八字型斜柵控結構的平板顯示器及其製作工藝的製作方法

2023-10-28 14:30:47 6

專利名稱：八字型斜柵控結構的平板顯示器及其製作工藝的製作方法
技術領域：
本發明屬於平板顯示技術領域、微電子科學與技術領域、真空科學與技術領域以及納米科學與技術領域的相互交叉領域，涉及到平板場致發射顯示器的器件製作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發射顯示器的器件製作方面的內容，特別涉及一種八字型斜柵控結構的平板顯示器及其製作工藝。
背景技術：
最近幾年平板顯示技術有了極大的發展，在高清晰度電視、計算機顯示器、汽車終端顯示設備以及軍事用頭盔目視鏡等應用目標的推動下，顯示技術正在朝向高解析度、低工作電壓、平板化、大型化方向發展。場致發射顯示器是將真空微電子技術應用於顯示設備方面而製作的發光器件，具有視角寬、響應速度快，解析度高以及光效率高等優點。利用碳納米管陰極而製作的場致發射顯示器則更是一種新型的平板顯示設備，是充分利用碳納米管冷陰極的場致發射原理而構造出來的，業已成為了目前國際平板顯示領域的熱門話題。
在三極結構的場致發射顯示器件當中，目前大多數顯示器都採用了柵極結構位於碳納米管陰極結構上方的結構模式，其製作工藝簡單，柵極控制作用顯著，但是柵極電流比較大，柵極電壓居高不下，這是其不利之處。但無論是哪一種控制模式，實質上都是利用柵極結構的工作電壓來在碳納米管陰極表面頂端形成強大的電場強度，迫使碳納米管發射出大量的電子。而進一步降低柵極結構的工作電壓就成為了器件製作人員努力的方向，也符合低壓平板器件的質量體系要求。無論是直接減小柵極結構和陰極結構之間的距離，還是對碳納米管陰極的形狀加以改進，或是更改柵極結構的控制模式，都是降低柵極工作電壓的具體手段。那麼，在實際器件的製作過程中，究竟採用何種控制模式，究竟如何進一步降低柵極的工作電壓，等等，就成為了急需解決的現實問題。
此外，在三極結構的平板場致發射顯示器件當中，在確保柵極結構對碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要儘可能的降低總體器件成本，進行穩定可靠、成本低廉、性能優良、高質量的器件製作。

發明內容
本發明的目的在於克服上述平板顯示器件中存在的缺點和不足而提供一種成本低廉、製作過程穩定可靠、製作成功率高、結構簡單的八字型斜柵控結構的平板顯示器及其製作工藝。
本發明的目的是這樣實現的，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框構成的密封真空腔；設置在陽極玻璃面板上的陽極導電層以及製備在陽極導電層上面的螢光粉層；位於陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐牆結構以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上設置有柵極引線層、碳納米管以及八字型斜柵控結構。
所述的八字型斜柵控結構的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼矽玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面的刻蝕後的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的印刷的銀漿層形成提升一層；提升一層呈現圓柱體型形狀，其下表面為平面，和陰極引線層緊密接觸；提升一層的側面為垂直於阻滯層的豎直面，提升一層的上表面為平面，但在中心位置存在一個向下凹陷的半球型形狀，提升一層上表面的周圍形成一個平面圓環型形狀；在提升一層上頂部半球型形狀的上面印刷銀漿層形成提升二層；提升二層呈現一個尖頂圓錐狀形狀，坐落於提升一層中半球型形狀的上面；提升一層的側面上印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；陰極覆蓋層要完全覆蓋住提升一層的整個側面；提升一層上頂面的圓環型形狀的上面以及提升二層的表面上的刻蝕後的金屬層形成陰極導電層；陰極導電層僅僅存在於提升一層上頂面的圓環型形狀的上面，以及整體提升二層的上表面上；阻滯層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層的下表面為平面，要覆蓋住陰極引線層以及空餘的阻滯層部分；間隔層中存在斜面孔，暴露出陰極導電層、提升一層和提升二層；間隔層中斜面孔的內側壁是一個斜坡面，與間隔層上表面交界處的截面為一個中空的圓型面，此處的直徑最小，從間隔層的上表面開始，逐漸向間隔層內部凹陷，直至到達間隔層的下表面位置為止；間隔層的上表面大部分為平面，但是在環繞斜面孔周圍處其上表面也形成一個傾斜面，即從斜面孔的邊緣處開始，其高度逐漸降低，形成一個與斜面孔內側壁相呼應的傾斜面，直至到達間隔層平面部分位置為止；間隔層上表面斜坡面上的刻蝕後的金屬層形成調控柵極層；調控柵極層大部分都位於間隔層上表面的斜坡面上，但其前端部分在沿著斜坡面平行的方向上向斜面孔延伸，呈現懸空狀態；環繞在斜面孔周圍的調控柵極層的截面呈現一種八字型形狀；間隔層上表面上的刻蝕後的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層和調控柵極層是相互連通的；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要完全覆蓋住柵極引線層以及位於斜坡面上的調控柵極層，但不能覆蓋處於懸空狀態的調控柵極層；碳納米管制備在陰極導電層上面。
