圖所示，分別根據需要將電視監視器1430與視頻信號輸出端子1312連接，將個人電腦1440與數據通信用的輸入輸出端子1314連接。另外，利用給定的操作，收納於電路基板1308的存儲器中的拍攝信號被向電視監視器1430、個人電腦1440輸出。
而且，本發明的電子機器除了所述的個人電腦(移動型個人電腦)、攜帶電話機、數字式照相機以外，例如還可以適用於電視、攝影機、取景器型、監視器直視型的錄像機、膝上型個人電腦、導航裝置、尋呼機、電子記事簿(也包含附帶通信功能)、電子辭典、桌式電腦、電子遊戲機、文字處理器、工作站、電視電話、防範用電視監視器、電子雙筒鏡、POS終端、具備了觸摸式面板的機器(例如金融機構的自動提款機、自動售貨機)、醫療機器(例如電子體溫計、血壓計、血糖計、心電顯示裝置、超聲波診斷裝置、內窺鏡用顯示裝置)、魚群探測儀、各種測定儀器、計量儀表類(例如車輛、航空器、船舶的計量儀表類)、飛行模擬器、其他的各種監視器類、投影儀等投射型顯示裝置等中。
以上雖然對本發明的液滴噴出裝置、面板的製造方法、圖像顯示裝置及電子機器的圖示的實施方式進行了說明，但是本發明並不限定於此。構成液滴噴出裝置的各部可以與能夠發揮相同的功能的任意的構成的部件置換。另外，也可以附加任意的構成物。
例如，在所述的帶有色要素膜基板的製造方法的堤堰形成工序中，即使將第3層省略，在支撐基板上依次層疊第1層、第2層，將第1層及第2層的一部分經過曝光、顯影而除去，將其剩餘部分作為堤堰，也可以獲得本發明的效果。
權利要求
1.一種帶有色要素膜基板的製造方法，包括在基材上層疊第1層及具有光硬化性的第2層，經過曝光、顯影，將所述第1層及所述第2層的一部分除去，將所述第1層及所述第2層的剩餘部分作為堤堰的堤堰形成工序、向由所述堤堰劃分出的分區中賦予色要素膜形成用的液狀材料的液狀材料賦予工序、通過使被賦予到所述分區的液狀材料硬化或固化而形成色要素膜的色要素膜形成工序，所述第1層可溶於所述顯影的顯影液中，所述第2層可溶於所述顯影液中，並且與所述第1層相比向所述顯影液中的溶解速度更慢，利用所述顯影，使所述第2層的剩餘部分的寬度大於所述第1層的剩餘部分的寬度，形成堤堰。
2.根據權利要求1所述的帶有色要素膜基板的製造方法，其特徵是，所述第2層含有光刻膠材料。
3.根據權利要求2所述的帶有色要素膜基板的製造方法，其特徵是，在所述堤堰形成工序中，在所述曝光之前，在所述第2層的與所述第1層相反的一側，形成具有光硬化性的第3層。
4.根據權利要求3所述的帶有色要素膜基板的製造方法，其特徵是，所述第2層由所述第1層的構成材料、和所述第3層的構成材料的混合物構成。
5.根據權利要求4所述的帶有色要素膜基板的製造方法，其特徵是，在所述堤堰形成工序中，利用所述曝光，使所述第2層變為硬化狀態的部分的寬度大於所述第3層變為硬化狀態的部分的寬度。
6.根據權利要求4或5所述的帶有色要素膜基板的製造方法，其特徵是，所述第3層具有對於所述液狀材料的疏液性。
7.根據權利要求1至6中任意一項所述的帶有色要素膜基板的製造方法，其特徵是，所述第1層具有遮光性。
8.一種帶有色要素膜基板，其特徵是，利用權利要求1至7中任意一項所述的帶有色要素膜基板的製造方法進行製造。
9.一種帶有色要素膜基板，是具有基材、設於該基材上的堤堰、以及形成於由所述堤堰劃分出的分區中的色要素膜的帶有色要素膜基板，其特徵是，所述堤堰在所述堤堰的高度方向的中途，具有朝向所述分區的內側突出的突出部。
10.根據權利要求9所述的帶有色要素膜基板，其特徵是，所述突出部被遍及所述分區的周緣的大致全周而形成。
11.根據權利要求9或10所述的帶有色要素膜基板，其特徵是，所述堤堰相對於所述突出部在所述堤堰的高度方向的上下，寬度變窄。
12.一種電光學裝置，其特徵是，具備權利要求1至11中任意一項所述的帶有色要素膜基板。
13.一種電子機器，其特徵是，具備權利要求12中所述的電光學裝置。
全文摘要
一種帶有色要素膜基板的製造方法，包括在支撐基板(12)上將第1層(13)及具有光硬化性的第2層(14)以該順序層疊，經過曝光、顯影，將第1層(13)及第2層(14)的一部分除去，將其剩餘部分作為堤堰(16)的堤堰形成工序、向由堤堰劃分出的分區中賦予色要素膜形成用的液狀材料的液狀材料賦予工序、通過使賦予分區的液狀材料硬化或固化而形成色要素膜的色要素膜形成工序，第1層(13)可溶於顯影的顯影液中，第2層(14)可溶於顯影液中，並且與第1層(13)相比向顯影液中的溶解速度更慢，利用顯影，使第2層(14)的剩餘部分的寬度大於第1層(13)的剩餘部分的寬度，形成堤堰。
文檔編號H01L21/027GK1797211SQ200510133820
公開日2006年7月5日 申請日期2005年12月21日 優先權日2004年12月27日
發明者片上悟 申請人:精工愛普生株式會社