所述的八字型斜柵控結構的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛；陰極導電層為金屬鐵、鈷、鎳；調控柵極層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向相互垂直；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻。
一種八字型斜柵控結構的平板顯示器的製作工藝，其製作工藝如下
1)陰極玻璃面板[1]的製作對整體平板玻璃劃割，製作出陰極玻璃面板；2)阻滯層[2]的製作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經烘烤、燒結工藝後形成阻滯層；3)陰極引線層[3]的製作在阻滯層上面制出金屬層，刻蝕成陰極引線層；4)提升一層[4]的製作在陰極引線層的上面印刷銀漿層，經烘烤、燒結工藝後形成提升一層；5)陰極覆蓋層[5]的製作在提升一層側面印刷絕緣漿料層，經烘烤、燒結工藝後形成陰極覆蓋層；6)提升二層[6]的製作在提升一層上頂部印刷銀漿層，經烘烤、燒結工藝後形成提升二層；7)陰極導電層[7]的製作在提升二層表面上以及提升一層的圓環型上頂面上製備出一個金屬層，刻蝕後形成陰極導電層；8)間隔層[8]的製作在阻滯層的上面印刷絕緣漿料層，經烘烤、燒結工藝後形成間隔層；9)調控柵極層[9]的製作在間隔層上表面的斜坡面上製備出一個金屬層，刻蝕後形成調控柵極層；10)柵極引線層[10]的製作在間隔層上表面上制出一個金屬層，刻蝕形成柵極引線層；11)柵極覆蓋層[11]的製作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料，經烘烤、燒結工藝後形成柵極覆蓋層；12)八字型斜柵控結構的表面清潔處理對八字型斜柵控結構的表面進行清潔處理，除掉雜質和灰塵；13)碳納米管[12]的製備將碳納米管制備在陰極導電層上面；
14)陽極玻璃面板[13]的製作對整體平板玻璃劃割，製作出陽極玻璃面板；15)陽極導電層[14]的製作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕後形成陽極導電層；16)絕緣漿料層[15]的製作在陽極導電層的非顯示區域印刷絕緣漿料層；17)螢光粉層[16]的製作在陽極導電層上面的顯示區域印刷螢光粉層；18)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐牆結構[17]和四周玻璃圍框[18]裝到一起，並將消氣劑[19]放入到空腔中，用低熔點玻璃粉固定；19)成品製作對已經裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
所述步驟16具體為在陽極導電層的非顯示區域印刷絕緣漿料層，用於防止寄生電子發射；經過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之後，放置在燒結爐中進行高溫燒結(燒結溫度580℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟17具體為在陽極導電層上面的顯示區域印刷螢光粉層；在烘箱當中進行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟19具體為對已經裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當中進行烘烤；放入燒結爐當中進行燒結；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內部的消氣劑進行烤消，最後加裝管腳形成成品件。
本發明具有如下的積極效果首先，在所述的八字型斜柵控結構中，分別製作了調控柵極層和柵極引線層結構部分。其中柵極引線層用於將外界電壓傳遞到器件內部，而調控柵極層則是用於控制碳納米管陰極的電子發射。呈現八字型形狀的調控柵極層能夠同時控制提升一層上頂部的圓環型碳納米管陰極和提升二層上表面上的尖椎型碳納米管陰極，極大地提高了柵極結構的控制效率。當在柵極結構上施加適當電壓以後，就會在碳納米管陰極表面頂端形成強大的電場強度，迫使碳納米管發射出大量的電子。
其次，在八字型斜柵控結構中，將碳納米管陰極製備在陰極導電層的上面，而陰極導電層則分別製作在提升一層的上頂部以及提升二層的表面上。可以極大地增加碳納米管陰極的電子發射面積，使得更多的碳納米管陰極都參與電子發射。同時更改了碳納米管陰極的形狀，充分利用了碳納米管陰極的邊緣位置能夠發射出大量電子的特有現象，提高了碳納米管陰極的電子發射效率。
此外，在所述的八字型斜柵控結構中，並沒有採用特殊的結構製作材料，也沒有採用特殊的器件製作工藝，這就進一步降低了整體平板顯示器件的製作成本，簡化了器件的製作過程，能進行大面積的器件製作，有利於進行商業化的大規模生產。


圖1給出了八字型斜柵控結構的縱向結構示意圖；圖2給出了八字型斜柵控結構的橫向結構示意圖；圖3給出了帶有八字型斜柵控結構發射結構的、碳納米管場致發射平面顯示器的結構示意圖。
具體實施例方式
下面結合附圖和實施例對本發明進一步說明，但並不局限於這些實施例。
所述的一種帶有八字型斜柵控結構的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板[13]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[18]所構成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導電層[14]以及製備在陽極導電層上面的螢光粉層[16]；在陰極玻璃面板上有柵極引線層[10]、碳納米管[12]以及八字型斜柵控結構；位於陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐牆結構[17]以及消氣劑[19]附屬元件。
所述的八字型斜柵控結構包括陰極玻璃面板[1]、阻滯層[2]、陰極引線層[3]、提升一層[4]、陰極覆蓋層[5]、提升二層[6]、陰極導電層[7]、間隔層[8]、調控柵極層[9]、柵極引線層[10]、柵極覆蓋層[11]和碳納米管[12]部分。
所述的八字型斜柵控結構的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼矽玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面的刻蝕後的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的印刷的銀漿層形成提升一層；提升一層呈現圓柱體型形狀，其下表面為平面，和陰極引線層緊密接觸；提升一層的側面為垂直於阻滯層的豎直面，提升一層的上表面為平面，但在中心位置存在一個向下凹陷的半球型形狀，提升一層上表面的周圍形成一個平面圓環型形狀；在提升一層上頂部半球型形狀的上面印刷銀漿層形成提升二層；提升二層呈現一個尖頂圓錐狀形狀，坐落於提升一層中半球型形狀的上面；提升一層的側面上印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；陰極覆蓋層要完全覆蓋住提升一層的整個側面；提升一層上頂面的圓環型形狀的上面以及提升二層的表面上的刻蝕後的金屬層形成陰極導電層；陰極導電層僅僅存在於提升一層上頂面的圓環型形狀的上面，以及整體提升二層的上表面上；阻滯層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層的下表面為平面，要覆蓋住陰極引線層以及空餘的阻滯層部分；間隔層中存在斜面孔，暴露出陰極導電層、提升一層和提升二層；間隔層中斜面孔的內側壁是一個斜坡面，與間隔層上表面交界處的截面為一個中空的圓型面，此處的直徑最小，從間隔層的上表面開始，逐漸向間隔層內部凹陷，直至到達間隔層的下表面位置為止；間隔層的上表面大部分為平面，但是在環繞斜面孔周圍處其上表面也形成一個傾斜面，即從斜面孔的邊緣處開始，其高度逐漸降低，形成一個與斜面孔內側壁相呼應的傾斜面，直至到達間隔層平面部分位置為止；間隔層上表面斜坡面上的刻蝕後的金屬層形成調控柵極層；調控柵極層大部分都位於間隔層上表面的斜坡面上，但其前端部分在沿著斜坡面平行的方向上向斜面孔延伸，呈現懸空狀態；環繞在斜面孔周圍的調控柵極層的截面呈現一種八字型形狀；間隔層上表面上的刻蝕後的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層和調控柵極層是相互連通的；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要完全覆蓋住柵極引線層以及位於斜坡面上的調控柵極層，但不能覆蓋處於懸空狀態的調控柵極層；碳納米管制備在陰極導電層上面。
所述的八字型斜柵控結構的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛；陰極導電層為金屬鐵、鈷、鎳；調控柵極層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向相互垂直；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻。
一種八字型斜柵控結構的平板顯示器的製作工藝，其製作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的製作對整體平板玻璃劃割，製作出陰極玻璃面板；2)阻滯層[2]的製作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經烘烤、燒結工藝後形成阻滯層；3)陰極引線層[3]的製作在阻滯層的上面製備出一個金屬層，刻蝕後形成陰極引線層；4)提升一層[4]的製作在陰極引線層的上面印刷銀漿層，經烘烤、燒結工藝後形成提升一層；5)陰極覆蓋層[5]的製作在提升一層的側面印刷絕緣漿料層，經烘烤、燒結工藝後形成陰極覆蓋層；6)提升二層[6]的製作在提升一層上頂部印刷銀漿層，經烘烤、燒結工藝後形成提升二層；
7)陰極導電層[7]的製作在提升二層的表面上以及提升一層的圓環型上頂面上製備出一個金屬層，刻蝕後形成陰極導電層；8)間隔層[8]的製作在阻滯層的上面印刷絕緣漿料層，經烘烤、燒結工藝後形成間隔層；9)調控柵極層[9]的製作在間隔層上表面的斜坡面上製備出一個金屬層，刻蝕後形成調控柵極層；10)柵極引線層[10]的製作在間隔層的上表面上製備出一個金屬層，刻蝕後形成柵極引線層；11)柵極覆蓋層[11]的製作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料，經烘烤、燒結工藝後形成柵極覆蓋層；12)八字型斜柵控結構的表面清潔處理對八字型斜柵控結構的表面進行清潔處理，除掉雜質和灰塵；13)碳納米管[12]的製備將碳納米管制備在陰極導電層上面；14)陽極玻璃面板[13]的製作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，製作出陽極玻璃面板；15)陽極導電層[14]的製作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕後形成陽極導電層；16)絕緣漿料層[15]的製作在陽極導電層的非顯示區域印刷絕緣漿料層；17)螢光粉層[16]的製作在陽極導電層上面的顯示區域印刷螢光粉層；18)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐牆結構[17]和四周玻璃圍框[18]裝到一起，將消氣劑[19]放入到空腔中，用低熔點玻璃粉固定；19)成品製作對已經裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
所述步驟16具體為在陽極導電層的非顯示區域印刷絕緣漿料層，用於防止寄生電子發射；經過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之後，放置在燒結爐中進行高溫燒結(燒結溫度580℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟17具體為在陽極導電層上面的顯示區域印刷螢光粉層；在烘箱當中進行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟19具體為對已經裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當中進行烘烤；放入燒結爐當中進行燒結；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內部的消氣劑進行烤消，最後加裝管腳形成成品件。
權利要求
1.一種八字型斜柵控結構的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板[13]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[18]所構成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導電層[14]以及製備在陽極導電層上面的螢光粉層[16]；位於陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐牆結構[17]以及消氣劑附屬元件[19]；其特徵在於在陰極玻璃面板上有柵極引線層[10]、碳納米管[12]以及八字型斜柵控結構。
2.根據權利要求1所述的八字型斜柵控結構的平板顯示器，其特徵在於所述的八字型斜柵控結構的襯底材料為鈉鈣玻璃、硼矽玻璃，即陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面刻蝕後的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面印刷的銀漿層形成提升一層；提升一層呈現圓柱體型形狀，其下表面為平面，和陰極引線層緊密接觸；提升一層側面為垂直於阻滯層的豎直面，提升一層上表面為平面，但在中心位置存在一個向下凹陷的半球型形狀，提升一層上表面的周圍形成一個平面圓環型形狀；在提升一層上頂部半球型形狀的上面印刷銀漿層形成提升二層；提升二層呈現一個尖頂圓錐狀形狀，坐落於提升一層中半球型形狀的上面；提升一層的側面上印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；陰極覆蓋層要完全覆蓋住提升一層的整個側面；提升一層上頂面的圓環型形狀的上面以及提升二層的表面上刻蝕後的金屬層形成陰極導電層；陰極導電層僅僅存在於提升一層上頂面的圓環型形狀的上面，以及整體提升二層的上表面上；阻滯層上面印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層下表面為平面，覆蓋住陰極引線層以及空餘的阻滯層部分；間隔層中存在斜面孔，暴露出陰極導電層、提升一層和提升二層；間隔層中斜面孔的內側壁是一個斜坡面，與間隔層上表面交界處的截面為一個中空的圓型面，此處直徑最小，從間隔層的上表面開始，逐漸向間隔層內部凹陷，直至到達間隔層的下表面位置為止；間隔層的上表面大部分為平面，但是在環繞斜面孔周圍處其上表面也形成一個傾斜面，即從斜面孔的邊緣處開始，其高度逐漸降低，形成一個與斜面孔內側壁相呼應的傾斜面，直至到達間隔層平面部分位置為止；間隔層上表面斜坡面上的刻蝕後的金屬層形成調控柵極層；調控柵極層大部分都位於間隔層上表面的斜坡面上，但其前端部分在沿著斜坡面平行的方向上向斜面孔延伸，呈現懸空狀態；環繞在斜面孔周圍的調控柵極層的截面呈現一種八字型形狀；間隔層上表面上的刻蝕後的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層和調控柵極層是相互連通的；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要完全覆蓋住柵極引線層以及位於斜坡面上的調控柵極層，但不能覆蓋處於懸空狀態的調控柵極層；碳納米管制備在陰極導電層上面。
3.根據權利要求2所述的八字型斜柵控結構的平板顯示器，其特徵在於所述的八字型斜柵控結構的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛；陰極導電層為金屬鐵、鈷、鎳；調控柵極層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向相互垂直；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻。
4.一種八字型斜柵控結構的平板顯示器的製作工藝，其特徵在於，其製作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的製作對整體平板玻璃進行劃割，製作出陰極玻璃面板；2)阻滯層[2]的製作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經烘烤、燒結工藝後形成阻滯層；3)陰極引線層[3]的製作在阻滯層的上面製備出一個金屬層，刻蝕後形成陰極引線層；4)提升一層[4]的製作在陰極引線層的上面印刷銀漿層，經烘烤、燒結工藝後形成提升一層；5)陰極覆蓋層[5]的製作在提升一層的側面印刷絕緣漿料層，經烘烤、燒結工藝後形成陰極覆蓋層；6)提升二層[6]的製作在提升一層上頂部印刷銀漿層，經烘烤、燒結工藝後形成提升二層；7)陰極導電層[7]的製作在提升二層的表面上以及提升一層的圓環型上頂面上製備出一個金屬層，刻蝕後形成陰極導電層；8)間隔層[8]的製作在阻滯層的上面印刷絕緣漿料層，經烘烤、燒結工藝後形成間隔層；9)調控柵極層[9]的製作在間隔層上表面的斜坡面上製備出一個金屬層，刻蝕後形成調控柵極層；10)柵極引線層[10]的製作在間隔層的上表面上製備出一個金屬層，刻蝕後形成柵極引線層；11)柵極覆蓋層[11]的製作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料，經烘烤、燒結工藝後形成柵極覆蓋層；12)八字型斜柵控結構的表面清潔處理對八字型斜柵控結構的表面進行清潔處理，除掉雜質和灰塵；13)碳納米管[12]的製備將碳納米管制備在陰極導電層上面；14)陽極玻璃面板[13]的製作對整體平板玻璃劃割，制出陽極玻璃面板；15)陽極導電層[14]的製作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕後形成陽極導電層；16)絕緣漿料層[15]的製作在陽極導電層非顯示區域印刷絕緣漿料層；17)螢光粉層[16]的製作在陽極導電層上面的顯示區域印刷螢光粉層；18)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐牆結構[17]和四周玻璃圍框[18]裝到一起，將消氣劑[19]放到空腔中，用低熔點玻璃粉固定；19)成品製作對已經裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
5.根據權利要求4所述的八字型斜柵控結構的平板顯示器的製作工藝，其特徵在於所述步驟16具體為在陽極導電層的非顯示區域印刷絕緣漿料層，經過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘，之後，放置在燒結爐中進行高溫燒結，燒結溫度580℃，保持時間10分鐘。
6.根據權利要求4所述的八字型斜柵控結構的平板顯示器的製作工藝，其特徵在於所述步驟17具體為在陽極導電層上面的顯示區域印刷螢光粉層；在烘箱當中進行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘。
7.根據權利要求4所述的八字型斜柵控結構的平板顯示器的製作工藝，其特徵在於所述步驟19具體為對已經裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當中進行烘烤；放入燒結爐當中進行燒結；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內部的消氣劑進行烤消，最後加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發明涉及一種八字型斜柵控結構的平板顯示器及其製作工藝，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導電層以及製備在陽極導電層上面的螢光粉層；位於陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐牆結構以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上有柵極引線層、碳納米管以及八字型斜柵控結構；能夠增強柵極結構的控制效率，提高碳納米管陰極的電子發射效率和電子發射數量，有利於提高器件的圖像質量；具有製作過程穩定可靠、製作工藝簡單、製作成本低廉、結構簡單的優點。
文檔編號H05B33/14GK101080123SQ200710054638
公開日2007年11月28日 申請日期2007年6月20日 優先權日2007年6月20日
發明者李玉魁 申請人:中原工學院